KR20070011896A - 레티클 카세트 - Google Patents

레티클 카세트 Download PDF

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KR20070011896A
KR20070011896A KR1020050066556A KR20050066556A KR20070011896A KR 20070011896 A KR20070011896 A KR 20070011896A KR 1020050066556 A KR1020050066556 A KR 1020050066556A KR 20050066556 A KR20050066556 A KR 20050066556A KR 20070011896 A KR20070011896 A KR 20070011896A
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김영근
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 레티클 카세트에 대하여 개시한다. 그의 카세트는, 레티클이 수평으로 삽입되는 공간부가 형성되고 상기 공간부의 가장자리를 따라 상기 레티클을 지지하는 레티클 지지대가 형성되며, 상기 레티클 지지대의 각 모서리에 위치되어 상기 레티클을 상기 레티클 지지대에서 소정 간격으로 부양시키는 복수개의 레티클 받침대가 형성된 몸체; 상기 몸체를 덮도록 형성된 덮개부; 상기 몸체의 측면으로부터 소정 길이만큼 연장되어 상기 덮개부의 전면에 회동 가능하게 형성되고, 상기 레티클이 삽입되는 상기 공간부의 입출구를 밀폐하도록 형성된 도어; 및 상기 도어의 내측에서 상기 몸체와 체결되는 방향으로 돌출되어 형성되고, 상기 도어가 닫혀질 때 상기 몸체 내부에 탑재되는 상기 레티클이 상기 공간부에서 정렬되고 상기 레티클이 유격에 의해 수평방향으로 이동되지 않고, 상기 도어에 인접하여 위치되는 상기 레티클의 측면을 밀착시키는 적어도 하나 이상의 밀착바를 포함하여 이루어진다.
레티클(reticle), 몸체, 도어(door), 바(bar)

Description

레티클 카세트{Cassette for loading reticle}
도 1은 종래 기술에 따른 레티클 카세트의 덮개부가 열린 상태를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 덮개부가 닫힌 상태를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 레티클 카세트의 덮개부가 열린 상태를 나타낸 사시도.
도 4는 도 3의 덮개부가 닫힌 상태를 나타낸 사시도.
도 5는 도 4의 Ⅰ∼Ⅰ'선상을 취하여 나타낸 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 레티클 111 : 몸체
113 : 덮개부 115 : 도어
117 : 레티클 지지대 119 : 레티클 받침대
120 : 클램프 130 : 밀착바
본 발명은 레티클 카세트(reticle cassette)에 관한 것으로, 레티클을 안전하게 탑재시키고, 이동 중에 상기 레티클의 손상을 방지할 수 있는 레티클 카세트에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조에 있어서, 패턴을 형성하기 위한 사진공정 및 식각공정이 필수적으로 요구되는 바, 사진 공정에서 감광막 패턴을 형성하기 위하여 레티클이 사용된다.
레티클이란, 통상 웨이퍼 또는 액정표시소자용 유리기판 상에 패턴을 형성하는 경우에 이 패턴과 동일한 원패턴이 새겨진 유리기판을 말한다. 레티클의 기판 표면에는 통상 활성영역 패턴, 게이트전극패턴 등의 서로 다른 크롬 패턴이 형성되어진다.
본 발명에서의 레티클이란, 마스터 마스크(master mask)를 제작할 때 기본이 되는 모판 마스크를 지칭한다. 이러한 레티클은 마스크와는 그 정렬 및 노광 방식의 측면에서 구별되어지는 것이다. 구체적으로 감광원판과 웨이퍼가 서로 수십 미크론 떨어진 상태에서 1:1 배율로 웨이퍼에 주사하여 노광시키는 프록시미티(proximity)형에 사용되는 것을 마스크라 하고, 광학 렌즈를 이용하여 확대한 감광원판의 상을 일정한 배율로 축소한 다음 웨이퍼에 주사하여 노광시키는 스테퍼(stepper)형에 사용하는 것을 레티클이라 한다.
