KR102398973B1 - 투명 창 조립체를 갖는 레티클의 보유 및 운송을 위한 컨테이너 - Google Patents

투명 창 조립체를 갖는 레티클의 보유 및 운송을 위한 컨테이너 Download PDF

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Abstract

레티클을 운송하기 위한 포드는 내부 커버 및 내부 베이스 플레이트를 구비한다. 내부 베이스 플레이트는 레티클을 장착하기 위한 공간을 형성하기 위해 커버와 협력한다. 내부 베이스 플레이트는 둘레를 갖는 구멍과 둘레로부터 내측으로 연장되는 제1 및 제2 플랜지를 구비한다. 창 조립체가 구멍에 장착된다. 창 조립체는 투명 플레이트, 시일 및 리테이너를 구비한다. 시일은 창 조립체와 구멍 사이의 계면을 밀봉하기 위해 투명 플레이트의 외부 또는 측부 편평면 및 구멍의 둘레와 접촉한다. 리테이너는 시일 및 투명 플레이트를 구멍 내에 유지하기 위해 제2 플랜지와 접촉한다.

Description

투명 창 조립체를 갖는 레티클의 보유 및 운송을 위한 컨테이너
(관련 출원에 대한 상호 참조)
본 출원은 그 전체가 모든 목적을 위해 본 명세서에 참조로 원용되는 2017년 7월 21일자 미국 가출원 제62/535660호의 이익 및 우선권을 주장한다.
본 발명은 일반적으로 포토마스크, 레티클, 반도체 기판 및 웨이퍼와 같은 파손되기 쉬운 디바이스를 보관, 운송, 운반 및 처리하는 기술분야에 관한 것이다.
극자외선(EUV) 리소그래피는 집적 회로 및 기타 반도체 디바이스를 제조하기 위해 사용되는 개발 기술이다. 레티클(reticle)로도 지칭되는 반사형 포토마스크는 웨이퍼로도 지칭되는 다수의 기판 상에 재현되는 소망 패턴으로 형성된다. 레티클은 평탄한 유리 플레이트이며, 각각의 웨이퍼는 반도체 재료의 얇은 슬라이스인 것이 바람직하다. 일반적으로, 리소그래피는 웨이퍼를 방사선, 이 경우 극자외선의 소스에 노출시키는 것을 포함한다. 방사선은 레티클로부터 웨이퍼 상으로 반사되어 패턴을 레티클로부터 웨이퍼에 전사시킨다.
EUV 리소그래피에서, 레티클은 종래의 포토리소그래피에 사용되는 레티클과 비교할 때 오염 및 손상에 특히 민감하다. 감도의 차이는 부분적으로, 방사선이 레티클을 통해서 투과되지 않고 레티클에서 반사되기 때문에 초래된다. 현재 레티클에 사용될 수 있는 EUV 방사선에 대해 투과적인 재료가 없기 때문에 방사선은 레티클에서 반사된다.
레티클의 오염 위험은 일반적으로 레티클을 컨테이너에 운송하는 동안 발생한다. 컨테이너는 통상적으로 오염 물질이 컨테이너에 진입되는 것을 방지하기 위해 밀봉된다. 그러나, 운송 도중의 레티클과 컨테이너의 상대 이동은 입자 형성을 초래하여 레티클을 손상시킬 수 있다. 다른 문제는 레티클이 컨테이너에 대해 초기 위치로부터 이동할 수 있고 따라서 적절히 정렬되지 않을 수 있다는 것이다. 레티클이 컨테이너로부터 제거되어 처리 장비에 배치될 때는, 대개 자동화된 장비가 사용된다. 따라서, 운송 시에 초래되는 일체의 오정렬은 처리 중에 존재할 수도 있으며 웨이퍼 상에 형성된 패턴에 결함을 초래할 수도 있다.
상기 논의에서 알 수 있듯이, 레티클이 컨테이너 조립체와 적절하게 정렬되어 있는지를 확인하기 위해 감지 장비를 용이하게 하는 창을 구비하는 레티클 보유용 컨테이너 조립체에 대한 요구가 관련 기술분야에 존재한다. 바람직하게, 창은 오염물질이 컨테이너 조립체에 진입하는 것을 방지하고 창 설치 중에 오염물질의 발생을 최소화하도록 설계된다.
