JP2003165036A - 回転工具を装着するスピンドルユニットおよびスピンドルユニットを備えた切削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 回転工具を装着する回転スピンドルの支持剛
性を確保することができるとともに、回転スピンドルの
回転振れを防ぐことができる回転工具を装着するスピン
ドルユニットおよびスピンドルユニットを備えた切削装
置を提供する。 【解決手段】 スピンドルハウジング５３と、該スピン
ドルハウジング内を挿通して配設され前端部に回転工具
を装着するための工具装着部を備えた回転スピンドル５
４と、を具備するスピンドルユニット５３であって、回
転スピンドル５４は、スピンドルハウジング５３の前端
部においてメカニカルベアリングによって支持され、ス
ピンドルハウジング５３の後端部においてスピンドルハ
ウジング５３との間に配設されたエアーベアリング部材
８０との間に供給される高圧エアーによって支持され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、切削ブレード等の
回転工具を装着するスピンドルユニットおよびスピンド
ルユニットを備えた切削装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウエーハ、セラミック
ス、サファイヤ等の硬質材料を所定の形状に高精度に切
削するには、一般にスピンドルユニットに装着され高速
回転せしめられる切削ブレードを装備した切削装置が用
いられる。スピンドルユニットはスピンドルハウジング
と、該スピンドルハウジング内を挿通して配設され前端
部に該切削ブレードを装着するための工具装着部を備え
た回転スピンドルとからなっており、回転スピンドルは
スピンドルハウジングに回転可能に支持されている。

【０００３】スピンドルハウジングに回転スピンドルを
回転可能に支持する支持方式としては、スピンドルハウ
ジングと回転スピンドルの間に配設されたエアーベアリ
ング部材と回転スピンドルの間に高圧エアーを供給し該
高圧エアーによって支持する所謂エアーベアリング方式
と、スピンドルハウジングの前端部および後端部におい
てボールベアリング等のメカニカルベアリングによって
支持する方式が用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】而して、スピンドルハ
ウジングに切削ブレードを装着した回転スピンドルを所
謂エアーベアリングによって支持したスピンドルユニッ
トは、高圧エアーによって支持する構成であるため、支
持剛性を高くすることは困難である。このため、被加工
物が硬質材料である場合には切削荷重を高くする必要が
あるが、切削荷重を高くすると回転スピンドルとエアー
ベアリング部材が接触してかじり現象を引起し、スピン
ドルユニットを破損せしめるという問題がある。特に、
回転スピンドルに複数枚の切削ブレードを装着したマル
チブレードによって切削する場合には切削荷重が高くな
るので、上記問題が顕著に現れる。一方、スピンドルハ
ウジングに切削ブレードを装着した回転スピンドルをメ
カニカルベアリングによって支持したスピンドルユニッ
トにおいては、支持剛性が高いので、エアーベアリング
による上記問題を解消することはできるが、回転スピン
ドルの軸方向の熱膨張を考慮する必要があるため、次の
問題が生ずる。即ち、回転スピンドルの前側を支持する
メカニカルベアリングは、回転スピンドルの前端部に装
着される回転ブレードの位置関係を規制するためにスピ
ンドルハウジングに位置規制されている。しかしなが
ら、回転スピンドルの後側を支持するメカニカルベアリ
ングは、回転スピンドルの軸方向の熱膨張を吸収する必
要があるため、スピンドルハウジングに対して軸方向に
移動可能に構成されており、メカニカルベアリングとス
ピンドルハウジングとの間には僅かな隙間が存在する。
メカニカルベアリングとスピンドルハウジングとの間に
僅かな隙間あると、回転スピンドルの回転時に前側のメ
カニカルベアリングを支点として回転振れが生ずるた
め、回転スピンドルの前端部に装着された回転ブレード
による切削精度が低下するという問題がある。

