JP2016500844A - ベース板にカバーの位置を合わせる機構を備えたレチクルポッド - Google Patents

Abstract

レチクル運搬容器の内側ポッドにおけるカバーとベースを合わせるための位置合わせ機構。カバーとベースにはそれぞれ底面と上面に密封域となる硬い平面を設けることができる。内側ポッドのカバーには、位置合わせピンを差し込むための貫通穴か止まり穴を設けることができる。ベースには、位置合わせピンの先端を受けるガイドとなる窪みを設ける。位置合わせピンは滑り接触のあるときにカバーとベースの接触面積を制限する働きをするため、粒子生成を抑制できる。ステンレス鋼やポリアミドイミドのような粒子生成の少ない材料を利用してさらに粒子生成を減らすこともできる。その上、カバーとベースは、留め具を必要としない単一のものとすることが可能である。そうすることにより、粒子を挟み込んでこれに続いて粒子を出すような締め付け面を取り除くことができる。

Description

この発明は、概して、フォトマスク、レチクル、ウエハーなどの壊れやすい装置の保管、運搬、出荷、加工のための容器に関するものである。より具体的に言うと、本発明は、極紫外線用ポッド（容器）の位置合わせに関するものである。

集積回路などの半導体部品の製造において通常見掛ける工程段階の一つに、フォトリソグラフィがある。大まかに言って、フォトリソグラフィは、エッチングされた表層を作るためのパターンが施された原板を用いて特製のウエハー表面へ選択的に光源を当てることを含む。通常このパターンが施された原板はレチクルといい、ウエハーに転写したいパターンを備えた極めて平らなガラス板である。典型的なレチクルの基板材料は光学的に透明な石英である。最近の集積回路の重要な要素の大きさはとても小さいので、レチクルの機能に関わる表面（すなわちパターンのある表面）は、表面を傷つけたり加工中にフォトレジスト層に投影される像をゆがめたりして許容できない品質の最終製品ができる原因となる可能性のある異物が存在しない状態に保たれる。

概してレチクルは、ベースやカバーを持つＳＭＩＦ容器かポッドの中で作られた小規模のクリーンルーム型の環境内で保管したり運搬したりする。カバーはベースと対になって、レチクルを保持する密閉状態の筐体を形成する。

微粒子が半導体製造に対して深刻な影響を及ぼすことを考慮すると、製造、加工、出荷、取り扱い、輸送、保管中でレチクルが他の表面に不必要で意図しない接触を起こすことは、こすれて生じる摩擦や磨耗によってレチクルのパターンのある表面上の精巧な部分に傷が付きやすいため、極めて好ましくない。さらに、レチクル表面が粒子で汚れると、加工中にそのレチクルを用いて得られる最終製品のどれもが深刻な影響を受けるほど、レチクルを損なう可能性がある。レチクルを含む管理された環境内でも加工、輸送、出荷の際には粒子が生じることがある。レチクルと容器や、容器内の部材同士がこすれて生じる摩擦は、粒子混入の原因となる。またレチクル容器内に用いられるポリマー材料からも、レチクルを害するようなくもりや結晶成長を表面に発生させる原因となる気体や極少量の水蒸気が出てくる可能性があることがすでにわかっている。

フォトリソグラフィはより小さな集積回路の製造を可能にする短波長の極紫外線（ＥＵＶ）光源を用いる方向に向かっており、真空環境で行われることが多いため、ＥＵＶフォトリソグラフィで利用するまでレチクルを保管、輸送、出荷する目的で設計される容器やポッドに課される機能要件は厳しくなってきている。例えば、従来のフォトリソグラフィで問題を引き起こすほどの大きさはない小さい粒子でも、ＥＵＶフォトリソグラフィでは重大な問題となる可能性がある。また、特に構成部材がポリマーの場合、容器の構成部材から脱気や脱湿が可能な真空状態下でＥＵＶフォトリソグラフィを行うことができる。

