JP2022551521A - 窓付きレチクルポッド - Google Patents
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Abstract
レチクルポッドの扉は、レンズと、側壁と、レッジと、を有する窓を含む。窓は、ハウジングとカバーとの間の扉内部に位置決めされるか、又は取り付けられてもよい。圧縮性シールを、窓と併せて使用してもよい。側壁、レッジ、及び圧縮性シールは協働して、外部汚染物質からの所望のレベルの保護を維持しながら、扉の圧縮嵌めを可能にする。
【選択図】図２
【選択図】図２
Description
関連出願の相互参照
本出願は、２０１９年１０月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／９１３，５１８号の利益及び優先権を主張し、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本出願は、２０１９年１０月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／９１３，５１８号の利益及び優先権を主張し、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本開示は、一般に、半導体製造のためのフォトリソグラフィプロセスで使用されるレチクル及びペリクルの保管、搬送、輸送、及び処理のための容器に関する。より詳細には、本開示は、容器の扉に窓を含むレチクル容器に関する。
集積回路及び他の半導体デバイスの製造において一般的に遭遇するプロセスステップのうちの１つは、フォトリソグラフィである。概して、フォトリソグラフィは、エッチングされた表面層を形成するために、パターン化されたテンプレートを使用して、特別に準備されたウエハ表面を放射源に選択的に露光することを含む。典型的には、パターン化されたテンプレートはレチクルであり、レチクルは、ウエハ上に転写されるパターンを含む極めて平坦なガラス板である。例えば、ウエハ表面は、最初にウエハ上に窒化ケイ素を堆積させ、続いて感光性液体ポリマー又はフォトレジストをコーティングすることによって準備してもよい。次に、紫外（ＵＶ）光又は極端紫外光（ＥＵＶ）が、マスク又はレチクルの表面を通して照射されるか、又は表面で反射して、所望のパターンがフォトレジストで覆われたウエハ上に投影される。光に露光したフォトレジストの部分は化学的に改質され、未露光のフォトレジストを除去する化学媒体にウエハが続けてさらされたときに影響を受けないままであり、改質されたフォトレジストを、マスク上のパターンの正確な形状でウエハ上に残す。次いで、ウエハは、窒化物層の露出部分を除去するエッチングプロセスを受け、窒化物パターンを、マスクの正確なデザインでウエハ上に残す。このエッチングされた層は、単独で、又は他の同様に生成された層と組み合わせて、デバイス及びデバイス間の相互接続を表し、集積回路又は半導体チップの「回路」を特徴付ける。
特定の実施において、レチクル及びペリクルの保管及び輸送は、工学的に設計された容器を必要とする。保管、搬送、又は輸送中にレチクル又はペリクルの完全性を維持することが主な関心事である。容器は、容器を開くことなく、かつデバイスを粒子又は他の形態の汚染にさらすことなく、レチクル又はペリクルを検査するための手段を有していない。センサがポッド内部のレチクル又はペリクル上の境界又はインジケータを読み取ることができ、ポッド内部のレチクル又はペリクルを調べることを可能にすることができるように、又はその両方ができるように、扉内に窓を挿入すること。
本開示は、一般に、半導体製造のためのフォトリソグラフィプロセスで使用されるレチクル及びペリクルの保管、搬送、輸送、及び処理のための容器に関する。より詳細には、本開示は、容器の扉に窓を含むレチクル容器に関する。
一実施形態では、本開示の窓は、レンズ、側壁、レッジ、及び圧縮性シールを有する。窓は、ハウジングとカバーとの間の扉内部に位置決めされるか、又は取り付けられてもよい。側壁、レッジ、及び圧縮性シールは協働して、外部汚染物質からの所望のレベルの保護を維持しながら、扉の圧縮嵌めを可能にする。