본 발명은 일반적으로 레티클을 운송하기 위한 포드(pod)에 관한 것이다. 포드는 커버와 베이스 내에 장착되는 내부 커버 및 내부 베이스 플레이트를 구비한다. 내부 베이스 플레이트는 레티클을 장착하기 위한 공간을 형성하기 위해 커버와 협력하도록 구성된다. 내부 베이스 플레이트는 둘레를 갖는 구멍, 둘레로부터 내측으로 연장되고 장착면을 갖는 제1 플랜지, 및 둘레로부터 내측으로 연장되는 제2 플랜지를 구비한다. 창 조립체는 구멍에 장착되도록 구성된다. 창 조립체는 내부, 외부 및 측부 편평면을 갖는 투명 플레이트를 가지며, 내부 표면은 장착면과 접촉하도록 구성된다. 창 조립체는 또한 투명 플레이트의 외부 또는 측부 편평면과 접촉하며 구멍의 둘레와 접촉하고 창 조립체와 구멍 사이의 계면을 밀봉하도록 구성된 시일을 갖는다. 리테이너는 제2 플랜지와 접촉하고 시일 및 투명 플레이트를 구멍 내에 유지하도록 구성된다. 투명 플레이트는 포드의 외부로부터 내부 베이스 플레이트 상에 지지된 레티클의 관찰을 용이하게 하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 리테이너는 시일 및 투명 플레이트를 구멍 내에 제거 가능하게 유지하도록 구성된다.
하나의 예시적 실시예에서, 리테이너는 폴리머로 제조된다. 다른 예시적 실시예에서, 리테이너는 스냅 링이며, 창 조립체는 와셔를 갖는다. 일부 경우에, 스냅 링은 스테인레스 스틸로 제조되며, 와셔는 스테인레스 스틸로 제조된다.
일부 실시예에서, 투명 플레이트는 둥근(rounded) 모서리를 갖는 직사각형이며, 본 명세서에서 이는 둥근 직사각형으로도 지칭된다. 다른 실시예에서, 투명 플레이트는 원형이다.
일부 실시예에서, 내부 베이스 플레이트에는 공구에 의한 창 조립체의 제거를 용이하게 하기 위해 노치형 리세스가 형성된다. 내부 베이스 플레이트는 또한 리테이너를 수용하기 위해 둘레에 언더컷 영역을 구비한다.
상기 개요는 본 발명에 고유한 혁신적 특징의 일부의 이해를 용이하게 하기 위해 제공된 것이며, 완전한 설명이 되도록 의도되지 않는다. 본 발명의 완전한 이해는 전체 명세서, 청구범위, 도면 및 요약서를 총괄하여 취함으로써 달성될 수 있다.
본 발명은 다양한 예시적 실시예의 하기 설명을 첨부도면과 관련하여 검토함으로써 보다 완전히 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 EUV 레티클 포드의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 포드의 내부 베이스 플레이트의 사시도이다.
도 3a는 도 2의 베이스 플레이트의 3-3라인을 따라서 취한 단면도이며, 창이 베이스 플레이트에 장착되고 별도의 직사각형 시일 및 창 리테이너에 의해 적소에 유지되는 상태의 도시도이다.
도 3b는 도 3a의 시일 및 창 리테이너의 분해도이다.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따라 베이스 플레이트에 장착되고 별도의 원형 시일 및 창 리테이너에 의해 적소에 유지되는 창의 단면도이다.
도 4b는 도 4a의 시일 및 창 리테이너의 분해도이다.
도 5a는 본 발명의 다른 실시예에 따라 베이스 플레이트에 장착되고 별도의 원형 시일, 와셔 및 창 리테이너에 의해 적소에 유지되는 창의 단면도이다.
도 5b는 도 5a의 시일, 와셔 및 창 리테이너의 분해도이다.
도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 베이스 플레이트에 장착되고 별도의 직사각형 시일 및 창 리테이너에 의해 적소에 유지되는 창의 단면도이다.
도 6b는 도 6a의 시일 및 창 리테이너의 분해도이다.
본 발명은 다양한 수정 및 대체 형태를 따를 수 있지만, 그 상세는 도면에 예로서 도시되어 있으며 상세하게 설명될 것이다. 그러나, 본 발명은 개시의 태양을 기재된 특정한 예시적 실시예로 한정하려는 것이 아님을 이해하여야 한다. 반대로, 본 발명은 본 개시의 취지 및 범위 내에 포함되는 모든 수정예, 균등예 및 대체예를 망라하는 것이다.
