KR102164153B1 - 윈도우 보유 스프링을 구비한 기판 용기 - Google Patents

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Abstract

하나 이상의 윈도우를 갖는 기부판을 포함하는 레티클을 수용하기 위한 레티클 용기. 윈도우 각각은 내부에 형성된 언더컷을 포함하는 리세스 측벽을 갖는 장착 리세스를 포함할 수 있다. 투명 기판은 장착 리세스 내에 배치될 수 있고, 그 안에서 보유 부재에 의해 보유되며, 보유 부재는 제1 단부 부분과 제2 단부 부분 사이에서 연장하는 아치형 부분을 갖는다. 보유 부재의 적어도 제1 단부 부분은 보유 부재의 아치형 부분이 투명 기판과 접촉하여 투명 기판을 장착 리세스 내에 보유하도록 리세스 측벽 내에 형성된 언더컷 내에 위치될 수 있다.

Description

윈도우 보유 스프링을 구비한 기판 용기{SUBSTRATE CONTAINER WITH WINDOW RETENTION SPRING}
관련 출원 참조
본 출원은 2016년 4월 6일자로 출원된 발명의 명칭이 "Substrate Container with Window Retention Spring"인 미국 가출원 제62/319,120호에 대한 혜택을 주장하며, 이 출원은 본 명세서에 모든 목적에 대해 그 전문이 참조로 통합되어 있다.
기술 분야
본 개시내용은 일반적으로 포토마스크, 레티클, 인쇄 회로 보드 및 기판 같은 파괴되기 쉬운 디바이스의 보관, 이송, 수송(shipping) 및 처리를 위한 용기에 관한 것이다.
집적 회로 및 다른 반도체 디바이스의 제조시 일상적으로 겪게 되는 처리 단계 중 하나는 포토리소그래피이다. 넓게는, 포토리소그래피는 에칭된 표면 층을 생성하기 위해 패턴화된 탬플릿을 사용하여 방사선 소스에 특수하게 준비된 웨이퍼 표면을 선택적으로 노광시키는 것을 포함한다. 통상적으로, 패턴화된 템플릿은 레티클이며, 이는 웨이퍼 상에 재현될 패턴을 포함하는 매우 평탄한 유리판이다. 예로서, 웨이퍼 표면은 먼저 웨이퍼 표면 상에 실리콘 질화물을 퇴적시키고, 후속하여 감광성 액체 폴리머 또는 포토레지스트를 코팅함으로써 준비된다. 다음에, 자외(UV) 광이 마스크 또는 레티클의 표면을 통해 비추어지거나 그로부터 반사되어 원하는 패턴을 포토 레지스트가 덮여진 웨이퍼 상으로 투영한다. 광에 노광된 포토레지스트의 부분은 화학적으로 변성되고 웨이퍼가 후속하여 화학 매체에 노출될 때 영향을 받지 않고 남아있게 되며, 이 화학 매체는 마스크 상의 패턴의 정확한 형상으로 웨이퍼 상에 변성된 포토레지스트를 남기면서 비노광 포토레지스트를 제거한다. 웨이퍼는 그후 질화물 층의 노출된 부분을 제거하는 에칭 프로세스를 받게 되어 마스크의 정확한 디자인으로 웨이퍼 상에 질화물 패턴을 남기게 된다. 이 에칭된 층은 단독으로 또는 다른 유사하게 생성된 층과 조합하여 디바이스들 및 특정 집적 회로 또는 반도체 칩의 "회로"를 특징짓는 디바이스들 사이의 상호접속부를 표현한다.
극자외선(EUV) 포토리소그래피에서, 심자외광 포토리소그래피의 레티클 특징을 통한 투과 대신 패턴화된 표면으로부터의 반사가 사용된다. 결과적으로, EUV 포토리소그래피에서 사용되는 반사형 포토마스크(레티클)는 통상적 포토리소그래피에 사용되는 레티클보다 매우 더 많이 오염 및 손상에 민감하다. 레티클의 표면의 미립자 오염은 처리 동안 이런 레티클을 사용하여 얻어진 임의의 최종 제품에 심각한 영향을 주기에 충분한 정도로 레티클을 훼손시킬 수 있다. 처리, 이송 및 수송 동안 레티클을 수용하는 제어된 환경 내에서 입자가 발생할 수 있다. 레티클과 용기 사이의 그리고, 용기의 구성요소 사이의 미끄럼 마찰도 오염성 미립자의 근원이다. 또한, 레티클 용기에 사용되는 폴리머 재료로부터 가스와 미소량의 습기가 배출될 수 있고, 이는 레티클 상에 헤이즈(haze) 및 결정 성장을 유발하여 레티클을 손상시킬 수 있다는 것이 현재 알려져 있다.
