TWI699849B - 具有一透明窗總成之用於固持及傳送光罩的容器 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種用於傳送光罩之盒，該盒包含一內罩蓋及一內底板。該內底板與該罩蓋協作以建立用於安裝一光罩之一空間。該內底板包含具有一周邊之一孔及自該周邊向內延伸之第一凸緣及第二凸緣。一窗總成安裝於該孔中。該窗總成包含一透明板、一密封件及一保持器。該密封件接觸該透明板之外平坦表面或側平坦表面及該孔之該周邊以密封該窗總成與該孔之間的一界面。該保持器接觸該第二凸緣以將該密封件及透明板保持於該孔內。

Description

具有一透明窗總成之用於固持及傳送光罩的容器
本發明大體上係關於儲存、傳送、運輸及處理易碎裝置(諸如光遮罩、光罩、半導體基板及晶圓)之技術。
極紫外線(EUV)微影係用於製造積體電路及其他半導體裝置之一顯影技術。一反射式光遮罩(亦稱為一光罩)經形成具有在大量基板(亦稱為晶圓)上再現之一所要圖案。光罩係一平面玻璃板，且各晶圓較佳為一半導體材料薄片。一般而言，微影涉及將晶圓曝露於一輻射源(在此情況中，極紫外線輻射)。輻射反射離開光罩且至晶圓上以將圖案自光罩轉印至晶圓。
在與習知光微影中使用之一光罩相比時，運用EUV微影，光罩對污染及損壞尤其敏感。敏感度差異一部分係因輻射反射離開光罩(而非因透射穿過光罩)而引起。輻射被反射離開光罩係因當前不存在可用於光罩之對EUV輻射透明的材料。
光罩污染之風險一般發生在於一容器中傳送光罩期間。容器通常經密封以防止污染物進入容器。然而，光罩與容器在傳送期間之相對移動可引起顆粒形成且損壞光罩。另一問題在於，光罩可自相對於容器 之一初始位置移動且因此並未適當對準。當光罩自容器移除且放置至處理設備中時，通常使用自動化設備。因此，傳送時引起之任何未對準在處理期間可能亦存在且引起形成於晶圓上之圖案有缺陷。
如自上文論述可見，此項技術中需要一種用於固持一光罩之一容器總成，該容器總成包含一窗以有利於感測設備確認光罩與容器總成適當對準。較佳地，窗經設計以防止污染物進入至容器總成中且最小化在安裝該窗期間之污染物之產生。
本發明大體上係關於一種用於傳送光罩之盒(pod)。該盒包含安裝於一罩蓋及一基底內之一內罩蓋及一內底板。該內底板經構形以與該罩蓋協作以建立用於安裝一光罩之一空間。該內底板包含具有一周邊之一孔、自該周邊向內延伸且具有一安裝表面之一第一凸緣，及自該周邊向內延伸之一第二凸緣。一窗總成經構形以安裝於該孔中。該窗總成具有具內平坦表面、外平坦表面及側平坦表面之一透明板，其中該內表面經構形以接觸該安裝表面。該窗總成亦具有一密封件，該密封件接觸該透明板之該外平坦表面或側平坦表面，且經構形以接觸該孔之該周邊且密封該窗總成與該孔之間的一界面。一保持器經構形以接觸該第二凸緣且將該密封件及透明板保持於該孔內。該透明板經構形以有利於從該盒外部觀看支撐於該內底板上之一光罩。在一些實施例中，該保持器經構形以將該密封件及透明板可移除地保持於該孔內。
在一項闡釋性實施例中，該保持器係由聚合物製成。在另一闡釋性實施例中，該保持器係一卡環，且該窗總成具有一墊圈。在一些情況中，該卡環係由不鏽鋼製成，且該墊圈係由不鏽鋼製成。
在一些實施例中，該透明板係具有圓角之一矩形，在本文中亦稱為一圓角矩形。在其他實施例中，該透明板係圓形的。
在一些實施例中，該內底板經形成具有一缺口凹槽以有利於用一工具移除該窗總成。該內底板亦包含該周邊處之一底切區域以接納該保持器。
前文概述經提供以促進理解本發明獨有之一些新穎特徵且並不意欲為一全面描述。可藉由將整個說明書、發明申請專利範圍、圖式及摘要視為一整體而獲得對本發明之一全面瞭解。
100:極紫外線(EUV)盒/盒
105:光罩
110:基底
115:罩蓋
120:密封圍封殼
125:內盒
130:內底板
135:內罩蓋
140:密封圍封殼
145:定位突部
150:下部面
151:上部面
155:定位突部
200至205:孔
