TWI752235B - 切削裝置及電極端子單元 - Google Patents

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Abstract

本發明的課題是以提供一種謀求電極端子的更換時的作業性的提升之切削裝置及電極端子單元為目的。 　　其解決手段，具備原點檢測機構(70)，其係檢測出切削刀刃對於吸盤台的切入方向的原點位置， 　　原點檢測機構(70)具備： 　　電極端子(74)，其係於主軸外殼的蓋(cap)(71)，對向於轉子(262)的端面(262A)而插入，抵接於端面(262A)； 　　推壓彈簧(75)，其係將電極端子(74)推壓至端面(262A)；及 　　導電性彎曲板(76)，其係具有卡止推壓彈簧(75)的卡止部(76A)及插入部(76B)， 　　在蓋(71)中形成有經由推壓彈簧(75)來插入電極端子(74)的插入孔(72)，且形成有插入導電性彎曲板(76)的插入部(76B)的卡止溝(73)，在此卡止溝(73)中形成有保持被插入的導電性彎曲板(76)的制動器部(78)。

Description

切削裝置及電極端子單元
本發明是有關具備原點檢測機構的切削裝置，及被設在原點檢測機構的電極端子單元，該原點檢測機構是檢測出切削刀刃對於保持平台的切入方向的原點位置。
半導體晶圓或玻璃基板等的被加工物是例如藉由具備旋轉的圓環狀的切削刀刃的切削裝置，沿著切道來切削，而被分割成複數的晶片。 　　此切削裝置是具備： 　　吸盤台，其係保持被加工物； 　　切削手段，其係具有切削被保持於該吸盤台的被加工物的切削刀刃；及 　　原點檢測機構，其係用以檢測出成為設定切削刀刃的切入量的基準之切削刀刃的原點位置(例如參照專利文獻1)。 　　此種的原點檢測機構是構成具備： 　　主軸，其係安裝有切削刀刃； 　　主軸外殼，其係可旋轉地支撐此主軸； 　　夾具，其係對向於主軸的端面，安裝於主軸外殼；及 　　作為電極端子的碳刷片，其係收容於被設在該夾具的引導孔，被彈簧彈撥至主軸的端面。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本實開平7-10552號公報
(發明所欲解決的課題)
此碳刷片是常時被推壓於主軸的端面而接觸，因此碳刷片的磨耗激烈，需要定期性的更換。但，就以往的構成而言，碳刷是與推壓彈簧一起被收容於在夾具所形成的引導孔，由於此夾具是以螺絲固定於主軸外殼，因此碳刷的更換作業繁雜，期望作業性的提升。
本發明是有鑑於上述而研發者，以提供一種謀求電極端子的更換時的作業性的提升之切削裝置及電極端子單元為目的。 (用以解決課題的手段)
為了解決上述的課題，達成目的，本發明為一種切削裝置，具備： 　　保持平台，其係保持被加工物； 　　切削手段，其係具有：切削以該保持平台所保持的被加工物的切削刀刃，及在一端安裝該切削刀刃的主軸；及 　　原點檢測機構，其係使該切削刀刃與該保持平台接觸，而藉由電性導通來檢測出該切削刀刃對於該保持平台的切入方向的原點位置， 　　其特徵為： 　　該原點檢測機構係具備： 　　電極端子，其係於可旋轉地支撐該主軸的外殼，對向於該主軸的另一端側的端面而插入，具有抵接於該端面的抵接面； 　　推壓彈簧，其係將該電極端子推壓至該端面，由導電性材料所成；及 　　導電性彎曲板，其係具有卡止該推壓彈簧的卡止部，與該卡止部一體地形成，且具有彎曲至該電極端子側的插入部， 　　在該外殼，係形成有經由該推壓彈簧來插入該電極端子的插入孔，且形成有插入該導電性彎曲板的該插入部的接納部， 　　在該接納部，係藉由形成有保持被插入的該導電性彎曲板的制動器(stopper)部，將該導電性彎曲板插入至該外殼，藉此在將該電極端子抵接於該端面的狀態下固定。
若根據此構成，則可從外殼的外側經由導電性彎曲板，對於外殼來插拔電極端子及推壓彈簧。因此，不須如以往般，連同保持電極端子的夾具，從外殼卸下的作業，可容易進行電極端子的更換，可謀求更換時的作業性的提升。
