JPH0427949A - レチクルケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 レチクルケースに関し、 レチクルケースを開かなくても内部のレチクルのパター
ンを確認できるようにすることを目的とし、 レチクルケースに内部のレチクルのパターンを拡大して
確認する拡大レンズを取りつけた構成とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明はレチクルを収約るためのレチクルケースに関す
る。

半導体製造装置には、マスクを使用して露光を行う工程
がある。レチクルはマスク製造の原板として、あるいは
マスクの一種として使用される。

レチクルには半導体製品の原寸パターンの５倍または１
０倍の大きさでパターンが形成され、このパターンを縮
小しながらマスクを製造したり、縮小投影露光を行った
りしている。このようにレチクルのパターンは半導体製
品の原寸パターンの５倍または１０倍の大きさであるが
、それでも直接に目視できないほど非常に微小なもので
ある。また、全ての半導体処理工程において塵埃が付着
すると半導体製品の品質及び歩留りが低下する問題があ
るので、レチクルについても塵埃が付着しないように清
浄に維持しなければならない要求がある。

〔従来の技術〕

レチクルは通常クリーンルーム内においてレチクルケー
スに収められ、それによってレチクルケースとともにク
リーンルーム外に持ち出すことができるようになってい
る。レチクルケースは通常は透明な樹脂材料で作られ、
レチクルケースの外からレチクルを見ることができるよ
うになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記したようにレチクルには所定の微小なパターンが形
成されており、そのようなパターンを確認したいという
状況があった。しかし、レチクルケースにレチクルを収
めたままでレチクルケースの外からレチクルの微小なパ
ターンをＲｆ１２することは難しく、パターンを確認し
たいときにはレチクルケースを開いて内部のレチクルを
直接に見ることが必要であった。しかし、クリーンルー
ム外でレチクルケースを開くとレチクルに塵埃が付着す
るため、レチクルの微小なパターンを確認するためには
、レチクルケースをクリーンルーム内にもっていき、そ
こでレチクルケースを開き、レチクルを取り出して顕微
鏡等によってレチクルのパターンを［忍していた。しか
し、クリーンル−ム外の特定の処理位置でレチクルのパ
ターンを確認したいという要求があるにもかかわらず、
わざわざレチクルケースをクリーンルーム内にもってい
かなくてはならないため、不便であった。

本発明はレチクルケースを開かなくても内部のレクチル
のパターンを確言忍できるよう（ごしたレチクルケース
を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によるレチクルケースは、レチクルを収めるため
のレチクルケースに内部のレチクルのパターンを拡大し
て確認する拡大レンズを取りつけたことを特徴とするも
のである。

〔作　用〕

上記構成においては、レチクルケースを開がなくてもレ
チクルケースの透明な表面壁部を通して内部のレチクル
を見ることができ、そしてレチクルのパターンを拡大レ
ンズによって拡大して確認することができる。従って、
クリーンルーム外でレチクルのパターンを確Ｓ忍するこ
とができ、よって所望の現場でレチクルに塵埃を付着さ
せることなくレチクルを確言忍することができる。

拡大レンズがレチクルケースに対して移動可能に取りつ
けられる構成の場合には、比較的に小さな形状の拡大レ
ンズでレチクルの多くの部分を確言忍できる。

拡大レンズを接眼レンズとし、レチクルケースの表面壁
部を対物レンズとして構成すると、拡大倍率を大きくす
ることができ、微小なパターンの確認に最適である。

〔実施例〕

第１図から第４図を参照すると、レチクルケース１０は
ほぼ四角形の形状をしており、透明な樹脂材料で作られ
た上方ケース部材１２及び下方ケース部材１４からなる
。上方ケース部材１２及び下方ケース部材１４の内部に
はレチクル１６を収める空間が形成される。上方ケース
部材１２と下方ケース部材１４は、−側部においてヒン
ジ１８によって相互に回転可能に連結され、他側部にお
いてスナップ係止爪２０によって連結されるようになっ
ている。従って、係止爪２０を操作することによってレ
チクルケース１０を開閉することができる。