이러한 레티클의 구조는 그 상면에 소정 노광 패턴, 예컨대 크롬패턴이 형성된 유리기판과, 이 유리기판의 상하면에 설치되어 각각 먼지 등과 같은 이물이 유 리기판에 부착되는 것을 방지하는 상하부 펠리클(pellicle)을 구비하여 이루어진다.
이와 같이 레티클은 유리로 만들어졌기 때문에 다른 물체와 부딪히면 쉽게 흠집이 발생한다. 또한 레티클 표면의 패턴은 약 1kV정도의 정전기의 영향을 받을 경우 유전파괴 등의 손상을 받는다. 나아가 레티클은 제작이 매우 어렵고 고가이다. 따라서 레티클은 세심하게 다루어져야 하고, 사용대기 중이거나 보관이 필요한 경우에는 레티클 카세트에 보관되어져야 한다.
이하, 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 레티클 카세트에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 기술에 따른 레티클 카세트의 덮개부가 열린 상태를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 덮개부가 닫힌 상태를 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 레티클 카세트는 내부에 레티클(10)이 수평으로 삽입되는 공간부(도시하지 않음)가 형성되고 상기 공간부의 가장자리를 따라 레티클 지지대(17)가 형성되며 상기 레티클 지지대(17)의 각 모서리에 위치되어 상기 레티클(10)을 상기 레티클 지지대(17)에서 소정 간격으로 부양시키는 복수개의 레티클 받침대(19)가 형성된 몸체(11)와, 상기 몸체(11)의 후면에 회동 가능하게 설치되어 상기 몸체(11)를 덮도록 형성된 덮개부(13)와, 상기 몸체(11)의 양 외측벽에 부착되어 상기 덮개를 상기 몸체(11)에서 착탈시키는 클램프(20)와, 상기 몸체(11)의 측면으로부터 소정 길이만큼 연장되어 상기 덮개부(13)의 전면에 회동 가능하게 형성되고, 상기 레티클(10)이 삽입되는 상기 공간부의 입출 구를 밀폐하도록 형성된 도어(15)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 레티클(10)은 상기 도어(15)가 열린 상태에서 상기 레티클 받침대(19)에 의해 상기 레티클 지지대(17)와 상기 레티클(10) 사이의 갭으로 삽입되는 로봇암에 의해 로딩 또는 언로딩될 수 있다.
이때, 상기 복수개의 레티클 받침대(19)는 사각형 모양으로 형성된 상기 레티클(10)의 각 모서리를 수평으로 지지토록 형성되어 있다.
따라서, 종래의 레티클 카세트는 레티클(10)이 삽입되는 공간부가 형성된 몸체(11)와 상기 몸체(11) 내부에 삽입된 레티클(10)의 상부를 보호하는 덮개부(13)와, 상기 덮개부(13)에 형성되어 상기 몸체(11) 내부를 외부와 독립시키도록 개폐되는 도어(15)를 구비하여 상기 레티클(10)을 안전하게 보호, 이송, 적재시킬 수 있다.
하지만, 종래 기술에 따른 레티클 카세트는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 종래의 레티클 카세트는 로봇암에 의해 레티클 카세트 내부에 로딩되는 레티클(10)이 서로 동일 또는 유사한 면적비로 상기 복수개의 레티클 받침대(19)에 거치되지 않고, 예를 들어 상기 도어(15)에 인접한 방향의 일방향으로 편중되어 위치될 경우, 상기 로봇암이 상기 레티클(10)을 안전하게 파지하지 못하고 언로딩시켜 레티클(10)이 파손될 수 있기 때문에 생산성이 떨어지는 단점이 있었다.
