JP6935128B2 - ブレードケースホルダー - Google Patents

Description

本発明は、回転軸への切削ブレードの装着や、回転軸からの切削ブレードの取り外しに用いられるブレード着脱治具、及び切削ブレード用のブレードケースを保持するブレードケースホルダーに関する。

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の分割予定ライン（ストリート）で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。

ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する際には、例えば、回転軸（スピンドル）に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。切削ブレードを高速に回転させた上で被加工物の分割予定ラインに沿って深く切り込ませることで、この被加工物を切断して複数のデバイスチップへと分割できる。

切削ブレードの一態様として、アルミニウム等でなる環状の基台の外周部に、砥粒を含む切刃が固定されたハブタイプが知られている。このハブタイプの切削ブレードの切刃はめっき等の方法で薄く形成されることが多い。そこで、搬送等の際には、切削ブレードをブレードケースに収容して切刃の破損を防いでいる（例えば、特許文献１参照）。

特開平８−３２３５４５号公報

上述した切削ブレードは、通常、オペレータによってブレードケースから取り出された後に切削装置の回転軸へと装着される。ところが、この装着の際に、誤ってオペレータの手等が触れて切削ブレードの切刃を破損させてしまうことがある。回転軸から切削ブレードを取り外す際も同様である。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、オペレータが直に触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことのできるブレード着脱治具、及びブレードケースホルダーを提供することである。

本発明の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み該表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するためのブレードケースを保持し、該切削ブレードを該回転軸に装着する際、又は該回転軸から取り外す際に用いられるブレードケースホルダーであって、該ブレードケースを保持する保持部と、該保持部から延びる背板部と、を備え、該被把持部を把持するために先端部が開かれたＵ字状の把持溝を該背板部の先端側に有するブレードケースホルダーが提供される。

本発明の一態様に係るブレード着脱治具は、先端部が開かれたＵ字状の把持溝を一端側に有する板状の把持部材を備えている。よって、例えば、切削ブレードの被把持部を先端部から把持溝に挿入することで、切削ブレードをブレード着脱治具によって把持できる。そして、このブレード着脱治具を介して切削ブレードを取り扱うことで、オペレータが直に切削ブレードに触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。

同様に、本発明の別の一態様に係るブレードケースホルダーは、先端部が開かれたＵ字状の把持溝を先端側に有する背板部を備えている。よって、例えば、切削ブレードの被把持部を先端部から把持溝に挿入することで、切削ブレードをブレードケースホルダーによって把持できる。そして、このブレードケースホルダーを介して切削ブレードを取り扱うことで、オペレータが直に切削ブレードに触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。

ブレード着脱治具の構成例を模式的に示す斜視図である。 図２（Ａ）は、切削ブレードがブレード着脱治具によって把持された状態を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレードがブレード着脱治具によって把持された状態を模式的に示す断面図である。 切削ブレードを収容するためのブレードケースの構成例を模式的に示す斜視図である。 閉じた状態のブレードケースの構成例を模式的に示す平面図である。 ブレードケースを保持するためのブレードケースホルダーの構成例を模式的に示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るブレード着脱治具１の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、ブレード着脱治具１は、例えば、樹脂や金属等の材料でなる板状の把持部材３によって構成されている。

把持部材３は、平面視で概ね矩形状に形成されており、その一側部（一端）側には、切削ブレード１１（図２（Ａ）等参照）に対応する形状の把持溝３ａが設けられている。把持溝３ａは、平面視で概ね半円形状（Ｕ字状）に形成されており、その先端部（外側の部分）が開いている。

図２（Ａ）は、切削ブレード１１がブレード着脱治具１によって把持された状態を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレード１１がブレード着脱治具１によって把持された状態を模式的に示す断面図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、切削ブレード１１は、例えば、環状の基台１３と、基台１３の外周部に固定された環状の切刃１５とで構成されており、ハブタイプ（ハブブレード）等と呼ばれる。

基台１３は、例えば、アルミニウム等の金属を用いて形成され、その中央には、基台１３を表面（図２（Ａ）で上の面）側から裏面側に貫通する孔（挿入孔）１３ａが設けられている。孔１３ａには、切削ブレード１１を回転させるための回転軸（スピンドル）が挿入される。

