KR20220079611A - 창을 갖는 레티클 포드 - Google Patents

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KR20220079611A
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KR1020227015165A
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숀 디. 에굼
앤소니 엠. 티벤
브라이언 와이즈먼
루스 브이. 라쉬케
화핑 왕
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

레티클 포드의 도어는 렌즈, 측벽 및 레지를 갖는 창을 포함한다. 창은 하우징과 커버 사이의 도어 내에 내부적으로 위치되거나 부착될 수 있다. 압축 밀봉부가 창과 함께 사용될 수 있다. 측벽, 레지 및 압축 밀봉부는 함께 작동하여, 외부 오염물질로부터 원하는 수준의 보호를 유지하면서 도어에 압축 끼워맞춤을 가능하게 한다.

Description

창을 갖는 레티클 포드
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원은 2019년 10월 10일에 출원된 미국 가출원 제62/913,518호의 이익 및 우선권을 주장하며, 그 전체가 모든 목적을 위해 본원에 참조로 포함된다.
기술분야
본 개시내용은 일반적으로 반도체 제조를 위한 포토리소그래피(photolithography) 공정에서 사용되는 레티클(reticle) 및 펠리클(pellicle)의 저장, 운송, 선적 및 가공을 위한 컨테이너에 관한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 개시내용은 컨테이너의 도어(door)에 창을 포함하는 레티클 컨테이너에 관한 것이다.
집적 회로 및 다른 반도체 장치의 제작에서 공통적으로 직면하는 공정 단계 중 하나는 포토리소그래피이다. 대체로, 포토리소그래피는 특수하게 제조된 웨이퍼 표면을 패턴화된 템플릿을 사용하여 방사선 공급원에 선택적으로 노출시켜 에칭된 표면 층을 생성하는 것을 수반한다. 전형적으로, 패턴화된 템플릿은 웨이퍼 상에 재현될 패턴을 함유하는 매우 편평한 유리 판인 레티클이다. 예를 들어, 웨이퍼 표면은 먼저 그 위에 질화규소를 침착시킨 후 감광성 액체 중합체 또는 포토레지스트(photoresist)를 코팅함으로써 제조될 수 있다. 다음으로, 자외선 (UV) 광 또는 극자외선 (EUV) 광을 마스크 또는 레티클의 표면을 통해 비추거나 이로부터 반사시켜 원하는 패턴을 포토레지스트로 덮인 웨이퍼 상에 투사한다. 광에 노출된 포토레지스트의 부분은 화학적으로 개질되고, 후속적으로 마스크 상의 패턴의 정확한 형상으로 웨이퍼 상에 개질된 포토레지스트를 남기면서 노출되지 않은 포토레지스트를 제거하는 화학적 매체가 웨이퍼에 가해질 때, 영향을 받지 않고 남아있다. 이어서, 웨이퍼에 질화물 층의 노출된 부분을 제거하는 에칭 공정이 적용되어 마스크의 정확한 설계로 웨이퍼 상에 질화물 패턴을 남긴다. 이러한 에칭된 층은, 단독으로 또는 다른 유사하게 생성된 층과 조합되어, 집적 회로 또는 반도체 칩의 "회로"를 특성화하는 장치 및 장치 사이의 상호연결을 나타낸다.
특정 관행에서, 레티클 및 펠리클의 저장 및 선적은 조작된 컨테이너를 필요로 한다. 저장, 운송 또는 선적 동안 레티클 또는 펠리클의 완전성을 유지하는 것이 주요 관심사이다. 컨테이너는 컨테이너를 개방하여 장치를 입자 또는 다른 형태의 오염에 노출시키지 않고는 레티클 또는 펠리클을 검사하기 위한 수단을 갖지 않는다. 센서가 포드 내부의 레티클 또는 펠리클 상의 경계 또는 지표를 판독할 수 있거나, 포드 내부의 레티클 또는 펠리클의 관찰을 허용할 수 있거나, 또는 둘 모두일 수 있도록 도어에 창을 삽입한다.
본 개시내용은 일반적으로 반도체 제조를 위한 포토리소그래피 공정에서 사용되는 레티클 및 펠리클의 저장, 운송, 선적 및 가공을 위한 컨테이너에 관한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 개시내용은 컨테이너의 도어에 창을 포함하는 레티클 컨테이너에 관한 것이다.
한 실시양태에서, 본 개시내용의 창은 렌즈, 측벽, 레지(ledge) 및 압축 밀봉부를 갖는다. 창은 하우징과 커버 사이의 도어 내에 내부적으로 위치되거나 부착될 수 있다. 측벽, 레지 및 압축 밀봉부는 함께 작동하여, 외부 오염물질로부터 원하는 수준의 보호를 유지하면서 도어에 압축 끼워맞춤을 가능하게 한다.