ＥＵＶリソグラフィに用いるポッドは、通常、内側のポッドと外側のポッドを使用する。その実例は、コルボウ（Kolbow）らの米国特許第８２３１００５号（「コルボウ」）とグレガーソン（Gregerson）らの米国特許第７６０７５４３号（「グレガーソン」）に見出すことができる。これらの特許は本願の権利者が権利を有するものであり、その中に含まれる明白な定義を除く全文を参照により本願に援用する。内側のポッドは従来金属とし、ポリマーでは必要だった脱気や脱湿の工程を省くとともに、機械加工した平坦な面どうしを合わせて密封できるようにしている。ニッケルの無電解めっきを施したアルミニウムはふさわしい。コルボウが公開しているような内側のポッドの密閉部分は、平らな金属の表面どうしを合わせるものである。

懸念すべきは、これまでレチクルポッドの運搬容器で許容されていた粒子の発生と混入が、ＥＵＶフォトリソグラフィで利用するためのレチクルを入れる運搬容器の場合には難しい問題となりうることである。（例えば、ベースにカバーを取り付けるときに縦にこすれ合う表面の間で発生する粒子や、固定具と固定された面との間に挟み込まれる粒子。）広くフォトリソグラフィにおいて、そして特にＥＵＶフォトリソグラフィにおいて、そういった粒子の発生と混入に対処する機構が実現すれば、歓迎すべき進歩になるであろう。

米国特許第８２３１００５号 米国特許第７６０７５４３号

本発明の様々な実施例は、ＥＵＶレチクル運搬容器の内側ポッドを閉じるためベース上にカバーを置くときに接触する可能性のある部分同士の接触面積が少なくできるような位置合わせ構造を対象とするものである。

通常は、表面に密封面を持つ上側の主部材と下側の主部材は、精密に機械加工されたり研磨加工されたりすることで、協同して密封する平らな表面となる金属平面を金属にもたらすような平面を持つものとする。内側ポッドを閉じる際に内側ポッドのカバーとベースの位置を合わせる一般的な方法では、フランジ部材を二つ用意し、機械加工や研磨加工の後に上側の主部材にあるカバーの外縁の二つの対辺にこれらを鋲などの留め具を用いて取り付けている。このフランジ部材はそれぞれ一辺の長さ分だけ延び、その辺に隣り合う角の周りを覆っており、ロボットで持ち上げるための棚を備えている。各フランジ部材は下方（ｚ軸方向）に延びる覆いを含んでおり、部品を組み立てる間この覆いでベースを拘束する。覆いはベースの周囲に接触して内方への拘束体となっている。

本発明の様々な実施例によれば、厳密な寸法調節が可能になるため、カバーとベースの間で軸方向への動きがあったときの滑り接触を制限できるという長所が得られる。実施例によっては、従来留め具を用いて広い面積の位置合わせ面をカバーに固定していたのに代わって、機械加工のポケットへ位置合わせピンを圧入する。他の長所は、部品、ねじ、合わせ面、溝、割れ目といった粒子を挟み込む可能性のあるものの数を減らせることにある。

構造上は、一つの実施例として、外側ポッドのカバーとベースは、弾性的な封止を利用することによって密閉された第一の筐体を形成する。内側ポッドは、平面として構成されたベース部分を備えるとともに、そこからレチクル支持構造とレチクル拘束構造が突き出た構造となっている。内側ポッドのカバー部分はベース部分と組み合わさって第二の筐体を形成し、また、レチクルの上面に接する。内側ポッドのカバー部分とベース部分は、エラストマー部材か非エラストマーの封（例えば、硬い平面と硬い平面が接触する密封領域）などによって密封することが可能である。あるいは、内部ポッドのカバー部分とベース部分に限定的な開口部、すなわち第二のポッドのほぼ全周にわたって細長い隙間を設けることで、圧力による衝撃波を減らすとともに、密封しなくても粒子を抑制できるようにすることも可能である。

また、内側ポッドのカバーとベースは、位置を合わせて組み合わせたときに互いにぴったり合うような寸法とすることができる。カバーの底面とベースの上面にそれぞれ硬い平面状の密封領域を設けることにより、カバーとベースの位置を合わせてカバーの底面がベースの上面に重なるように組み付けたときに密封領域どうしが合わさって内側ポッドを密閉できるようにすることも可能である。一つの実施例として、内側ポッドのカバーには、位置決めピン或いは位置合わせピンを差し込むための貫通穴を施すことができる。ベースには、位置合わせピンの先端を支えるガイドとなる窪みを設けることができる。位置を合わせて組み合わせると位置合わせピンがカバーとベースの間の側方移動を阻むか抑えるよう機能するため、粒子生成を抑制できる。

