JPH092563A - ディスクケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 シリコンウエハーやハードディスク基板など
のディスクを収納した状態でスペース効率よくディスク
に必要な処理を均一に行うことができ、かつディスク移
動の際にも安全なディスクケースを提供する。 【構成】 対向する一方の側壁部にＵ字状切り欠き部を
設け、そこにディスクを弾性的におさえて固定する蓋体
の垂下部を保持させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウエハー、ハ
ードディスク基板などのディスクを処理する際に使用さ
れるとともにディスクを移動、搬送、保管するに特に好
適な、間隔を介してディスクを垂直に保持するディスク
ケースに関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウエハー、ハードディスク基板
などのディスクは、集積回路、ハードディスク等の動作
の信頼性を得るために、その表面平滑性を確保すること
が重要である。しかし、ディスクは、傷を受け易く又厚
みも０．６〜１．５ｍｍと薄いので、その取扱中に相互
のあるいは他のものとの接触により損傷を受けないよう
に数十枚のディスクを間隔をあけて保持するディスクケ
ースに収容されて移動、保管、処理されている。このよ
うなケースとして、すでに各種のものが提案されてい
る。例えば、実開平４−１３１９３８号、特公平３−５
００７１３号、実開昭６１−４９４５０号がある。

【０００３】しかし、これらに開示されたディスクケー
スは、薬剤などによる処理を受け易くするためケースの
上方、下方は開放され、またディスクとそれを支持する
リブ間の溝との間には熱膨張などを考慮して若干のクリ
アランスをとってある。そのため、ディスクケースに収
納されたディスクは固定されず、工程間の移動、工場間
の搬送の際、ディスク端面が支持溝と衝突を繰返すこと
となり、さらにとくに側壁部ではディスク表面が大きく
露出することとなり、ディスクを損傷するおそれがあ
る。そこで、ケース内のディスクのガタツキを防止する
ため、特開昭６２−３３４３６号のようにケースに蓋を
設けたものも提案されている。しかし、このケースはデ
ィスクを損傷・汚染することなく安全に輸送することを
主眼としたもので、このケースは下方、側方とも閉鎖さ
れた形状であり、このケースにディスクを収納したま
ま、ディスクに必要な処理を施すことはできず、その場
合には、処理が受けられる形状としたディスクケースに
移し変える必要が生じ生産性に問題がある。また、ディ
スクをディスクケース内に集積させて、これに必要な処
理を施すためケースを薬液槽や炉内に収容する場合、棚
などにそのまま載置しているが、使用スペース効率の点
で問題であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明はシリコ
ンウエハーやハードディスク用基板などのディスクを集
積して収納したままスペース効率よく必要な薬液処理、
焼鈍処理などを施すことができ、しかもディスクの工程
間の移動、工場間の搬送の際にはケース内に収納された
ディスクを損傷することなく安全に固定することができ
るディスクケースを提供することを目的とするものであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意検討し
た結果、ディスクケースにディスクを収納した状態にて
処理用流体が十分にディスク面を流動して均一な処理が
可能となるように、ディスクケース上側、下側及び側方
を開放する構造とし、その側方開放部に、上側開放部を
覆い収納されたディスクを軽くおさえて固定する蓋体を
保持できるようにさせることにより前記課題を解決し得
ることを見出し、本発明に至った。すなわち、本発明
は、ケースの上側と下側が開放されたディスクを収納す
るディスクケースであって、一対の側壁部にはＵ字状切
り欠き部を設け、ディスクケース底部の四隅には他のデ
ィスクケースのＵ字状切り欠き部上端部に設けた係合部
に係合してディスクケースを積み重ねることを可能にす
る係合部を設けたことを特徴とするとするディスクケー
スを要旨とするものである。

【０００６】本発明のディスクケースにおいて前記Ｕ字
状切り欠き部は、上面に凹溝を形成したフランジとする
ことが好ましく、またその下部の凹溝底部には穴を設け
るのが好ましい。そして、この切り欠き部に形成された
凹溝は前記蓋体の垂下部が嵌合し、かつその下端部が凹
溝底部の穴に係合して蓋体を保持することができる。ま
た蓋体はディスクケースの上側全体を覆い、かつ蓋体の
内側、即ちケース側にはケース内に垂直に収納されたデ
ィスクの上方側面（円周面）を軽く弾性的におさえてデ
ィスクのガタツキを防止するディスクおさえ部材が付設
されている。このおさえ部材によるディスクに負荷され
る力は、ケース内の所定の溝に収納されているディスク
が移動や搬送時に動かないように固定するに必要な最小
限の力で十分であり、ディスクに必要以上の力が負荷さ
れるとディスクを変形・損傷するおそれがあるので注意
を要するところである。