【０００５】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術課題は、回転工具を装着する回転
スピンドルの支持剛性を確保することができるととも
に、回転スピンドルの回転振れを防ぐことができる回転
工具を装着するスピンドルユニットおよびスピンドルユ
ニットを備えた切削装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記主たる技術課題を解
決するため、本発明によれば、スピンドルハウジング
と、該スピンドルハウジング内を挿通して配設され前端
部に回転工具を装着するための工具装着部を備えた回転
スピンドルと、を具備するスピンドルユニットにおい
て、該回転スピンドルは、該スピンドルハウジングの前
端部においてメカニカルベアリングによって支持され、
該スピンドルハウジングの後端部において該スピンドル
ハウジングとの間に配設されたエアーベアリング部材と
の間に供給される高圧エアーによって支持される、こと
を特徴とする回転工具を装着するスピンドルユニットが
提供される。

【０００７】上記スピンドルハウジングには上記高圧エ
アーを前端に導くエアー流通路が形成されており、該前
端から高圧エアーを排出せしめてエアーシールを形成す
ることが望ましい。また、上記回転スピンドルの後端部
には、回転スピンドルを回転駆動するための原動機が装
着されている。

【０００８】また、本発明によれば、被加工物を保持す
るチャックテーブルと、該該加工物を切削する切削ブレ
ードを装着したスピンドルユニットと、を具備する切削
装置において、該スピンドルユニットは、スピンドルハ
ウジングと、該スピンドルハウジング内を挿通して配設
され前端部に該切削ブレードを装着するための工具装着
部を備えた回転スピンドルとからなっており、該回転ス
ピンドルは、該スピンドルハウジングの前端部において
メカニカルベアリングによって支持され、該スピンドル
ハウジングの後端部において該スピンドルハウジングと
の間に配設されたエアーベアリング部材との間に供給さ
れる高圧エアーによって支持される、ことを特徴とする
切削装置が提供される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
回転工具を装着するスピンドルユニットおよびスピンド
ルユニットを備えた切削装置の好適な実施形態につい
て、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００１０】図１には、本発明に従って構成されたスピ
ンドルユニットを備えた切削装置であるダイシング装置
の斜視図が示されている。図１に示された切削装置は、
略直方体状の装置ハウジング１０を具備している。この
装置ハウジング１０内には、図２に示す静止基台２と、
該静止基台２に切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に
移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブ
ル機構３と、静止基台２に割り出し方向である矢印Ｙで
示す方向（切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に垂直
な方向）に移動可能に配設されたスピンドル支持機構４
と、該スピンドル支持機構４に切り込み方向である矢印
Ｚで示す方向に移動可能に配設されたスピンドルユニッ
ト５が配設されている。

【００１１】上記チャックテーブル機構３は、静止基台
２上に配設され複数個の取付けボルト３ａによって固定
された支持台３１と、該支持台３１上に矢印Ｘで示す方
向に沿って平行に配設された２本の案内レール３２、３
２と、該案内レール３２、３２上に矢印Ｘで示す方向に
移動可能に配設されたチャックテーブル３３を具備して
いる。このチャックテーブル３３は、案内レール３２、
３２上に移動可能に配設された吸着チャック支持台３３
１と、該吸着チャック支持台３３１上に装着された吸着
チャック３３２を具備しており、該吸着チャック３３２
上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図
示しない吸引手段によって保持するようになっている。
なお、チャックテーブル機構３は、チャックテーブル３
３を２本の案内レール３２、３２に沿って矢印Ｘで示す
方向に移動させるための駆動手段３４を具備している。
駆動手段３４は、上記２本の案内レール３２と３２の間
に平行に配設された雄ネジロッド３４１と、該雄ネジロ
ッド３４１を回転駆動するためのパルスモータ３４２等
の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３４１は、その一
端が上記支持台３１に固定された軸受ブロック３４３に
回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモー
タ３４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連
結されている。なお、雄ネジロッド３４１は、チャック
テーブル３３を構成する吸着チャック支持台３３１の中
央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロッ
クに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従っ
て、パルスモータ３４２によって雄ネジロッド３４１を
正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル
３３は案内レール３２、３２に沿って矢印Ｘで示す方向
に移動せしめられる。