다른 실시양태에서, 레티클 포드 도어는 도어 하우징; 도어 하우징에 고정된 도어 커버; 도어 하우징에 형성된 개구; 및 렌즈, 측벽 및 레지를 포함하는 창을 포함하며, 여기서 창은 도어 하우징에 형성된 개구를 통해 렌즈를 관찰 가능하도록 도어 커버와 도어 하우징 사이의 레티클 포드 도어 내에 보유된다.
또 다른 실시양태에서, 레티클 컨테이너는 포드 커버, 포드 도어를 포함하며, 여기서 포드 도어는 도어 하우징, 도어 하우징에 고정된 도어 커버, 도어 하우징에 형성된 개구, 및 렌즈, 측벽 및 레지를 포함하는 창을 포함하며, 여기서 창은 도어 하우징에 형성된 개구를 통해 렌즈를 관찰 가능하도록 포드 도어에 보유된다.
본 개시내용은 첨부된 도면과 관련하여 다양한 예시적 실시양태의 하기 설명을 고려하여 보다 완전하게 이해될 수 있다.
도 1은 본 개시내용의 다양한 실시양태에 따른 레티클 컨테이너의 분해도이다.
도 2는 본 개시내용의 실시양태에 따라 도시된 바와 같은 레티클 컨테이너의 단면도이다.
도 3은 본 개시내용의 실시양태에 따른 레티클 컨테이너의 도어 내에 위치된 창을 설명한다.
도 4는 레티클 컨테이너의 도어 내로의 삽입을 위한 창의 실시양태를 예시한다.
도 5는 레티클 컨테이너의 도어 내에 부착된 도 4의 창을 보여주는 부분 단면도이다.
도 6은 레티클 컨테이너의 도어 내로의 삽입을 위한 창의 또 다른 실시양태를 예시한다.
도 7은 레티클 컨테이너의 도어 내에 부착된 도 6의 창을 보여주는 부분 단면도이다.
도 8은 레티클 컨테이너의 도어 내로의 삽입을 위한 창의 또 다른 실시양태를 예시한다.
도 9는 레티클 컨테이너의 도어 내에 부착된 도 8의 창을 보여주는 부분 단면도이다.
도 10은 본 개시내용의 또 다른 실시양태에 따른 창을 포함하는 도어 커버의 상단 사시도이다.
도 11은 레티클 컨테이너의 도어 내에 부착된 도 10의 창을 보여주는 부분 단면도이다.
도 12a는 본 개시내용의 실시양태에 따라 제공된 창 조립체의 사시도이다.
도 12b는 선 12B-12B를 따라 취한 도 12a에 도시된 창 조립체의 단면도이다.
도 13은 레티클 컨테이너의 도어 내에 함유된 도 12a 및 도 12b의 창을 보여주는 부분 단면도이다.
본 개시내용은 다양한 수정 및 대안적 형태를 따를 수 있지만, 그 세부사항은 도면에 예로서 도시되어 있으며, 상세하게 기재될 것이다. 그러나, 본 개시내용의 측면을 기재된 특정한 예시적 실시양태로 제한하려는 의도는 아니라는 것이 이해되어야 한다. 반대로, 본 개시내용의 사상 및 범위 내에 속하는 모든 수정, 등가물 및 대안을 포괄하도록 의도된다.
본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용될 때, 단수 형태("a", "an" 및 "the")는 내용이 달리 명백하게 지시하지 않는 한 복수의 지시대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용될 때, 용어 "또는"은 일반적으로 내용이 달리 명백하게 지시하지 않는 한 "및/또는"을 포함하는 의미로 이용된다.
용어 "약"은 일반적으로 언급된 값과 동등한 것으로 간주되는 (예를 들어, 동일한 기능 또는 결과를 갖는) 수의 범위를 지칭한다. 많은 경우에, 용어 "약"은 가장 가까운 유효 숫자로 반올림된 수를 포함할 수 있다.
하기의 상세한 설명은 상이한 도면 내의 유사한 요소가 동일하게 넘버링된 도면을 참조하여 읽어야 한다. 상세한 설명 및 도면은 반드시 축척에 맞지는 않고, 예시적 실시양태를 설명하며, 본 발명의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다. 설명된 예시적 실시양태는 단지 예시적인 것으로 의도된다. 임의의 예시적 실시양태의 선택된 특징은 달리 명백하게 언급되지 않는 한 추가적인 실시양태에 통합될 수 있다.