他の実施形態では、レチクルポッド扉は、扉ハウジングと、扉ハウジングに固定された扉カバーと、扉ハウジング中に画定された開口部と、レンズ、側壁、及びレッジを含む窓と、を備え、窓が、レンズが扉ハウジング中に画定された開口部を通して見えるように、レチクルポッド扉内の扉ハウジングと扉カバーとの間に収容されている。
さらに他の実施形態では、レチクル容器は、ポッドカバーと、ポッド扉と、を備え、ポッド扉が、扉ハウジングと、扉ハウジングに固定された扉カバーと、扉ハウジング中に画定された開口部と、レンズ、側壁、及びレッジを含む窓と、を含み、窓が、レンズが扉ハウジング中に画定された開口部を通して見えるようにポッド扉内に保持されている。
本開示は、添付の図面に関する様々な例示的な実施形態の以下の説明を考慮して、より完全に理解され得る。
本開示は、様々な修正形態及び代替形態に適しているが、その詳細は、例として図面に示されており、詳細に説明される。しかしながら、本開示の態様を、記載された特定の例示的な実施形態に限定することを意図するものではないことを理解されたい。それどころか、その意図は、本開示の精神及び範囲内に入るすべての修正例、均等物、及び代替例を網羅することである。
本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される場合、単数形「ａ」、「ａｎ」、及び「ｔｈｅ」は、その内容が明らかにそうでないことを指示しない限り、複数の指示対象を含む。本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される場合、「又は」という用語は、一般に、その内容が明らかにそうでないことを指示しない限り、「及び／又は」を含む意味で用いられる。
「約」という用語は、一般に、列挙された値と等価である（例えば、同じ機能又は結果を有する）と考えられる数の範囲を指す。多くの場合、「約」という用語は、最も近い有効数字に丸められた数字を含んでもよい。
以下の詳細な説明は、異なる図面の同様の要素に同じ番号を付した図面を参照して読まれるべきである。詳細な説明及び図面は、必ずしも縮尺通りではなく、例示的な実施形態を図示しており、本発明の範囲を限定することを意図していない。図示された例示的な実施形態は、例示としてのみ意図されている。反対のことが明確に述べられていない限り、任意の例示的な実施形態の選択された特徴は、追加の実施形態に組み込まれてもよい。
特定の実施形態では、窓は、本開示の様々な実施形態に従って本明細書に記載されるように、機械的手段による直接締結なしに扉ハウジングと扉カバーとの間の圧縮シールを可能にする側壁を有する一体構造を有する。これにより、少なくとも締結デバイスからの粒子の発生を防止し得る。さらに、様々な実施形態によれば、窓は、（ｉ）光透過を向上させるために単一のレンズであってもよく、（ｉｉ）レチクルポッドに包装された壊れやすいデバイスの読み取り及び検出を向上させるために、印に近接して設置されてもよい。
図１は、例示的なレチクル容器２の分解図である。１つの例示的な実施形態では、図示のように、レチクル容器２は、半導体の製造に使用される極端紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィプロセスの様々な段階を通してレチクルを搬送するために使用される、ＥＵＶレチクルポッドである。図１に見られるように、レチクル容器は、外側ポッドカバー６及び外側ポッド扉８を含む、外側ポッド４を含む。内側ポッド１０は、外側ポッド４内に収容されており、内側ポッド扉１４と嵌合するように構成された内側ポッドカバー１２を含む。内側ポッド１０の環境内にレチクル１６が収容されている。本開示の様々な実施形態によれば、図２に最もよく示されているように、外側ポッド扉８は、レチクル容器２が組み立てられるときに内側ポッド扉１４に設けられた窓２２と位置合わせされる、窓２０を含む。外側ポッド扉８に設けられた窓２０と内側ポッド扉１４の窓２２との位置合わせは、内側ポッド１０内に収容されたレチクル１６を見ることを容易にし、かつ／又は外側ポッド４及び／又は内側ポッド１０の内部空間にアクセスするために開く必要なしに、センサが内側ポッド１０内部のレチクル又はペリクル上の境界又はインジケータを読み取ることを可能にする。