【００１２】上記スピンドル支持機構４は、静止基台２
上に配設され複数個の取付けボルト４ａによって固定さ
れた支持台４１と、該支持台４１上に矢印Ｙで示す方向
に沿って平行に配設された２本の案内レール４２、４２
と、該案内レール４２、４２上に矢印Ｙで示す方向に移
動可能に配設された可動支持基台４３を具備している。
この可動支持基台４３は、案内レール４２、４２上に移
動可能に配設された移動支持部４３１と、該移動支持部
４３１に取り付けられたスピンドル装着部４３２とから
なっている。スピンドル装着部４３２には取付けブラケ
ット４３３が固定されており、この取付けブラケット４
３３を複数個の取付けボルト４０ａによって移動支持部
４３１に締結することにより、スピンドル装着部４３２
は移動支持部４３１に取り付けられる。また、スピンド
ル装着部４３２は、上記取付けブラケット４３３を装着
した面と反対側の面に矢印Ｚで示す方向に延びる２本の
案内レール４３２ａ、４３２ａが平行に設けられてい
る。なお、スピンドル支持機構４は、可動支持基台４３
を２本の案内レール４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方
向に移動させるための駆動手段４４を具備している。駆
動手段４４は、上記２本の案内レール４２、４２の間に
平行に配設された雄ネジロッド４４１と、該雄ねじロッ
ド４４１を回転駆動するためのパルスモータ４４２等の
駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４４１は、その一端
が上記支持台４１に固定された図示しない軸受ブロック
に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモ
ータ４４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動
連結されている。なお、雄ネジロッド４４１は、可動支
持基台４３を構成する移動支持部４３１の中央部下面に
突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成さ
れた貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモ
ータ４４２によって雄ネジロッド４４１を正転および逆
転駆動することにより、可動支持基台４３は案内レール
４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動せしめられ
る。

【００１３】上記スピンドルユニット５は、移動基台５
１と、該移動基台５１に複数個の取付けボルト５ａによ
って固定されたスピンドルホルダ５２と、該スピンドル
ホルダ５２に取り付けられたスピンドルハウジング５３
と、該スピンドルハウジング５３内に回転可能に配設さ
れ前端部に回転工具である切削ブレード６を装着する回
転スピンドル５４を具備している。移動基台５１は、上
記スピンドル支持機構４のスピンドル装着部４３２に設
けられた２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに摺動可
能に嵌合する２本の被案内レール５１ａ、５１ａが設け
られており、この被案内レール５１ａ、５１ａを上記案
内レール４３２ａ、４３２ａに嵌合することにより、矢
印Ｚで示す方向に移動可能に支持される。

【００１４】次に、スピンドルユニット５を構成するス
ピンドルハウジング５３と回転スピンドル５４およびそ
の支持構造について、図３を参照して説明する。スピン
ドルハウジング５３は略円筒状に形成され、軸方向に貫
通する軸穴５３０を備えている。該軸穴５３０内周面
は、中央部５３１と、該中央部５３１の図３において左
側に形成された前側の支持部５３２と、中央部５３１の
図３において右側に形成された後側の支持部５３３とを
備えている。前側の支持部５３２の内径は中央部５３１
の内径より大きく形成されており、従って、中央部５３
１の図３において左端には段部５３１ａが形成されてい
る。また、後側の支持部５３３の内径は中央部５３１の
内径より小さく形成されている。