둘째, 종래의 레티클 카세트는 도어(15)가 닫혀진 상태에서 이동될 경우, 상기 공간부 내에 위치된 상기 레티클(10)이 상기 도어(15) 방향으로 소정의 거리만큼 유격을 갖고 수평방향으로 이동되어 상기 레티클(10)이 손상될 수 있기 때문에 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 로봇암에 의해 내부에 로딩되는 레티클(10)이 서로 동일 또는 유사한 면적비로 상기 복수개의 레티클 받침대(19)에 거치되지 않더라도 상기 레티클(10)이 상기 복수개의 레티클 받침대(19)에서 편중되어 위치되지 않도록 하고, 상기 로봇암에 의한 언로딩 시 파손을 방지토록 하여 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 레티클 카세트를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 공간부 내에 위치된 상기 레티클(10)이 상기 도어(15) 방향으로 유격을 갖지 않고 밀착되어 이동되도록 하고 상기 공간부 내에서의 유격에 의해 상기 레티클(10)이 손상되는 것을 방지하여 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 레티클 카세트를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양태에 따른 레티클 카세트는, 레티클이 수평으로 삽입되는 공간부가 형성되고 상기 공간부의 가장자리를 따라 상기 레티클을 지지하는 레티클 지지대가 형성되며, 상기 레티클 지지대의 각 모서리에 위치되어 상기 레티클을 상기 레티클 지지대에서 소정 간격으로 부양시키는 복수개의 레티클 받침대가 형성된 몸체; 상기 몸체의 후면에 회동 가능하게 설치되어 상기 몸체를 덮도록 형성된 덮개부; 상기 몸체의 양 외측벽에 부착되어 상기 덮개부를 상기 몸체에서 착탈시키는 클램프; 상기 몸체의 측면으로부터 소정 길이만큼 연 장되어 상기 덮개부의 전면에 회동 가능하게 형성되고, 상기 레티클이 삽입되는 상기 공간부의 입출구를 밀폐하도록 형성된 도어; 및 상기 공간부를 개방하는 상기 도어의 내측에서 형성되고, 상기 도어가 닫혀질 때 상기 몸체 내부에 탑재되는 상기 레티클이 상기 공간부에서 정렬되고 상기 레티클이 유격에 의해 수평방향으로 이동되지 않고, 상기 입출구에 인접하여 위치되는 상기 레티클의 가장자리를 밀착시키는 적어도 하나 이상의 밀착바를 포함함을 특징으로 한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 레티클 카세트를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 레티클 카세트의 덮개부가 열린 상태를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 덮개부(113)가 닫힌 상태를 나타낸 사시도이다.
도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 레티클 카세트는, 레티클 (110)이 수평으로 삽입되는 공간부가 형성되고 상기 공간부의 가장자리를 따라 상기 레티클(110)을 지지하는 레티클 지지대(117)가 형성되며, 상기 레티클 지지대(117)의 각 모서리에 위치되어 상기 레티클(110)을 상기 레티클 지지대(117)에서 소정 간격으로 부양시키는 복수개의 레티클 받침대(119)가 형성된 몸체(111)와, 상기 몸체(111)의 후면에 회동 가능하게 설치되어 상기 몸체(111)를 덮도록 형성된 덮개부(113)와, 상기 몸체(111)의 양 외측벽에 부착되어 상기 덮개부(113)를 상기 몸체(111)에서 착탈시키는 클램프(120)와, 상기 몸체(111)의 측면으로부터 소정 길이만큼 연장되어 상기 덮개부(113)의 전면에 회동 가능하게 형성되고, 상기 레티클(110)이 삽입되는 상기 공간부의 입출구를 밀폐하도록 형성된 도어(115)와, 상기 도어(115)의 내측에서 상기 몸체(111)와 체결되는 방향으로 돌출되어 형성되고, 상기 도어(115)가 닫혀질 때 상기 몸체(111) 내부에 탑재되는 상기 레티클(110)이 상기 공간부에서 정렬되고 상기 레티클(110)이 유격에 의해 수평방향으로 이동되지 않고, 상기 입출구에 인접하여 위치되는 상기 레티클(110)의 가장자리를 밀착시키는 적어도 하나 이상의 밀착바(130)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 몸체(111)는 레티클(110)을 보호하기 위해 사각형 모양의 상기 레티클(110)의 외주면 둘레를 감싸도록 형성되어 있다. 이때, 상기 몸체(111)는 상기 레티클(110)이 소정 간격의 유격을 갖고 내부에 삽입되는 상기 공간부를 갖도록 형성된다. 상기 레티클 지지대(117)는 상기 레티클(110)에서 칩 패턴이 형성되지 않은 사각형 모양의 상기 레티클(110)의 가장자리에 대응되도록 형성되어 있다. 상기 레티클 지지대(117)의 각 모서리에 형성된 레티클 받침대(119)는 상기 레티클 (110) 가장자리의 모서리를 지지하도록 형성되어 있다. 예컨대, 상기 복수개의 레티클 받침대(119)는 사각형 모양의 레티클(110) 각 모서리를 지지하는 원기둥 모양을 갖도록 형성되어 있다.