上方ケース部材１２及び下方ケース部材１４はそれぞれ
、相互に接合される周辺部１２ａ、１４ａと、２段の段
付き表面壁部１２ｂ、１４ｂ、及び１２ｃ、１２ｃを有
する。中央の表面壁部１２ｃ、１２ｃの間の間隔は中間
の表面壁部１２ｂ、１４ｂの間の間隔よりも大きい。中
央の表面壁部１２Ｃ・１２Ｃはレチクル１６の外形形状
よりもわずかに小さい四角形の形状を有し、中間の表面
壁部１２ｂ、１４ｂの間隔はレチクル１６の厚さよりも
大きい。垂直なビン１２ｄ、１４ｄが中間の表面壁部１
２ｂ、１４ｂの内面のレチクル１６の四隅に相当する位
置に設けられ、レチクル１６がビン１２ｄ、１４ｄによ
って上下から挟持されるようになっている。また、垂直
なリブ１２ｅ・１４ｅが、各ビン１２ｄ、１４ｄに向か
って直角をなすように中間の表面壁部１２ｄ、１４ｄの
内面に設けられ、レチクル１６の各側面がこれらのリブ
１２ｅ、１４ｅに当接し、よってレチクル１６がレチク
ルケース１０内の所定の位置で支持されるようになって
いる。レチクル１６はこれらのビン１２ｄ、１４ｄ及び
リブ１２ｅ・１４ｅ以外の部位ではレチクルケース１０
には接触しない。

第４図に示されるように、半導体を形成するためのパタ
ーンＰは通常レチクル１６の中心部の比較的に小さな領
域に形成され、このパターンＰの領域の外側の領域には
レチクル１６を認識するためのパターンや後の処理でレ
チクル１６を位置合わせするだめの補助パターンＱ等が
形成される。ビン１２ｄ、１４ｄはこれらの領域の外側
にある。

上方ケース部材１２の中央の表面壁部１２Ｃの外面には
樹脂材料で作られたかまぼこ形のレンズ２２が取りつけ
られる。かまぼこ形のレンズ２２は凸レンズの一種であ
り、レチクルケース１０の外側からレチクル１６のパタ
ーンＰや補助パターンＱを拡大して確認することができ
る。

第３図によく示されるように、レンズ２２は上方ケース
部材１２の中央の表面壁部１２Ｃの一辺の長さよりもわ
ずかに長く、両端部が中央の表面壁部１２Ｃの両外側面
に添って曲げられ、端部の突起２４が表面壁部１２Ｃの
外側面に設けられた溝２６に嵌合される。従って、レン
ズ２２は第１図に矢印Ａによって示された直線方向に移
動可能であり、比較的に小さな形状のレンズ２２でレチ
クル１６の多くの部分を確認できる。

第５図及び第６図は本発明の第２実施例を示す図である
。この実施例においても、レチクルケース１０は上方ケ
ース部材１２及び下方ケース部材１４からなり、そして
かまぼこ形のレンズ２２が上方ケース部材１２の外側に
取りつけられる。この実施例においては、下方ケース部
材１４は前の実施例と同様であるが、上方ケース部材１
２は周辺部１２ａと、周辺部１２ａの内側にほぼ同じ高
さで延びる表面壁部１２ｂとからなり、表面壁部１２ｂ
上に四角の囲いを形成するように垂直なリブ２８が設け
られる。リブ２８の一辺の頂部から水平に押さえガイド
２８ａが延びる。押さえガイド２８ａは比較的に小さく
、リブ２８で囲まれた空間の大部分が押さえガイド２８
ａの側方に露出しており、レンズ２２が表面壁部１２ｂ
の外側でリブ２８で囲まれた空間内に配置できるように
なっている。

押さえガイド２８ａと両側のリブ２８との間には溝２８
ｂが形成される。レンズ２２の両端部は上方に延びる突
起３０となっており、この突起３ｏは溝２８ｂ内を移動
可能である。突起３０の先端は断面十字状になっており
、十字の水平部分が押さえガイド２８ａ及びリブ２８の
上面と摺動係合可能になっている。

第６図はレンズ２２が押さえガイド２８ａの外側の使用
位置にある状態を示し、第５図はレンズ２２が押さえガ
イド２８ａの内側の位置に移動された状態を示している
。レンズ２２が第５図の位置にあるときにはレンズ２２
が押さえガイド２８ａの下方に収納されることができる
。