【００１５】上記スピンドルハウジング５３に形成され
た軸穴５３１を挿通して配設される回転スピンドル５４
は、中央部５４１と、該中央部５４１の図３において左
側に形成された前側の被支持部５４２と、中央部５４１
の図３において右側に形成された後側の支持部５４３と
を備えている。前側の被支持部５４２の外径は中央部５
４１の外径より小さく形成されており、従って、中央部
５４１の図３において左端には段部５４１ａが形成され
ている。また、後側の支持部５４３の外径は中央部５４
１の外径より小さく形成されている。なお、回転スピン
ドル５４の前端部（図３において左側端部）はスピンド
ルハウジング５３の左端より突出して配設され、締付ナ
ット装着部５４４およびその前端に工具装着部５４５を
備えている。また、回転スピンドル５４の後端部（図３
において右側端部）はスピンドルハウジング５３の右端
より突出して配設され、後述する原動機としての永久磁
石式のモータの装着部５４６を備えている。

【００１６】上記回転スピンドル５４の前側の被支持部
５４２には、メカニカルベアリングとしての２個のボー
ルベアリング７１、７１のインナーレースが圧入嵌合さ
れ、図３において右側のボールベアリング７１のインナ
ーレースが中央部５４１との段部５４１ａに当接され
る。そして、締付ナット装着部５４４に締付ナット７２
を螺合し、スペーサ７３を図３において左側のボールベ
アリング７１のインナーレースに当接することにより、
該インナーレースの図３において左方への移動を規制す
る。このようにして回転スピンドル５４の前側の被支持
部５４２に装着された２個のボールベアリング７１、７
１は、そのアウターレースが上記スピンドルハウジング
５３に形成された軸穴５３１の前側の支持部５３２に嵌
合され、図３において右側のボールベアリング７１のア
ウターレースが中央部５３１との段部５３１ａに当接さ
れる。このように前側の被支持部５４２に装着されたボ
ールベアリング７１、７１は、スピンドルハウジング５
３の前端（図３において左端）に装着された第１のカバ
ー部材７４によってそのアウターレースの図３において
左方への移動が規制される。なお、第１のカバー部材７
４には、その前端（図３において左端）に配設されスペ
ーサ７５およびシール部材７６を挟んで第２のカバー部
材７７が締付ボルト７８によって装着されている。

【００１７】上記スピンドルハウジング５３の後側の支
持部５４３には、円筒状のエアーベアリング部材８０が
圧入嵌合されている。エアーベアリング部材８０の外周
面には、軸方向に延びるエアー通路８１は形成されてい
るとともに、該エアー通路８１と連通する複数の環状の
エアー通路８２が形成されている。また、エアーベアリ
ング部材８０には、環状のエアー通路８２と連通し内周
面に達する複数の径方向のエアー通路８３が設けられて
いる。なお、エアーベアリング部材８０の中央部内周面
には、環状のエアー溜８４が設けられている。このよう
に構成された円筒状のエアーベアリング部材８０に上記
回転スピンドル５４の後側の支持部５４３が回転可能に
嵌合される。なお、エアーベアリング部材８０の内周面
と回転スピンドル５４の後側の支持部５４３外周面との
間には、１０〜１２μｍの隙間を備えている。

【００１８】上述したエアーベアリング部材８０が嵌合
されたスピンドルハウジング５３には、エアーベアリン
グ部材８０の外周面に形成されたエアー通路８１と連通
するエアー導入口５３４が設けられている。このエアー
導入口５３４は、図示しない高圧エアー制御回路に接続
されている。従って、エアー導入口５３４に高圧エアー
が導入されると、この高圧エアーはエアーベアリング部
材８０に形成された軸方向に延びるエアー通路８１、環
状のエアー通路８２および径方向のエアー通路８３を通
して、エアーベアリング部材８０の内周面と回転スピン
ドル５４の後側の支持部５４３の外周面との間に供給さ
れる。この結果、回転スピンドル５４の後側の支持部５
４３は、エアーベアリング部材８０の内周面との間に供
給された高圧エアーによって支持される。このように、
図示の実施形態におけるスピンドルユニット５は、回転
スピンドル５４がスピンドルハウジング５３の前端部に
おいて支持剛性の高い２個のボールベアリング７１、７
１によって支持されているので、後述する切削ブレード
６を装着する回転スピンドル５４の前端側の支持剛性を
高くすることができ、切削荷重を高くすることが可能と
なる。従って、回転スピンドルに複数枚の切削ブレード
を装着したマルチブレードによって切削する場合に効果
的である。一方、回転スピンドル５４は、スピンドルハ
ウジング５３の後端部においてエアーベアリング部材８
０の内周面との間に供給された高圧エアーによって支持
されているので、切削加工中に回転スピンドル５４が熱
膨張しも軸方向に後方に逃がすことができる。