또한, 상기 덮개부(113)는 상기 몸체(111) 내에 삽입된 상기 레티클(110) 상부에 유발될 수 있는 파티클과 같은 오염물질을 방지한다. 예컨대, 상기 덮개부(113)는 상기 몸체(111) 내부에 삽입된 상기 레티클(110)을 외부의 작업자가 볼 수 있도록 플라스틱과 같은 투명재질로 형성되어 있다. 이때, 상기 덮개부(113)는 레티클 카세트의 세정 또는 예방정비 시 상기 몸체(111) 내부를 개방시킬 수 있고, 상기 클램프(120)에 의해 상기 몸체(111)에 착탈될 수 있다.
그리고, 상기 클램프(120)는 상기 도어(115)를 중심으로 상기 몸체(111)의 양측 외벽에서 상기 몸체(111)의 상부를 개방시키는 상기 덮개부(113)를 상기 몸체(111)에 착탈시킨다. 이때, 상기 클램프(120)는 상기 몸체(111)의 측벽으로부터 돌출된 클램프 지지부재(123)와, 상기 클램프 지지부재(123)에 지지되어 상기 덮개부(113)를 잠그기 위해 소정의 탄성을 갖는 클램프 탄성부재(121)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 클램프 탄성부재(121)는 레티클 카세트 전단에 위치한 꺽쇠부(125)와 이에 연결된 후단의 잠금부(127)를 포함하고, 상기 클램프 지지부재(123)는 상기 잠금부(127)에 대응되도록 형성된 잠금돌기(129)를 포함하여 이루어진다. 예컨대, 상기 클램프 탄성부재(121)와, 상기 클램프 지지부재(123)는 소정의 탄성을 갖는 플라스틱 또는 금속 재질로 형성된다.
상기 도어(115)는 외부의 로봇암에 의해 상기 몸체(111) 내부에 상기 레티클 (110)이 삽입되거나, 상기 몸체(111) 내부에서 상기 레티클(110)이 상기 로봇암에 의해 취출될 경우 열려진다. 또한, 상기 도어(115)는 상기 레티클(110)이 상기 몸체(111) 내부에 삽입되어 이송되거나, 레티클 라이브러리(reticle library)에 적재될 경우 닫혀져 있다. 이때, 도어(115)는 상기 몸체(111) 내부의 상기 공간부를 단순히 외부와 독립되도록 만들기 위해 개폐 동작된다.
따라서, 본 발명에 따른 레티클 카세트는 레티클(110)이 소정의 유격을 갖고 삽입되는 공간부가 형성된 몸체(111)와, 상기 몸체(111) 내부에 삽입된 레티클(110)의 상부를 파티클과 같은 오염물질로부터 보호하는 덮개부(113)와, 상기 덮개부(113)에 형성되어 상기 몸체(111) 내부를 외부와 독립시키도록 개폐되는 도어(115)를 구비하여 상기 레티클(110)을 안전하게 보호, 이송, 또는 적재시키도록 할 수 있다.
그러나, 상기 도어(115)가 열려진 상태에서 상기 로봇암에 의해 상기 몸체(111) 내부로 상기 레티클(110)이 비정상적으로 삽입되고, 상기 복수개의 레티클 받침대(119) 중 어느 하나에 편중되어 위치될 경우, 상기 로봇암에 의한 상기 레티클(110)의 언로딩 시 다시 취출되면, 상기 로봇암이 임의의 상기 레티클(110) 위치로 이동하여 상기 레티클(110)을 이송시키는 과정에서 상기 레티클(110)을 정상적으로 파지하지 못하고 언로딩시킬 수 있기 때문에 상기 레티클(110)이 파손될 수 있다.