특정 실시양태에서, 본 개시내용의 다양한 실시양태에 따라 본원에 기재된 바와 같은 창은, 기계적 수단에 의한 직접 체결 없이 도어 하우징과 도어 커버 사이의 압축 밀봉을 가능하게 하는 측벽을 갖는 일체형 구조를 갖는다. 이는 적어도 체결 장치로부터 입자의 발생을 방지할 수 있다. 추가적으로, 창은, 다양한 실시양태에 따라, (i) 광 투과를 증진시키기 위한 단일 렌즈일 수 있고, (ii) 레티클 포드 내에 봉입된 취성 장치의 판독 및 검출을 증진시키기 위해 표시에 매우 근접하여 배치될 수 있다.
도 1은 예시적인 레티클 컨테이너(2)의 분해도이다. 한 예시적 실시양태에서, 도시된 바와 같이, 레티클 컨테이너(2)는 극자외선 (EUV) 레티클 포드이며, 반도체의 제조에 사용되는 EUV 포토리소그래피 공정의 다양한 단계를 통해 레티클을 운송하는데 사용된다. 도 1에서 볼 수 있는 바와 같이, 레티클 컨테이너는 외부 포드 커버(6) 및 외부 포드 도어(8)를 포함하는 외부 포드(4)를 포함한다. 내부 포드(10)는 외부 포드(4) 내에 함유되고 내부 포드 도어(14)와 맞물리도록 구성된 내부 포드 커버(12)를 포함한다. 내부 포드(10)의 환경 내에 함유된 것은 레티클(16)이다. 본 개시내용의 다양한 실시양태에 따르면, 외부 포드 도어(8)는, 레티클 컨테이너(2)가 조립될 때, 도 2에서 가장 잘 관찰되는 바와 같이, 내부 포드 도어(14)에 제공된 창(22)와 정렬되는 창(20)을 포함한다. 외부 포드 도어(8)에 제공된 창(20)과 내부 포드 도어(14)의 창(22)의 정렬은 내부 포드(10) 내에 함유된 레티클(16)의 관찰을 용이하게 하고/하거나 센서가 외부 포드(4) 및/또는 내부 포드(10)의 내부 공간에 개방 접근할 필요 없이 내부 포드(10) 내부의 레티클 또는 펠리클 상의 경계 또는 지표를 판독할 수 있게 한다.
도 3은 본 개시내용의 실시양태에 따른 창(20)를 포함하는 외부 포드 도어(8)를 보여준다. 도 3에 도시된 바와 같이, 창(20)은 외부 포드 도어(8)에 보유된다. 외부 포드 도어(8)는 외부 포드 도어 커버(24) 및 외부 포드 도어 하우징(26)으로 구성된다. 창(20)은 도어 커버(24)와 도어 하우징(26) 사이에 보유된다. 본 개시내용의 지식을 가진 해당 분야의 통상의 기술자는 외부 포드 도어(8)가 레티클 포드 및 도어(8)의 다른 기능 및 작동을 지지하는 다른 특징 또는 보조 장치를 가질 수 있음을 인지할 것이다. 다른 특징 또는 보조 장치의 비-제한적 예는 밀봉부, 래치, 레티클 보유 포스트 등을 포함할 수 있다.
도 4는 본 개시내용의 실시양태에 따른 예시적인 창(20)를 보여준다. 창(20)은 렌즈(28), 측벽(30) 및 레지(32)를 포함한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 렌즈(28), 측벽(30) 및 레지(32)는 단일의 일체형 조각으로서 제공된다. 일부 실시양태에서, 렌즈(28)는 편평한 상부 표면(34)을 가질 수 있다. 측벽(30)은 렌즈(28)로부터 멀어지는 하향 방향으로 연장되고 렌즈(28)를 에워싼다. 레지(32)는 측벽(30)으로부터 멀어지는 외향 방향으로 연장되고, 또한 측벽(30)에 의해 형성된 창(20)의 외부 주연부(36) 둘레에서 연장된다.
창(20)은 판독 장치에 의한 표시에의 접근을 가능하게 하는 투명 물질로 구성된다. 특정 실시양태에서, 창(20)은 폴리카르보네이트로 구성된다. 다른 투명한 중합체가 창(20)의 제작에 적합할 수 있다. 또한, 렌즈(28)는 바람직하게는 표시를 판독하기 위해 충분한 광이 렌즈를 통해 투과하도록 매끄러운 표면을 갖는다. 렌즈(28)를 포함하는 창(20)은 통상적인 용융 가공 기술, 예컨대 사출 성형에 의해 형성될 수 있다.