210至215:窗總成
220至222:凹入溝槽
300:周邊
305:凸緣
310:底切
315:安裝表面
320:透明板/板
325:密封件
330:保持器
335:外平坦表面
336:內平坦表面
340:凸緣
345:突部
400:內底板
405:孔
410:窗總成
415:缺口凹槽
420:下部面
425:周邊
430:凸緣
435:底切
440:安裝表面
445:透明板/板
450:密封件
455:保持器
460:外平坦表面
461:內平坦表面
465:凸緣
500:內底板
505:孔
510:窗總成
515:缺口凹槽
520:下部面
525:周邊
530:凸緣
535:底切
540:安裝表面
545:透明板/板
550:密封件
555:墊圈
560:保持器
565:外平坦表面
566:內平坦表面
570:凸緣
575:第一端
576:第二端
600:內底板
605:孔
610:窗總成
615:周邊
620:凸緣
625:底切
630:安裝表面
635:透明板/板
640:密封件
645:保持器
650:外平坦表面
651:內平坦表面
655:側平坦表面
660:凸緣
665:突部
可結合隨附圖式考量各種闡釋性實施例之以下描述而更完全理解本發明，其中：圖1展示根據本發明之一實施例之一EUV光罩盒之一橫截面。
圖2展示圖1中展示之盒之一內底板之一透視圖。
圖3A展示沿線3-3取得之圖2之底板之一橫截面，其中一窗安裝於底板中且由一分離矩形密封件及窗保持器保持於適當位置中。
圖3B展示圖3A之密封件及窗保持器之一分解圖。
圖4A展示根據本發明之一實施例之安裝於一底板中且由一分離圓形密封件及窗保持器保持於適當位置中的一窗之一橫截面。
圖4B展示圖4A之密封件及窗保持器之一分解圖。
圖5A展示根據本發明之另一實施例之安裝於一底板中且由一分離圓形密封件、墊圈及窗保持器保持於適當位置中的一窗之一橫截面。
圖5B展示圖5A之密封件、墊圈及窗保持器之一分解圖。
圖6A展示根據本發明之又一實施例之安裝於一底板中且由一分離矩形密封件及窗保持器保持於適當位置中的一窗之一橫截面。
圖6B展示圖6A之密封件及窗保持器之一分解圖。
雖然本發明可有各種修改及替代形式，但其之細節已在圖式中以實例方式展示且將被詳細描述。然而，應瞭解，本發明並未將本發明之態樣限於所描述之特定闡釋性實施例。恰相反，本發明將涵蓋落在本發明之精神及範疇內之全部修改、等效物及替代物。
相關申請案之交叉參考
本申請案主張於2017年7月21日申請之美國臨時申請案第62/535660號之權利及優先權，該案之全文為全部目的以引用的方式併入本文中。
如本說明書及隨附發明申請專利範圍中所使用，單數形式「一」、「一個」及「該」包含複數指涉，除非上下文另有清楚指示。如本說明書及隨附發明申請專利範圍中所使用，術語「或」一般在其之包含「及/或」之意義上使用，除非上下文另有清楚指示。
應參考圖式閱讀以下詳細描述，其中不同圖式中之類似元件相同地編號。詳細描述及圖式(其等不一定按比例)描繪闡釋性實施例且並不意欲限制本發明之範疇。所描繪之闡釋性實施例僅意欲為例示性的。除非有明確相反陳述，否則任何闡釋性實施例之選定特徵可併入至一額外實施例中。
最初參考圖1，其展示一例示性EUV盒100。盒100經構形 以固持一光罩105(尤其一EUV光罩)以進行傳送及儲存。盒100包含一基底110及一罩蓋115。基底110及罩蓋115形成適於容納一內盒125之一密封圍封殼120。內盒125包含一內底板130及一內罩蓋135。內底板130及內罩蓋135形成適於容納光罩105之一密封圍封殼140。基底110包含自基底110之內表面向上延伸之定位突部145。內底板130支撐於基底110上，其中定位突部145延伸至形成於內底板130之一下部(或外部)面150中的凹入溝槽(不可見)中以相對於盒100定位內盒125。光罩105支撐於內底板130之一上部(或內部)面151上。罩蓋115包含自罩蓋115之內表面向下延伸之定位突部155。定位突部155延伸至形成於內罩蓋135中之孔(不可見)中以相對於盒100定位內盒125。