본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용될 때, 단수 형태의 관사 및 정관사는 내용이 달리 명시하지 않는 한 복수의 지시 대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용될 때, 용어 "또는"은 일반적으로 내용이 달리 명시하지 않는 한 "및/또는"을 포함하는 의미로 사용된다.
하기 상세한 설명은 도면을 참조하여 독해되어야 하며 여러 도면에서 유사한 요소에는 동일한 참조 번호가 병기된다. 상세한 설명 및 반드시 실척으로 도시되지는 않는 도면은 예시적 실시예를 도시하며, 본 발명의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다. 도시된 예시적 실시예는 단지 모범적인 것으로 의도된다. 임의의 예시적 실시예의 선택된 특징은 달리 명시되지 않는 한 추가 실시예에 통합될 수 있다.
먼저 도 1을 참조하면, 예시적인 EUV 포드(100)가 도시되어 있다. 포드(100)는 레티클(105), 특히 EUV 레티클을 운송 및 보관하기 위해 보유하도록 구성된다. 포드(100)는 베이스(110) 및 커버(115)를 구비한다. 베이스(110)와 커버(115)는 내부 포드(125)를 수용하기에 적합한 밀봉 포위체(120)를 형성한다. 내부 포드(125)는 내부 베이스 플레이트(130) 및 내부 커버(135)를 구비한다. 내부 베이스 플레이트(130)와 내부 커버(135)는 레티클(105)을 수용하기에 적합한 밀봉 포위체(140)를 형성한다. 베이스(110)는 베이스(110)의 내부 표면으로부터 위쪽으로 연장되는 위치결정 돌출부(145)를 구비한다. 내부 베이스 플레이트(130)는 베이스(110) 상에 지지되며, 위치결정 돌출부(145)는 내부 포드(125)를 포드(100)에 대해 위치시키기 위해 내부 베이스 플레이트(130)의 하면(또는 외면)(150)에 형성된 오목한 홈(보이지 않음) 안으로 연장된다. 레티클(105)은 내부 베이스 플레이트(130)의 상면(또는 내면)(151) 상에 지지된다. 커버(115)는 커버(115)의 내부 표면으로부터 아래쪽으로 연장되는 위치결정 돌출부(155)를 구비한다. 위치결정 돌출부(155)는 내부 포드(125)를 포드(100)에 대해 위치시키기 위해 내부 커버(135)에 형성된 구멍(보이지 않음) 안으로 연장된다.
도 2는 내부 베이스 플레이트(130)의 하면(150)을 도시한다. 내부 베이스 플레이트(130)는 복수의 구멍(200-205)을 구비하며, 각각의 구멍(200-205)은 대응하는 창 조립체(210-215)를 구비한다. 이는 레티클(105)이 도 1에 도시하듯이 내부 베이스 플레이트(130)의 상면(151) 상에 지지될 때 레티클(105)의 위치를 결정하기 위해 내부 베이스 플레이트(130) 아래에 감지 장비(도시되지 않음)가 배치되는 것을 용이하게 한다. 내부 베이스 플레이트(130)는 또한 내부 베이스 플레이트(130)를 베이스(105)에 대해 정렬시키기 위해 위치결정 돌출부(145)(도 1)와 교합하도록 구성되는 복수의 오목한 홈(220-222)을 구비한다.