창(20)은 판독 장치가 예를 들어, 레티클 컨테이너의 내부 포드(10)와 같은 내부 포드 내에 함유된 레티클 (예를 들어, 도 1 및 2의 레티클(16)) 상의 임의의 표시를 판독할 수 있도록 충분히 크기조정되고 형상화될 수 있다. 예를 들어, 판독 장치는 창(20)을 통해 레티클 상의 2차원 바코드를 판독하거나 또는 내부 포드 내에 함유된 레티클 상의 펠리클 프레임을 검출할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 렌즈(28) 및 측벽(30)을 갖는 창(20)은 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어의 도어 하우징(26)과 도어 커버(24) 사이에 보유될 수 있다. 작동시, 창(20)은 도어 하우징(26)의 개구(37)에 수용된다. 렌즈(28)의 외주(42)는 개구(37)의 내주(44)의 크기 및 형상과 일치한다. 또한, 도어 커버(24)는 측벽(30)의 내주(46)의 크기 및 형상과 일치하는 개구(38)를 갖는다.
일부 실시양태에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 압축 밀봉부, 예컨대 압축 밀봉부(50)가 레티클 컨테이너의 외부 포드 도어(8) 내에 창(20)의 보유를 용이하게 하는 데 이용될 수 있다. 도 5에 설명된 실시양태에 도시된 바와 같이, 압축 밀봉부(50)는 레지(32) 상부의 창(20)의 외부 주연부(36) 둘레에 보유된다. 압축 밀봉부(50)는 엘라스토머성 화합물로부터 형성될 수 있다. 특정 실시양태에서, 압축 밀봉부는 플루오로엘라스토머로부터 형성된다. 플루오로엘라스토머는 일반적으로 보다 투명한 중합체로 간주되며, 압축 밀봉과 같은 적용에서 풍부한 입자를 발생시키지 않는다. 일부 실시양태에서, 압축 밀봉부(50)는 O-링일 수 있다.
일부 실시양태에서, 개구(38)를 둘러싸는 도어 커버(24)의 상부 표면(52)이 측벽(30)의 하단 연부(54)와 접촉하여 도어 하우징(26)의 내부 표면(56)과 레지(32)의 상부 표면(58) 사이에서 압축 밀봉부(50)를 압축하도록, 창(20)이 하우징(26)의 개구(37) 내로 삽입된다. 도어 커버(24)는 압축 밀봉부(50) 상의 압축을 유지하여 창(20)이 도어(8) 내에 보유되도록 통상적인 기계적 체결구에 의해 도어 하우징(26)에 고정된다. 압축은 압축 밀봉부(50)를 지나 레티클 포드의 봉입 내로의 공기 또는 미립자 성분 둘 모두의 전달을 최소화하기에 충분한 힘이다.
도 6 내지 도 13은 레티클 컨테이너의 도어 내에 보유되는 창의 추가적인 실시양태를 보여준다.
도 6은 본 개시내용의 또 다른 실시양태에 따른 예시적인 창(120)을 보여준다. 창(120)은 렌즈(128) 및 측벽(130)을 포함한다. 측벽(130)은 렌즈(128)로부터 멀어지는 하향 방향으로 연장되고 렌즈(128)를 에워싼다. 측벽(130) 내의 오목부(131)는 레지(132)를 형성한다. 렌즈(128) 및 측벽(130)은 단일의 일체형 조각으로서 제공될 수 있다. 레지(132)는 측벽(130)의 외부 주연부(136) 내에 형성된 오목부(131)에 의해 형성된다. 일부 실시양태에서, 렌즈(128)는 편평한 상부 표면(134)을 가질 수 있다.
창(120)은 판독 장치에 의한 표시에의 접근을 가능하게 하는 투명 물질로 구성된다. 특정 실시양태에서, 창(120)은 폴리카르보네이트로 구성된다. 다른 투명한 중합체가 창(120)의 제작에 적합할 수 있다. 또한, 렌즈(128)는 바람직하게는 표시를 판독하기 위해 충분한 광이 렌즈를 통해 투과하도록 매끄러운 표면을 갖는다. 렌즈 (128)를 포함하는 창 (120)은 통상적인 용융 가공 기술, 예컨대 사출 성형에 의해 형성될 수 있다
창(120)은 판독 장치가 예를 들어, 레티클 컨테이너의 내부 포드(10)와 같은 내부 포드 내에 함유된 레티클 (예를 들어, 도 1 및 2의 레티클(16)) 상의 임의의 표시를 판독할 수 있도록 충분히 크기조정되고 형상화될 수 있다. 예를 들어, 판독 장치는 창(120)을 통해 레티클 상의 2차원 바코드를 판독하거나 또는 내부 포드 내에 함유된 레티클 상의 펠리클 프레임을 검출할 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 렌즈(128) 및 측벽(130)을 갖는 창(120)은 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어의 도어 하우징(126)과 도어 커버(124) 사이에 보유될 수 있다. 작동시, 창(120)은 도어 하우징(26)의 개구(137) 내에 수용된다. 일부 실시양태에서, 렌즈(128)의 외주(142)는 개구(137)의 내주(144)의 크기 및 형상과 일치한다. 다른 실시양태에서, 렌즈(128)의 외주(142)는 렌즈(128)의 하부 표면(146)이 도어 하우징(126)의 상부 표면(148)과 접촉하여 그에 의해 지지될 수 있도록 개구(137)의 내주(144)보다 약간 더 클 수 있다. 또한, 도어 커버(24)는 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어의 하단으로부터 창(120)의 렌즈(128)를 통한 관찰을 용이하게 하는 개구(138)를 갖는다.