また、基台１３の表面側には、回転軸に対して切削ブレード１１を取り付ける際や、回転軸から切削ブレード１１を取り外す際に把持される被把持部１３ｂが設けられている。被把持部１３ｂは、例えば、挿入孔１３ａを囲む環状に形成され、基台１３の表面側に突出している。

切刃１５は、ダイヤモンド等の砥粒を金属（代表的には、ニッケル）等の結合材で固めて形成され、基台１３の外周部から径方向外側に突出している。この切刃１５は、例えば、めっき等の方法で１０μｍ〜３０μｍ程度の厚みに形成される。ただし、基台１３や切刃１５の材質、大きさ（厚さ）、製法等に特段の制限はない。

ブレード着脱治具１で切削ブレード１１を把持する際には、例えば、切削ブレード１１の被把持部１３ｂが先端部から把持溝３ａに挿入されるように、ブレード着脱治具１と切削ブレード１１とを相対的に移動させる。切削ブレード１１の被把持部１３ｂが挿入されていない状態で、把持溝３ａの先端部の幅ｄ１（図１）は、被把持部１３ｂの直径Ｄよりも僅かに小さくなっている。

よって、切削ブレード１１の被把持部１３ｂが把持溝３ａに挿入されると、被把持部１３ｂは、把持溝３ａの先端部の幅を広げる方向に僅かに撓む。この撓みに起因して発生する弾性力により、切削ブレード１１は、ブレード着脱治具１に把持される。ブレード着脱治具１で切削ブレード１１を把持した後には、このブレード着脱治具１を介して切削ブレード１１を取り扱えば良い。

具体的には、例えば、オペレータは、ブレード着脱治具１を手で持って切削ブレード１１を回転軸に装着する。また、オペレータは、ブレード着脱治具１を手で持って切削ブレード１１を回転軸から取り外す。このように、本実施形態に係るブレード着脱治具１によれば、オペレータが直に切削ブレード１１に触れることなく切削ブレード１１を回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。

なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、切削ブレード１１を回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すために使用されるブレード着脱治具１を示しているが、このブレード着脱治具１と同様の構造を他の物品に適用しても良い。

図３は、切削ブレード１１を収容するためのブレードケース２の構成例を模式的に示す斜視図であり、図４は、閉じた状態のブレードケース２の構成例を模式的に示す平面図であり、図５は、ブレードケース２を保持するためのブレードケースホルダー２１の構成例を模式的に示す斜視図である。図３及び図４に示すように、ブレードケース２は、上述した切削ブレード１１を収容できるように構成され、収容部４と蓋部６とを含んでいる。

収容部４及び蓋部６は、例えば、ポリプロピレン等の樹脂で一体に形成され、ヒンジ部８によって互いに連結されている。収容部４は、底板１０と、底板１０の第１面（一方の面）１０ａ側の外周部に設けられた側壁１２とを有している。側壁１２より内側が、切削ブレード１１を収容する第１収容領域１２ａとなる。

底板１０の中央には、第１面１０ａから突出する円筒状の第１凸部１４が設けられている。第１凸部１４の外周１４ａの径は、切削ブレード１１の基台１３に設けられた孔１３ａの径と概ね等しくなっている。また、底板１０の第１凸部１４を囲む位置には、第１面１０ａから突出する円環状の第２凸部１６が設けられている。第２凸部１６の外周１６ａの径は、切刃１５の内周の径よりも小さくなっている。

第１凸部１４を基台１３の孔１３ａに挿入するとともに、第２凸部１６に基台１３の裏面側を接触させれば、径方向への移動を規制しながら収容部４側で切削ブレード１１を保持できる。ヒンジ部８の反対側に位置する側壁１２の外側には、外向きの第１爪部１８が形成されている。

蓋部６は、天板２０と、天板２０の第１面（一方の面）２０ａ側の外周部に設けられた側壁２２とを有している。側壁２２より内側が、第２収容領域２２ａとなる。なお、側壁２２の高さは、収容部４の側壁１２の高さよりも低くなっている。また、ヒンジ部８の反対側に位置する側壁２２の内側には、内向きの第２爪部２４が形成されている。

