JPS6214694Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （考案の技術分野） 本考案は半導体ウエハバスケツト運搬具に関
し、詳しくは、半導体ウエハをほぼ平行に複数枚
整列収納するウエハバスケツトを運搬するための
運搬具に関するものである。

（考案の技術的背景） GaP、GaAsP等の−族化合物半導体或はシ
リコン、ゲルマニウム等の半導体材料を薄く円盤
状に切り出したいわゆる半導体ウエハは、酸化、
窒化、拡散、気相成長、液相成長、蒸着、エツチ
ング等の各種処理工程間の移送時、或はエツチン
グ、水洗、湯洗時に特公昭53−38591号、特公昭
54−10429号及び実開昭49−131852号公報の各図
面に示されている様なウエハバスケツトに複数枚
整列収納して運搬され若しくは処理される。

周知の様に半導体ウエハは薄く破損し易いもの
であり，且つ極度に汚れを謙うため、その扱いは
なるべくハンドリングにたよらない方向で各工程
間の移送方法が設計されて来てはいるが未だ充分
ではない。

（考案の目的） 従がつてハンドリングによる複数のウエハの同
時移送は、前記ウエハバスケツトを落下させない
様に確実に把握でき、しかも操作性が良く、又ハ
ンドルがウエハに触れることがない様に設計され
なければならない。

（考案の実施例） 上述した要求を満足させるために考案された半
導体ウエハバスケツト運搬具を実施例図に従がつ
て以下に詳述する。

第１Ａ図は本考案の一実施例を示す半導体ウエ
ハバスケツト運搬具の側面図、第１Ｂ図は斜視図
を示し，第２図はその使用態様を示す斜視図であ
る。

さて第１Ａ図及び第１Ｂ図に示す半導体ウエハ
バスケツト運搬具１（以下単に運搬具と称するこ
ともある）は、例えばポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂（商品名テフロン）等の耐腐食性プラスチ
ツク樹脂で一体成形されており，腐食性の液体中
に浸されたバスケツトをも引き上げられる。この
運搬具１は、把持し易い様に比較的巾が狭いハン
ドル部２と、このハンドル部２の一端が広がつた
幅広部分３を持つ。幅広部分３の両端には、この
幅広部分３より前方に突出した突出部４ａ及びこ
の突出部４ａ相互が向き合う様に内側に屈曲した
屈曲部４ｂとから成る第１及び第２のフツク部５
及び６を有する。なお符号Ａは前記突出部４ａ及
び屈曲部４ｂと帯状部７とで作られた空間部であ
り、後述するバスケツト１０の運搬具挿入溝壁が
この空間部と係合する。従つてこの空間部は該溝
壁厚よりやや大きいスペースになつている。更に
これら第１及び第２のフツク部５，６で狭まれた
前記幅広部分３を前記ハンドル部２とほぼ直角に
折曲げて形成した帯状部７と、この帯状部７の端
部を前方に折曲げ、更に立ち上げた断面Ｌ字状の
第３のフツク部８を有する。この実施例に於ては
帯状部７の端部が断面Ｕ字状になるように２段階
に折曲げて第３のフツク部８を形成しているが前
方に折曲げたいわゆる１段折曲げでも第３のフツ
ク部は形成することができる。更に前記幅広部分
３を含むハンドル部２と帯状部７には曲がりに対
する抵抗として補強部９を形成するのが望まし
い。この補強部９はハンドリングを考慮して全体
を軽い材料で且つ比較的薄肉で形成すれば沢山の
ウエハを収納したバスケツトを持ち上げる際、有
利である。しかしながらなければならないと言う
ものではない。このことよりも注意を払わねばな
らないことは、第３のフツク部８がバスケツト１
０内のウエハ収納溝に収納されるウエハに触れな
いように且つバスケツト１０を確実に把持するよ
うに前方に折曲げる長さである。