【０００７】蓋体は、ディスクケースの移動、搬送時に
装着されるだけで、ディスクが薬剤や熱などにより処理
されるときは装着されないので、この蓋体の材料として
は各種ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフ
ィン、ポリ塩化ビニルなど一般的な樹脂を使用すること
ができる。また前記の蓋体の内側に付設するディスクお
さえ部材も、ケースの対向する側壁切り欠き部に保持さ
れる垂下部とともに一体成形することができる。しか
し、ディスクおさえ部材をとくにゴム弾性体とすること
もできる。また、ディスクケースの切り欠き部の下部凹
溝底部には、蓋体の垂下部の下端部が係合して蓋体が保
持されるが、ディスクを洗浄する際、またディスクケー
スのみを洗浄する場合、この穴のため凹溝には洗浄液が
滞留することがないので、凹溝内部も清浄に保つことが
でき、ディスクの汚染源となることが防止できる。

【０００８】本発明のディスクケースは、このようにデ
ィスクに必要な処理の際に処理用流体が十分に各ディス
ク面を流動するように設けた側壁部のＵ字形切り欠き部
を、ケース内でディスクがガタツクのを防止するために
かぶせる蓋体の保持部として活用するとともに、その結
果、同時にこの切り欠き部に面して外側に大きく露出し
たディスクを保護することもできる。本発明のディスク
ケースは、以上のようにここに収納されたディスクに必
要な処理を均一に施すために、処理流体が十分にケース
内を流動するように、一対の対向する側壁部にはディス
ク支持部と上部連結部を開口を介して設け、またもう一
つの対向する側部にはＵ字状の切り欠き部を設けた開口
の多い構造とする一方、ディスク処理前、又は後の工程
間の移動や搬送時、ディスクが損傷することのないよう
にするため、ディスクのガタツキをおさえ、また大きく
外面に露出するディスクを保護するための蓋体を装着す
ることができるようにしたものである。本発明のディス
クケースのもう一つの特徴は、ケース同士を積み重ね
て、処理帯域でのスペース効率を向上することができる
点にある。このために本発明のディスクケースでは、ケ
ースの底部の四隅に、別のディスクケースのＵ字状切り
欠き部上端部に設けた係合部、たとえば溝部と係合する
たとえば凸部を設けて、これらの係合部同志を係合させ
て容易に脱着自在に重ね合わすことができる。

【０００９】本発明のディスクケースの他の構成につい
ては、とくに制限を受けるものではない。例えば、本発
明のディスクケースは、通常の射出成形法により製造す
ることができる。その材質としてはディスクを処理する
ための条件に耐える耐熱性樹脂が好ましい。たとえば、
ポリアミド、ＬＣＰ（サーモトロピック液晶ポリマ
ー）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリ
エーテルケトン（ＰＥＫ）、ＰＥＥＫ系アロイ樹脂〔た
とえばＰＥＥＫ／サーモトロピック液晶ポリマー、ＰＥ
ＥＫ／ポリベンゾイミダゾール（ＰＢＩ）など〕、ポリ
ベンゾイミダゾール（ＰＢＩ）、ポリフェニレンサルフ
ァイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、
ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリテトラフルオロエ
チレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素樹脂などを挙げること
ができる。

【００１０】また、本発明のディスクケースに使用され
るディスクは、たとえばシリコンウエハーやハードディ
スク用アルミニウム基板などがある。本発明のディスク
ケースを使用してこれらのディスクを収納して安全に移
動、保管、輸送することができる。またディスクケース
に収納した状態で、各種の必要な処理を受けることがで
きる。たとえばシリコンウエハーの場合には各種の液
体、ガスによる場合により高温の処理がされる。またハ
ードディスク基板用のディスクではアルミニウム製のデ
ィスクを加熱炉に入れ、そのひずみを除く処理も行われ
る。本発明のディスクケースは、このような場合処理槽
内あるいは炉内においてケース同士を積み重ねてスペー
ス効率よく使用することができる。

【００１１】

【実施例】以下に図面により本発明の実施例を説明す
る。図１は、本発明のディスクケースおよびそこに収納
されるディスクを示す斜視図である。図１中、１はハー
ドディスク用アルミニウム基板で中央部に穴を有する。
２は上側開口、３は側壁、４，５，６は側壁３を構成す
るもので、それぞれ上部連結部４、ディスクの側端部を
支持する中間支持部５、ディスクの側端面を支持する下
側支持部６である。６は下側開口１７に対して傾斜して
いる。７は上部連結部に設けたディスクを案内する案内
溝を構成する案内リブで、デイスクが正常な姿勢で所定
の位置にスムーズに収納されるようにこの案内リブは好
ましくはテーパー状８に構成される。