一つの実施例として、位置合わせピンは例えばステンレス鋼のような金属で作る。他の実施例は、カバーに止まり穴を設け、位置合わせピンをその中へ入れる。

ある実施例では、ガイドとなる窪み内にある陥凹部の表面に沿うようにポリマーでできたボールを配置できるようにする。ポリマーでできたボールが位置合わせピンと接触することによって、ベースに対して軸方向にカバーを動かしたときのカバーとベースとの間の接触面積を抑えることができる。

実施例によっては、位置合わせピンは金属核をポリマーの塗膜か軸鞘で覆って構成する。一つの実施例として、ガイドとなる面のみにポリマーを施す。他の実施例として、ポリマーは位置合わせピンの核全体を覆うように施す。さらに他の実施例として、ガイド面と頭にはポリマーを施し、軸のカバーに囲われた部分は塗膜を施さないまま残す。

本発明の様々な実施例の長所は、位置合わせピンを機械加工された貫通穴又は止まり穴に圧入することによってピンの設置の寸法的な調整が厳密にできると同時に、部品、ねじ、溝、割れ目、結合面といった粒子を捉える可能性のあるものの数を抑えられることである。ベースに対してカバーが軸方向に動くことによる粒子の生成を減らすだけでなく、レチクルが強い衝撃や振動を受けないようにすることもまた実現できる可能性がある。発明の様々な実施例からは、粒子生成の原因となるような適切でない動きや操作を行わなくても容易に開けられるレチクルの内側ポッドも得られる。

図１は、別体の固い密封リングとカバー全体を取り囲んでいる位置合わせの覆いを持つ、先行技術の例としてのレチクル運搬容器の内側ポッドの、分解斜視図である。 図２は、カバーの反対側に、位置合わせのための構造を持つ、先行技術の例としてのレチクル運搬容器の内側ポッドの分解斜視図である。 図３は、本発明の一つの実施例としてのレチクル運搬容器の分解組立図である。 図４は、本発明の一つの実施例としての位置合わせピンを入れる貫通穴を含む、組み立てられた内側ポッドの部分的な斜視図である。 図５は、本発明の実施例に従った、組み立てられた内側ポッドの底面図の一部である。 図６は、本発明の実施例に従った、位置合わせピンを入れる貫通穴を含む内側ポッドのカバーの部分的な断面図である。 図６Ａと図６Ｂは、本発明の実施例としての位置合わせピンの断面図である。 図７は、本発明の実施例に従った、組み立てられた内側ポッドの部分的な斜視図である。 図８は、本発明の実施例に従った、位置合わせピンを入れる止まり穴を含む内側ポッドのカバーの破断図である。 図９は、本発明の実施例に従った、止まり穴が位置合わせピンを入れる内側ポッドの部分的な分解斜視図である。 図９Ａは、本発明の実施例として、図９の位置合わせピンが組み立てられた状態の部分的な断面図である。 図１０は、本発明の実施例に従った、ガイドの窪みにボールを収納する陥凹面が設けられた組み立て状態の内側ポッドの部分的な底面図である。 図１０Ａは、図１０の一部を詳細に示す拡大図である。

図１を参照すると、先行技術のレチクル容器あるいは内側ポッド１００を図示している。内側ポッド１００は、例えば、コルボウやグレガーソンが開示しているようなレチクルポッド容器として作る。内側ポッド１００は概して、カバー１２０をベース１３０と密封状態で組み合わせることで保管、輸送、処理、出荷のためにレチクル１１０を保持する密閉状態の筐体を形成できるよう構成される。図１において、代替的な硬い密閉リング１４０がカバー１２０とベース１３０の間に設けられた状態を図示している。硬い密閉リング１４０は、カバー１２０に結合させて、硬い密閉リング１４０を用いてカバー１２０をベース１３０に密封する。内側ポッド１００、密閉リング１４０、レチクル１１０は、軸方向となる一つの中心軸１１５に中心を合わせる。