次に本考案の半導体ウエハバスケツト運搬具の
使用方法を第２図を用いて説明する。複数の図示
しない半導体ウエハを立てて或は横にして平行に
収納するインライン・バスケツト１０は、前記ウ
エハをほぼ平行に隔間して複数枚整列収納するた
めに溝イが内側に形成された一対の側壁１１と、
これら側壁１１の端面１１ａに直立する一対の
（図では他方が省略されている）端壁１２とでウ
エハーバスケツト１０が構成されている。又、前
記側壁１１と端壁１２との結合部には、側壁面を
基準として内側に切欠された細長いスリツトから
成る運搬具挿入溝１３を有し且つ、両側壁１１，
１１をその端面１１ａに於て結合する連絡片１４
を有する。この連絡片１４は、前記側壁１１の中
間部分を橋絡して、結局上方及び下方に空間部１
５を有するようになつている。従つて、端壁１２
は、概ねアルフアベツトのＨ字をかたちどる恰好
になつている。このインラインバスケツト１０の
更に詳細な構造及び説明は、前出の特公昭53−
38591号及び／又は特公昭54−10429号を参照され
たい。

さて、本願考案の半導体ウエハ−バスケツト運
搬具１の操作を第２図を用いて説明すると，正立
状態のインライン・バスケツト１０の側壁１１の
端面に設けられた切欠部１６から、前記運搬具１
の第１及び第２のフツク部５及び６が挿入せら
れ、突出部４ａ及び屈曲部４ｂと帯状部７とで作
られた空間部Ａが運搬具挿入溝１３内をスライド
して，第３のフツク部８と帯状部７とで作られた
空間部Ｂがバスケツト１０の連絡片１４の下方部
分と係合する様に一旦下方に下げ、更に僅か上昇
させることにより前記インライン・バスケツト１
０を運搬具１がしつかりと把持する。この状態を
想像線で示してある。又、インライン・バスケツ
ト１０が同じく想像線で示すように台より飛び出
していれば前記切欠部１６からインサートしなく
てもこの切欠部１６と反対の方向、つまり正立し
たバスケツトの下方側から第１及び第２のフツク
部を案内しても良い。更にこのインライン・バス
ケツト１０が横転状態にあつても前記切欠部或は
これと反対の方向、いずれからも第１及び第２の
フツク部を案内することができる。

（考案の効果） 以上説明した様に本考案のウエハバスケツト運
搬具はインライン・バスケツトがウエハを収納し
た状態で置かれる正立或は横立状態いずれでもウ
エハに運搬具が触れることなく且つ確実に把持で
きる上、更に操作性は抜群に良い。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図及び第１Ｂ図は本考案の半導体ウエハ
バスケツト運搬具の好ましい一実施例図であり、
第１Ａ図は側面図を、第１Ｂ図は斜視図を示す。
第２図は本考案の半導体ウエハバスケツト運搬具
の使用方法を説明する説明図である。 １……半導体ウエハバスケツト運搬具、２……
ハンドル部、３……幅広部分、４ａ……突出部、
４ｂ……屈曲部、５……第１のフツク部、６……
第２のフツク部、７……帯状部、８……第３のフ
ツク部、９……補強部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体ウエハをほぼ平行に隔間して複数枚整列
   収納するために溝が内側に形成された一対の側壁
   と、これら側壁の端面に直立する一対の端壁とで
   ウエハバスケツトが構成され、前記端壁と前記側
   壁との結合部の側壁面を基準として内側に切欠さ
   れた細長いスリツト及び前記端壁の下方部分を支
   持部として、前記バスケツトを運搬するための運
   搬具であつて、一端が幅広部分を有するハンドル
   部と、この幅広部分の両端にそれぞれ位置し、該
   幅広部分より前方に突出し且つ突出した端部相互
   が向き合う様に内側に屈曲した第１及び第２のフ
   ツク部と、この第１及び第２のフツク部で狭まれ
   た前記幅広部分を前記ハンドル部とほぼ直角に折
   曲げて形成した帯状部と、この帯状部の端部を前
   方に折曲げて形成した第３のフツク部とを有し、
   前記第１及び第２のフツク部を前記スリツトに係
   合させ、前記第３のフツク部を前記端壁底部に係
   合させることにより前記ウエハバスケツトを運搬
   するための半導体ウエハバスケツト運搬具。