圖2展示內底板130之下部面150。內底板130包含複數個孔200至205，各孔200至205包含一對應窗總成210至215。此有利於定位於內底板130下方之感測設備(未展示)在光罩105支撐於內底板130之上部面151上(如圖1中展示)時判定光罩105之位置。內底板130亦包含複數個凹入溝槽220至222，其等經構形以與定位突部145(圖1)配接以將內底板130相對於基底110對準。
現參考圖3A，其展示內底板130之一橫截面。明確言之，圖3A展示孔200及窗總成210。孔200具有一周邊(或周邊側壁)300。一凸緣305自周邊300向內延伸，且一底切(或凹槽)310向外延伸至周邊300中。凸緣305具有一安裝表面315。窗總成210包含一透明板320、一密封件325及一保持器330。板320具有一外(或下)平坦表面335及一內(或上)平坦表面336，其中內平坦表面336與安裝表面315接觸。板320經構形以有利於觀看支撐於內底板130之上部面151上的一光罩。密封件325接觸板 320之外平坦表面335及底切310。密封件325經構形以密封窗總成210與孔200之間的界面。保持器330接觸密封件325及底切310以將密封件325及板320保持於孔200內。在一些情況中，保持器330經構形以將密封件325及板320可移除地保持於孔200內。此保持係歸因於內底板130自上方及下方跨窗總成210延伸，藉此防止窗總成210之垂直移動。特定言之，包含底切310導致自周邊300向內延伸之一凸緣340。凸緣340防止窗總成210向外(或向下)移動穿過孔200，而凸緣305防止窗總成210向內(或向上)移動穿過孔200。即，凸緣340與保持器330之間的接觸防止保持器330之向外移動，且密封件325與保持器330之間的接觸防止保持器330之向內移動，此係因為密封件325及板320在該方向上藉由凸緣305固持於適當位置中。類似地，凸緣305與板320之間的接觸防止板320之向內移動，且密封件325與板320之間的接觸防止板320之向外移動，此係因為密封件325及保持器330在該方向上藉由凸緣340固持於適當位置中。
圖3B提供窗總成210之一分解圖。此視圖突顯孔200、板320、密封件325及保持器330之矩形形狀，但因為矩形具有圓角，所以此形狀更準確地稱為一圓角矩形。另外，保持器330包含複數個突部345。當窗總成210安裝於孔200內時，突部345接觸凸緣340。不需要螺紋緊固件(例如，螺釘)來固定窗總成210。換言之，窗總成210不需要一螺紋緊固件。此減少顆粒產生，藉此減少污染光罩105之機會。較佳地，內底板130係由鋁製成且板320係由玻璃製成，而密封件325及保持器330之各者係由聚合物製成。適於作為聚合物密封件之聚合物之非限制性實例包含氟化聚合物、彈性體聚合物及熱塑性彈性體聚合物。較佳聚合物係展現低程度釋氣之聚合物。保持器亦可包含為聚合物之實施例。適用於保持器之聚 合物之非限制性實例包含聚醚醚酮及聚醚醯亞胺。
為將窗總成210安裝於孔200內，板320經放置以與安裝表面315接觸。接著，將密封件325放置於底切310中而使密封件325接觸板320之外平坦表面335。保持器330放置於底切310中使得保持器330接觸密封件325及凸緣340，藉此將密封件325及板320可移除地保持於孔200內。在插入保持器330期間，密封件325由保持器330壓縮。密封件325所施加之恢復力有助於維持保持器330與凸緣340之間的接觸。