이제 도 3a를 참조하면, 내부 베이스 플레이트(130)의 단면도가 도시되어 있다. 구체적으로, 도 3a는 구멍(200) 및 창 조립체(210)를 도시한다. 구멍(200)은 둘레(또는 주위 측벽)(300)를 갖는다. 플랜지(305)는 둘레(300)로부터 내측으로 연장되며, 언더컷(또는 리세스)(310)은 둘레(300) 내에 외측으로 연장된다. 플랜지(305)는 장착면(315)을 갖는다. 창 조립체(210)는 투명 플레이트(320), 시일(325) 및 리테이너(330)를 구비한다. 플레이트(320)는 외부(또는 하부) 편평면(335) 및 내부(또는 상부) 편평면(336)을 가지며, 내부 편평면(336)은 장착면(315)과 접촉한다. 플레이트(320)는 내부 베이스 플레이트(130)의 상면(151)에 지지된 레티클의 관찰을 용이하게 하도록 구성된다. 시일(325)은 플레이트(320)의 외부 편평면(335) 및 언더컷(310)과 접촉한다. 시일(325)은 창 조립체(210)와 구멍(200) 사이의 계면을 밀봉하도록 구성된다. 리테이너(330)는 시일(325) 및 플레이트(320)를 구멍(200) 내에 유지하기 위해 시일(325) 및 언더컷(310)과 접촉한다. 일부 경우에, 리테이너(330)는 시일(325) 및 플레이트(320)를 구멍(200) 내에 제거 가능하게 유지하도록 구성된다. 이 유지는 창 조립체(210)를 위아래로부터 가로질러 연장되어 창 조립체(210)의 수직 이동을 방지하는 내부 베이스 플레이트(130)에 의한 것이다. 특히, 언더컷(310)이 구비됨으로 인해 둘레(300)로부터 내측으로 연장되는 제2 플랜지(340)가 초래된다. 플랜지(340)는 창 조립체(210)가 구멍(200)을 통해서 외측으로(또는 아래로) 이동하는 것을 방지하는 반면에, 플랜지(305)는 창 조립체(210)가 구멍(200)을 통해서 내측으로(또는 위로) 이동하는 것을 방지한다. 즉, 플랜지(340)와 리테이너(330) 사이의 접촉은 리테이너(330)의 외측 이동을 방지하며, 시일(325)과 리테이너(330) 사이의 접촉은 시일(325)과 플레이트(320)가 플랜지(305)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 리테이너(330)의 내측 이동을 방지한다. 마찬가지로, 플랜지(305)와 플레이트(320) 사이의 접촉은 플레이트(320)의 내측 이동을 방지하며, 시일(325)과 플레이트(320) 사이의 접촉은 시일(325)과 리테이너(330)가 플랜지(340)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 플레이트(320)의 외측 이동을 방지한다.
도 3b는 창 조립체(210)의 분해도이다. 이 도면은 구멍(200), 플레이트(320), 시일(325) 및 리테이너(330)의 직사각형 형상을 강조하고 있지만, 이 형상은 직사각형이 둥근 모서리를 갖기 때문에 보다 정확하게 둥근 직사각형으로 지칭된다. 또한, 리테이너(330)는 복수의 돌출부(345)를 구비한다. 창 조립체(210)가 구멍(200) 내에 설치될 때 플랜지(340)와 접촉하는 것이 돌출부(345)이다. 창 조립체(210)를 고정하기 위해서 나사식 체결구(예를 들어, 나사)가 전혀 필요하지 않다. 즉, 창 조립체(210)는 나사식 체결구를 요구하지 않는다. 이는 입자 발생을 감소시키며, 따라서 레티클(105)을 오염시킬 가능성을 감소시킨다. 바람직하게, 내부 베이스 플레이트(130)는 알루미늄으로 제조되고 플레이트(320)는 유리로 제조되는 반면에, 시일(325)과 리테이너(330) 각각은 폴리머로 제조된다. 폴리머 시일로서 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 플루오르화 폴리머, 탄성중합체 폴리머 및 열가소성 탄성중합체 폴리머가 포함된다. 바람직한 폴리머는 가스방출 정도가 낮은 것이다. 리테이너는 또한 중합성(polymeric)인 실시예를 포함할 수 있다. 리테이너에 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 폴리에테르 에테르 케톤 및 폴리에테르 이미드가 포함된다.
창 조립체(210)를 구멍(200) 내에 장착하기 위해, 플레이트(320)는 장착면(315)과 접촉하여 배치된다. 다음으로, 시일(325)이 언더컷(310) 내에 배치되며, 시일(325)은 플레이트(320)의 외부 편평면(335)과 접촉한다. 리테이너(330)가 시일(325) 및 플랜지(340)와 접촉하도록 리테이너(330)는 언더컷(310) 내에 배치되며, 따라서 시일(325) 및 플레이트(320)를 구멍(200) 내에 제거 가능하게 유지시킨다. 리테이너(330)의 삽입 중에, 시일(325)은 리테이너(330)에 의해 압축된다. 시일(325)에 의해 가해지는 복원력은 리테이너(330)와 플랜지(340) 사이의 접촉을 유지하는데 도움이 된다.