図３は、本開示の一実施形態による、窓２０を含む外側ポッド扉８を示している。図３に示すように、窓２０は、外側ポッド扉８内に保持されている。外側ポッド扉８は、外側ポッド扉カバー２４及び外側ポッド扉ハウジング２６で構成されている。窓２０は、扉カバー２４と扉ハウジング２６との間に保持されている。本開示の知識を有する当業者は、外側ポッド扉８が、レチクルポッド及び扉８の他の機能及び動作をサポートするための他の特徴又は補助デバイスを有し得ることを認識するであろう。他の特徴又は補助デバイスの非限定的な例は、シール、ラッチ、レチクル保持ポスト、又はそれ以外を含む場合がある。
図４は、本開示の一実施形態による、例示的な窓２０を示している。窓２０は、レンズ２８、側壁３０、及びレッジ３２を含む。図４に示すように、レンズ２８、側壁３０、及びレッジ３２は、単一の一体部品として設けられている。いくつかの実施形態では、レンズ２８は、平坦な上面３４を有し得る。側壁３０は、レンズ２８から下方に遠ざかる方向に延在し、レンズ２８の周りを囲む。レッジ３２は、側壁３０から外側に遠ざかる方向に延在し、また、側壁３０によって画定された窓２０の外周３６の周りに延在する。
窓２０は、読取デバイスによる印へのアクセスを可能にするために透明材料で構成されている。特定の実施形態では、窓２０は、ポリカーボネートから構成されている。窓２０の製造には、他の透明ポリマーが好適である場合がある。さらに、レンズ２８は、好ましくは、印を読み取るために十分な光がレンズを透過することを可能にする滑らかな表面を有する。レンズ２８を含む窓２０は、射出成形などの従来の溶融加工技術によって形成することができる。
窓２０は、読取デバイスが、例えばレチクル容器の内側ポッド１０などの内側ポッド内に収容されたレチクル（例えば、図１及び図２のレチクル１６）上の任意の印を読み取ることを可能にするのに十分なサイズ及び形状としてもよい。例えば、読取デバイスは、窓２０を通して、レチクル上の二次元バーコードを読み取ることができるか、又は内側ポッド内に収容されたレチクル上のペリクルフレームを検出することができる。
図５に示すように、レンズ２８及び側壁３０を有する窓２０は、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉の扉カバー２４と扉ハウジング２６との間に保持することができる。運用において、窓２０は、扉ハウジング２６の開口部３７内に受容される。レンズ２８の外周部４２は、開口部３７の内周部４４のサイズ及び形状と適合する。さらに、扉カバー２４は、側壁３０の内周部４６のサイズ及び形状に適合した開口部３８を有する。
いくつかの実施形態では、図５に示すように、圧縮性シール５０などの圧縮性シールを利用して、レチクル容器の外側ポッド扉８内の窓２０の保持を容易にすることができる。図５に図示された実施形態に示すように、圧縮性シール５０は、レッジ３２の上の窓２０の外周３６の周りに保持されている。圧縮性シール５０は、エラストマー配合物から形成することができる。特定の実施形態では、圧縮性シールは、フルオロエラストマーから形成されている。フルオロエラストマーは、一般に、より純粋なポリマーと考えられており、圧縮シールなどの用途において多量の粒子を発生しない。いくつかの実施形態では、圧縮性シール５０は、Ｏリングとすることができる。
いくつかの実施形態では、窓２０はハウジング２６の開口部３７内に挿入されており、このような、開口部３８を取り囲む扉カバー２４の上面５２は、扉ハウジング２６の内面５６とレッジ３２の上面５８との間の圧縮性シール５０を圧縮するように側壁３０の底縁５４に接触している。扉カバー２４は、従来の機械的締結具によって扉ハウジング２６に固定されて、圧縮性シール５０の圧縮を維持して窓２０を扉８内に保持する。圧縮は、圧縮性シール５０を通過するレチクルポッドの筐体内への空気又は粒子状物質の両方の移動を最小限に抑えるのに十分な力である。
図６～図１３は、レチクル容器の扉内に保持される窓の追加の実施形態を示している。
図６は、本開示の別の実施形態による、例示的な窓１２０を示している。窓１２０は、レンズ１２８及び側壁１３０を含む。側壁１３０は、レンズ１２８から下方に遠ざかる方向に延在し、レンズ１２８の周りを囲む。側壁１３０の凹部１３１は、レッジ１３２を画定する。レンズ１２８及び側壁１３０は、単一の一体部品として設けることができる。レッジ１３２は、側壁１３０の外周１３６に形成された凹部１３１によって画定されている。いくつかの実施形態では、レンズ１２８は、平坦な上面１３４を有し得る。