このように構成されたブレードケース２では、ヒンジ部８を支点に蓋部６を回転させて閉じることで、切削ブレード１１を収容する第１収容領域１２ａを閉塞させることができる。この状態で、第１爪部１８と第２爪部２４とを係合させれば、蓋部６を閉じた閉状態が維持される。一方で、蓋部６を開いた開状態では、第１収容領域１２ａも開放される。

上述したブレードケース２は、例えば、図５に示すブレードケースホルダー２１によって保持される。ブレードケースホルダー２１は、ブレードケース２が挿入される開口を備えた保持部２１ｂを有している。保持部２１ｂの下方には、保持部２１ｂに挿入されたブレードケース２の第２爪部２４側を下方から支持する支持部２１ｃが設けられている。支持部２１ｃには、第２爪部２４に対応する切り欠き部２１ｄが形成されている。

また、保持部２１ｂの上方には、ブレードケース２の底板１０側（又は天板２０側）を支持する背板部２１ａが設けられている。この背板部２１ａは、保持部２１ｂから上方に延びている。また、背板部２１ａの先端側（上端側）には、把持溝２１ｅが設けられている。把持溝２１ｅは、平面視で概ね半円形状（Ｕ字状）に形成されており、その先端部（上端部）が開いている。

ブレードケースホルダー２１の把持溝２１ｅは、上記実施形態のブレード着脱治具１の把持溝３ａと同様の形状、機能を有している。具体的には、切削ブレード１１の被把持部１３ｂが挿入されていない状態で、把持溝２１ｅの先端部の幅ｄ２は、被把持部１３ｂの直径Ｄよりも僅かに小さくなっている。

よって、切削ブレード１１の被把持部１３ｂを先端部から把持溝２１ｅに挿入させることで、切削ブレード１１をブレードケースホルダー２１によって把持できる。ブレードケースホルダー２１で切削ブレード１１を把持した後には、このブレードケースホルダー２１を介して切削ブレード１１を取り扱えば良い。

具体的には、例えば、オペレータは、ブレードケースホルダー２１を手で持って切削ブレード１１を回転軸に装着する。また、オペレータは、ブレードケースホルダー２１を手で持って切削ブレード１１を回転軸から取り外す。このように、本実施形態に係るブレードケースホルダー２１によれば、オペレータが直に切削ブレード１１に触れることなく切削ブレード１１を回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。

なお、このブレードケースホルダー２１は、例えば、切削装置の外壁等に装着できるように構成されている。そのため、例えば、切削ブレード１１の使用中に、切削装置の外壁等にブレードケースホルダー２１を装着することで、空のブレードケース２を適切に保管できる。

その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更できる。

１ ブレード着脱治具
３ 把持部材
３ａ 把持溝
２１ ブレードケースホルダー
２１ａ 背板部
２１ｂ 保持部
２１ｃ 支持部
２１ｄ 切り欠き部
２１ｅ 把持溝
１１ 切削ブレード
１３ 基台
１３ａ 孔（挿入孔）
１３ｂ 被把持部
１５ 切刃
２ ブレードケース
４ 収容部
６ 蓋部
８ ヒンジ部
１０ 底板
１０ａ 第１面
１２ 側壁
１２ａ 第１収容領域
１４ 第１凸部
１４ａ 外周
１６ 第２凸部
１６ａ 外周
１８ 第１爪部
２０ 天板
２０ａ 第１面
２２ 側壁
２２ａ 第２収容領域
２４ 第２爪部

Claims (1)

1. 表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み該表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するためのブレードケースを保持し、該切削ブレードを該回転軸に装着する際、又は該回転軸から取り外す際に用いられるブレードケースホルダーであって、
   該ブレードケースを保持する保持部と、
   該保持部から延びる背板部と、を備え、
   該被把持部を把持するために先端部が開かれたＵ字状の把持溝を該背板部の先端側に有することを特徴とするブレードケースホルダー。

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