現參考圖4A，其展示根據本發明之一實施例構造之另一內底板400之一橫截面。內底板400包含一孔405及定位於孔405中之一窗總成410。一缺口凹槽415形成於內底板400之一下部(或外部)面420中。缺口凹槽415針對一工具(未展示)提供出入口使得可用工具自孔405移除窗總成410而不損壞窗總成410。孔405具有一周邊(或周邊側壁)425。一凸緣430自周邊425向內延伸，且一底切(或凹槽)435向外延伸至周邊425中。凸緣430具有一安裝表面440。窗總成410包含一透明板445、一密封件450及一保持器455。板445具有一外(或下)平坦表面460及一內(或上)平坦表面461，其中內平坦表面461與安裝表面440接觸。板445經構形以有利於觀看支撐於內底板400上之一光罩。密封件450接觸板445之外平坦表面460及底切435。密封件450經構形以密封窗總成410與孔405之間的界面。保持器455接觸密封件450及底切435以將密封件450及板445保持於孔405內。在一些情況中，保持器455經構形以將密封件450及板445可移除地保持於孔405內。此保持係歸因於內底板400自上方及下方跨窗總成410延伸，藉此防止窗總成410之垂直移動。特定言之，包含底切435導致自周邊425向內延伸之一凸緣465。凸緣465防止窗總成410向外(或向下)移動 穿過孔405，而凸緣430防止窗總成410向內(或向上)移動穿過孔405。即，凸緣465與保持器455之間的接觸防止保持器455之向外移動，且密封件450與保持器455之間的接觸防止保持器455之向內移動，此係因為密封件450及板445在該方向上由凸緣430固持於適當位置中。類似地，凸緣430與板445之間的接觸防止板445之向內移動，且密封件450與板445之間的接觸防止板445之向外移動，此係因為密封件450及保持器455在該方向上由凸緣465固持於適當位置中。
圖4B提供窗總成410之一分解圖。此視圖突顯孔405、板445、密封件450及保持器455之圓形形狀。不需要螺紋緊固件(例如，螺釘)來將窗總成410固定於孔405內。換言之，窗總成410不包含一螺紋緊固件。此減少顆粒產生，藉此減少污染支撐於內底板400上之一光罩的機會。較佳地，內底板400係由鋁製成且板445係由玻璃製成，而密封件450及保持器455之各者係由聚合物製成。適於作為聚合物密封件之聚合物之非限制性實例包含氟化聚合物、彈性體聚合物及熱塑性彈性體聚合物。較佳聚合物係展現低程度釋氣之聚合物。保持器亦可包含為聚合物之實施例。適用於保持器之聚合物之非限制性實例包含聚醚醚酮及聚醚醯亞胺。
現參考圖5A，其展示根據本發明之另一實施例構造之另一內底板500之一橫截面。內底板500包含一孔505及定位於孔505中之一窗總成510。一缺口凹槽515形成於內底板500之一下部(或外部)面520中。缺口凹槽515針對一工具(未展示)提供出入口使得可用工具自孔505移除窗總成510而不損壞窗總成510。孔505具有一周邊(或周邊側壁)525。一凸緣530自周邊525向內延伸，且一底切(或凹槽)535向外延伸至周邊525中。凸緣530具有一安裝表面540。窗總成510包含一透明板545、一密封 件550、一墊圈555及一保持器560。板545具有一外(或下)平坦表面565及一內(或上)平坦表面566，其中內平坦表面566與安裝表面540接觸。板545經構形以有利於觀看支撐於內底板500上之一光罩。密封件550接觸板545之外平坦表面565及底切535。密封件550經構形以密封窗總成510與孔505之間的界面。墊圈555定位於密封件550與保持器560之間且接觸密封件550、保持器560及底切535。保持器560接觸底切535且將密封件550及板545保持於孔505內。在一些情況中，保持器560經構形以將密封件550及板545可移除地保持於孔505內。此保持係歸因於內底板500自上方及下方跨窗總成510延伸，藉此防止窗總成510之垂直移動。特定言之，包含底切535導致自周邊525向內延伸之一凸緣570。凸緣570防止窗總成510向外(或向下)移動穿過孔505，而凸緣530防止窗總成510向內(或向上)移動穿過孔505。即，凸緣570與保持器560之間的接觸防止保持器560之向外移動，且墊圈555與保持器560之間的接觸防止保持器560之向內移動，此係因為墊圈555、密封件550及板545在該方向上由凸緣530固持於適當位置中。類似地，凸緣530與板545之間的接觸防止板545之向內移動，且密封件550與板545之間的接觸防止板545之向外移動，此係因為密封件550、墊圈555及保持器560在該方向上由凸緣570固持於適當位置中。