レチクル１１０は、それぞれの角の近くがベース１３０に取り付けられたレチクル接触部材１３４の上に来るように置いて支える。レチクル接触部材１３４は当技術分野で知られている方法でベース１３０に取り付ける。図１で説明する実施例は、レチクル１１０の形に大まかに合わせた形状を持つ内側ポッド１００を描いており、これには、レチクル１１０の丸みをもたせた角１１２に対応する角１２２を含んでいる。

カバー１２０とベース１３０の位置を合わせる通常の方法は、ベース１３０の外縁に接触するカバー１２０の外縁上にフランジを付けることである。図１では、硬い密閉リングか覆い１２４を用いることで、カバー１２０とベース１３０との間で位置を合わせることができるようになっている。位置合わせの覆い１２４は、留め具１２６を用いてカバー１２０に取り付ける。位置合わせの覆い１２４は丸みのついた角１２８と直線状の側壁１２９を持ち、角１２８と側壁１２９の一部はカバー１２０の底面１２１を越えて延びている。位置合わせの覆い１２４の向かい合う二辺には、カバー１２０の底面１２１に合うような窪み１２５が設けられている。ベース１３０はカバー１２０の底面１２１に大体合うような大きさに形成し、ベース１３０の上面１３２の対辺にある二つの張り出した羽根部分１３６以外は、位置合わせの覆い１２４で囲われた内側に適合するようにする。ベース１３０には、位置合わせの覆い１２４の丸みをもった角１２８にぴったり合うような丸みをつけた角１３８を設ける。カバー１２０とベース１３０の位置を合わせるには、張り出した羽根部分１３６が位置合わせ用の覆い１２４の窪み１２５にはまるように、位置合わせの覆い１２４の内壁１２７をベース１３０の外壁１３９に摺動させながら一体化させる必要がある。

図２を参照すると、先行技術の位置合わせのカバー２２０と内側ポッド２００のベース２３０を図示している（わかりやすくするために細部を一部除いている）。カバー２２０とベース２３０は、軸方向となるひとつの中心軸２１５に中心を合わせている。この例では、カバー２２０には、二つの位置合わせ構造２２４が取り付けられている。それぞれの位置合わせ構造２２４は、カバー２２０の一つの側壁とその両側の隣り合う角とを包むように作られている。位置合わせ構造２２４はそれぞれ留め具２２６を用いてカバー１２０に取り付ける。位置合わせ構造２２４は、丸みをもたせた角２２８と直線状の側壁２２９を備えており、角２２８と側壁２２９の一部はカバー２２０の底面２２１を越えて延びている。位置合わせ構造２２４はカバー２２０の互いに反対側にある側壁に取り付けられている。ベース２３０は概してカバー２２０の底面２２１にぴったり合うような大きさに形成し、ベース２３０の上面２３２の対辺にある二つの張り出した羽根部分２３６以外は位置合わせ構造２２４で囲われた内側にベース２３０を適合するようにする。ベース２３０には、位置合わせ構造２２８の丸みをもった角２２８に合わせて丸みを持たせた角２３８を設ける。カバー２２０とベース２３０の位置を合わせるには、位置合わせ構造２２４の端２２２同士の間に張り出した羽根部分２３６が合うよう、位置合わせ構造２２４の内壁２２７をベース２３０の外壁２３９に摺動させながら組み付ける必要がある。

上記の例は位置合わせが可能であり、レチクルの保管、出荷、輸送に伴う作業中にベースとカバーが側方に動くのを制限するよう機能するものの、カバーとベースが中心軸１１５や２１５に沿って水平方向か軸方向の動きをしている間、大きな表面積でかなりのすべり接触が起きる可能性がある（例えば、内側ポッド組立品１００における位置合わせの覆い１２４の内壁１２７とベース１３０の外壁１３９との間や、内側ポッド組立品１００における位置合わせ構造２２４の内壁２２７とベース２３０の外壁２３９との間など）。こういったすべり接触は、レチクルの多くを、特にＥＵＶレチクルに害を及ぼす粒子状物質が生成する原因になる可能性がある。