도 5는 도 4의 Ⅰ∼Ⅰ'선상을 취하여 나타낸 단면도로서, 본 발명의 레티클 카세트는 상기 로봇암에 의한 로딩이 완료된 후, 상기 도어(115)에 형성된 밀착바 (130)가 상기 도어(115)가 닫혀질 때 상기 레티클(110)을 상기 몸체(111) 내부로 밀착시켜 상기 복수개의 레티클 받침대(119)에 상기 레티클(110)의 하중이 균등하게 배분되도록 한다.
즉, 상기 로봇암에 의해 삽입되는 상기 레티클(110)이 정상적으로 로딩되거나, 비정상적으로 로딩되든 간에 상기 복수개의 레티클(110) 중 어느 하나에 편중되어 위치되더라도 상기 도어(115)가 닫혀지면서 상기 레티클(110)을 상기 몸체(111) 내부의 상기 복수개의 레티클 받침대(119)에 안정하게 받혀질 수 있도록 밀착시킨다.
이때, 상기 밀착바(130)는 상기 도어(115)가 상기 몸체(111)에 결합되는 방향으로 돌출되도록 형성되어 있다. 또한, 상기 밀착바(130)는 상기 레티클(110)의 측면이 수평한 힘을 받아 수평이동될 수 있도록 적어도 하나 이상으로 형성되고, 상기 도어(115)가 닫혀질 때 상기 레티클 지지대(117)에 닫지 않고 상기 레티클(110)을 수평으로 밀착시킬 수 있는 높이를 갖도록 형성된다. 예컨대, 상기 도어(115)가 닫혀질 때 상기 레티클(110)을 측면에서 수평으로 밀착시키는 상기 밀착바(130)는 상기 레티클 지지대(117)의 상부에서 상기 레티클 받침대(119)에 받혀지는 상기 레티클(110)의 상단까지의 높이에 대응되는 두께를 갖고 상기 도어(115)의 측면으로 돌출되도록 형성됨이 바람직하다.
따라서, 본 발명에 따른 레티클 카세트는, 도어(115)가 몸체(111)에 체결되는 방향으로 돌출되도록 형성되어 상기 레티클(110)을 상기 몸체(111) 내부로 밀착시키는 밀착바(130)를 구비하여 로봇암에 의해 내부에 로딩되는 레티클(110)이 서 로 동일 또는 유사한 면적비로 상기 복수개의 레티클 받침대(119)에 거치되지 않더라도 상기 복수개의 레티클(110)에 편중되어 위치되지 않도록 하고, 상기 로봇암에 의한 언로딩 시 파손을 방지토록 할 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.
한편, 상기 레티클(110)이 상기 몸체(111) 내부에 탑재되어 이동될 경우, 상기 몸체(111)와 상기 레티클(110)간에 소정의 유격이 발생되어 상기 레티클(110)이 몸체(111) 내부에서 상기 레티클(110)이 수평으로 이동되면서 상기 레티클(110)이 손상될 수 있다.
이때, 레티클(110)이 이송되거나 레티클 라이버러리에 적재될 경우, 상기 도어(115)는 상기 몸체(111)와 결합되어 상기 공간부를 외부와 독립시켜 밀폐시킨다.
따라서, 상기 도어(115)에서 돌출되어 형성된 상기 밀착바(130)가 상기 레티클(110)의 측면을 상기 몸체(111) 내부로 밀착시켜 상기 몸체(111)와 상기 레티클(110)의 유격이 있더라도 상기 레티클(110)이 상기 몸체(111) 내에서 수평으로 이동되지 못하도록 할 수 있다.