이제 도 4a를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따라 구성된 다른 내부 베이스 플레이트(400)의 단면도가 도시되어 있다. 내부 베이스 플레이트(400)는 구멍(405) 및 구멍(405) 내에 배치된 창 조립체(410)를 구비한다. 내부 베이스 플레이트(400)의 하면(또는 외면)(420)에는 노치형 리세스(415)가 형성된다. 노치형 리세스(415)는 창 조립체(410)가 창 조립체(410)의 손상 없이 공구에 의해 구멍(405)으로부터 제거될 수 있도록 공구(도시되지 않음)에 대한 접근을 제공한다. 구멍(405)은 둘레(또는 주위 측벽)(425)를 갖는다. 플랜지(430)는 둘레(425)로부터 내측으로 연장되며, 언더컷(또는 리세스)(435)은 둘레(425) 내에 외측으로 연장된다. 플랜지(430)는 장착면(440)을 갖는다. 창 조립체(410)는 투명 플레이트(445), 시일(450) 및 리테이너(455)를 구비한다. 플레이트(445)는 외부(또는 하부) 편평면(460) 및 내부(또는 상부) 편평면(461)을 가지며, 내부 편평면(461)은 장착면(440)과 접촉한다. 플레이트(445)는 내부 베이스 플레이트(400) 상에 지지되는 레티클의 관찰을 용이하게 하도록 구성된다. 시일(450)은 플레이트(445)의 외부 편평면(460) 및 언더컷(435)과 접촉한다. 시일(450)은 창 조립체(410)와 구멍(405) 사이의 계면을 밀봉하도록 구성된다. 리테이너(455)는 시일(450) 및 플레이트(445)를 구멍(405) 내에 유지하기 위해 시일(450) 및 언더컷(435)과 접촉한다. 일부 경우에, 리테이너(455)는 시일(450) 및 플레이트(445)를 구멍(405) 내에 제거 가능하게 유지하도록 구성된다. 이 유지는 창 조립체(410)를 위아래로부터 가로질러 연장되어 창 조립체(410)의 수직 이동을 방지하는 내부 베이스 플레이트(400)에 의한 것이다. 특히, 언더컷(435)이 구비됨으로 인해 둘레(425)로부터 내측으로 연장되는 제2 플랜지(465)가 초래된다. 플랜지(465)는 창 조립체(410)가 구멍(405)을 통해서 외측으로(또는 아래로) 이동하는 것을 방지하는 반면에, 플랜지(430)는 창 조립체(410)가 구멍(405)을 통해서 내측으로(또는 위로) 이동하는 것을 방지한다. 즉, 플랜지(465)와 리테이너(455) 사이의 접촉은 리테이너(455)의 외측 이동을 방지하며, 시일(450)과 리테이너(455) 사이의 접촉은 시일(450)과 플레이트(445)가 플랜지(430)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 리테이너(455)의 내측 이동을 방지한다. 마찬가지로, 플랜지(430)와 플레이트(445) 사이의 접촉은 플레이트(445)의 내측 이동을 방지하며, 시일(450)과 플레이트(445) 사이의 접촉은 시일(450)과 리테이너(455)가 플랜지(465)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 플레이트(445)의 외측 이동을 방지한다.
도 4b는 창 조립체(410)의 분해도이다. 이 도면은 구멍(405), 플레이트(445), 시일(450) 및 리테이너(455)의 원형 형상을 강조한다. 창 조립체(410)를 구멍(405) 내에 고정하기 위해서 나사식 체결구(예를 들어, 나사)가 전혀 필요하지 않다. 즉, 창 조립체(420)는 나사식 체결구를 구비하지 않는다. 이는 입자 발생을 감소시키며, 따라서 내부 베이스 플레이트(400) 상에 지지된 레티클을 오염시킬 가능성을 감소시킨다. 바람직하게, 내부 베이스 플레이트(400)는 알루미늄으로 제조되고 플레이트(445)는 유리로 제조되는 반면에, 시일(450)과 리테이너(455) 각각은 폴리머로 제조된다. 폴리머 시일로서 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 플루오르화 폴리머, 탄성중합체 폴리머 및 열가소성 탄성중합체 폴리머가 포함된다. 바람직한 폴리머는 가스방출 정도가 낮은 것이다. 리테이너는 또한 중합성인 실시예를 포함할 수 있다. 리테이너에 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 폴리에테르 에테르 케톤 및 폴리에테르 이미드가 포함된다.