【００１９】図示の実施形態においては、上記スピンド
ルハウジング５３には、上記エアー導入口５３４に導入
されエアーベアリング部材８０との間で回転スピンドル
５４を支持した使用済みのエアーを上記スピンドルハウ
ジング５３の前端に装着されたシール部材７５と第２の
カバー部材７７との間に導くためのエアー通路５３６、
５３７が設けられている。従って、上述したように回転
スピンドル５４の後側の支持部５４３とエアーベアリン
グ部材８０の内周面との間に供給され回転スピンドル５
４の後側の支持部５４３を支持し軸方向に排出されたエ
アーは、エアー通路５３６、５３７、第１のカバー部材
７４と締付ナット７２との間、スペーサ７５と回転スピ
ンドル５４との間、第１のカバー部材７４とシール部材
７６との間を通して、エアシール部材７６と第２のカバ
ー部材７７との間から排出される。従って、スピンドル
ハウジング５３の前端即ち第２のカバー部材７７と回転
スピンドル５４との間からボールベアリング７１側への
切削水等の侵入が防止される。

【００２０】図示の実施形態におけるスピンドルユニッ
ト５は、回転スピンドル５４の後端部（図３において左
端部）に装着された原動機としての永久磁石式モータ９
を具備している。この永久磁石式モータ９は、回転スピ
ンドル５４の後端部に形成されたモータ装着部５４６に
装着された永久磁石からなるロータ９１と、該ロータ９
１の外周側に配設されたステータ９２とからなってい
る。なお、永久磁石式モータ９は周知の構成でよい。こ
のような永久磁石式モータ９はステータ９２のステータ
コイルに電圧を印加することによりロータ９１が回転
し、該ロータ９１を装着した回転スピンドル５４を回転
せしめる。

【００２１】次に、回転スピンドル５４の前端に設けら
れた工具装着部５４５に装着される切削ブレード６の取
付け構造について、図４および図５を参照して説明す
る。図４には回転スピンドル５４の工具装着部５４５に
切削工具６が装着された斜視図が示されており、図５に
は回転スピンドル５４の工具装着部５４５、固定フラン
ジ６１、切削ブレード６、挟持フランジ６２、締め付け
ナット６３が分解して示されている。回転スピンドル５
４の工具装着部５４５に切削ブレード６を装着するに
は、先ず、テーパー状に形成された工具装着部５４５に
固定フランジ６１を嵌合し、締め付けナット６３を工具
装着部５４５の前端部に形成されたねじ部５４５ａに螺
合することによって、固定フランジ６１を工具装着部５
４５に取り付ける。次に、固定フランジ６１の工具嵌合
部６１１に切削ブレード６のハブ６ａを嵌合した後、挟
持フランジ６２を工具嵌合部６１１の前端部に形成され
たねじ部６１１ａに螺合することによって、固定フラン
ジ６１のフランジ６１２と挟持フランジ６２との間に切
削ブレード６のハブ６ａを挟持固定する。このようにし
て工具装着部５４５に装着された切削ブレード６は、回
転スピンドル５４とともに回転せしめられる。