본 개시내용은 일반적으로 포토마스크, 레티클, 인쇄 회로 보드 및 기판 같은 파괴되기 쉬운 디바이스의 보관, 이송, 수송 및 처리를 위한 용기에 관한 것이다.
일 예시적 실시예에서, 캔(can)을 포함하는 기판 용기는 기부판 및 덮개를 포함할 수 있다. 덮개는 기부판과 결합하여 인클로저(enclosure)를 형성하도록 구성될 수 있고, 기부판은 적어도 하나의 윈도우를 포함할 수 있다. 적어도 윈도우는 리세스 측벽, 저부 측벽 및 적어도 리세스 측벽에 형성된 언더컷을 포함하는 장착 리세스로서, 리세스 측벽과 저부 측벽은 함께 립을 형성하는 장착 리세스; 장착 리세스 내에 배치된 투명 기판 및 제1 단부 부분과 제2 단부 부분 사이에서 연장하는 아치형 부분을 갖는 보유 부재를 포함할 수 있고, 제1 단부 부분은 리세스 측벽 내에 형성된 언더컷 내에 위치되고, 보유 부재의 아치형 부분은 투명 기판과 접촉하여 투명 기판을 장착 리세스 내에 보유한다.
다른 예시적 실시예에서, 기판 용기는 외부 포드 조립체 및 외부 포드 조립체에 수용된 내부 포드 조립체를 포함할 수 있다. 내부 포드 조립체는 기부판과 덮개를 포함할 수 있다. 기부판은 상향 지향 표면 및 하향 지향 표면을 가지고, 복수의 윈도우를 포함할 수 있다. 윈도우 각각은 제1 및 제2 리세스 측벽, 제2의 제1 및 제2 저부 측벽, 제1 및 제2 측벽 각각 내에 형성된 제1 및 제2 언더컷을 갖는 장착 리세스로서, 제1 및 제2 리세스 측벽과 제1 및 제2 저부 측벽은 함께 립을 형성하는 장착 리세스; 장착 리세스의 저부 측벽에 의해 형성되는 개구; 장착 리세스 내에 배치되고 립에 의해 지지되는 투명 기판; 및 제1 단부 부분으로부터 제2 단부 부분으로 연장하는 한 쌍의 아치형 부분을 갖는 보유 부재를 포함할 수 있고, 제1 단부 부분은 제1 리세스 측벽에 형성된 제1 언더컷 내에 위치되고, 제2 단부 부분은 제2 리세스 측벽 내에 형성된 제2 언더컷 내에 위치되고, 보유 부재의 아치형 부분의 쌍은 투명 기판과 접촉하여 투명 기판을 장착 리세스 내에 보유한다. 특정 실시예에서, 보유 부재는 스프링 강으로 제조된다.
또 다른 예시적 실시예에서, 방법은 기판 용기의 기부판에 형성된 장착 리세스 내에 투명 기판을 배치하는 단계를 포함한다. 장착 리세스는 제1 및 제2 리세스 측벽, 제1 및 제2 저부 측벽, 제1 및 제2 리세스 측벽 각각 내에 형성된 언더컷을 포함할 수 있고, 제1 및 제2 리세스 측벽과 제1 및 제2 저부 측벽은 함께 립을 형성하고, 이 립 상에 투명 기판이 지지된다. 다음에, 이 방법은 제1 리세스 측벽 내에 형성된 제1 언더컷 내로 보유 부재의 제1 단부 부분을 삽입하는 단계를 포함할 수 있고, 보유 부재는 제1 단부 부분으로부터 제2 단부 부분으로 연장하는 아치형 부분을 포함한다. 그 후에는 보유 부재의 중심선을 향한 방향으로 보유 부재의 제2 단부를 압박하는 단계; 제2 단부 부분을 제2 리세스 측벽에 형성된 제2 언더컷 내로 삽입하는 단계 및 압박된 제2 단부 부분을 해제하는 단계가 후속될 수 있고, 아치형 부분은 투명 기판과 접촉하여 투명 기판을 장착 리세스 내에 보유한다.
전술한 요약은 본 개시내용에 고유한 혁신적 특징 중 일부에 대한 이해를 용이하게 하기 위해 제공된 것이며, 완전한 설명을 의도하는 것은 아니다. 본 개시내용에 대한 완전한 인식은 전체 명세서, 청구범위, 도면 및 요약서를 전체적으로 고려함으로써 얻어질 수 있다.