窓１２０は、読取デバイスによる印へのアクセスを可能にするために透明材料で構成されている。特定の実施形態では、窓１２０は、ポリカーボネートから構成されている。窓１２０の製造には、他の透明ポリマーが好適である場合がある。さらに、レンズ１２８は、好ましくは、印を読み取るために十分な光がレンズを透過することを可能にする滑らかな表面を有する。レンズ１２８を含む窓１２０は、射出成形などの従来の溶融加工技術によって形成することができる。
窓１２０は、読取デバイスが、例えばレチクル容器の内側ポッド１０などの内側ポッド内に収容されたレチクル（例えば、図１及び図２のレチクル１６）上の任意の印を読み取ることを可能にするのに十分なサイズ及び形状としてもよい。例えば、読取デバイスは、窓１２０を通して、レチクル上の二次元バーコードを読み取ることができるか、又は内側ポッド内に収容されたレチクル上のペリクルフレームを検出することができる。
図７に示すように、レンズ１２８及び側壁１３０を有する窓１２０は、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉の扉カバー１２４と扉ハウジング１２６との間に保持することができる。運用において、窓１２０は、扉ハウジング１２６の開口部１３７内に受容される。いくつかの実施形態では、レンズ１２８の外周部１４２は、開口部１３７の内周部１４４のサイズ及び形状と適合する。他の実施形態では、レンズ１２８の外周部１４２は、レンズ１２８の下面１４６が扉ハウジング１２６の上面１４８に接触して支持され得るように、開口部１３７の内周部１４４よりもわずかに大きくてもよい。さらに、扉カバー１２４は、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉の底部から窓１２０のレンズ１２８を通して見ることを容易にする、開口部１３８を有する。
いくつかの実施形態では、図７に示すように、圧縮性シール１５０などの圧縮性シールを利用して、レチクル容器の外側ポッド扉８内の窓１２０の保持を容易にすることができる。図５に図示された実施形態に示すように、圧縮性シール１５０は、少なくとも部分的に凹部１３１内で、窓１２０の外周１３６の周りに保持されている。圧縮性シール１５０によって加えられる圧縮は、圧縮性シール１５０を通過するレチクルポッドの筐体内への空気又は粒子状物質の両方の移動を最小限に抑えるのに十分な力である。
圧縮性シール１５０は、エラストマー配合物から形成することができる。特定の実施形態では、圧縮性シールは、フルオロエラストマーから形成されている。フルオロエラストマーは、一般に、より純粋なポリマーと考えられており、圧縮シールなどの用途において多量の粒子を発生しない。いくつかの実施形態では、圧縮性シール１５０は、Ｏリングとすることができる。
図８は、本開示の別の実施形態による、例示的な窓２２０を示している。窓２２０は、レンズ２２８及び側壁２３０を含む。側壁２３０は、レンズ２２８から下方に遠ざかる方向に延在し、レンズ２２８の周りを囲む。いくつかの実施形態では、レンズ２２８は、平坦な上面２３４を有し得る。フレア状レッジ２３２は、側壁１３０の外周２３６の周りに延在する。フレア状レッジ２３２は、フレア状レッジ２３２の第２の外周２３７よりも大きい第１の外周２３５を画定する、上縁２３３を有する。フレア状レッジ２３２の上縁２３３は、レンズ２２８の下面２３９とレッジ２３２の上面２４１との間に凹部２３１が画定されるように、側壁２３０から外側に遠ざかるように延在する。レンズ２２８、側壁２３０、及びレッジ２３２は、単一の一体部品として設けることができる。
窓２２０は、読取デバイスによる印へのアクセスを可能にするために透明材料で構成されている。特定の実施形態では、窓２２０は、ポリカーボネートから構成されている。窓２２０の製造には、他の透明ポリマーが好適である場合がある。さらに、レンズ２２８は、好ましくは、印を読み取るために十分な光がレンズを透過することを可能にする滑らかな表面を有する。レンズ２２８を含む窓２２０は、射出成形などの従来の溶融加工技術によって形成することができる。