本発明の様々な実施例は、以下に開示する様々な実施例の説明のとおり、こういった粒子の生成と閉じ込めに対処するために設計されている。

図３から図６を参照すると、本発明の実施例となるレチクル運搬容器２８０を示している。レチクル運搬容器２８０は、中心軸３０２に対し軸を揃えた外側ポッド組立品２９０と内側ポッド組立品３００を含み、内側ポッド組立品３００にレチクル３０５が入れられる。外側ポッド組立品２９０は、連携して筐体を形成する上側部材２９２と下側部材２９４で構成される。内側ポッド組立品３００はカバー３２０とベース３３０を含んでおり、外側ポッド組立品２９０内に内側ポッド組立品３００を配置することが可能である。カバー３２０とベース３３０は、カバー３２０から出ている位置合わせピン３５０によって正しい位置に置くことが可能になる。それぞれの位置合わせピン３５０の特徴は、位置合わせの軸３５１を定めるとともに、ベース３３０の端３３１上に形成された対応するガイドとなる窪み３６０内に入れて位置合わせを可能とする先端部３５２を備えていることである。本願で図に描いているレチクルポッドは外形が大体長方形であるが、他にも発明の範囲から逸脱することなく多角形や円形などの他の形を持つポッドも可能であることは理解できるであろう。

カバー３２０は、一つの塊（例えば、金属ならステンレス鋼など）から機械加工した一体の構造物とすることも可能である。カバー３２０には、底面の反対にある上面３２２、又は、上面３２２から間隙を介している内部に面する表面３２４が形成され、側面３２３はほとんどひとつの平面上にある。一つの実施例として、カバー３２０には側面３２３から外へ突き出し上面３２２から底面３２４にわたる突起３２６を少なくとも一つ設けることができる。突起３２６の位置には位置合わせピン３５０を入れられるように貫通穴３２８を形成する。貫通穴３２８の軸は、上面３２２に対して実質的に垂直である。また、カバー３２０に突起３２６を設けず、側面３２３にほとんど面した位置に貫通穴３２８を開けることも考えられる。位置合わせピン３５０は穴３２８に締まり嵌めできるような寸法とすることもできる。

またベース３３０も一体的な金属の構造物とし、底面３３４とその反対側の上面あるいは内部に面する表面３３２と外側面３３３とを含み、表面３３２と底面３３４との間が側面３３３でつながっており、側面３３３が実質ひとつの平面上にあるものとすることができる。ベース３３０には、側面３３３のなす平面から内側に引っ込んでおり上面３３２と底面３３４まで通じるガイドとなる窪み３６０を少なくとも一つ設けることができる。一つの実施例として、このガイドとなる窪み３６０のベース３３０における位置は、カバー３２０をベース３３０に組み付けたときに位置合わせピン３５０の先端部３５２がガイドとなる窪み３６０に入って正確な位置に来て、位置合わせピン３５０にある軸部３５６の先端部３５２とガイドとなる窪み３６０とが密着状態で接するような位置とする。

機能についていうと、カバー３２０とベース３３０は密封状態で互いに結合し、軸方向へのそれらの間の動きが現実的にない密封状態で閉じた筐体と定義できる。カバー３２０とベース３３０をそれぞれ一体的な構造で構成することにより、締め付けによって接触しあう表面をなくしたり減らしたりすることができるため、締め付けられた表面の間に粒子が取り込まれ、それに付随して時間が経つにつれ生じることがある粒子が落下するのを防いだり抑えたりすることができる。一体的な構造はまた、製造段階を省き、カバー３２０とベース３３０に関連した耐用性強化を減らすことができる。

位置合わせピン３５０は、先端部３５２の反対側にある頭３５４を持つ軸部３５６を含んでいる。一つの実施例として、先端部３５２には先細の部分３５７を設けることができる。軸部３５６は、長さの方向について断面が実質的に均一とし、頭３５４を貫通穴３２８の外に残し上面３２２に近接させた状態で貫通穴３２８に通すこともできる。先細の部分３５７は、先端部３５２にある円錐状の頂点に行くほどすぼまっている傾斜した表面が特徴である。また先細の部分３５７は、円錐、錐台、角錐などの数種類の三次元形状を有するものとすることができる。さらに、先細の部分３５７は軸対称形状である必要はない。他の実施例として、先端部３５２は実質的に平らにしたり、面取りした形状とすることもできる。