圖5B提供窗總成510之一分解圖。此視圖突顯孔505、板545、密封件550、墊圈555及保持器560之圓形形狀。另外，在保持器560之一第一端575與一第二端576之間提供一間隙。此空間有利於保持器560在窗總成510之安裝期間收縮使得保持器560用作一卡環。不需要螺紋緊固件(例如，螺釘)來將窗總成510固定於孔505內。換言之，窗總成510不包含一螺紋緊固件。此減少顆粒產生，藉此減少污染支撐於內底板500上 之一光罩的機會。較佳地，內底板500係由鋁製成，板545係由玻璃製成，且密封件550係由聚合物製成，而墊圈555及保持器560之各者係由不鏽鋼製成。適於作為聚合物密封件之聚合物之非限制性實例包含氟化聚合物、彈性體聚合物及熱塑性彈性體聚合物。較佳聚合物係展現低程度釋氣之聚合物。保持器亦可包含為聚合物之實施例。適用於保持器之聚合物之非限制性實例包含聚醚醚酮及聚醚醯亞胺。
現參考圖6A，其展示根據本發明之又一實施例構造之另一內底板600之一橫截面。內底板600包含一孔605及定位於孔605中之一窗總成610。孔605具有一周邊(或周邊側壁)615。一凸緣620自周邊615向內延伸，且一底切(或凹槽)625向外延伸至周邊615中。凸緣620具有一安裝表面630。窗總成610包含一透明板635、一密封件640及一保持器645。板635具有一外(或下)平坦表面650及一內(或上)平坦表面651，其中內平坦表面651與安裝表面630接觸。板635經構形以有利於觀看支撐於內底板600上之一光罩。密封件640接觸周邊615、安裝表面630及板635之一側平坦表面655。密封件640經構形以密封窗總成610與孔605之間的界面。保持器645接觸密封件640、底切625及板635之外平坦表面650。保持器645經構形以將密封件640及板635保持於孔605內。在一些情況中，保持器645經構形以將密封件640及板635可移除地保持於孔605內。此保持係歸因於內底板600自上方及下方跨窗總成610延伸，藉此防止窗總成610之垂直移動。特定言之，包含底切625導致自周邊615向內延伸之一凸緣660。凸緣660防止窗總成610向外(或向下)移動穿過孔605，而凸緣620防止窗總成610向內(或向上)移動穿過孔605。即，凸緣660與保持器645之間的接觸防止保持器645之向外移動，且密封件640、板635與保持器645之間 的接觸防止保持器645之向內移動，此係因為密封件640及板635在該方向上由凸緣620固持於適當位置中。類似地，凸緣620與板635之間的接觸防止板635之向內移動，且保持器645與板635之間的接觸防止板635之向外移動，此係因為保持器645在該方向上由凸緣660固持於適當位置中。
圖6B提供窗總成610之一分解圖。此視圖突顯孔605、板635、密封件640及保持器645之矩形形狀，但此形狀更準確地稱為一圓角矩形。另外，保持器645包含複數個突部665。當安裝窗總成610時，突部665接觸凸緣660。不需要螺紋緊固件(例如，螺釘)來將窗總成610固定於孔605內。此減少顆粒產生，藉此減少污染支撐於內底板600上之一光罩的機會。較佳地，內底板600係由鋁製成且板635係由玻璃製成，而密封件640及保持器645之各者係由聚合物製成。適用於保持器之聚合物之非限制性實例包含聚醚醚酮及聚醚醯亞胺。適於作為聚合物密封件之聚合物之非限制性實例包含氟化聚合物、彈性體聚合物及熱塑性彈性體聚合物。較佳聚合物係展現低程度釋氣之聚合物。保持器亦可包含為聚合物之實施例。適用於保持器之聚合物之非限制性實例包含聚醚醚酮及聚醚醯亞胺。