窓２２０は、読取デバイスが、例えばレチクル容器の内側ポッド１０などの内側ポッド内に収容されたレチクル（例えば、図１及び図２のレチクル１６）上の任意の印を読み取ることを可能にするのに十分なサイズ及び形状としてもよい。例えば、読取デバイスは、窓２２０を通して、レチクル上の二次元バーコードを読み取ることができるか、又は内側ポッド内に収容されたレチクル上のペリクルフレームを検出することができる。
図９に示すように、窓２２０は、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉の扉カバー２２４と扉ハウジング２２６との間に保持することができる。運用において、窓２２０は、扉ハウジング２６の開口部２３７内に受容される。レンズ２２８の外周部２４２は、開口部２３７の内周部２４４のサイズ及び形状と適合する。さらに、扉カバー２２４は、外側ポッド扉の底部から窓２２０のレンズ２２８を通して見ることを容易にする開口部２３８を有する。
いくつかの実施形態では、図９に示すように、扉ハウジング２２６は、開口部２３７を画定する側壁２５６から内側に延在するレッジ２５４を含み得る。窓２２０は、フレア状レッジ２３２の上面２４１が、開口部２３７内の定位置に窓２２０を機械的にロックするレッジ２５４の下面２５８と接触して当接するように、開口部２３７内に受容され得る。さらに、圧縮性シール２５０などの圧縮性シールを利用して、レチクル容器の外側ポッド扉８内の窓２２０の保持を容易にすることができる。
図９に図示された実施形態に示すように、圧縮性シール２５０は、レンズ２２８の底面２３６とレッジ２５６の上面２６０との間に画定された空間内に保持されている。圧縮性シール２５０によって加えられる圧縮は、圧縮性シール１５０を通過するレチクルポッドの筐体内への空気又は粒子状物質の両方の移動を最小限に抑えるのに十分な力である。
圧縮性シール２５０は、エラストマー配合物から形成することができる。特定の実施形態では、圧縮性シールは、フルオロエラストマーから形成されている。フルオロエラストマーは、一般に、より純粋なポリマーと考えられており、圧縮シールなどの用途において多量の粒子を発生しない。いくつかの実施形態では、圧縮性シール２５０は、Ｏリングとすることができる。
圧縮性シール２５０の圧縮を維持して窓２２０を、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉内に保持する、扉ハウジング２２６に固定された扉カバー２２４従来の機械的締結具。
図１０～図１１は、レンズ３２８を含む窓である窓３２０が扉カバー３２４の一部として形成されている、一実施形態の異なる図を示している。本実施形態では、扉カバー３２４は、読取デバイスによる印へのアクセスを可能にするために透明材料で構成されている。特定の実施形態では、窓３２０を含む扉カバー３２４は、ポリカーボネートから構成されている。扉カバー３２４及び窓３２０の製造には、他の透明ポリマーが好適である場合がある。さらに、レンズ３２８は、好ましくは、印を読み取るために十分な光がレンズを透過することを可能にする滑らかな表面を有する。射出成形などの従来の溶融加工技術によって形成される、窓３２０を含む扉３２４。
図１０～図１１に示すように、窓３２０は、レンズ３２８及び側壁３３０を含む。いくつかの実施形態では、図示のように、側壁３３０は傾斜し得る。側壁３３０は、レンズ３２８から下方に遠ざかるように、扉カバー３２４の上面３２７まで延在する。レッジ３３２は、側壁３３０から外側に遠ざかるように延在し、側壁３３０の外周の周りに延在する。扉カバー３２４が扉ハウジング３２６に固定されると、レンズ３２８は、扉ハウジング３２６中に画定された開口部３３７内に受容される。開口部３３７の内周部は、レンズ３２８の外周部３３９のサイズ及び形状と適合する。圧縮性シール３５０を利用して、レチクル容器の外側ポッド扉内の窓３２０の保持を容易にすることができる。圧縮性シール３５０は、扉ハウジング３２６中に画定されたアンダーカット３５７とレッジ３３２の上面３５５との間に保持することができる。圧縮性シール３５０によって加えられる圧縮は、圧縮性シール３５０を通過するレチクルポッドの筐体内への空気又は粒子状物質の両方の移動を最小限に抑えるのに十分な力である。扉カバー３２４は、従来の機械的締結具を使用して扉ハウジング３２６に固定されて、圧縮性シール３５０の圧縮を維持して窓３２０を、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉内に保持する。