이제 도 5a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따라 구성된 다른 내부 베이스 플레이트(500)의 단면도가 도시되어 있다. 내부 베이스 플레이트(500)는 구멍(505) 및 구멍(505) 내에 배치된 창 조립체(510)를 구비한다. 내부 베이스 플레이트(500)의 하면(또는 외면)(520)에는 노치형 리세스(515)가 형성된다. 노치형 리세스(515)는 창 조립체(510)가 창 조립체(510)의 손상 없이 공구에 의해 구멍(505)으로부터 제거될 수 있도록 공구(도시되지 않음)에 대한 접근을 제공한다. 구멍(505)은 둘레(또는 주위 측벽)(525)를 갖는다. 플랜지(530)는 둘레(525)로부터 내측으로 연장되며, 언더컷(또는 리세스)(535)은 둘레(525) 내에 외측으로 연장된다. 플랜지(530)는 장착면(540)을 갖는다. 창 조립체(510)는 투명 플레이트(545), 시일(550), 와셔(555) 및 리테이너(560)를 구비한다. 플레이트(545)는 외부(또는 하부) 편평면(565) 및 내부(또는 상부) 편평면(566)을 가지며, 내부 편평면(566)은 장착면(540)과 접촉한다. 플레이트(545)는 내부 베이스 플레이트(500) 상에 지지되는 레티클의 관찰을 용이하게 하도록 구성된다. 시일(550)은 플레이트(545)의 외부 편평면(565) 및 언더컷(535)과 접촉한다. 시일(550)은 창 조립체(510)와 구멍(505) 사이의 계면을 밀봉하도록 구성된다. 와셔(555)는 시일(550)과 리테이너(560) 사이에 배치되고 시일(550), 리테이너(560) 및 언더컷(535)과 접촉한다. 리테이너(560)는 언더컷(535)과 접촉하며 시일(550) 및 플레이트(545)를 구멍(505) 내에 유지한다. 일부 경우에, 리테이너(560)는 시일(550) 및 플레이트(545)를 구멍(505) 내에 제거 가능하게 유지하도록 구성된다. 이 유지는 창 조립체(510)를 위아래로부터 가로질러 연장되어 창 조립체(510)의 수직 이동을 방지하는 내부 베이스 플레이트(500)에 의한 것이다. 특히, 언더컷(535)이 구비됨으로 인해 둘레(525)로부터 내측으로 연장되는 제2 플랜지(570)가 초래된다. 플랜지(570)는 창 조립체(510)가 구멍(505)을 통해서 외측으로(또는 아래로) 이동하는 것을 방지하는 반면에, 플랜지(530)는 창 조립체(510)가 구멍(505)을 통해서 내측으로(또는 위로) 이동하는 것을 방지한다. 즉, 플랜지(570)와 리테이너(560) 사이의 접촉은 리테이너(560)의 외측 이동을 방지하며, 와셔(555)와 리테이너(560) 사이의 접촉은 와셔(555), 시일(550) 및 플레이트(545)가 플랜지(530)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 리테이너(560)의 내측 이동을 방지한다. 마찬가지로, 플랜지(530)와 플레이트(545) 사이의 접촉은 플레이트(545)의 내측 이동을 방지하며, 시일(550)과 플레이트(545) 사이의 접촉은 시일(550), 와셔(555) 및 리테이너(560)가 플랜지(570)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 플레이트(545)의 외측 이동을 방지한다.
도 5b는 창 조립체(510)의 분해도이다. 이 도면은 구멍(505), 플레이트(545), 시일(550), 와셔(555) 및 리테이너(560)의 원형 형상을 강조한다. 또한, 리테이너(560)의 제1 단부(575)와 제2 단부(576) 사이에는 갭이 제공된다. 이 공간은 리테이너(560)가 스냅 링으로서 기능하도록 리테이너(560)가 창 조립체(510)의 설치 중에 수축되는 것을 용이하게 한다. 창 조립체(510)를 구멍(505) 내에 고정하기 위해서 나사식 체결구(예를 들어, 나사)가 전혀 필요하지 않다. 즉, 창 조립체(510)는 나사식 체결구를 구비하지 않는다. 이는 입자 발생을 감소시키며, 따라서 내부 베이스 플레이트(500) 상에 지지된 레티클을 오염시킬 가능성을 감소시킨다. 바람직하게, 내부 베이스 플레이트(500)는 알루미늄으로 제조되고, 플레이트(545)는 유리로 제조되며, 시일(550)은 폴리머로 제조되는 반면에, 와셔(555)와 리테이너(560)의 각각은 스테인레스 스틸로 제조된다. 폴리머 시일로서 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 플루오르화 폴리머, 탄성중합체 폴리머 및 열가소성 탄성중합체 폴리머가 포함된다. 바람직한 폴리머는 가스방출 정도가 낮은 것이다. 리테이너는 또한 중합성인 실시예를 포함할 수 있다. 리테이너에 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 폴리에테르 에테르 케톤 및 폴리에테르 이미드가 포함된다. 폴리머 시일로서 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 플루오르화 폴리머, 탄성중합체 폴리머 및 열가소성 탄성중합체 폴리머가 포함된다. 바람직한 폴리머는 가스방출 정도가 낮은 것이다. 리테이너는 또한 중합성인 실시예를 포함할 수 있다. 리테이너에 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 폴리에테르 에테르 케톤 및 폴리에테르 이미드가 포함된다.