일부 실시양태에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 압축 밀봉부, 예컨대 압축 밀봉부(150)가 레티클 컨테이너의 외부 포드 도어(8) 내에 창(120)의 보유를 용이하게 하는 데 이용될 수 있다. 도 5에 설명된 실시양태에 도시된 바와 같이, 압축 밀봉부(150)는 창(120)의 외부 주연부(136) 둘레에 적어도 부분적으로 오목부(131) 내에 보유된다. 압축 밀봉부(150)에 의해 가해진 압축은 압축 밀봉부(150)를 지나 레티클 포드의 봉입 내로의 공기 또는 미립자 성분 둘 모두의 전달을 최소화하기에 충분한 힘이다.
압축 밀봉부(150)는 엘라스토머성 화합물로부터 형성될 수 있다. 특정 실시양태에서, 압축 밀봉부는 플루오로엘라스토머로부터 형성된다. 플루오로엘라스토머는 일반적으로 보다 투명한 중합체로 간주되며, 압축 밀봉과 같은 적용에서 풍부한 입자를 발생시키지 않는다. 일부 실시양태에서, 압축 밀봉부(150)는 O-링일 수 있다.
도 8은 본 개시내용의 또 다른 실시양태에 따른 예시적인 창(220)을 보여준다. 창(220)은 렌즈(228) 및 측벽(230)을 포함한다. 측벽(230)은 렌즈(228)로부터 멀어지는 하향 방향으로 연장되고 렌즈(228)를 에워싼다. 일부 실시양태에서, 렌즈(228)는 편평한 상부 표면(234)을 가질 수 있다. 확개된 레지(232)가 측벽(130)의 외부 주연부(236) 둘레에서 연장된다. 확개된 레지(232)는 확개된 연부(232)의 제2 외부 주연부(237)보다 더 큰 제1 외부 주연부(235)를 형성하는 상부 연부(233)를 갖는다. 확개된 레지(232)의 상부 연부(233)는 오목부(231)가 렌즈(228)의 하부 표면(239)과 레지(232)의 상부 표면(241) 사이에 형성되도록 측벽(230)으로부터 멀어지는 외향으로 연장된다. 렌즈(228), 측벽(230) 및 레지(232)는 단일의 일체형 조각으로서 제공될 수 있다.
창(220)은 판독 장치에 의한 표시에의 접근을 허용하는 투명 물질로 구성된다. 특정 실시양태에서, 창(220)은 폴리카르보네이트로부터 구성된다. 다른 투명한 중합체가 창(220)의 제작에 적합할 수 있다. 또한, 렌즈(228)는 바람직하게는 표시를 판독하기 위해 충분한 광이 렌즈를 통해 투과하도록 매끄러운 표면을 갖는다. 렌즈(228)를 포함하는 창(220)은 통상적인 용융 가공 기술, 예컨대 사출 성형에 의해 형성될 수 있다.
창(220)은 판독 장치가 예를 들어, 레티클 컨테이너의 내부 포드(10)와 같은 내부 포드 내에 함유된 레티클 (예를 들어, 도 1 및 2의 레티클(16)) 상의 임의의 표시를 판독할 수 있도록 충분히 크기조정되고 형상화될 수 있다. 예를 들어, 판독 장치는, 창(220)을 통해, 레티클 상의 2차원 바코드를 판독하거나 또는 내부 포드 내에 함유된 레티클 상의 펠리클 프레임을 검출할 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 창(220)은 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어의 도어 하우징(226)과 도어 커버(224) 사이에 보유될 수 있다. 작동시, 창(220)은 도어 하우징(26)의 개구(237) 내에 수용된다. 렌즈(228)의 외주(242)는 개구(237)의 내주(244)의 크기 및 형상과 일치한다. 또한, 도어 커버(224)는 외부 포드 도어의 하단으로부터 창(220)의 렌즈(228)를 통한 관찰을 용이하게 하는 개구(238)를 갖는다.