本明細書に開示された他の圧縮性シールと同様に、圧縮性シール３５０は、エラストマー配合物から形成することができる。特定の実施形態では、圧縮性シールは、フルオロエラストマーから形成されている。フルオロエラストマーは、一般に、より純粋なポリマーと考えられており、圧縮シールなどの用途において多量の粒子を発生しない。いくつかの実施形態では、圧縮性シール３５０は、Ｏリングとすることができる。
図１２Ａ及び図１２Ｂは、レチクル容器の外側ポッド扉８などの扉内に収容することができる窓アセンブリ４００の異なる図を示している。窓アセンブリ４００は、グロメット４０４及びグロメット４０４内に保持されたレンズ４０８を含む。グロメット４０４は、そこを通してレンズ４０８を見ることができる開口部を画定する、上側レッジ４１０を含む。グロメットはまた、上側レッジ４１０から離間した下側レッジ４１２を含み、それにより、凹部４１４が上側レッジ４１０と下側レッジ４１２との間に画定されている。側壁４１６は、上側レッジ４１０から下方に遠ざかる方向に延在する。下側レッジ４１２は、側壁４１６と一体であり、側壁４１６から外側に遠ざかるように延在する。図１２Ｂに見られるように、グロメット４０４は、上側レッジ４１０、下側レッジ４１２、及び側壁４１６によって画定されるようなＨ字形断面を有する。さらに、図１２Ｂに見られるように、レンズ４０８の縁４１８は、レンズ４０８がグロメット４０４内に保持されるように、側壁４１６の内面４２２中に画定されたノッチ又は溝４２０内に捕捉されている。
グロメット４０４は、エラストマー配合物から形成することができる。特定の実施形態では、グロメット４０４は、フルオロエラストマーから形成される。フルオロエラストマーは、一般に、より純粋なポリマーと考えられており、圧縮シールなどの用途において多量の粒子を発生しない。グロメット４０４を製造することができるエラストマー又はフルオロエラストマーの柔軟性は、窓、そしてまた扉ハウジングの内面に対するシールの生成を容易にする。
レンズ４０８は、透明材料で構成されている。特定の実施形態では、レンズ４０８は、ポリカーボネートから構成されている。レンズ４０８の製造には、他の透明ポリマーが好適である場合がある。他の実施形態では、レンズ４０８は、ガラスから構成されている。さらに、レンズ４０８は、好ましくは、内側ポッド内の印を読み取り、かつ／又は内側ポッド内に収容されたレチクル若しくはペリクルを見るために十分な光がレンズを透過することを可能にする滑らかな表面を有する。
レンズ４０８は、読取デバイスが、例えばレチクル容器の内側ポッド１０などの内側ポッド内に収容されたレチクル（例えば、図１及び図２のレチクル１６）上の任意の印を調べるかつ／又は読み取ることを可能にするのに十分なサイズ及び形状としてもよい。例えば、読取デバイスは、窓４０８を通して、レチクル上の二次元バーコードを読み取ることができるか、又は内側ポッド内に収容されたレチクル上のペリクルフレームを検出することができる。
図１３に示すように、窓アセンブリ４００は、例えば外側ポッド扉８などの外側ポッド扉の扉カバー２４と扉ハウジング２６との間に保持することができる。運用において、窓４００は、開口部４３０を画定する扉ハウジング４３６の内縁４３２が上側レッジ４１０と下側レッジ４１２との間に画定された凹部４１４内に捕捉されるように、扉ハウジング２６の開口部４３０内に受容される。上側レッジ４１０の下面４３４は、扉ハウジング２６の上面４３６上に接触して載置することができる。さらに、扉カバー２４は、外側ポッド扉の底部から窓４００のレンズ４０８を通して見ることを容易にする開口部４３８を有する。いくつかの実施形態では、側壁４１６は、側壁の下縁４４２が扉カバー２４の上面４４０に接触するように下方に延在してもよい。他の実施形態（図示せず）では、側壁４１６は、側壁４１６の下縁４４２が扉ハウジング２６と扉カバー２４との間にあるように下方に延在する。