본 개시내용은 첨부 도면과 연계한 다양한 예시적 실시예에 대한 이하의 설명을 고려하면 더 완전하게 이해할 수 있다.
도 1은 종래 기술의 레티클 용기를 도시한다.
도 2는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 레티클 용기의 내부 포드 조립체를 위한 기부의 상면 사시도를 도시한다.
도 3은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 펠리클과 레티클을 포함하는 내부 포드 조립체를 위한 기부의 분해 사시도를 도시한다.
도 4는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 레티클 용기의 내부 포드 조립체를 위한 기부의 저면 사시도를 도시한다.
도 5는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 윈도우 보유 부재 및 투명 기판을 포함하는 윈도우 장착 리세스의 단면도를 도시한다.
도 6은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 윈도우 보유 부재 및 투명 기판을 포함하는 윈도우 장착 리세스의 단면도를 도시한다.
도 7은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 윈도우 보유 부재 및 투명 기판을 포함하는 윈도우 장착 리세스의 단면도를 도시한다.
도 8은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 윈도우 보유 부재 및 투명 기판을 포함하는 윈도우 장착 리세스의 단면도를 도시한다.
도 9는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른 보유 부재의 분리도를 도시한다.
도 10은 도 9의 보유 부재의 측면도를 도시한다.
본 개시내용의 실시예는 다양한 변경 및 대안적 형태가 적용될 수 있지만, 그 특정사항이 예로서 도면에 도시되어 있고, 상세히 설명될 것이다. 그러나, 본 개시내용을 설명된 특정 실시예에 한정하고자 하는 의도는 아님을 이해하여야 한다. 반대로, 본 개시내용의 개념 및 범주 내에 드는 모든 변경, 균등물, 대안을 포함하는 것을 의도한다.
본 명세서 및 첨부 청구범위에서 사용될 때, 문맥상 명시적으로 달리 나타나 있지 않는 한, 단수형 형태는 복수의 지시대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부 청구범위에서 사용될 때, 용어 "또는"은 문맥상 달리 명시적으로 나타나지 않는 한, "및/또는"을 포함하는 개념으로 사용된다.
이하의 상세한 설명은 도면을 참조로 숙독하여야 하며, 도면에서는 상이한 도면들에서 유사 요소가 동일하게 번호매김되어 있다. 상세한 설명과, 반드시 실척대로 그려져 있는 것은 아닌 도면은 예시적 실시예를 예시하며, 본 개시내용의 범주를 제한하기를 의도하는 것은 아니다. 설명된 예시적 실시예는 단지 예시일 뿐이다. 임의의 예시적 실시예의 선택된 특징은 달리 명시적으로 선언되지 않은 한, 추가적 실시예에 통합될 수 있다.
도 1은 종래 기술의 레티클 용기(100)를 도시한다. 레티클 용기(100)는 중심축(112)과 정렬되어 있는 외부 포드 조립체(104) 및 내부 포드 조립체(108)를 포함하며, 내부 포드 조립체(108)는 레티클(116)을 수용한다. 본 명세서에서 사용될 때, 용어 레티클(116)은 얇은 평면형 기판, 레티클 또는 인쇄 회로 보드를 지칭한다. 외부 포드 조립체(104)는 인클로저를 형성하도록 협력하는 상부 부분(120) 및 하부 부분(124)을 포함한다. 내부 포드 조립체(108)는 덮개(128)와 기부(132)를 포함하고, 외부 포드 조립체(104) 내에 배치될 수 있다. 덮개(128) 및 기부(132)는 덮개(128)로부터 연장하는 정렬 핀(136)에 의해 정렬될 수 있다. 각 정렬 핀(136)은 기부(132)의 에지(144) 상에 형성된 각각의 안내 리세스(140) 내에 위치될 수 있다. 여기에 도시된 레티클 포드가 대체로 정사각형 윤곽으로 이루어져 있지만, 다른 포드는 예로서, 다각형, 원형 또는 다른 적절한 형상 같은 다른 형상을 가질 수 있다는 것을 이해하여야 한다.