又，亦可在導電性彎曲板形成有作業者所把持的把持部。若根據此構成，則可把持把持部來從外殼拔出導電性彎曲板、電極端子及推壓彈簧，可容易進行電極端子的卸下。
又，亦可制動器部由導電性構件所成，藉由該導電性彎曲板的該插入部被插入至該接納部，構成該原點檢測機構之原點檢測電路。若根據此構成，則制動器部是將導電性彎曲板的插入部保持於接納部，且作為原點檢測電路的一部分機能，因此可謀求裝置構成的簡素化。
又，本發明為一種電極端子單元，係於切削裝置中構成該原點檢測機構的電極端子單元，該切削裝置係具備： 　　保持平台，其係保持被加工物； 　　切削手段，其係具有：切削以該保持平台所保持的被加工物的切削刀刃，及在一端安裝該切削刀刃的主軸；及 　　原點檢測機構，其係使該切削刀刃與該保持平台接觸，而藉由電性導通來檢測出該切削刀刃對於該保持平台的切入方向的原點位置， 　　其特徵係具備： 　　電極端子，其係於可旋轉地支撐該主軸的外殼，對向於該主軸的另一端側的端面而插入，具有抵接於該端面的抵接面； 　　推壓彈簧，其係將該電極端子推壓至該端面，由導電性材料所成；及 　　導電性彎曲板，其係具有在與該電極端子相反側卡止該推壓彈簧的卡止部，與該卡止部一體地形成，且具有彎曲至該電極端子側的插入部。
若根據此構成，則可容易從外殼的外側對於外殼插拔電極端子單元。 [發明的效果]
若根據本發明，則可從外殼的外側經由導電性彎曲板，對於外殼來插拔電極端子及推壓彈簧。因此，不須如以往般，連同保持電極端子的夾具，從外殼卸下的作業，可容易進行電極端子的更換，可謀求更換時的作業性的提升。
一面參照圖面，一面詳細說明有關用以實施本發明的形態(實施形態)。本發明不是依據以下的實施形態記載的內容來限定者。並且，在以下記載的構成要素中包括該當業者容易假想者，實質上同樣者。而且，以下記載的構成是可適當組合。並且，可在不脫離本發明的要旨範圍進行構成的各種的省略、置換或變更。
以下，說明有關本實施形態的切削裝置。圖1是表示本實施形態的切削裝置的構成例的立體圖。圖2是被環狀框支撐的晶圓的立體圖。圖3是設有原點檢測機構的切削手段的縱剖面圖。圖4是模式性地表示夾具的周邊構造的分解立體圖。圖5是模式性地表示夾具的周邊構造的部分剖面圖。切削裝置1是如圖1所示般，藉由使吸盤台(保持平台)10與切削手段20相對移動，將被保持於吸盤台10上的晶圓(被加工物)100(圖2)切削加工者。切削裝置1是構成包含：吸盤台10、切削手段20、攝像手段30、X軸移動手段40、Y軸移動手段50及Z軸移動手段60。
本實施形態的被加工物的晶圓100是以矽作為母材的圓板狀的半導體晶圓或以藍寶石、SiC(碳化矽)等作為母材的光裝置晶圓。晶圓100是如圖2所示般，在依據形成於表面101的格子狀的分割預定線102所區劃的複數的領域形成有裝置103。晶圓100是隔著貼附於背面104的切割膠帶105來被環狀框106支撐。晶圓100是在被環狀框106支撐的狀態下保持於吸盤台10上。
吸盤台10是如圖1所示般，具備：由多孔性陶瓷等所形成的保持部11、配置有此保持部11的金屬基台13、及被配設於此金屬基台13的周圍的複數(在本實施形態是4個)的鉗位器12。保持部11是藉由從背面側吸引被環狀框106支撐的晶圓100來予以保持。此時，鉗位器12是夾著環狀框106來予以保持。並且，金屬基台13是以具有導電性的材料所形成。而且，吸盤台10是以保持部11的中心軸線為中心來構成可旋轉，可對於切削手段20調整成任意的旋轉角度。
切削手段20是包含：切削刀刃21、主軸、主軸外殼23及切削液供給噴嘴24。切削手段20是一邊對被保持於吸盤台10的晶圓100(圖2)供給切削液，一邊進行加工。此時，切削手段20是根據藉由攝像手段30所攝取的晶圓100的畫像資料，藉由切削刀刃21來加工晶圓100所應加工的領域。在主軸外殼23內是收容有主軸，可藉由空氣軸承(Air Bearing)來可旋轉地支撐。主軸是藉由被收容於主軸外殼23中的馬達來旋轉驅動，在主軸的前端側是可裝卸地安裝有切削刀刃21。