일부 실시양태에서, 도 9에 도시된 바와 같이, 도어 하우징(226)은 개구(237)를 형성하는 측벽(256)으로부터 내향으로 연장되는 레지(254)를 포함할 수 있다. 창(220)은 확개된 레지(232)의 상부 표면(241)이 레지(254)의 하부 표면(258)과 접촉하고 그에 대해 맞닿아서 창(220)을 개구(237) 내의 제 위치에 기계적으로 로킹(locking)시키도록 개구(237) 내에 수용될 수 있다. 또한, 압축 밀봉부, 예컨대 압축 밀봉부(250)가 레티클 컨테이너의 외부 포드 도어(8) 내에 창 (220)의 보유를 용이하게 하는 데 이용될 수 있다.
도 9에 설명된 실시양태에 도시된 바와 같이, 압축 밀봉부(250)는 렌즈(228)의 하단 표면(236)과 레지(256)의 상부 표면(260) 사이에 형성된 공간 내에 보유된다. 압축 밀봉부(250)에 의해 가해진 압축은 압축 밀봉부(150)를 지나 레티클 포드의 봉입 내로의 공기 또는 미립자 성분 둘 모두의 전달을 최소화하기에 충분한 힘이다.
압축 밀봉부(250)는 엘라스토머성 화합물로부터 형성될 수 있다. 특정 실시양태에서, 압축 밀봉부는 플루오로엘라스토머로부터 형성된다. 플루오로엘라스토머는 일반적으로 보다 투명한 중합체로 간주되며, 압축 밀봉과 같은 적용에서 풍부한 입자를 발생시키지 않는다. 일부 실시양태에서, 압축 밀봉부(250)는 O-링일 수 있다.
도어 커버(224)는 압축 밀봉부(250) 상의 압축을 유지하여 창(220)이 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어 내에 보유되도록 통상적인 기계적 체결구로 도어 하우징(226)에 고정된다.
도 10-11은 창, 렌즈(328)를 포함하는 창(320)이 도어 커버(324)의 일부로서 형성된 실시양태의 상이한 도면을 보여준다. 이 실시양태에서, 도어 커버(324)는 판독 장치에 의한 표시로의 접근을 가능하게 하는 투명 물질로 구성된다. 특정 실시양태에서, 창(320)을 포함하는 도어 커버(324)는 폴리카르보네이트로 구성된다. 다른 투명한 중합체가 도어 커버(324) 및 창(320)의 제작에 적합할 수 있다. 또한, 렌즈(328) 바람직하게는 표시를 판독하기 위해 충분한 광이 렌즈를 통해 투과하도록 매끄러운 표면을 갖는다. 창(320)을 포함하는 도어(324)는 통상적인 용융 가공 기술, 예컨대 사출 성형에 의해 형성될 수 있다.
도 10-11에 도시된 바와 같이, 창(320)은 렌즈(328) 및 측벽(330)을 포함한다. 일부 실시양태에서, 도시된 바와 같이, 측벽(330)은 경사질 수 있다. 측벽(330)은 렌즈(328)로부터 도어 커버(324)의 상부 표면(327)까지 멀어지는 하향으로 연장된다. 레지(332)가 측벽(330)으로부터 멀어지는 외향으로 연장되고, 측벽(330)의 외부 주연부 둘레에서 연장된다. 도어 커버(324)가 도어 하우징(326)에 고정될 때, 렌즈(328)는 도어 하우징(326) 내에 형성된 개구(337) 내에 수용된다. 개구(337)의 내부 주연부는 렌즈(328)의 외부 주연부(339)의 크기 및 형상과 일치한다. 압축 밀봉부(350)는 레티클 컨테이너의 외부 포드 도어 내의 창(320)의 보유를 용이하게 하는 데 이용될 수 있다. 압축 밀봉부(350)는 도어 하우징(326) 내에 형성된 언더컷(357)과 레지(332)의 상부 표면(355) 사이에 보유될 수 있다. 압축 밀봉부(350)에 의해 가해진 압축은 압축 밀봉부(350)를 지나 레티클 포드의 봉입 내로의 공기 또는 미립자 성분 둘 모두의 전달을 최소화하기에 충분한 힘이다. 도어 커버(324)는 압축 밀봉부(350) 상의 압축을 유지하여 창(320)이 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어 내에 보유되도록 통상적인 기계적 체결구를 사용하여 도어 하우징(326)에 고정된다.
본원에 개시된 다른 압축 밀봉부와 마찬가지로, 압축 밀봉부(350)는 엘라스토머 화합물로부터 형성될 수 있다. 특정 실시양태에서, 압축 밀봉부는 플루오로엘라스토머로부터 형성된다. 플루오로엘라스토머는 일반적으로 보다 투명한 중합체로 간주되며, 압축 밀봉과 같은 적용에서 풍부한 입자를 발생시키지 않는다. 일부 실시양태에서, 압축 밀봉부(350)는 O-링일 수 있다.