このように本開示のいくつかの例示的な実施形態を説明してきたが、当業者は、本明細書に添付の特許請求の範囲内で、さらに他の実施形態が作成されかつ使用されてもよいことを容易に理解するであろう。本文書によって網羅される本開示の多くの利点は、前述の説明に記載されている。しかしながら、本開示は、多くの点で例示にすぎないことが理解されよう。本開示の範囲を超えることなく、詳細、特に部品の形状、サイズ、及び配置に関する事項を変更してもよい。本開示の範囲は、当然のことながら、添付の特許請求の範囲が表現される言語で定義される。
Claims (17)
- レチクルポッド扉であって、
扉ハウジングと、
前記扉ハウジングに固定された扉カバーと、
前記扉ハウジング中に画定された開口部と、
レンズ、側壁、及びレッジを含む窓と、を備え、前記窓が、前記レンズが前記扉ハウジング中に画定された前記開口部を通して見えるように、前記レチクルポッド扉内の前記扉ハウジングと前記扉カバーとの間に収容されている、レチクルポッド扉。 - 前記扉カバーが、前記レンズが前記レチクルポッド扉の底部から見えるように追加の開口部を含む、請求項１に記載のレチクルポッド扉。
- 前記側壁が、前記レンズから下方に遠ざかるように延在し、前記窓の外周を画定する前記レンズの周りを囲む、請求項１に記載のレチクルポッド扉。
- 前記側壁が、前記側壁の下縁が前記扉カバーの上面に接触するように、前記レンズから下方に遠ざかるように延在する、請求項３に記載のレチクルポッド。
- 前記側壁が、前記側壁の下縁が前記扉ハウジングの下面と前記扉カバーの上面との間にあるように、前記レンズから下方に遠ざかるように延在する、請求項３に記載のレチクルポッド。
- 前記レッジが、前記窓の外周の周りで前記側壁から外側に遠ざかるように終端する、請求項１に記載のレチクルポッド扉。
- 前記レッジが、前記側壁中に形成された凹部によって画定されている、請求項１に記載のレチクルポッド扉。
- 前記レッジが、前記窓の外周の周りで前記側壁から外側に遠ざかるように終端し、かつ第２の外周よりも大きい第１の外周を有する、請求項１に記載のレチクルポッド扉。
- 前記レンズの下面と前記レッジの上面との間に凹部が画定されている、請求項８に記載のレチクルポッド扉。
- 前記窓、前記レンズ、及び前記レッジが、前記扉カバーが前記扉ハウジングに固定されたときに前記レンズが前記扉ハウジングの前記開口部内に受容されるように、前記扉カバー中に一体的に形成されている、請求項１に記載のレチクルポッド扉。
- 圧縮性シールをさらに備える、請求項１から１０のいずれか一項に記載のレチクルポッド。
- 前記レンズ、前記側壁、及び前記レッジが、単一の一体部品として設けられている、請求項１から１０のいずれか一項に記載のレチクルポッド扉。
- レチクル容器であって、
ポッドカバーと、
ポッド扉と、を備え、前記ポッド扉が、扉ハウジングと、前記扉ハウジングに固定された扉カバーと、前記扉ハウジング中に画定された開口部と、レンズ、側壁、及びレッジを含む窓と、を含み、前記窓が、前記レンズが前記扉ハウジング中に画定された前記開口部を通して見えるように前記ポッド扉内に保持されている、レチクル容器。 - 前記内側ポッドカバー及び内側ポッド扉が、外側ポッドを画定し、前記レチクルポッド容器が、前記外側ポッド内に収容された内側ポッドをさらに備え、前記内側ポッドが、内側ポッドハウジングと、内側ポッド窓を含む内側ポッド扉と、を含み、前記内側ポッドが前記外側ポッド内に収容されたとき、前記内側ポッド窓が、前記外側ポッドの前記ポッド扉内の前記窓と位置合わせされる、請求項１３に記載のレチクル容器。
- 前記窓の前記側壁が、前記側壁の下縁が前記ポッド扉の前記扉カバーの上面に接触するように、前記レンズから下方に遠ざかるように延在する、請求項１３に記載のレチクル容器。
- 前記窓の前記側壁が、前記側壁の下縁が前記扉ハウジングの下面と前記扉カバーの上面との間にあるように、前記レンズから下方に遠ざかるように延在する、請求項１３に記載のレチクル容器。
- 圧縮性シールをさらに備える、請求項１３から１６のいずれか一項に記載のレチクル容器。
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