내부 포드 조립체 덮개(128)는 단일 블록(예를 들어, 스테인레스 강 같은 금속)으로부터 기계가공된 단일체 구조로 이루어진다. 덮개(128)는 측방향 표면(152)이 실질적으로 평면을 따라 연장하는 상태로 상단 표면(148)으로부터 이격된 저부 또는 내부 지향 표면에 대향한 상단 표면(148)을 형성한다. 일 실시예에서, 덮개(128)는 적어도 하나의 돌기부(156)를 구비할 수 있고, 돌기부(156)는 측방향 표면(152)으로부터 외향 연장하고, 상단 표면(148)으로부터 저부 표면으로 연장한다. 관통 구멍(160)이 정렬 핀(136)을 수용하기 위해 돌기부(156) 내의 위치에 형성된다. 관통 구멍(160)의 축은 상단 표면(148)에 실질적으로 수직이다. 덮개(128)가 돌기부(156)를 갖지 않고 관통 구멍(160)이 측방향 표면(152)에 실질적으로 인접하게 천공되는 것이 추가로 고려된다. 정렬 핀(136)은 구멍(160)과의 억지 끼워맞춤을 위해 치수설정될 수 있다.
내부 포드 조립체 기부(132)는 또한 단일체 금속 구조로 이루어질 수 있고, 하향 지향 또는 저부 표면에 대향한 상향 지향 또는 내부 지향 표면(164)을 포함하며, 이들 표면 사이에서 측방향 표면(168)이 연장하고, 측방향 표면(168)은 실질적으로 평면을 따라 배치된다. 기부(132)는 그 코너 각각 부근에서 내부 포드 조립체(108) 내에 레티클(116)을 지지하기 위해 내부 지향 표면(164) 상으로부터 연장하는 복수의 레티클 지지 부재(170)를 포함한다. 기부(132)는 적어도 하나의 안내 리세스(140)를 구비할 수 있고, 안내 리세스(140)는 측방향 표면(168)의 평면으로부터 내측으로 후퇴되어 있으며, 상단 표면(164) 및 저부 표면을 통해 연장한다. 일 실시예에서, 안내 리세스(140)는 덮개(128)가 기부(132)와 결합되어 있을 때, 정렬 핀(136)이 안내 리세스(140) 내의 정확한 위치에 위치되어 정렬 핀(136)과 안내 리세스(140) 사이에 긴밀한 정합 결합을 초래하도록 기부(132) 상에 위치된다. 기부(132)는 추가적으로 윈도우(172)를 통한 내부 포드 조립체(108) 외측으로부터의 레티클의 감시를 위해 복수의 윈도우(172)를 포함하고, 윈도우 각각은 기부(132) 내에 배치되어 있는 투명 기판을 포함한다.
기능적으로, 덮개(128)와 기부(132)는 서로 정합하여 사이에 축방향 이동이 사실상 존재하지 않는 밀봉식 인클로저를 형성한다. 덮개(128)와 기부(132) 사이에 형성된 밀봉부는 밀봉된 인클로저에 의해 형성된 마이크로환경 내로의 원치않는 오염물 및 기타 오염 물질의 진입을 방지하도록 튼튼하다. 덮개(128) 및 기부(132)를 위한 단일체 구조의 형성은 클램핑 접촉하는 표면의 존재를 제거 또는 감소시키고, 그에 의해, 이런 클램핑된 표면 사이의 입자의 포획 및 수반되는, 경시적으로 발생할 수 있는 입자의 유출을 감소 또는 제거한다. 단일체 구조는 또한 제조 단계를 제거하고, 덮개(128) 및 기부(132)와 연계된 공차 누적을 감소시킨다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 개시내용이 하나 이상의 실시예에 따른 레티클 용기의 내부 포드 조립체를 위한 기부(204)가 도시되어 있다. 하나 이상의 실시예에서, 기부(204)는 단일체 금속 구조를 가지며, 하향 지향 표면(208)에 대향한 상향 지향 표면(165)을 포함하고, 이 표면들 사이에는 측방향 표면(168)이 연장한다. 기부(204)는 추가적으로 레티클(116)을 지지하기 위해 상향 지향 표면(165)으로부터 연장하는 복수의 레티클 지지 부재(170)를 포함한다. 특정 실시예에서, 기부(204)는 예로서 도 1에 도시된 덮개(128) 같은 덮개와 기부(204)의 정렬을 위해 측방향 표면(168)으로부터 내측으로 후퇴되어 있는 하나 이상의 안내 리세스(140)를 포함한다.