在已因此描述本發明之若干闡釋性實施例之情況下，熟習此項技術者將容易明白，可進行且使用在隨附於此處之發明申請專利範圍之範疇內的其他實施例。前文描述中已闡述本文件所涵蓋之本發明之許多優點。然而，將瞭解，本發明在許多態樣僅為闡釋性的。可在不超出本發明之範疇之情況下在細節上、尤其是在零件之形狀、大小及配置方面進行改變。當然，本發明之範疇係以表達隨附發明申請專利範圍之語言定義。
130‧‧‧內底板
150‧‧‧內底板之下部面
200‧‧‧孔
201‧‧‧孔
210‧‧‧窗總成
211‧‧‧窗總成
320‧‧‧透明板/板
325‧‧‧密封件
330‧‧‧保持器
345‧‧‧突部

Claims (18)

  1. 一種用於傳送光罩之盒，其包括：一罩蓋；及一內底板，其經構形以與該罩蓋協作以建立用於安裝一光罩之一空間，該內底板包含：一孔，其具有一周邊，一第一凸緣，其自該周邊向內延伸且具有一安裝表面，一第二凸緣，其自該周邊向內延伸，及一窗總成，其經構形以安裝於該孔中，該窗總成具有一透明板，其具有內平坦表面、外平坦表面及側平坦表面，該內表面經構形以接觸該安裝表面，一密封件，其接觸該透明板之該外平坦表面或側平坦表面，且經構形以接觸該孔之該周邊且密封該窗總成與該孔之間的一界面，及一保持器，其經構形以接觸該第二凸緣且將該密封件及透明板可移除地保持於該孔內。
  2. 如請求項1之盒，其中該保持器係由聚合物製成。
  3. 如請求項1之盒，其中該保持器係一卡環。
  4. 如請求項3之盒，其中該窗總成具有一墊圈。
  5. 如請求項4之盒，其中該卡環係由不鏽鋼製成，且該墊圈係由不鏽鋼製成。
  6. 如請求項1之盒，其中該透明板係一圓角矩形或係圓形的。
  7. 如請求項1之盒，其中該內底板經形成具有有利於用一工具移除該窗總成的一缺口凹槽及在該周邊處之用以接納該保持器的一底切區域。
  8. 如請求項1之盒，其中該透明板經構形以有利於從該盒外部觀看支撐於該內底板上之一光罩。
  9. 一種經構形以安裝於一內底板中之窗總成，該內底板具有具一周邊之一孔、自該周邊向內延伸且具有一安裝表面之一第一凸緣，及自該周邊向內延伸之一第二凸緣，該窗總成包括：一透明板，其具有內平坦表面、外平坦表面及側平坦表面，該內表面經構形以接觸該安裝表面，一密封件，其接觸該透明板之該外平坦表面或側平坦表面，且經構形以接觸該孔之該周邊且密封該窗總成與該孔之間的一界面，及一保持器，其經構形以接觸該第二凸緣且將該密封件及透明板可移除地保持於該孔內。
  10. 如請求項9之窗總成，其中該保持器係由聚合物製成。
  11. 如請求項9之窗總成，其中該保持器係一卡環。
  12. 如請求項11之窗總成，其進一步包括一墊圈。
  13. 如請求項12之窗總成，其中該卡環係由不鏽鋼製成，且該墊圈係由不鏽鋼製成。
  14. 如請求項9之窗總成，其中該透明板係一圓角矩形或係圓形的。
  15. 一種用於將一窗總成安裝於用於傳送光罩之一盒之一內底板中的方法，該內底板包含具有一周邊之一孔、自該周邊向內延伸且具有一安裝表面之一第一凸緣，及自該周邊向內延伸之一第二凸緣，該方法包括：放置具有內平坦表面、外平坦表面及側平坦表面之一透明板使得該內平坦表面與該安裝表面接觸，將一密封件放置成與該透明板之該外平坦表面或側平坦表面及該孔之該周邊接觸以密封該窗總成與該孔之間的一界面，及將一保持器放置成與該第二凸緣接觸以將該密封件及透明板可移除地保持於該孔內。
  16. 如請求項15之方法，其中將該保持器放置成與該第二凸緣接觸包含：將該保持器放置於該內底板在該周邊處之一底切部分中。
  17. 如請求項15之方法，其進一步包括用該保持器壓縮該密封件。
  18. 如請求項15之方法，其進一步包括用該密封件施加壓力於該透明板上以密封該窗總成與該孔之間的該界面且允許從該盒外部觀看支撐於該內底板上之一光罩。
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