JP2019005873A - ブレード着脱治具及びブレードケースホルダー - Google Patents

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【課題】オペレータが直に触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことのできるブレード着脱治具を提供する。【解決手段】表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、基台の外周部から基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを回転軸に装着する際、又は回転軸から取り外す際に用いられるブレード着脱治具であって、板状の把持部材を備え、被把持部を把持するために先端部が開かれたU字状の把持溝を把持部材の一端側に有している。【選択図】図1

Description

本発明は、回転軸への切削ブレードの装着や、回転軸からの切削ブレードの取り外しに用いられるブレード着脱治具、及び切削ブレード用のブレードケースを保持するブレードケースホルダーに関する。
携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の分割予定ライン(ストリート)で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。
ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する際には、例えば、回転軸(スピンドル)に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。切削ブレードを高速に回転させた上で被加工物の分割予定ラインに沿って深く切り込ませることで、この被加工物を切断して複数のデバイスチップへと分割できる。
切削ブレードの一態様として、アルミニウム等でなる環状の基台の外周部に、砥粒を含む切刃が固定されたハブタイプが知られている。このハブタイプの切削ブレードの切刃はめっき等の方法で薄く形成されることが多い。そこで、搬送等の際には、切削ブレードをブレードケースに収容して切刃の破損を防いでいる(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−323545号公報
上述した切削ブレードは、通常、オペレータによってブレードケースから取り出された後に切削装置の回転軸へと装着される。ところが、この装着の際に、誤ってオペレータの手等が触れて切削ブレードの切刃を破損させてしまうことがある。回転軸から切削ブレードを取り外す際も同様である。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、オペレータが直に触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことのできるブレード着脱治具、及びブレードケースホルダーを提供することである。
本発明の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み該表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを該回転軸に装着する際、又は該回転軸から取り外す際に用いられるブレード着脱治具であって、板状の把持部材を備え、該被把持部を把持するために先端部が開かれたU字状の把持溝を該把持部材の一端側に有するブレード着脱治具が提供される。
本発明の一態様において、該被把持部は、所定の直径を有する環状に形成されており、該U字状の把持溝の該先端部の幅は、該被把持部の該直径よりも小さいことが好ましい。
本発明の別の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み該表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するためのブレードケースを保持し、該切削ブレードを該回転軸に装着する際、又は該回転軸から取り外す際に用いられるブレードケースホルダーであって、該ブレードケースを保持する保持部と、該保持部から延びる背板部と、を備え、該被把持部を把持するために先端部が開かれたU字状の把持溝を該背板部の先端側に有するブレードケースホルダーが提供される。
本発明の別の一態様において、該被把持部は、所定の直径を有する環状に形成されており、該U字状の把持溝の該先端部の幅は、該被把持部の直径よりも小さいことをが好ましい。
本発明の一態様に係るブレード着脱治具は、先端部が開かれたU字状の把持溝を一端側に有する板状の把持部材を備えている。よって、例えば、切削ブレードの被把持部を先端部から把持溝に挿入することで、切削ブレードをブレード着脱治具によって把持できる。そして、このブレード着脱治具を介して切削ブレードを取り扱うことで、オペレータが直に切削ブレードに触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。
同様に、本発明の別の一態様に係るブレードケースホルダーは、先端部が開かれたU字状の把持溝を先端側に有する背板部を備えている。よって、例えば、切削ブレードの被把持部を先端部から把持溝に挿入することで、切削ブレードをブレードケースホルダーによって把持できる。そして、このブレードケースホルダーを介して切削ブレードを取り扱うことで、オペレータが直に切削ブレードに触れることなく切削ブレードを回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。