位置合わせピン３５０は、金属の核３５８とこの金属の核３５８を完全に包むポリマーの塗膜３５９で構成することができる。他の実施例として、位置合わせピン３５０は、金属の核３５８、頭３５４を覆うポリマーの塗膜、先端部３５２に近い軸部３５６、先細の部分３５７とで構成することも可能である（図６Ａ）。他の実施例として、位置合わせピン３５０は、全体をステンレス鋼やトーロン（登録商標）（TORLON）のようなポリアミドイミドなどの粒子生成の少ない材料から製造することが可能である（図６Ｂ）。

図７を参照すると、本発明の実施例として、位置合わせの軸３７１を決める位置合わせピン３７０をカバー３２０に入れた状態で描写している。位置合わせピン３７０の先端部３７２は、ベース３３０にあるガイドとなる窪み３６０内に位置している。この実施例では、止まり穴３２９を突起３２６の位置に形成し、位置合わせピン３７０を入れられるようにする。止まり穴３２９の開口部は、底面３２４上に位置している。外側面３２３を通り抜ける止まり穴３２９の上面３２２に近い側の端に寄った位置で止まり穴３２９と交わる空気穴３２７を設けることもできる。一つの実施例として、止まり穴３２９の軸は上面３２２に実質的に垂直とする。

ガイドとなる窪み３６０のベース３３０に対する位置は、カバー３２０をベース３３０に取り付けたときに位置合わせピン３７０の先端部３７２がガイドとなる窪み３６０内に入り正しい位置に来て、位置合わせピン３７０の先端部３７２の軸部３７６とガイドとなる窪み３６０と密着状態で接触するような位置とする。

位置合わせピン３７０は止まり穴３２９に圧入できる大きさに作ることが可能であり、上面３２２に対して実質的に垂直な軸方向に伸びている。位置合わせピン３７０は、基端部３７４と先端部３７２を持つ軸部３７６を含む。一つの実施例として、先端部３７２には先細の部分３７７を設けることができる。軸部３７６は長さ方向について断面を実質的に均一とし、止まり穴３２９に差し込むことにより基端部３７４は止まり穴３２９の終端と接するようにすることができる。先細の部分３７７は位置合わせピン３５０の先細の部分３５７と同じように作ることが可能である。

図８を参照すると、本発明のひとつの実施例として、位置合わせピン３７０は、金属の核３７８と、ガイド面のところに位置するポリマーの軸鞘またはポリマーの塗膜３７９で構成することが可能である。他の実施例として、位置合わせピン３７０は全体をステンレス鋼あるいはトーロン（登録商標）のような粒子生成の少ない材料から製造することが可能である。

図９と図９Ａを参照すると、発明のひとつの実施例として位置合わせピン３８０を備えたレチクルポッド３７８を示している。位置合わせピン３８０は、止まり穴３２９内に圧入できる寸法とし、上面３２２に対して実質的に垂直な軸方向に延ばす。位置合わせピン３８０は、上側の軸部３８２と下側の軸部３８３を含んでいる。一つの実施例として、下側の軸部３８３を、この軸部３８３を覆うポリマーでできた軸鞘３７９に収容させられるような寸法とすることも可能である。下側の軸部３８３には、下側の軸部３８３にポリマーの軸鞘３７９を固定する役割を果たす掛かり３８８を設けることもできる。上側の軸部３８２と下側の軸部３８３との間で軸の周辺を囲むようにして、止め具となる隆起部３８４を設けることができる。位置合わせピン３８０は、基端部３８５を上側の軸部３８２に持ち、先端部３８６を下側の軸部３８３に持つものとする。一つの実施例として、先端部３８６には位置合わせピン３５０の先細の部分３５７と同様の先細の部分３８７を設けることが可能である。一つの実施例として、上側の軸部３８２は、長さ方向について断面が実質的に均一であることを特徴とし、止まり穴３２９に差し込む。

位置合わせピン３８０は、下側の軸部３８３上に、金属の核と、金属の核の外形に適合するポリマーの塗膜またはポリマーの軸鞘とを含むことができる。他の実施例として、位置合わせピン３８０は全体をステンレス鋼やトーロン（登録商標）のような粒子生成の少ない材料から製造することができる。