하나 이상의 실시예에서, 기부(204)는 상향 지향 표면(165)에 형성된 펠리클 장착 리세스(216)를 포함한다. 펠리클 장착 리세스(216)는 리세스 측벽(220)과 저부 측벽(224)을 포함하고, 저부 측벽은 리세스(216) 내에 적어도 부분적으로 펠리클을 수용 및 지지하기 위한 형상을 형성한다. 하나 이상의 실시예에서, 기부(204)는 추가적으로 리세스(216)로부터 펠리클의 삽입 및/또는 제거를 용이하게 하기 위해 펠리클 장착 리세스(216)의 주연부 둘레의 다양한 지점에 파지 영역(226)을 포함한다. 다양한 실시예에서, 리세스 측벽(220) 및 저부 측벽(224)은 리세스(216) 내의 펠리클의 위치설정을 위해 펠리클의 형상에 부합되는 형상을 형성한다.
도 3은 하나 이상의 실시예에 따른 기부판(204), 펠리클(225) 및 레티클(116)의 분해도이다. 펠리클(225)은 레티클(116) 아래에 위치되고, 펠리클 장착 리세스(216) 내에 배치되도록 하향 강하될 수 있다. 다양한 실시예에서, 리세스(216)의 깊이는 실질적으로 펠리클(225)의 높이와 동일하고, 그래서, 리세스(216) 내로 강하될 때, 펠리클은 실질적으로 상향 지향 표면(165)과 일치하게 되며, 레티클(116)은 기부판(204)과 펠리클(225) 조합체 바로 위의 적소에 레티클을 지지하도록 지지 부재(170)와 접촉한다. 특정 실시예에서, 리세스(216)의 깊이는 변할 수 있고, 그래서, 리세스(216)의 깊이는 펠리클(225)의 높이보다 높거나 낮을 수 있다.
이제, 도 4 내지 도 6을 참조하면, 다양한 실시예에서, 기부판(204)은 추가로 복수의 윈도우(228, 229)를 포함한다. 각 윈도우(228, 229)는 투명 기판(236)과 기부판(204)을 통해 연장하는 개구(232, 233)를 형성하는 윈도우 장착 리세스(240)를 포함한다. 다양한 실시예에서, 복수의 개구(232, 233) 각각은 하향 지향 표면(208)으로부터 상향 지향 표면(165)으로 기부판(204)을 통해 연장한다. 다양한 실시예에서, 투명 기판(236) 각각은 기부판(204)에 형성된 대응하는 윈도우 장착 리세스(240) 에 배치된다. 다양한 실시예에서, 스프링형 보유 부재(284)가 투명 기판(236)을 윈도우 장착 리세스(240) 내에 보유한다. 하나 이상의 실시예에서, 투명 기판(236)은 EUV 포토리소그래피에 요구되는 것 같은 고도로 제어된 처리 환경에서의 처리를 위한 투명 유리, 플라스틱 또는 다른 적절한 재료로 이루어진다.
도 5 및 도 6에 도시된 것 같은 일부 실시예에서, 윈도우 장착 리세스(240)는 각각 제1 리세스(244)와 제1 저부 측벽(260)을 포함하고, 제1 리세스는 제1 리세스 측벽(248)에 의해 형성되며, 한 쌍의 폭방향 에지(252) 및 한쌍의 길이방향 에지(256)를 갖는다. 일부 실시예에서, 폭방향 에지(252) 중 하나 이상은 돌출부(268)를 형성하는 제1 리세스 측벽(248) 내의 측방향 리세스로부터 형성된 언더컷 부분(264)을 포함한다.
특정 실시예에서, 윈도우 장착 리세스(240)는 각각 제1 저부 측벽(260) 내에 제2 리세스(272)를 포함한다. 제2 리세스(272)는 제2 리세스 측벽(276)과 제2 저부 측벽(280)에 의해 형성된다. 하나 이상의 실시예에서, 제2 리세스 측벽(276) 및 제2 저부 측벽(280)은 투명 기판(236)을 적어도 부분적으로 제2 리세스(272) 내에 긴밀하게 수용하기 위한 형상을 형성한다.
하나 이상의 실시예에서, 개구(232, 233)는 윈도우(228, 229)의 크기/유형에 따라 다양한 크기를 갖고 형성될 수 있다. 예로서, 도 4 내지 도 6에는 윈도우(228)가 처리 동안 레티클 위치설정 점검을 위한 정렬 개구인 구성이 도시되어 있다. 따라서, 개구(232)는 내부 포드 조립체 내로의 기부판(204)을 통한 개선된 관찰을 위해 개구(233)에 비해 더 크다. 그러나, 개구(232, 233) 영역 각각은 적어도 제2 저부 측벽(280)의 영역보다 작게 크기설정되고, 그래서, 개구(232, 233) 및 제2 저부 측벽(280)은 투명 기판(236)을 지지하기에 충분한 립(241, 242)을 윈도우 장착 리세스(240) 내에 형성한다. 예로서, 도 5 및 도 6에는 윈도우 장착 리세스(240) 각각 내의 투명 기판(236)이 투명 기판(236)의 대응 에지를 지지하는 에지를 갖는 립에 의해 지지되는 구성이 도시되어 있다.