切削刀刃21是切削被保持於吸盤台10的晶圓100。切削刀刃21是大致環形狀的極薄的切削砥石。切削液供給噴嘴24是在切削刀刃21之晶圓100的加工中，朝晶圓100的加工點供給切削液。
攝像手段30是由複數的畫素所成，將被保持於吸盤台10的晶圓100攝像，產生畫像。攝像手段30是例如使用CCD(Charge Coupled Device)影像感測器的攝影機等，但並非被限定於此。
X軸移動手段40是被搭載於裝置基台2上，使吸盤台10移動於切削進給方向(X軸方向)者。切削進給方向(X軸方向)是與鉛直方向正交。X軸移動手段40是包含：X軸脈衝馬達41、X軸滾珠螺桿42及一對的X軸導軌43，43。在一對的X軸導軌43，43上是載置有吸盤台10，X軸滾珠螺桿42會螺合於此吸盤台10的下部。X軸移動手段40是利用藉由X軸脈衝馬達41所產生的旋轉力來使X軸滾珠螺桿42旋轉驅動，藉此使吸盤台10沿著一對的X軸導軌43，43來對於裝置基台2移動於X軸方向。
Y軸移動手段50是被搭載於裝置基台2上，使切削刀刃移動基台3及切削手段20移動於分度進給方向(Y軸方向)者。在此，分度進給方向(Y軸方向)是切削刀刃21的旋轉軸的軸方向，分別與切削進給方向(X軸方向)及鉛直方向正交。Y軸移動手段50是包含：Y軸脈衝馬達51、Y軸滾珠螺桿52及一對的Y軸導軌53，53。在一對的Y軸導軌53，53上是載置有切削手段20所搭載的切削刀刃移動基台3，Y軸滾珠螺桿52會螺合於此切削刀刃移動基台3的下部。Y軸移動手段50是利用藉由Y軸脈衝馬達51所產生的旋轉力來使Y軸滾珠螺桿52旋轉驅動，藉此使切削刀刃移動基台3及切削手段20沿著Y軸導軌53，53來對於裝置基台2移動於Y軸方向。
Z軸移動手段60是被搭載於切削刀刃移動基台3，使支撐部4及切削手段20移動於切出方向(Z軸方向)者。此切出方向(Z軸方向)是鉛直方向，分別與切削進給方向(X軸方向)及分度進給方向(Y軸方向)正交。Z軸移動手段60是被設在切削刀刃移動基台3，包含：Z軸脈衝馬達61、Z軸滾珠螺桿(未圖示)及一對的Z軸導軌63，63。一對的Z軸導軌63，63是連結切削手段20所搭載的支撐部4，Z軸滾珠螺桿會螺合於此支撐部4。Z軸移動手段60是利用藉由Z軸脈衝馬達61所產生的旋轉力來使Z軸滾珠螺桿旋轉，藉此使支撐部4及切削手段20沿著Z軸導軌63來一面引導，一面對於切削刀刃移動基台3移動於Z軸方向。
上述的構成是使保持晶圓100的吸盤台10及切削手段20分別相對地移動於切削進給方向(X軸方向)、分度進給方向(Y軸方向)及切出方向(Z軸方向)，而進行對於晶圓100的切削加工。此情況，為了控制切削刀刃21的切入量，而須將成為切削刀刃21的基準的高度位置(原點位置)預先設定於切削裝置1。為此，切削裝置1是如圖3所示般，在切削手段20具備用以檢測出切削刀刃21的原點位置的原點檢測機構70。
首先，參照圖3來說明切削手段20的內部構造。切削手段20是具備：主軸22，及收容此主軸22的主軸外殼23。在主軸外殼23的壁內是形成有延伸於軸方向的環狀空氣供給路251，從環狀空氣供給路251是複數的第1分歧路252會在軸方向及圓周方向取預定的間隔來分別朝向中心方向形成放射狀，連通至被形成於主軸22的外周的徑向空氣軸承25A。在主軸外殼23的外周面是形成有連通至環狀空氣供給路251的空氣供給口250，來自空氣供給源(未圖示)的壓縮空氣會通過此空氣供給口250來供給至環狀空氣供給路251。主軸22是一體地具備被形成環狀的環狀推力板221。
在環狀空氣供給路251的前方部(在圖3為左端部)是使對向於環狀推力板221的兩面來分別設有複數的第2分歧路253。此第2分歧路253是在圓周方向取預定的間隔而設，連通至被形成於環狀推力板221的兩側面的推力空氣軸承25B。