ブレード着脱治具の構成例を模式的に示す斜視図である。 図2(A)は、切削ブレードがブレード着脱治具によって把持された状態を模式的に示す斜視図であり、図2(B)は、切削ブレードがブレード着脱治具によって把持された状態を模式的に示す断面図である。 切削ブレードを収容するためのブレードケースの構成例を模式的に示す斜視図である。 閉じた状態のブレードケースの構成例を模式的に示す平面図である。 ブレードケースを保持するためのブレードケースホルダーの構成例を模式的に示す斜視図である。
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るブレード着脱治具1の構成例を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、ブレード着脱治具1は、例えば、樹脂や金属等の材料でなる板状の把持部材3によって構成されている。
把持部材3は、平面視で概ね矩形状に形成されており、その一側部(一端)側には、切削ブレード11(図2(A)等参照)に対応する形状の把持溝3aが設けられている。把持溝3aは、平面視で概ね半円形状(U字状)に形成されており、その先端部(外側の部分)が開いている。
図2(A)は、切削ブレード11がブレード着脱治具1によって把持された状態を模式的に示す斜視図であり、図2(B)は、切削ブレード11がブレード着脱治具1によって把持された状態を模式的に示す断面図である。図2(A)及び図2(B)に示すように、切削ブレード11は、例えば、環状の基台13と、基台13の外周部に固定された環状の切刃15とで構成されており、ハブタイプ(ハブブレード)等と呼ばれる。
基台13は、例えば、アルミニウム等の金属を用いて形成され、その中央には、基台13を表面(図2(A)で上の面)側から裏面側に貫通する孔(挿入孔)13aが設けられている。孔13aには、切削ブレード11を回転させるための回転軸(スピンドル)が挿入される。
また、基台13の表面側には、回転軸に対して切削ブレード11を取り付ける際や、回転軸から切削ブレード11を取り外す際に把持される被把持部13bが設けられている。被把持部13bは、例えば、挿入孔13aを囲む環状に形成され、基台13の表面側に突出している。
切刃15は、ダイヤモンド等の砥粒を金属(代表的には、ニッケル)等の結合材で固めて形成され、基台13の外周部から径方向外側に突出している。この切刃15は、例えば、めっき等の方法で10μm〜30μm程度の厚みに形成される。ただし、基台13や切刃15の材質、大きさ(厚さ)、製法等に特段の制限はない。
ブレード着脱治具1で切削ブレード11を把持する際には、例えば、切削ブレード11の被把持部13bが先端部から把持溝3aに挿入されるように、ブレード着脱治具1と切削ブレード11とを相対的に移動させる。切削ブレード11の被把持部13bが挿入されていない状態で、把持溝3aの先端部の幅d1(図1)は、被把持部13bの直径Dよりも僅かに小さくなっている。
よって、切削ブレード11の被把持部13bが把持溝3aに挿入されると、被把持部13bは、把持溝3aの先端部の幅を広げる方向に僅かに撓む。この撓みに起因して発生する弾性力により、切削ブレード11は、ブレード着脱治具1に把持される。ブレード着脱治具1で切削ブレード11を把持した後には、このブレード着脱治具1を介して切削ブレード11を取り扱えば良い。
具体的には、例えば、オペレータは、ブレード着脱治具1を手で持って切削ブレード11を回転軸に装着する。また、オペレータは、ブレード着脱治具1を手で持って切削ブレード11を回転軸から取り外す。このように、本実施形態に係るブレード着脱治具1によれば、オペレータが直に切削ブレード11に触れることなく切削ブレード11を回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、切削ブレード11を回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すために使用されるブレード着脱治具1を示しているが、このブレード着脱治具1と同様の構造を他の物品に適用しても良い。
図3は、切削ブレード11を収容するためのブレードケース2の構成例を模式的に示す斜視図であり、図4は、閉じた状態のブレードケース2の構成例を模式的に示す平面図であり、図5は、ブレードケース2を保持するためのブレードケースホルダー21の構成例を模式的に示す斜視図である。図3及び図4に示すように、ブレードケース2は、上述した切削ブレード11を収容できるように構成され、収容部4と蓋部6とを含んでいる。
収容部4及び蓋部6は、例えば、ポリプロピレン等の樹脂で一体に形成され、ヒンジ部8によって互いに連結されている。収容部4は、底板10と、底板10の第1面(一方の面)10a側の外周部に設けられた側壁12とを有している。側壁12より内側が、切削ブレード11を収容する第1収容領域12aとなる。
底板10の中央には、第1面10aから突出する円筒状の第1凸部14が設けられている。第1凸部14の外周14aの径は、切削ブレード11の基台13に設けられた孔13aの径と概ね等しくなっている。また、底板10の第1凸部14を囲む位置には、第1面10aから突出する円環状の第2凸部16が設けられている。第2凸部16の外周16aの径は、切刃15の内周の径よりも小さくなっている。
第1凸部14を基台13の孔13aに挿入するとともに、第2凸部16に基台13の裏面側を接触させれば、径方向への移動を規制しながら収容部4側で切削ブレード11を保持できる。ヒンジ部8の反対側に位置する側壁12の外側には、外向きの第1爪部18が形成されている。