하나 이상의 실시예에서, 기부(204)는 복수의 윈도우 보유 부재(284)를 포함한다. 예시적 윈도우 보유 부재의 다양한 모습이 도 9 및 도 10에 도시되어 있다. 윈도우 보유 부재(284)는 스냅 체결, 스프링 체결, 스크류 체결 또는 다른 방식으로 제1 리세스(260) 내에 위치설정 및 고정되어 제2 리세스(272) 내에서 적소에 투명 기판(236)을 보유하기 위한 적절한 형상 및 크기를 갖는다. 일부 실시예에서, 윈도우 보유 부재(284)는 스프링 힘을 사용하여 윈도우 장착 리세스(240) 내에 투명 기판(236)을 보유하도록 구성된다. 예로서, 도 5 및 도 6과 도 9 및 도 10을 참조하면, 윈도우 보유 부재(284) 각각은 제1 단부 부분(292)으로부터 제2 단부 부분(294)으로 연장하는 한 쌍의 길이방향 아치형 부분(288)을 갖는다. 도 9에서 볼 수 있는 바와 같이, 제1 단부 부분(292)은 폐쇄된 원위 단부(295)를 가지고, 제2 단부 부분은 아치형 부분(288)의 원위 단부(299)를 분리시키는 간극(297)을 포함한다. 여기서 더 상세히 설명될 바와 같이 보유 부재(284)가 설치 동안 보유 부재의 중심선(l)을 향한 방향으로 압박될 수 있도록 아치형 부분의 원위 단부(299) 사이에 간극(297)이 제공된다. 제1 및 제2 단부 부분(292, 294) 각각은 윈도우 장착 리세스(240) 각각의 언더컷 부분(264) 내에 위치설정될 수 있고, 그에 의해, 돌출부(268)를 거쳐 적소에 윈도우 보유 부재(284)를 고정한다. 적소에 위치되고 나면, 길이방향 아치형 부분(288)은 투명 기판(236)과 접촉하도록 굴곡되어 투명 기판을 제2 리세스(272) 내의 적소에 보유한다.
하나 이상의 실시예에서, 윈도우 보유 부재(284)는 보유 부재(284)의 제1 및 제2 단부 부분(292, 294) 중 하나 이상을 언더컷 부분(264) 내로 적절히 굽히는 것에 의해 제1 리세스 내로 설치될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 윈도우 보유 부재(284)는 스프링 특성을 갖는 재료를 사용하여 구성되고, 그래서, 부재(284)가 언더컷 부분(264) 내로 굽혀진 상태로부터 해제되고 나면, 이들은 그 원래의 형상으로 탄성 복원됨으로써 길이방향 아치형 부분(288)이 투명 기판(236)과 접촉하게 된다. 특히, 일부 실시예에서, 윈도우 보유 부재(284)는 보유 부재(240) 처럼 약 15 psi x 103 내지 약 30 psi x 103의 탄성 계수(E)를 갖는 탄성 재료로 제조될 수 있다. 따라서, 다양한 실시예에서, 윈도우 보유 부재(284)는 스프링 강, 중탄소강, 고탄소강, 스테인레스 강, 비철 합금 및 고온 합금을 포함하지만 그에 한정되지 않는 재료로 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 원하는 형태로의 굽힘 및 유지에 충분한 적절한 탄성 계수를 갖는 소정 폴리머가 윈도우 보유 부재(284)를 제조하기 위해 사용될 수 있다. 적절한 폴리머 재료는 퍼플루오로알콕시 알칸, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리에테르이미드 및 폴리디메틸실록산을 포함하지만 이에 한정되지 않는다. 일 실시예에서, 윈도우 보유 부재(284)는 스프링 강으로부터 제조된다.