因此，來自空氣供給源的壓縮空氣會經由環狀空氣供給路251、第1分歧路252及第2分歧路253來分別供給至徑向空氣軸承25A、推力空氣軸承25B，藉此可安定支撐高速旋轉的主軸22。
並且，在主軸外殼23內是收容有旋轉驅動主軸22的伺服馬達26。伺服馬達26是具備定子261及轉子262，轉子262是與主軸22一體地形成。在主軸22的前端(在圖3為左端部)是安裝凸緣(mount flange)27會以螺絲28來安裝，對於此安裝凸緣27，具有切刃21a的切削刀刃21會被安裝於外周，且以固定螺帽29固定。
在主軸外殼23的後端部(在圖3為右端部)形成有開口部23A，在此開口部23A設有原點檢測機構70。原點檢測機構70是具備：以閉塞開口部23A的方式配置的蓋71，及被保持於此蓋71的電極端子單元80，81。
蓋71是以絕緣性的樹脂材料所形成，被安裝於主軸外殼23的開口部23a來構成主軸外殼23的一部分。蓋71是與開口部23A的形狀一致，本實施形態是將橢圓或圓的一部分予以直線狀地切除的形狀。蓋71是如圖4及圖5所示般，具備形成比其他部分更厚的厚部71A，在此厚部71A是形成有一對的插入孔72，72、及與該等插入孔72，72鄰接形成的一對的卡止溝(接納部)73，73。插入孔72是被形成為貫通蓋71，卡止溝73是至少具有相當厚部71A的厚度的深度(軸方向)。電極端子單元80，81是分別被插入至插入孔72，72，且被保持於卡止溝73，73。
在本實施形態中，插入孔72，72及卡止溝73，73是對於蓋71的中心(主軸的旋轉軸心)形成點對稱。就此構成而言，由於可良好歸納配置被保持於蓋71的電極端子單元80，81，因此可謀求原點檢測機構70的小型化。另外，亦可對於通過蓋71的中心的預定線，線對稱地配置插入孔72，72及卡止溝73，73。
電極端子單元80是具備： 　　電極端子74，其係抵接於與主軸22一體形成的轉子262的端面(主軸的端面)262A(圖5)； 　　推壓彈簧75，其係將此電極端子74推壓至上述端面262A；及 　　導電性彎曲板76，其係被連結至此推壓彈簧75。 　　電極端子74是以多孔狀的碳所形成的碳刷片，具有對向於轉子262的端面262A而抵接的抵接面74A。推壓彈簧75是彈撥於將電極端子74推壓至轉子262的端面262A的方向。推壓彈簧75是以導電性材料所形成，物理性及電性連結電極端子74與導電性彎曲板76。導電性彎曲板76是將導電性材料彎曲成大致L字形狀而形成，具備：卡止推壓彈簧75的卡止部76A、及從卡止部76A的端部彎曲至電極端子74側的插入部76B。在卡止部76A是安裝有延伸於與推壓彈簧75相反側的把持部77。此把持部77是例如以絕緣性薄膜等所形成，在拉伸方向具有某程度的強度。把持部77是作業者從蓋71拔出電極端子單元80，81時把持的部分。並且，導電性彎曲板76的插入部76B是被插入至形成於蓋71的卡止溝73。
在卡止溝73是配置有：與導電性彎曲板76的插入部76B一起被插入，保持該插入部76B的制動器部78。此制動器部78是例如板彈簧般，以兼備導電性及彈性的材料所形成。制動器部78是具備：將板彈簧雙重地折返而形成的折返部78A，此折返部78A會被插入至卡止溝73。被插入至卡止溝73的折返部78A是藉由板彈簧所欲回到原來的力量，將導電性彎曲板76的插入部76B推壓至卡止溝73的壁面。此時，藉由將插入部76B與卡止溝73的摩擦力設定成比推壓彈簧75的彈撥力更大，可將電極端子單元80，81保持於插入至蓋71的狀態。在此，制動器部78是如圖4所示般，被配置成為折返部78A的山部78A1會位於卡止溝73的入口側(前面側)。因此，可將導電性彎曲板76的插入部76B容易地插入至卡止溝73。