【００１２】９は各案内溝底部に設けた処理流体を流動
し易くするための開口部、１０は案内リブを連結する横
梁、１１は中間支持部に設けた凹溝を構成するリブであ
る。このリブにはディスクがスムーズに凹溝に案内され
るようにその上方が幅広となるよう傾斜面１２に面とり
されている。１３は下側支持部に設けた凹溝を構成する
リブであり、このリブにも中間支持部の凹溝と同様にデ
ィスクの案内をスムーズにするためその上面１４から底
部に向かって傾斜面１５に面とりされている。１６はも
う一つの対向する側壁で、Ｕ字形に大きく切り欠かれて
いる。そして、下側支持部のリブ１３間の凹溝の幅は、
中間支持部のリブ１１間の凹溝の幅よりも広く、厚みの
厚いディスクでもその端面（円周面）が溝底部と面接触
できるようにされている。

【００１３】さらに、１８は上側連結部と中間支持部と
の間の開口で、１９は中間支持部と下側支持部との間の
開口である。このように、本発明のディスクケースにお
いては、収納したディスクを処理する流体の流動性を向
上するため、上下及び側方に大きな開口を設けている
が、これによるディスクケースの剛性の低下を防ぐた
め、これらの開口には連結片２０を配設している。この
連結片２０によりケースの剛性を向上することができる
だけでなく、成形時、この連結片が樹脂の流動路を形成
し、開口部やリブの多い複雑な形状のディスクケースを
所定の寸法精度で成形することができる。２１はＵ字状
切り欠き部で外側に突き出したフランジにより構成され
ており、この上面には凹溝２２が形成されている。２３
は凹溝２２の底部に設けた穴である。２４はディスクケ
ースの底部の四隅に設けた凸部で他のディスクケースの
Ｕ字状切り欠き部上端部の溝部２５に係合してディスク
ケース同志を積み重ね可能とする。

【００１４】図２は、ディスクケースの上側開放部を覆
う蓋体を説明する斜視図である。図２中、３０は蓋体、
３１はディスクケースのＵ字形切り欠き部の凹溝に嵌合
して、該切り欠き部を覆う垂下部、３２はその垂下部下
端部に設けた係合部で、前記Ｕ字状切り欠き部下部の凹
溝底部に設けた穴２３と係合して蓋体を保持固定する。
又、蓋体にはディスクケースに蓋体が装着されたときケ
ース内部に収納されたディスクの上部端面（円周面）を
軽く弾性的におさえるおさえ部材を略ハの字形状に蓋体
に一体に付設することが好ましい。このおさえ部材によ
りディスクをより安定化された状態に保持することがで
きる。おさえ部材の形状は板状でも、くし形状でもよ
い。図３は、ディスクケースの底部の凸部２４と別のデ
ィスクケースのＵ字状切り欠き部上端部の溝部２５を係
合させて積み重ねた状態を説明する図である。この例で
は積み重ねたときの上下のディスク間隔Ｌは最小１．５
ｍｍ確保できる。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のディスク
ケースは、上下側方に大きな開口を設けたので、ディス
クの処理流体がディスク面に均一に流動することがで
き、しかも処理工程の前後においてディスクを収納した
状態で工程間を移動、搬送する場合にはディスク端部を
弾性的に軽くおさえる蓋体をかぶせることができ、同時
にその蓋体の垂下部によりＵ字状に切り欠かれ、ディス
ク表面が大きく露出する側壁部を覆うことができるの
で、ディスクのガタツキによる損傷、他の物との接触に
よる損傷を防止することができる。このように本発明の
ディスクケースは、ディスクの処理工程にも、またその
前後の工程での移動、搬送、あるいは保管時においても
必要な要求を満たすことができるので、ディスクを移し
替えるなどの作業を省略することができ生産性の向上に
寄与することができる。さらに本発明のディスクケース
は上下に積み重ねることができるので、処理工程におけ
るスペース効率を著しく向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のディスクケースの実施例を示す斜視
図、

【図２】本発明のディスクケースに使用する蓋体の斜視
図、

【図３】本発明のディスクケースを積み重ねた状態の説
明図。

【符号の説明】

１ ディスク ２ 上側開口 ４ 上部連結部 ５ 中間支持部 ６ 下側支持部 ２１ Ｕ字状切り欠き部 ２２ 凹溝 ２３ 穴 ２４ 凸部 ２５ 溝部 ３０ 蓋体 ３１ 蓋体垂下部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川住 太樹 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケースの上側と下側が開放されたディス
   クを収納するディスクケースであって、一対の側壁部に
   はＵ字状切り欠き部を設け、ディスクケース底部の四隅
   には他のディスクケースのＵ字状切り欠き部上端部に設
   けた係合部に係合してディスクケースを積み重ねること
   を可能にする係合部を設けたことを特徴とするとするデ
   ィスクケース。
2. 【請求項２】 Ｕ字状切り欠き部をフランジにより構成
   し、その上面に凹溝を形成したことを特徴とする請求項
   １記載のディスクケース。
3. 【請求項３】 上側開放部を覆う蓋体の垂下部が係合す
   るＵ字状切り欠き部の底部の係合部を凹溝に設けた穴に
   より構成したことを特徴とする請求項２記載のディスク
   ケース。