예컨대, 상기 밀착바(130)는 상기 도어(115)가 닫혀질 때 유리 재질의 상기 레티클(110) 측면과의 충돌에 의한 상기 레티클(110)의 손상을 방지하고, 상기 레티클(110)이 상기 몸체(111)의 내벽에 밀착되더라도 수직 방향 또는 수평 방향으로 소정의 탄성력을 갖는 고무 또는 플라스틱 재질로 형성된다. 도시하지는 않았지만, 상기 레티클(110)의 일측을 밀착시키는 상기 밀착바(130)에 대응되는 상기 레티클(110)의 타측에 접촉되는 상기 몸체(111)의 내벽에서 돌출되어 소정의 탄성을 갖도 록 형성된 정지부(stopping part)가 더 형성될 수도 있다.
따라서, 본 발명에 따른 레티클 카세트는, 도어(115)가 몸체(111)에 결합되는 방향으로 돌출되어 형성되어 상기 도어(115)가 닫혀질 때 레티클을 측방향으로 밀착시키는 밀착바(130)를 구비하여 몸체(111)의 공간부 내에 위치된 상기 레티클이 상기 도어(115) 방향으로 유격을 갖지 못하도록 하고 상기 공간부 내에서의 유격에 의해 상기 레티클이 손상되는 것을 방지할 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.
또한, 상기한 실시예의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 제공하기 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 그리고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 도어가 몸체에 체결되는 방향으로 돌출되도록 형성되어 상기 레티클을 상기 몸체 내부로 밀착시키는 밀착바를 구비하여 로봇암에 의해 내부에 로딩되는 레티클이 서로 동일 또는 유사한 면적비로 상기 복수개의 레티클 받침대에 거치되지 않더라도 상기 복수개의 레티클에 편중되어 위치되지 않도록 하고, 상기 로봇암에 의한 언로딩 시 파손을 방지토록 할 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 도어가 몸체에 결합되는 방향으로 돌출되어 형성되어 상기 도어가 닫혀질 때 레티클을 측방향으로 밀착시키는 밀착바를 구비하여 몸체의 공간부 내에 위치된 상기 레티클이 상기 도어 방향으로 유격을 갖지 못하도록 하고 상기 공간부 내에서의 유격에 의해 상기 레티클이 손상되는 것을 방지할 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 레티클이 수평으로 삽입되는 공간부가 형성되고 상기 공간부의 가장자리를 따라 상기 레티클을 지지하는 레티클 지지대가 형성되며, 상기 레티클 지지대의 각 모서리에 위치되어 상기 레티클을 상기 레티클 지지대에서 소정 간격으로 부양시키는 복수개의 레티클 받침대가 형성된 몸체;
    상기 몸체의 후면에 회동 가능하게 설치되어 상기 몸체를 덮도록 형성된 덮개부;
    상기 몸체의 양 외측벽에 부착되어 상기 덮개부를 상기 몸체에서 착탈시키는 클램프;
    상기 몸체의 측면으로부터 소정 길이만큼 연장되어 상기 덮개부의 전면에 회동 가능하게 형성되고, 상기 레티클이 삽입되는 상기 공간부의 입출구를 밀폐하도록 형성된 도어; 및
    상기 도어의 내측에서 상기 몸체와 체결되는 방향으로 돌출되어 형성되고, 상기 도어가 닫혀질 때 상기 몸체 내부에 탑재되는 상기 레티클이 상기 공간부에서 정렬되고 상기 레티클이 유격에 의해 수평방향으로 이동되지 않고, 상기 도어에 인접하여 위치되는 상기 레티클의 측면을 밀착시키는 적어도 하나 이상의 밀착바를 포함함을 특징으로 하는 레티클 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀착바는 소정의 탄성을 갖는 고무 또는 플라스틱 재질로 형성함을 특징으로 하는 레티클 카세트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀착바는 상기 레티클 지지바의 상부에서 상기 레티클 받침대에 받혀지는 상기 레티클의 상단까지의 높이에 대응되는 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 레티클 카세트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀착바가 밀착되는 상기 레티클 일측에 대향하여 상기 레티클 타측이 접촉되는 상기 몸체 내벽에서 돌출되어 형성되는 정지부를 더 포함함을 특징으로 하는 레티클 카세트.
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