도 12a 및 12b는 레티클 컨테이너의 외부 포드 도어(8)와 같은 도어 내에 수용될 수 있는 창 조립체(400)의 상이한 도면을 보여준다. 창 조립체(400)는 그로밋(404) 및 그로밋(404) 내에 보유되는 렌즈(408)를 포함한다. 그로밋(404)은 렌즈(408)를 관찰할 수 있는 개구를 형성하는 상부 레지(410)를 포함한다. 그로밋은 또한 오목부(414)가 상부 연부(410)와 하부 레지(412) 사이에 형성되도록 상부 레지(410)로부터 이격된 하부 레지(412)를 포함한다. 측벽(416)은 상부 레지(410)로부터 멀어지는 하향 방향으로 연장된다. 하부 레지(412)는 측벽(416)과 일체형이고, 측벽(416)으로부터 멀어지는 외향으로 연장된다. 도 12b에서 볼 수 있는 바와 같이, 그로밋(404)은 상부 레지(410), 하부 레지(412) 및 측벽(416)에 의해 형성된 바와 같은 H-형 단면을 갖는다. 추가적으로, 도 12b에서 볼 수 있는 바와 같이, 렌즈(408)의 연부(418)는 렌즈(408)가 그로밋(404) 내에 보유되도록 측벽(416)의 내부면(422) 내에 형성된 노치 또는 홈(420) 내에 포획된다.
그로밋(404)은 엘라스토머 화합물로부터 형성될 수 있다. 특정 실시양태에서, 그로밋(404)은 플루오로엘라스토머로부터 형성된다. 플루오로엘라스토머는 일반적으로 보다 투명한 중합체로 간주되며, 압축 밀봉과 같은 적용에서 풍부한 입자를 발생시키지 않는다. 그로밋(404)이 제작될 수 있는 엘라스토머 또는 플루오로엘라스토머의 유연성은 창 및 또한 도어 하우징의 내부 표면에 대한 밀봉부의 생성을 용이하게 한다.
렌즈(408)는 투명 물질로 구성된다. 특정 실시양태에서, 렌즈(408)는 폴리카르보네이트로 구성된다. 다른 투명 중합체가 렌즈(408)의 제작에 적합할 수 있다. 다른 실시양태에서, 렌즈(408)는 유리로 구성된다. 또한, 렌즈(408)는 바람직하게는 표시를 판독하기 위해 및/또는 내부 포드 내에 함유된 레티클 또는 펠리클을 관찰하기 위해 충분한 광이 렌즈를 통해 투과하도록 매끄러운 표면을 갖는다.
렌즈(408)는 판독 장치가 예를 들어, 레티클 컨테이너의 내부 포드(10)와 같은 내부 포드 내에 수용된 레티클(예를 들어, 도 1 및 도 2의 레티클(16)) 상의 임의의 표시를 관찰 및/또는 판독할 수 있게 하기에 충분히 크기조정되고 형상화될 수 있다. 예를 들어, 판독 장치는, 창(408)을 통해, 레티클 상의 2차원 바코드를 판독하거나 또는 내부 포드 내에 함유된 레티클 상의 펠리클 프레임을 검출할 수 있다.
도 13에 도시된 바와 같이, 창 조립체(400)는 예를 들어 외부 포드 도어(8)와 같은 외부 포드 도어의 도어 하우징(26)과 도어 커버(24) 사이에 보유될 수 있다. 작동시, 창(400)은 개구(430)를 형성하는 도어 하우징(436)의 내부 연부(432)가 상부 레지(410)와 하부 레지(412) 사이에 형성된 오목부(414) 내에 포획되도록 도어 하우징(26)의 개구(430) 내에 수용된다. 상부 연부(410)의 하부 표면(434)은 도어 하우징(26)의 상부 표면(436)과 접촉하여 그 위에 놓일 수 있다. 또한, 도어 커버(24)는 외부 포드 도어의 하단으로부터 창(400)의 렌즈(408)를 통한 관찰을 용이하게 하는 개구(438)를 갖는다. 일부 실시양태에서, 측벽(416)은 측벽의 하부 연부(442)가 도어 커버(24)의 상부 표면(440)과 접촉하도록 하향으로 연장될 수 있다. 다른 실시양태 (도시되지 않음)에서, 측벽(416)은 측벽(416)의 하부 연부(442)가 도어 하우징(26)과 도어 커버(24) 사이에 있도록 하향으로 연장된다.
