JPH04144150A - カセットハンドリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置等の製造用の基板を収納するカセ
ットを保持するカセットハンドリング装置に関するもの
である。

（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、例えば以下に示
すようなものがあった。

第２図及び第３図は従来の収納キャリアとそのハンドリ
ング状態を示す回である。

従来、半導体装１等を製造する際、基板の収納には、第
２図（ｂ）や第３図（ｂ）に示すように、キャリア（カ
セット）３や７が多くの使われている。

また、それらをハンドリングするには、係合爪２を有す
るハンドル１や把持アーム６を有するハンドル５が用い
られている。

これらのハンドルはあくまでも収納キャリアを横夏きと
して処理するタイプであり、基板の洗浄等、液中にての
処理には効果があった。ここで、これらのキャリアはハ
ンドルを用いるということからも理解できるように、塵
埃をきらうことから、素手或いは手袋をしてもキャリア
類には触れてはならない。

（発明が解決しようとする諜Ｂ） しかしながら、上記したハンドルはカセットをつかむ方
法が簡単ではない。収納キャリアに、例えば、半導体ウ
ェハ等のような割れやすい基板を収納しである場合、い
ずれのハンドルによっても、収納キャリアへの引っ掛か
りが不十分であり、基板を割ってしまうケースが多くあ
る。このように従来のハンドリングには難があった。

一方、最近の半導体装置を製造している自動化対応装置
は、基板を一枚一枚搬送処理するため、収納キャリアを
縦に置くようになってきているが、その場合、従来のハ
ンドルは、横置きキャリア専用であり、これらの装置Ｗ
４には使用できないという問題点があった。

本発明は、以上述べた問題点を除去するため、ワンタッ
チ方式でカセットを保持し、かつ、触手することなく、
縦、横自在にカセットを自動装置に装填できる簡便なカ
セットハンドリング装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するために、カセットハンド
リング装置において、二股状のアームの内部に対向して
形成される抜け防止用ストッパを有するハンドルを設け
、該ハンドルの二股状のアームが基板を収納するカセッ
トのオーバーハングの部分を囲い込む形で係合するよう
にしたものである。

（作用） 本発明によれば、二股状のアームの内部に対向して形成
される抜け防止用ストッパををするハンドルを設け、該
ハンドルの二股状のアームが基板を収納するカセットの
オーバーハングの部分を囲い込む形で係合させる。

従って、カセットの両端上部をスライドして保持できる
囲い込み機構を具備し、がっ、抜け防止機構を有してい
るので、ワンタッチ方式にして簡単なハンドリングを行
なうことができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示すカセットハンドリング装
置の斜視図である。

この図において、１１はカセットハンドルの本体であり
、１２はその本体１１の二股状の係止アーム、１３はそ
の係止アーム１２の内側に対向して形成される溝、１４
はその係止アーム１２の溝１３の先端部に形成されるカ
セットの抜け防止用のテーパ付きストッパ、１５はその
二股状の係止アームの基部から延びる柄、１６はその柄
１５の先端部に形成される、保管時に壁のフンク（図示
なし）に掛けるためのフック穴である。

一方、２１はウェハカセット、２２はそのウェハカセッ
ト２１の上端部に形成されるオーバーハング部、２３は
そのオーバーハング部２２に形成される凹部である。

この図に示すように、このカセットハンドルの係止アー
ム１２の溝１３は、ウェハカセット２１の上端部のオー
バーハング部２２を囲い込むようにスライドさせ、その
オーバーハング部２２に形成される凹部２３に、テーパ
付きストッパ１４を係合させて、カセットハンドルから
ウェハカセット２１が抜けるのを防止するようにしてい
る。

第４図は本発明の実施例を示すカセットハンドルの第１
の変形例を示す斜視図である。

この変形例においては、第４図に示すように、ストッパ
部の構造が異なっている。

この図において、３１はカセットハンドルの本体であり
、３２はその本体３１の二股状の係止アーム、３３はそ
の係止アーム３２の内側に対向して形成される溝、３４
はその係止アーム３２の溝３３の先端部に形成されるカ
セットの抜け防止用のテーパ付きストッパ、３５は係止
アーム３２の上部に形成される抜け防止用のテーパ付き
ストッパ、３６はその二股状の係止アーム３２の基部か
ら延びる柄、３７はその柄３６の先端部に形成される、
保管時に用いるフック穴である。