【００２２】図１に戻って説明を続けると、図示の切削
装置は、半導体ウエーハ、セラミックス、サファイヤ等
の硬質材料からなる被加工物１１をストックするカセッ
ト１２と、被加工物搬出手段１３と、被加工物搬送手段
１４と、洗浄手段１５と、洗浄搬送手段１６、および顕
微鏡やＣＣＤカメラ等で構成されるアライメント手段１
７を具備している。なお、被加工物１１は、フレーム１
１１にテープ１１２によって装着されており、フレーム
１１１に装着された状態で上記カセット１２に収容され
る。なお、カセット１２は、図示しない昇降手段によっ
て上下に移動可能に配設されたカセットテーブル１２１
上に載置される。

【００２３】次に、上述した切削装置の切削加工処理動
作について説明する。カセット１２の所定位置に収容さ
れた被加工物１１（以下、フレーム１１１に装着された
状態の被加工物１１を単に被加工物１１という）は、図
示しない昇降手段によってカセットテーブル１２１が上
下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、
被加工物搬出手段１３が進退作動して搬出位置に位置付
けられた半導体ウエーハ１１を被加工物載置領域１８に
搬出する。被加工物載置領域１８に搬出された半導体ウ
エーハ１１は、被加工物搬送手段１４の旋回動作によっ
て上記チャックテーブル機構３を構成するチャックテー
ブル３３の吸着チャック３３２上に搬送され、該吸着チ
ャック３３２に吸引保持される。このようにして被加工
物を吸引保持したチャックテーブル３３は、案内レール
３２、３２に沿ってアライメント手段１７の直下まで移
動せしめられる。チャックテーブル３３がアライメント
手段１７の直下に位置付けられると、アライメント手段
１７によって被加工物１１に形成されている切断ライン
が検出され、精密位置合わせ作業が行われる。

【００２４】その後、上記スピンドルユニット５の回転
スピンドル５４に装着された永久磁石式モータ９を駆動
して回転スピンドル５４に装着された切削ブレード６を
回転しつつ、被加工物１１を吸引保持したチャックテー
ブル３３を切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動
することにより、チャックテーブル３３に保持された被
加工物１１は切削ブレード６により所定の切断ラインに
沿って切断される。なお、切削ブレード６による被加工
物１１の切削においては、切削部に切削水が供給され
る。従って、この切削時には切削粉と切削水が混合され
たコンタミが飛散するが、図示の実施形態においてはス
ピンドルハウジング５３の前端即ち第２のカバー部材７
８と回転スピンドル５４との間からはエアーベアリング
用の高圧エアーが排出されているので、スピンドルハウ
ジング５３内にコンタミが侵入することはない。

【００２５】上記のようにして被加工物１１の切断が終
了した後、被加工物１１を保持したチャックテーブル３
３は、最初に被加工物１１を吸引保持した位置に戻さ
れ、ここで被加工物１１の吸引保持を解除する。次に、
被加工物１１は、洗浄搬送手段１６によって洗浄手段１
５に搬送され、ここで洗浄される。このようにして洗浄
された被加工物１１は、被加工物搬送手段１４によって
被加工物載置領域１８に搬出される。そして、被加工物
１１は、被加工物搬出手段１３によってカセット１２の
所定位置に収納される。

【００２６】

【発明の効果】本発明による回転工具を装着するスピン
ドルユニットおよびスピンドルユニットを備えた切削装
置は以上のように構成されているので、次の作用効果を
奏する。

【００２７】即ち、本発明によれば、先端部に回転工具
を装着する回転スピンドルは、スピンドルハウジングの
前端部において支持剛性の高いメカニカルベアリングに
よって支持されているので、回転工具を装着する回転ス
ピンドルの前端側の支持剛性を高くすることができ、切
削荷重を高くすることが可能となる。従って、回転工具
に高い切削荷重が作用しても回転スピンドルにかじり現
象が生ずることはない。また、回転スピンドルは、スピ
ンドルハウジングの後端部において該スピンドルハウジ
ングとの間に配設されたエアーベアリング部材との間に
供給される高圧エアーによって支持されているので、切
削加工中に回転スピンドルが熱膨張しも軸方向に後方に
逃がすことができる。更に、上記スピンドルユニットを
備えた切削装置においては、回転スピンドルの先端部に
装着される切削ブレードに高い切削荷重が作用しても、
この荷重の殆どが支持剛性の高い前側のメカニカルベア
リングによって支持され、後側のエアーベアリングによ
る荷重負担が少ないので、回転スピンドルが高精度に支
持され高精度な切削加工が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成された回転工具を装着する
スピンドルユニットを装備した切削装置の斜視図。