이제 도 6a를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 구성된 또 다른 내부 베이스 플레이트(600)의 단면도가 도시되어 있다. 내부 베이스 플레이트(600)는 구멍(605) 및 구멍(605) 내에 배치된 창 조립체(610)를 구비한다. 구멍(605)은 둘레(또는 주위 측벽)(615)를 갖는다. 플랜지(620)는 둘레(615)로부터 내측으로 연장되고, 언더컷(또는 리세스)(625)은 둘레(615) 내에 외측으로 연장된다. 플랜지(620)는 장착면(630)을 갖는다. 창 조립체(610)는 투명 플레이트(635), 시일(640) 및 리테이너(645)를 구비한다. 플레이트(635)는 외부(또는 하부) 편평면(650) 및 내부(또는 상부) 편평면(651)을 가지며, 내부 편평면(651)은 장착면(630)과 접촉한다. 플레이트(635)는 내부 베이스 플레이트(600) 상에 지지되는 레티클의 관찰을 용이하게 하도록 구성된다. 시일(640)은 둘레(615), 장착면(630) 및 플레이트(635)의 측부 편평면(655)과 접촉한다. 시일(640)은 창 조립체(610)와 구멍(605) 사이의 계면을 밀봉하도록 구성된다. 리테이너(645)는 시일(640), 언더컷(625) 및 플레이트(635)의 외부 편평면(650)과 접촉한다. 리테이너(645)는 시일(640) 및 플레이트(635)를 구멍(605) 내에 유지하도록 구성된다. 일부 경우에, 리테이너(645)는 시일(640) 및 플레이트(635)를 구멍(605) 내에 제거 가능하게 유지하도록 구성된다. 이 유지는 창 조립체(610)를 위아래로부터 가로질러 연장되어 창 조립체(610)의 수직 이동을 방지하는 내부 베이스 플레이트(600)에 의한 것이다. 특히, 언더컷(625)이 구비됨으로 인해 둘레(615)로부터 내측으로 연장되는 제2 플랜지(660)가 초래된다. 플랜지(660)는 창 조립체(610)가 구멍(605)을 통해서 외측으로(또는 아래로) 이동하는 것을 방지하는 반면에, 플랜지(620)는 창 조립체(610)가 구멍(605)을 통해서 내측으로(또는 위로) 이동하는 것을 방지한다. 즉, 플랜지(660)와 리테이너(645) 사이의 접촉은 리테이너(645)의 외측 이동을 방지하며, 시일(640), 플레이트(635) 및 리테이너(645) 사이의 접촉은 시일(640) 및 플레이트(635)가 플랜지(620)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 리테이너(645)의 내측 이동을 방지한다. 마찬가지로, 플랜지(620)와 플레이트(635) 사이의 접촉은 플레이트(635)의 내측 이동을 방지하며, 리테이너(645)와 플레이트(635) 사이의 접촉은 리테이너(645)가 플랜지(660)에 의해 그 방향으로 적소에 유지되기 때문에 플레이트(635)의 외측 이동을 방지한다.