蓋部6は、天板20と、天板20の第1面(一方の面)20a側の外周部に設けられた側壁22とを有している。側壁22より内側が、第2収容領域22aとなる。なお、側壁22の高さは、収容部4の側壁12の高さよりも低くなっている。また、ヒンジ部8の反対側に位置する側壁22の内側には、内向きの第2爪部24が形成されている。
このように構成されたブレードケース2では、ヒンジ部8を支点に蓋部6を回転させて閉じることで、切削ブレード11を収容する第1収容領域12aを閉塞させることができる。この状態で、第1爪部18と第2爪部24とを係合させれば、蓋部6を閉じた閉状態が維持される。一方で、蓋部6を開いた開状態では、第1収容領域12aも開放される。
上述したブレードケース2は、例えば、図5に示すブレードケースホルダー21によって保持される。ブレードケースホルダー21は、ブレードケース2が挿入される開口を備えた保持部21bを有している。保持部21bの下方には、保持部21bに挿入されたブレードケース2の第2爪部24側を下方から支持する支持部21cが設けられている。支持部21cには、第2爪部24に対応する切り欠き部21dが形成されている。
また、保持部21bの上方には、ブレードケース2の底板10側(又は天板20側)を支持する背板部21aが設けられている。この背板部21aは、保持部21bから上方に延びている。また、背板部21aの先端側(上端側)には、把持溝21eが設けられている。把持溝21eは、平面視で概ね半円形状(U字状)に形成されており、その先端部(上端部)が開いている。
ブレードケースホルダー21の把持溝21eは、上記実施形態のブレード着脱治具1の把持溝3aと同様の形状、機能を有している。具体的には、切削ブレード11の被把持部13bが挿入されていない状態で、把持溝21eの先端部の幅d2は、被把持部13bの直径Dよりも僅かに小さくなっている。
よって、切削ブレード11の被把持部13bを先端部から把持溝21eに挿入させることで、切削ブレード11をブレードケースホルダー21によって把持できる。ブレードケースホルダー21で切削ブレード11を把持した後には、このブレードケースホルダー21を介して切削ブレード11を取り扱えば良い。
具体的には、例えば、オペレータは、ブレードケースホルダー21を手で持って切削ブレード11を回転軸に装着する。また、オペレータは、ブレードケースホルダー21を手で持って切削ブレード11を回転軸から取り外す。このように、本実施形態に係るブレードケースホルダー21によれば、オペレータが直に切削ブレード11に触れることなく切削ブレード11を回転軸に装着し、又は回転軸から取り外すことができる。
なお、このブレードケースホルダー21は、例えば、切削装置の外壁等に装着できるように構成されている。そのため、例えば、切削ブレード11の使用中に、切削装置の外壁等にブレードケースホルダー21を装着することで、空のブレードケース2を適切に保管できる。
その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更できる。
1 ブレード着脱治具
3 把持部材
3a 把持溝
21 ブレードケースホルダー
21a 背板部
21b 保持部
21c 支持部
21d 切り欠き部
21e 把持溝
11 切削ブレード
13 基台
13a 孔(挿入孔)
13b 被把持部
15 切刃
2 ブレードケース
4 収容部
6 蓋部
8 ヒンジ部
10 底板
10a 第1面
12 側壁
12a 第1収容領域
14 第1凸部
14a 外周
16 第2凸部
16a 外周
18 第1爪部
20 天板
20a 第1面
22 側壁
22a 第2収容領域
24 第2爪部

Claims (4)

  1. 表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み該表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを該回転軸に装着する際、又は該回転軸から取り外す際に用いられるブレード着脱治具であって、
    板状の把持部材を備え、
    該被把持部を把持するために先端部が開かれたU字状の把持溝を該把持部材の一端側に有することを特徴とするブレード着脱治具。
  2. 該被把持部は、所定の直径を有する環状に形成されており、
    該U字状の把持溝の該先端部の幅は、該被把持部の該直径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のブレード着脱治具。
  3. 表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み該表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するためのブレードケースを保持し、該切削ブレードを該回転軸に装着する際、又は該回転軸から取り外す際に用いられるブレードケースホルダーであって、
    該ブレードケースを保持する保持部と、
    該保持部から延びる背板部と、を備え、
    該被把持部を把持するために先端部が開かれたU字状の把持溝を該背板部の先端側に有することを特徴とするブレードケースホルダー。
  4. 該被把持部は、所定の直径を有する環状に形成されており、
    該U字状の把持溝の該先端部の幅は、該被把持部の直径よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載のブレードケースホルダー。
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