윈도우 보유 부재는 다양한 형상 또는 디자인을 갖고 구성될 수 있다. 예로서, 도 7을 참조하면, 윈도우 보유 부재(304)의 단면도가 도시되어 있다. 윈도우 보유 부재(304)는 본 명세서에 개시된 것들 같이 약 15 psi x 103 내지 약 30 psi x 103의 탄성 계수(E)를 갖는 금속 또는 폴리머 재료의 탄성 와이어로부터 구성된다. 일 실시예에서, 윈도우 보유 부재(304)는 스프링 강으로부터 제조된다. 도 8을 참조하면, 윈도우 보유 부재(404)가 도시되어 있다. 하나 이상의 실시예에서, 윈도우 보유 부재(404)는 부분적으로 스크류로 보유되며, 폭방향 에지 중 하나가 제1 리세스(260)의 언더컷 부분(264) 내에 위치되고, 폭방향 에지 중 다른 하나가 기부판(204) 내로 스크류(408)를 거쳐 적소에 고정되어 있다.
하나 이상의 실시예에서, 펠리클 장착 리세스(216)로 인해, 윈도우 장착 리세스(240)는 일부가 기부판(204)의 상대적으로 얇은 영역(412) 위에 위치되고 다른 부분이 기부판(204)의 상대적으로 두꺼운 영역(416) 위에 위치되는 상태로 위치된다. 기부판 재료의 결여로 인해, 얇은 영역(412)은 스크류(408) 같은 종래의 보유 방법이 사용될 수 없게 한다. 따라서, 다양한 실시예에서, 언더컷 부분(264)은 얇은 영역(412)에 대응하는 리세스 측벽 내에 위치된다. 일부 실시예에서, 윈도우 보유 부재(404)는 얇은 영역(412)에 대응하는 폭방향 에지(264) 내에 위치된 제1 폭방향 에지와, 기부판(204)의 두꺼운 영역(416)에 위치되는 스크류(408)를 거쳐 기부판(204)에 적소에 고정되는 제2 폭방향 에지를 갖는다.
윈도우 보유 부재(284, 304, 404) 각각은 적어도 부분적으로 압축 스프링 힘에 의존하여 윈도우 장착 리세스 내에서 투명 기판을 보유한다. 기부판의 구성 동안, 투명 기판은 기부판 내에 형성된 장착 리세스 중 하나 내에 배치될 수 있다. 다음에, 보유 부재의 제1 단부 부분이 윈도우 장착 리세스의 제1 리세스 측벽에 형성된 제1 언더컷 내로 삽입될 수 있다. 제2 단부 부분은 보유 부재의 중심선을 향한 방향으로 압박 또는 압착되고, 장착 리세스의 제2 리세스 측벽에 형성된 제2 언더컷 내로 삽입된다. 언더컷 내에 위치되고 나면, 보유 부재의 제2 단부 부분이 해제됨으로써 보유 부재가 그 원래의 형상으로 탄성 복원되게 하고, 그에 의해, 하나 이상의 아치형 부재가 투명 기판에 접촉하여 압박력을 부여함으로써 투명 기판을 장착 리세스 내에 보유하게 한다. 이러한 프로세스는 필요에 따라 기부판의 각 윈도우에 대해 반복될 수 있다. 압박력에 의존하여 윈도우 장착 리세스 내에 투명 부재를 보유하는 것은 예로서 스크류 같은, 윈도우 장착 리세스 내에 기판을 보유하기 위해 통상적으로 사용되는 다른 체결 수단을 감소시키거나 일부 실시예에서는 제거한다. 스크류의 수의 감소 또는 스크류나 다른 체결구의 제거는 민감한 마이크로환경 내의 입자를 감소시키는 것을 도울 수 있다.
본 개시내용의 다수의 예시적 실시예를 현재까지 설명하였지만, 본 기술 분야의 숙련자는 첨부된 청구범위의 범주 내에서 또 다른 실시예가 형성되고 사용될 수 있다는 것을 쉽게 알 수 있을 것이다. 본원에 의해 커버되는 개시내용의 다수의 장점은 전술한 설명에 기재되어 있다. 그러나, 본 개시내용은 다수의 관점에서 단지 예시적인 것임을 이해하여야 한다. 본 개시내용의 범주를 벗어나지 않고 세부사항, 특히, 부품의 형상, 크기 및 배열에 관하여 변경이 이루어질 수 있다. 물론, 본 개시내용의 범주는 첨부된 청구범위를 표현하는 언어에서 규정된다.