本発明で使用するレンズは単一レンズだけでなく、凸レ
ンズ及び凹レンズの組み合わせレンズを含むものである
。例えば、第７図及び第８図はそれぞれ２個のレンズＬ
ｌ’Ｌ２を組み合わせた拡大レンズの例を示している。

第７図はラムヌデン形（または外焦点形）拡大レンズと
して公知のものであり、第８図はハイケン形（または内
焦点形）拡大レンズとして公知のものである。拡大像Ｉ
がそれぞれ破線で示されるように形成される。このよう
な拡大レンズは例えば２個のレンズＬＬ２を１０＋ｎｍ
＜らいの距離内に配置してがなり大きな拡大倍率を得る
ことができる。

第９図は組み合わせレンズを応用した実施例を示し、レ
ンズ２２が第５図及び第６図の実施例とはぼ同様に」一
方ゲース部材１２の外側に取りつ＋Ｊらｔ上方ケース部
材１２の中央の表面壁部１２ｐが平凸ｌ。

ンズとして形成されている。この場合、レンズ２；と中
央の表面壁部１２ｐ譜の間は間隔が開いておりレンズ２
２が接眼レンズとなり、中央の表面壁部１２ｐが対物レ
ンズとなる。

第１０図は本発明の第４実施例を示し、レンズ２）は小
さな丸い凸レンズからなる。レンズ２２は走す支持部材
３２に矢印Ｂの方向に移動可能に取りつｊ′ｊられてお
り、この走行支持部材３２は上方ケース部材１２に矢印
Ａの方向に移動可能に取りつけられている。従って、レ
ンズ２２はレチクルケース１０に対してＸ−Ｙ方向に移
動可能である。この場合にも上方ケース部材１２の中央
の表面壁部１２Ｃを第９図の表面壁部１２ｐのように凸
ｌ／ンズとすることもできる。

第１１図は本発明の第５実施例を示し１、第１実施例と
同様のかまぼこ形のレンズ２２がピン３４によって上方
ケース部材１２に枢着されでいる。レンズ：２２は矢印
Ｃで示されるようにピン３４のまわりで旋回可能であり
、よ、ってレチクル１６の多くの部分を確認することが
できるようになっている。

〔発明の効果〕 以」−説明しまたように、本発明によれば、レチクルを
収めるためのレヂクル今一スに内部のレチクルのパター
ンを拡大して確認する拡大レンズを設けたので、内部の
レチクルのパターンを拡大しで確認することができ、ク
リーンルーム外でレチクルケースを開くことなくレーデ
クルのパターンを確３忍することができろ。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す平面図、第２図は第
１図の線ｎ−ｎに沿った断面図、第３図は第１図の線ｍ
−ｍに沿った断面図、第４図は第１図の下方ケース部材
の内面を示す平面図、第５〕図は本発明の第２実施例を
示ツ断面図、第６図は第５図の平面図、第７図は本発明
に適用可能な糾み合わせレンズの１例を示す図、第８図
は本発明に適用可能な組み合わせレンズの他の例を示゛
ゾ図、第９図は本発明の第：３実施例を示す断面図、第
１（）図は本発明の第４実施例を示す平面図、第１１図
は本発明の第５実施例を示す平面図である。 １０・・・レチクルケース、　１２・・・」一方ケース
部材、１４・・・Ｆ方ケース部材、　１６・・・レチク
ル、２２・・・１／ンズ、。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、レチクル（１６）を収めるためのレチクルケース（
   １０）に内部のレチクルのパターンを拡大して確認する
   拡大レンズ（２２）を取りつけたことを特徴とするレチ
   クルケース。 ２、前記拡大レンズ（２２）をレチクルケース（１０）
   に対して移動可能に取りつけた請求項１に記載のレチク
   ルケース。 ３、前記拡大レンズ（２２）をレチクルケース（１０）
   の表面にほぼ平行に直線方向に移動可能に取りつけた請
   求項２に記載のレチクルケース。 ４、前記拡大レンズ（２２）をレチクルケース（１０）
   の表面にほぼ平行に旋回可能に枢着した請求項２に記載
   のレチクルケース。 ５、前記拡大レンズ（２２）を接眼レンズとし、レチク
   ルケース（１０）の表面壁部を対物レンズとして構成し
   た請求項１に記載のレチクルケース。