又，制動器部78是具備：與折返部78A一體形成，用以安裝於蓋71的安裝部78B。在此安裝部78B是形成有插入螺絲79的安裝孔78C。此螺絲79是連接導線90。若根據此構成，則電極端子單元80的電極端子74是形成可經由推壓彈簧75、導電性彎曲板76、制動器部78及螺絲79來與導線90導通。在本實施形態中，如上述般，插入孔72，72及卡止溝73，73是對於蓋71的中心(主軸的旋轉軸心)形成點對稱。因此，電極端子單元80，81是不須形成左右不同的形狀，可設為同一構造。因此，可使電極端子單元80，81共通化，可謀求零件的共通化及零件點數的削減。電極端子單元81是與電極端子單元80為同一的構成，因此省略說明。
原點檢測機構70的電極端子單元80是藉由導線90，經由電流計91、電源92、第1開關93來連接至吸盤台10的金屬基台13。另一方面，原點檢測機構70的電極端子單元81是藉由導線90，經由第2開關94來連接至電源92與第1開關93之間。在本實施形態中，具備原點檢測機構70、導線90，90、電流計91、電源92、第1開關93及第2開關94來構成原點檢測電路95。
為了檢測出成為切削刀刃21的切入方向(Z軸方向)的基準的原點位置，而一邊以伺服馬達26來主軸22高速旋轉，一邊首先關閉原點檢測電路95的第2開關94。藉此，當電極端子74，74正常地抵接於被連接至主軸22的轉子262的端面262A時，由於形成通過電極端子單元80、主軸22(轉子262)、電極端子單元81、第2開關94、電源92、電流計91及電極端子單元80的閉合電路，因此藉由以電流計91來檢測出流動於此閉合電路的電流，可確認電極端子單元80，81的正常的動作。
其次，開啟第2開關94，關閉第1開關93之後，驅動Z軸移動手段60來使切削手段20下降。此時，一旦切削手段20之切削刀刃21的切刃21a接觸於吸盤台10的金屬基台13，則由於形成通過切削刀刃21、金屬基台13、第1開關93、電源92、電流計91、電極端子單元80及主軸22(轉子262)的閉合電路，因此電流會流至此閉合電路，藉由電流計91來檢測出。
藉此，將以電流計91檢測出電流的瞬間定為切削刀刃21的切入方向(Z軸方向)的原點位置，將切削裝置1之未圖示的控制器中的Z軸方向的位置復位成0而記憶於記憶體。然後，晶圓100的切削是以此原點位置作為基準，可在適正的量的切入下進行。Z軸方向的原點位置的檢測是考慮切削刀刃21的切刃21a的磨耗的程度，定期性地或任意地實施。
另一方面，當無法檢測出通過主軸22(轉子262)、電極端子單元81、第2開關94、電源92、電流計91及電極端子單元80的閉合電路的電流時，假想成哪個的電極端子74，74未正常地抵接於轉子262的端面262A，因此中止切削刀刃21的原點位置的檢測的作業，實施原點檢測機構70的修補。
例如，當電極端子單元80的電極端子74磨耗時，將此電極端子單元80更換成新品。更換電極端子單元80時，作業者是握住把持部77，從蓋71拔出電極端子單元80。本實施形態是在卡止溝73中，制動器部78會與導電性彎曲板76的插入部76B一起被插入，制動器部78會將插入部76B推壓至卡止溝73的壁面而保持。由於作業者將電極端子單元80從蓋71拔出的力量是比插入部76B與卡止溝73的摩擦力更大，因此可容易地從蓋71拔出電極端子單元80。
新的電極端子單元80是將電極端子74及推壓彈簧75插入至蓋71的插入孔72，且將導電性彎曲板76的插入部76B插入至卡止溝73。在此，制動器部78是被配置成為折返部78A的山部78A1會位於卡止溝73的入口側(前面側)。因此，可將導電性彎曲板76的插入部76B容易地插入至卡止溝73。制動器部78的折返部78A是藉由板彈簧所欲回到原來的力量，將導電性彎曲板76的插入部76B推壓至卡止溝73的壁面。此時，藉由將插入部76B與卡止溝73的摩擦力設定成比推壓彈簧75的彈撥力更大，可將電極端子單元80，81保持於插入至蓋71的狀態。藉此，可從蓋71(主軸外殼23)的外側容易地進行電極端子單元80的更換。