Claims (11)

  1. 기판 용기이며,
    기부판 및 덮개를 포함하고, 덮개는 기부판과 결합하여 인클로저를 형성하도록 구성되고, 기부판은 적어도 하나의 윈도우를 포함하며,
    적어도 하나의 윈도우는
    장착 리세스로서, 리세스 측벽, 저부 측벽 및 리세스 측벽에 형성된 언더컷을 포함하고, 리세스 측벽과 저부 측벽은 함께 립을 형성하는, 장착 리세스;
    장착 리세스 내에 배치되고 립에 의해 지지되는 투명 기판; 및
    제1 단부 부분과 제2 단부 부분 사이에서 연장하는 아치형 부분을 갖는 보유 부재로서, 제1 단부 부분은 리세스 측벽 내에 형성된 언더컷 내에 위치되고, 보유 부재의 아치형 부분은 장착 리세스 내에 투명 기판을 보유하도록 투명 기판과 접촉하며, 보유 부재는 15 psi x 103 내지 30 psi x 103의 탄성 계수(E)를 갖는 재료로 구성되는, 보유 부재
    를 포함하는 기판 용기.
  2. 제1항에 있어서, 장착 리세스는
    제1 리세스 측벽과 제1 저부 측벽에 의해 형성된 제1 리세스; 및
    제1 리세스의 제1 저부 측벽 내의 제2 리세스로서, 제2 리세스는 제2 리세스 측벽과 제2 저부 측벽에 의해 형성되며, 제2 리세스 측벽과 제2 저부 측벽은 투명 기판을 적어도 부분적으로 제2 리세스 내에 수용하기 위한 형상을 형성하는, 제2 리세스를 더 포함하고,
    제2 저부 측벽은 투명 기판을 지지하는 립을 장착 리세스 내에 형성하는 기판 용기.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 스프링 강, 중탄소강, 고탄소강, 스테인레스 강, 비철 합금, 고온 합금, 퍼플루오로알콕시 알칸, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리에테르이미드 및 폴리디메틸실록산으로 구성되는 그룹으로부터 재료가 선택되는 기판 용기.
  5. 제1항에 있어서, 보유 부재는 스프링 강으로 구성되는 기판 용기.
  6. 제1항에 있어서, 장착 리세스는 한 쌍의 대향 리세스 측벽을 더 포함하고, 대향 리세스 측벽의 쌍 각각은 내부에 형성된 언더컷을 포함하고, 보유 부재의 제2 단부 부분은 대향 리세스 측벽의 쌍의 대향 리세스 측벽에 형성된 제2 언더컷 내에 위치되는 기판 용기.
  7. 제6항에 있어서, 리세스 측벽 각각 내에 형성된 언더컷 부분은 돌출부를 더 형성하는 기판 용기.
  8. 제1항에 있어서, 윈도우는 장착 리세스의 저부 측벽에 형성된 개구를 더 포함하는 기판 용기.
  9. 제1항에 있어서, 외부 포드를 더 포함하고, 외부 포드는 저부 부분과 정합하여 외부 인클로저를 형성하도록 구성되는 상부 부분을 포함하고, 기부판과 덮개는 외부 포드에 의해 형성된 외부 인클로저 내에 수용되는 기판 용기.
  10. 기판 용기이며,
    외부 포드 조립체; 및
    외부 포드 조립체 내에 수용된 내부 포드 조립체로서, 기부판과 덮개를 포함하고, 기부 판은 상향 지향 표면과 하향 지향 표면 및 복수의 윈도우를 가지는, 내부 포드 조립체를 포함하고,
    윈도우 각각은
    장착 리세스로서, 제1 및 제2 리세스 측벽, 제2의 제1 및 제2 저부 측벽, 제1 및 제2 측벽 각각 내에 형성된 제1 및 제2 언더컷을 갖고, 제1 및 제2 리세스 측벽과 제1 및 제2 저부 측벽은 함께 립을 형성하는, 장착 리세스;
    장착 리세스의 저부 측벽에 의해 형성되는 개구;
    개구 위에서 장착 리세스 내에 배치되고 립에 의해 지지되는 투명 기판; 및
    15 psi x 103 내지 30 psi x 103의 탄성 계수(E)를 가지는 재료로 구성되고 제1 단부 부분으로부터 제2 단부 부분으로 연장하는 한쌍의 아치형 부분을 갖는 보유 부재로서, 제1 단부 부분은 제1 리세스 측벽에 형성된 제1 언더컷 내에 위치되고, 제2 단부 부분은 제2 리세스 측벽 내에 형성된 제2 언더컷 내에 위치되며, 보유 부재의 아치형 부분의 쌍은 투명 기판과 접촉하여 투명 기판을 장착 리세스 내에 보유하는 보유 부재
    를 포함하는, 기판 용기.
  11. 삭제
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