본 개시내용의 여러 예시적 실시양태를 이와 같이 기재하였지만, 해당 분야의 통상의 기술자라면 본원에 첨부된 청구범위의 범위 내에서 또 다른 실시양태가 제조되고 사용될 수 있음을 쉽게 이해할 것이다. 이러한 문헌에 의해 포괄되는 본 개시내용의 수많은 이점이 전술한 설명에 기술되었다. 그러나, 본 개시내용은, 많은 점에서, 단지 예시적인 것으로 이해될 것이다. 본 개시내용의 범위를 초과하지 않으면서, 상세 부분에 있어서, 특히 부품의 형상, 크기 및 배열에 관한 변화가 이루어질 수 있다. 물론, 본 개시내용의 범위는 첨부된 청구범위가 표현되는 언어로 한정된다.

Claims (17)

  1. 도어 하우징;
    도어 하우징에 고정된 도어 커버;
    도어 하우징 내에 형성된 개구; 및
    렌즈, 측벽 및 레지를 포함하는 창
    을 포함하고,
    여기서 창은 도어 하우징에 형성된 개구를 통해 렌즈를 관찰 가능하도록 도어 하우징과 도어 커버 사이에서 레티클 포드 도어 내에 함유되는,
    레티클 포드 도어.
  2. 제1항에 있어서, 도어 커버는 렌즈가 레티클 포드 도어의 하단으로부터 관찰 가능하도록 추가적인 개구를 포함하는, 레티클 포드 도어.
  3. 제1항에 있어서, 측벽은 렌즈로부터 멀어지는 하향으로 연장되며, 렌즈를 에워싸서 창의 외부 주연부를 형성하는, 레티클 포드 도어.
  4. 제3항에 있어서, 측벽은 렌즈로부터 멀어지는 하향으로 연장되어 측벽의 하부 연부가 도어 커버의 상부 표면과 접촉하는, 레티클 포드 도어.
  5. 제3항에 있어서, 측벽은 측벽의 하부 연부가 도어 하우징의 하부 표면과 도어 커버의 상부 표면 사이에 있도록 렌즈로부터 멀어지는 하향으로 연장되는, 레티클 포드 도어.
  6. 제1항에 있어서, 레지는 창문의 외부 주연부 둘레에서 측벽으로부터 멀어지는 외향으로 연장되는, 레티클 포드 도어.
  7. 제1항에 있어서, 레지는 측벽 내에 형성된 오목부에 의해 형성되는, 레티클 포드 도어.
  8. 제1항에 있어서, 레지는 창문의 외부 주연부 둘레에서 측벽으로부터 멀어지는 외향으로 연장되고, 제2 외부 주연부보다 큰 제1 외부 주연부를 갖는, 레티클 포드 도어.
  9. 제8항에 있어서, 오목부는 렌즈의 하부 표면과 레지의 상부 표면 사이에 형성되는, 레티클 포드 도어.
  10. 제1항에 있어서, 창, 렌즈, 및 레지는 도어 커버가 도어 하우징에 고정될 때 렌즈가 도어 하우징의 개구 내에 수용되도록 도어 커버 내에 일체로 형성되는, 레티클 포드 도어.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 압축 밀봉부를 추가로 포함하는, 레티클 포드 도어.
  12. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 렌즈, 측벽, 및 레지는 단일 일체형 조각으로서 제공되는, 레티클 포드 도어.
  13. 포드 커버; 및
    도어 하우징, 도어 하우징에 고정된 도어 커버, 도어 하우징에 형성된 개구를 포함하는 포드 도어, 및
    렌즈, 측벽 및 레지를 포함하는 창
    을 포함하며,
    여기서 창은 도어 하우징에 형성된 개구를 통해 렌즈를 관찰 가능하도록 포드 도어에 보유되는,
    레티클 컨테이너.
  14. 제13항에 있어서, 내부 포드 커버 및 내부 포드 도어는 외부 포드를 형성하고, 여기서 레티클 포드 컨테이너는 외부 포드 내에 함유된 내부 포드를 추가로 포함하며, 내부 포드는 내부 포드 하우징, 및 내부 포드 창을 포함하는 내부 포드 도어를 포함하며, 여기서 내부 포드가 외부 포드 내에 함유될 때 내부 포드 창은 외부 포드의 포드 도어 내의 창과 정렬되는, 레티클 컨테이너.
  15. 제13항에 있어서, 창의 측벽은 측벽의 하부 연부가 포드 도어의 도어 커버의 상부 표면과 접촉하도록 렌즈로부터 멀어지는 하향으로 연장되는, 레티클 컨테이너.
  16. 제13항에 있어서, 창의 측벽은 측벽의 하부 연부가 도어 하우징의 하부 표면과 도어 커버의 상부 표면 사이에 있도록 렌즈로부터 멀어지는 하향으로 연장되는, 레티클 컨테이너.
  17. 제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 압축 밀봉부를 추가로 포함하는, 레티클 컨테이너.
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