以上，本實施形態的切削裝置1係構成具備： 　　吸盤台10，其係保持晶圓100； 　　切削手段20，其係具有：切削被保持於吸盤台10的晶圓100之切削刀刃21，及在一端安裝有切削刀刃21的主軸22；及 　　原點檢測機構70，其係使切削刀刃21與吸盤台10接觸，而藉由電性導通來檢測出切削刀刃21對於吸盤台10的切入方向的原點位置， 　　原點檢測機構70具備： 　　電極端子74，其係於可旋轉地支撐主軸22的主軸外殼23的蓋71，對向於被一對地連結至主軸22的另一端側的轉子262的端面262A而插入，具有抵接於端面262A的抵接面74A； 　　推壓彈簧75，其係將電極端子74推壓至上述端面262A，由導電性材料所成；及 　　導電性彎曲板76，其係具有卡止推壓彈簧75的卡止部76A，與卡止部76A一體地形成，且具有彎曲至電極端子74側的插入部76B， 　　在主軸外殼23的蓋71，係形成有經由推壓彈簧75，75來插入電極端子74，74的一對的插入孔72，72，且形成有插入導電性彎曲板76的插入部76B的卡止溝73，73， 　　在此卡止溝73，係藉由形成有保持被插入的導電性彎曲板76的制動器部78，將導電性彎曲板76與制動器部78一起插入至蓋71的卡止溝73，藉此在將電極端子74抵接於該端面262A的狀態下固定。 　　若根據此構成，則可從蓋71的外側經由導電性彎曲板76，對於主軸外殼23插拔電極端子74及推壓彈簧75。因此，不須如以往般，連同保持電極端子的夾具，從主軸外殼卸下的作業，可容易進行電極端子74的更換，可謀求更換時的作業性的提升。而且，可使主軸外殼23的後方的構造薄化，因此可實現切削裝置1的小型化。
又，若根據本實施形態，則由於在導電性彎曲板76的卡止部76A安裝有作業者所把持的把持部77，因此可把持此把持部77來將導電性彎曲板76、電極端子74及推壓彈簧75從主軸外殼23拔出，可容易進行電極端子74的卸下。
又，若根據本實施形態，則由於制動器部78是由導電性構件所成，藉由導電性彎曲板76的插入部76B與制動器部78一起被插入至卡止溝73，構成原點檢測機構70之原點檢測電路95，因此制動器部78是將導電性彎曲板76的插入部76B保持於卡止溝73，且作為原點檢測電路95的一部分機能，所以可謀求切削裝置1的裝置構成的簡素化。
又，本實施形態的電極端子單元80，81，係於切削裝置1中構成原點檢測機構70，該切削裝置1係具備： 　　吸盤台10，其係保持晶圓100； 　　切削手段20，其係具有：切削被保持於吸盤台10的晶圓100之切削刀刃21，及在一端安裝有切削刀刃21的主軸22；及 　　原點檢測機構70，其係使切削刀刃21與吸盤台10接觸，而藉由電性導通來檢測出切削刀刃21對於吸盤台10的切入方向的原點位置， 　　由於具備： 　　電極端子74，其係於可旋轉地支撐主軸22的主軸外殼23的蓋71，對向於被一對地連結至主軸22的另一端側的轉子262的端面262A而插入，具有抵接於端面262A的抵接面74A； 　　推壓彈簧75，其係將電極端子74推壓至上述端面262A，由導電性材料所成；及 　　導電性彎曲板76，其係具有卡止推壓彈簧75的卡止部76A，與卡止部76A一體地形成，且具有彎曲至電極端子74側的插入部76B， 　　因此，可從蓋71的外側，對於主軸外殼23容易地插拔電極端子單元80，81。
另外，本發明是不限於上述實施形態。亦即，可在不脫離本發明的主旨範圍實施各種變形。
1‧‧‧切削裝置10‧‧‧吸盤台(保持平台)13‧‧‧金屬基台20‧‧‧切削手段21‧‧‧切削刀刃22‧‧‧主軸23‧‧‧主軸外殼26‧‧‧伺服馬達261‧‧‧定子262‧‧‧轉子262A‧‧‧端面(主軸的端面)70‧‧‧原點檢測機構71‧‧‧蓋(主軸外殼)71A‧‧‧厚部72‧‧‧插入孔73‧‧‧卡止溝(接納部)74‧‧‧電極端子74A‧‧‧抵接面76‧‧‧導電性彎曲板76A‧‧‧卡止部76B‧‧‧插入部77‧‧‧把持部78‧‧‧制動器部78A‧‧‧折返部78A1‧‧‧山部80、81‧‧‧電極端子單元95‧‧‧原點檢測電路100‧‧‧晶圓(被加工物)