【図２】図１に示す切削装置の要部斜視図。

【図３】本発明に従って構成された回転工具を装着する
スピンドルユニットの縦断面図。

【図４】図３に示すスピンドルユニットを構成する回転
スピンドルに切削ブレードを装着した状態を示す斜視
図。

【図５】図３に示すスピンドルユニットを構成する回転
スピンドルに切削ブレードを装着するための部材を分解
して示す斜視図。

【符号の説明】

２：静止基台 ３：チャックテーブル機構 ３１：チャックテーブル機構の支持台 ３２：チャックテーブル機構の案内レール ３３：チャックテーブル機構のチャックテーブル ３４：チャックテーブル機構の駆動手段 ４：スピンドル支持機構 ４１：チャックテーブル機構の支持台 ４２：チャックテーブル機構の案内レール ４３：チャックテーブル機構の可動支持基台 ４３１：可動支持基台の移動支持部 ４３２：可動支持基台のスピンドル装着部 ４４：チャックテーブル機構の駆動手段 ５：スピンドルユニット ５１：移動基台 ５２：スピンドルホルダ ５３：スピンドルハウジング ５４：回転スピンドル ７１：ボールベアリング ７４：第１のカバー部材 ７６：シール部材 ７７：第２のカバー部材 ８０：エアーベアリング部材 ９：永久磁石式モータ ９１：ロータ ９２：ステータ ６：切削ブレード １０：装置ハウジング １１：被加工物 １２：カセット １３：被加工物搬出手段 １４：被加工物搬送手段 １５：洗浄手段 １６：洗浄搬送手段 １７：アライメント手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｃ 32/06 Ｂ２３Ｑ 1/26 Ｅ Ｈ０１Ｌ 21/301 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｆ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スピンドルハウジングと、該スピンドル
   ハウジング内を挿通して配設され前端部に回転工具を装
   着するための工具装着部を備えた回転スピンドルと、を
   具備するスピンドルユニットにおいて、 該回転スピンドルは、該スピンドルハウジングの前端部
   においてメカニカルベアリングによって支持され、該ス
   ピンドルハウジングの後端部において該スピンドルハウ
   ジングとの間に配設されたエアーベアリング部材との間
   に供給される高圧エアーによって支持される、 ことを特徴とする回転工具を装着するスピンドルユニッ
   ト。
2. 【請求項２】該スピンドルハウジングには該高圧エアー
   を前端に導くエアー流通路が形成されており、該前端か
   ら該高圧エアーを排出せしめてエアーシールを形成す
   る、請求項１記載の回転工具を装着するスピンドルユニ
   ット。
3. 【請求項３】該回転スピンドルの後端部には、該回転ス
   ピンドルを回転駆動するための原動機が装着されてい
   る、請求項１又は２記載の回転工具を装着するスピンド
   ルユニット。
4. 【請求項４】 被加工物を保持するチャックテーブル
   と、該被加工物を切削する切削ブレードを装着したスピ
   ンドルユニットと、を具備する切削装置において、 該スピンドルユニットは、スピンドルハウジングと、該
   スピンドルハウジング内を挿通して配設され前端部に該
   切削ブレードを装着するための工具装着部を備えた回転
   スピンドルとからなっており、 該回転スピンドルは、該スピンドルハウジングの前端部
   においてメカニカルベアリングによって支持され、該ス
   ピンドルハウジングの後端部において該スピンドルハウ
   ジングとの間に配設されたエアーベアリング部材との間
   に供給される高圧エアーによって支持される、 ことを特徴とする切削装置。