第４図に示すように、係止アーム３２の先端部の上部及
び下部には抜け防止用のストッパ３５３４を設けるよう
にしたので、下部のスト・７パ３４は、上記と同様であ
るが、上部のストッパ３５はカセットのオーバーハング
部にスライドせずに単にカセットの係止部に係合させる
ことにより、ハンドリングできる。

第５図は本発明の実施例を示すカセットハンドルの第２
の変形例を示す斜視図である。

この図において、４１はカセットハンドルの本体であり
、４２はその本体３１の二股状の係止アーム、４３はそ
の係止アーム４２の内側に対向して形成される段部、４
４はその係止アーム４２の段部４３の先端部に形成され
るカセットの抜け防止用のテーバ付きストッパ、４５は
係止アーム３２の斜め上部に形成される抜け防止用の横
方向に突出する凸部、４６はその二股状の係止アーム３
２の基部から延びる柄、４７はその柄４６の先端部に形
成される、保管時に用いるフック穴である。

第５図に示すように、テーバ付きストッパ４４により、
スムーズにカセットに対してスライドさせることができ
、しかも力セントの凹部に対しては、正確な位置決めを
行うことができる。

このように構成することにより、オーバーハング部と、
それに凹部を有するカセットに基板を収納して、保持具
をオーバーハング部にスライドさせることにより、カセ
ットを簡単に移動させることができた。また、そのまま
でカセットを縦型処理装置に載せ、ハンドルを抜くこと
ができ、縦型処理装置にも十分通用させることができる
。

また、このハンドリング装置は、ハンドルの内側でカセ
ットのオーバーハング部を保合保持することができ、ハ
ンドルの保管は、内側がクリーンに保護されるため、保
管方法には特に制限がない。

この点、従来のハンドルはカセットキャリアをつかむと
ころが露出するようになっており、保管に難点がある。

また、本発明のハンドルはカセットと共に高精度で加工
することができ、カセットの凹部とハンドルの抜け防止
用ストッパ１４との位！が合致するように設計されてい
るため、即ち、第１図に示すように、係止アーム１２の
長さ！、とカセット２１の保持される側から凹部２３の
先端部までの長さＰ２が同寸法であり、かつストッパ１
４の幅！３と凹部２３の幅！、とのが略等しくなるよう
に加工する。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、カセッ
トの持ち運び、いわゆるハンドリングが容易となり、し
かもカセットを横のみならず縦にも自由にハンドリング
することができ、作業性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すカセットハンドリング装
置の斜視図、第２図及び第３図は従来の収納キャリアと
そのハンドリング状態を示す図、第４図は本発明の実施
例を示すカセットハンドルの第１の変形例を示す斜視図
、第５図は本発明の実施例を示すカセットハンドルの第
２の変形例を示す斜視図である。 １１、３１．４１・・・カセットハンドルの本体、１２
．３２゜４２・・・二股状の係止アーム、１３．３３・
・・溝、１４．３４３５、４４・・・テーバ付きストッ
パ、１５．３６．４６・・・柄、４７・・・フック穴、
２１・・・ウェハカセット、２２・・・オーバーハング
部、２３・・・凹部、４３・・・段部、４５・・・凸部
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１） （ａ）二股状のアームの内部に対向して形成される抜け
   防止用ストッパを有するハンドルを設け、 （ｂ）前記二股状のアームが基板を収納するカセットの
   オーバーハングの部分を囲い込む形で係合することを特
   徴とするカセットハンドリング装置。
2. （２）請求項１記載の前記カセットに凹部を形成し、前
   記ストッパが該カセットの凹部に係止され、位置決めさ
   れることを特徴とするカセットハンドリング装置。