圖1是表示本實施形態的切削裝置的構成例的立體圖。 　　圖2是被環狀框支撐的晶圓的立體圖。 　　圖3是設有原點檢測機構的切削手段的縱剖面圖。 　　圖4是模式性地表示夾具的周邊構造的分解立體圖。 　　圖5是模式性地表示夾具的周邊構造的部分剖面圖。
70‧‧‧原點檢測機構
71‧‧‧蓋(主軸外殼)
71A‧‧‧厚部
72‧‧‧插入孔
73‧‧‧卡止溝(接納部)
74‧‧‧電極端子
74A‧‧‧抵接面
75‧‧‧推壓彈簧
76‧‧‧導電性彎曲板
76A‧‧‧卡止部
76B‧‧‧插入部
77‧‧‧把持部
78‧‧‧制動器部
78A‧‧‧折返部
80、81‧‧‧電極端子單元
262‧‧‧轉子
262A‧‧‧端面(主軸的端面)

Claims (6)

  1. 一種切削裝置，係具備：保持平台，其係保持被加工物；切削手段，其係具有：切削以該保持平台所保持的被加工物的切削刀刃，及在一端安裝該切削刀刃的主軸；及原點檢測機構，其係使該切削刀刃與該保持平台接觸，而藉由電性導通來檢測出該切削刀刃對於該保持平台的切入方向的原點位置，其特徵為：該原點檢測機構係具備：電極端子，其係於可旋轉地支撐該主軸的外殼，對向於該主軸的另一端側的端面而插入，具有抵接於該端面的抵接面；推壓彈簧，其係與該電極端子連結且將該電極端子推壓至該端面，由導電性材料所成；及導電性彎曲板，其係具有：被連結至該推壓彈簧，卡止該推壓彈簧的卡止部，及與該卡止部一體地形成，且具有彎曲至該電極端子側的插入部，在該外殼，係形成有經由該推壓彈簧來插入該電極端子的插入孔，且形成有插入該導電性彎曲板的該插入部的接納部，在該接納部，係形成有保持被插入的該導電性彎曲板且被安裝於該外殼的制動器部， 將該導電性彎曲板的該插入部插入至該外殼的該接納部，該制動器部將該插入部推壓至該接納部內的壁面，藉此在將該電極端子抵接於該端面的狀態下固定。
  2. 如申請專利範圍第1項之切削裝置，其中，將被插入至該接納部的該插入部與該接納部的摩擦力設定成比該推壓彈簧的彈撥力更大。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之切削裝置，其中，在該導電性彎曲板，係形成有作業者所把持的把持部。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之切削裝置，其中，該制動器部係由導電性構件所成，藉由該導電性彎曲板的該插入部被插入至該接納部，構成該原點檢測機構之原點檢測電路。
  5. 一種電極端子單元，係於切削裝置中構成該原點檢測機構的電極端子單元，該切削裝置係具備：保持平台，其係保持被加工物；切削手段，其係具有：切削以該保持平台所保持的被加工物的切削刀刃，及在一端安裝該切削刀刃的主軸；及原點檢測機構，其係使該切削刀刃與該保持平台接觸，而藉由電性導通來檢測出該切削刀刃對於該保持平台的切入方向的原點位置， 其特徵係具備：電極端子，其係於可旋轉地支撐該主軸的外殼，對向於該主軸的另一端側的端面而插入，具有抵接於該端面的抵接面；推壓彈簧，其係與該電極端子連結且將該電極端子推壓至該端面，由導電性材料所成；及導電性彎曲板，其係具有：被連結至該推壓彈簧，在與該電極端子相反側卡止該推壓彈簧的卡止部、及與該卡止部一體地形成且彎曲至該電極端子側的插入部，該插入部被插入至被形成於該外殼的接納部，該插入部藉由被配置於該接納部的制動器部來推壓至該接納部內的壁面，藉此在該電極端子抵接於該端面的狀態下被固定。
  6. 如申請專利範圍第5項之電極端子單元，其中，被插入至該接納部的該插入部與該接納部的摩擦力被設定成比該推壓彈簧的彈撥力更大。
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