도 6b는 창 조립체(610)의 분해도이다. 이 도면은 구멍(605), 플레이트(635), 시일(640) 및 리테이너(645)의 직사각형 형상을 강조하고 있지만, 이 형상은 보다 정확하게 둥근 직사각형으로 지칭된다. 또한, 리테이너(645)는 복수의 돌출부(665)를 구비한다. 창 조립체(610)가 설치될 때 플랜지(660)와 접촉하는 것이 돌출부(665)이다. 창 조립체(610)를 구멍(605) 내에 고정하기 위해서 나사식 체결구(예를 들어, 나사)가 전혀 필요하지 않다. 이는 입자 발생을 감소시키며, 따라서 내부 베이스 플레이트(600) 상에 지지된 레티클을 오염시킬 가능성을 감소시킨다. 바람직하게, 내부 베이스 플레이트(600)는 알루미늄으로 제조되고 플레이트(635)는 유리로 제조되는 반면에, 시일(640)과 리테이너(645) 각각은 폴리머로 제조된다. 리테이너에 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 폴리에테르 에테르 케톤 및 폴리에테르 이미드가 포함된다. 폴리머 시일로서 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 플루오르화 폴리머, 탄성중합체 폴리머 및 열가소성 탄성중합체 폴리머가 포함된다. 바람직한 폴리머는 가스방출 정도가 낮은 것이다. 리테이너는 또한 중합성인 실시예를 포함할 수 있다. 리테이너에 적합한 폴리머의 비제한적 예로는 폴리에테르 에테르 케톤 및 폴리에테르 이미드가 포함된다.
본 발명의 몇 가지 예시적 실시예를 이상과 같이 설명했지만, 통상의 기술자라면 본 명세서에 첨부된 청구범위의 범위 내에서 또 다른 실시예가 작성 및 사용될 수 있음을 쉽게 이해할 것이다. 본 문서에 의해 커버되는 본 개시의 많은 장점은 전술한 설명에 제시되어 있다. 그러나, 본 개시는 많은 점에서 단지 예시적인 것이 이해될 것이다. 본 발명의 범위를 초과하지 않는 한도 내에서 특히 부품의 형상, 크기 및 배열에 관한 사항의 변경이 이루어질 수 있다. 본 발명의 범위는 물론 첨부된 청구범위가 표현되는 언어로 정의된다.

Claims (20)

  1. 레티클을 운송하기 위한 포드이며,
    커버; 및
    레티클을 장착하기 위한 공간을 형성하기 위해 상기 커버와 협동하도록 구성된 내부 베이스 플레이트를 포함하고,
    상기 내부 베이스 플레이트는
    둘레를 갖는 구멍,
    둘레로부터 내측으로 연장되고 장착면을 갖는 제1 플랜지,
    둘레로부터 내측으로 연장되는 제2 플랜지, 및
    상기 구멍에 장착되도록 구성된 창 조립체를 구비하며,
    상기 창 조립체는
    내부, 외부 및 측부 편평면을 갖는 투명 플레이트로서, 내부 표면은 장착면과 접촉하도록 구성되는, 투명 플레이트,
    상기 투명 플레이트의 외부 또는 측부 편평면과 접촉하며 구멍의 둘레와 접촉하고 창 조립체와 구멍 사이의 계면을 밀봉하도록 구성된 시일, 및
    제2 플랜지와 접촉하고 시일 및 투명 플레이트를 구멍 내에 유지하도록 구성된 리테이너를 갖는 포드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 리테이너는 폴리머로 제조되는 포드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 리테이너는 스냅 링인 포드.
  4. 제3항에 있어서, 창 조립체는 와셔를 갖고, 상기 와셔는 시일과 리테이너 사이에 배치되는 포드.
  5. 제4항에 있어서, 스냅 링은 스테인레스 스틸로 제조되고, 와셔는 스테인레스 스틸로 제조되는 포드.
  6. 제1항에 있어서, 상기 투명 플레이트는 둥근 직사각형이거나 또는 원형인 포드.
  7. 제1항에 있어서, 상기 리테이너는 제2 플랜지와 접촉하고 시일 및 투명 플레이트를 구멍 내에 제거 가능하게 유지하도록 구성되는 포드.
  8. 제1항에 있어서, 상기 내부 베이스 플레이트에는 공구에 의한 창 조립체의 제거를 용이하게 하기 위해 노치형 리세스가 형성되며 리테이너를 수용하기 위해 둘레에 언더컷 영역이 형성되는 포드.
  9. 제1항에 있어서, 상기 투명 플레이트는 포드의 외부로부터 내부 베이스 플레이트 상에 지지된 레티클의 관찰을 용이하게 하도록 구성되는 포드.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
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