機能としては、止め具となる隆起部３８４が組み立ての際に止まり穴３２９の開口部で位置合わせとなることで、カバー３２０から下へ延びる下側の軸部３８３の長さを規定値からわずかな許容誤差内におさめることができる。止め具となる隆起部３８４はまた、ポリマーの軸鞘の基端部を偶然の接触によって裂けないように保護しており、ポリマーの軸鞘３７９を径方向に固定するのを助ける圧着構造としての役割を果たすようにすることもできる。

実施例によっては、ガイドとなる窪み３６０に段状の壁３９０を設ける。図の実施例では、段状の壁は、ベース３３０の上面３３２に直接面して第一錐面部分３９１が形成されており、この第一錐面部分３９１にすぐ接して第一直円柱面部分３９２がある。第一錐面部分３９１はベース３３０の上面３３２のところでの半径が第一半径Ｒ１となっており、この半径は第一直円柱面部分３９２の半径である第二半径Ｒ２よりも大きい。第一錐面部分３９１と第一直円柱面部分３９２の合流点には第一の稜線３９３が形成される。第一の稜線３９３は、図示しているように丸みをもたせることも可能である。

一つの実施例として（図示している通り）、段状の壁３９０にはさらに、第一直円柱状部分３９２のすぐ末端側に第二錐面部分３９４があり、さらにそのすぐ末端側に第二直円柱面部分３９５が続いている。第二錐面部分３９４と第二直円柱面部分３９５の合流点には第二の稜線３９６が形成される。図示しているように、第二の稜線３９６は丸みをもたせることも可能である。

機能としては、稜線３９３、３９６が効果的に外側や上方へ突き出る突出部となることによって、位置合わせピン２８０の先細の部分３８７が稜線３９３、３９６と点接触や線接触できるようになる。この点接触や線接触によって、カバー３２０をベース３３０側へ軸方向に動かすときに接触する有効面積が減少し、粒子が生成する可能性を減らすことが可能になる。

図１０と図１０Ａを参照すると、本発明のひとつの施例として、ベース３３０にボール３６４を入れ込む窪みを設けることができる。ボール３６４を陥凹部３６２へ圧入することで、ボール３６４の一部が陥凹部３６２より突き出すようにする。一つの実施例として、陥凹部の側面３３３に面した部分の直径ｄ１は、そのすぐ内部のところでの陥凹部の直径ｄ２よりも少しだけ小さくする。ボール３６４のあるガイドとなる窪み３６０のベース３３０における位置は、カバー３２０をベース３３０に組み付けたときに位置合わせピン３５０又は３７０の先端部３５２又は３７２がガイドとなる窪み３６０内に来て、位置合わせピン３５０又は３７０の先端部３５２又は３７２とボール３６４とが密着状態で接するような位置とする。一つの実施例として、ポリマー材料からボール３６４を作る。

機能的には、ボール３６４は、位置合わせピン３５０又は３７０の外側の曲面とボール３６４の球状の表面との間で実質点接触となるような突起を形成する。接触する表面積と、これに伴う粒子生成の可能性は、この点接触によって減少する。

以上の図示や説明では、様々な位置合わせピン３５０、３７０、３８０をカバー３２０に取り付けられるものとして表現し、ガイドとなる窪み３６０をベース３３０に形成されるものとして表現している。これらの特徴の位置を入れ替えること、つまりベース３３０側にピンを取り付けカバー３２０側にガイドとなる窪みを形成することもできるということは理解できるであろう。

また、以上の図示や説明では、ガイドとなる窪み３６０を端３３１に形成された陥凹部を成すものとして表現している。ガイドとなる窪みはまた、ベース３３０又はカバー３２０を厚み方向に貫通する穴又は開口部（図示していない）を成すものとすることもできるということは理解できるであろう。

上側と下側、前と後、左と右、上部と下部、水平などの関係を表す用語を用いているのは説明に好都合なためであり、発明やその構成要素を一種類の位置や特別な向きに限定することを意図したものではない。図面に描かれているすべての寸法は、この発明の特定の実施例についての可能な設計と目的の用途に応じて発明の範囲から逸脱しないように様々に変えることが可能である。

ここで開示した追加の図面や方法のそれぞれは、別々に用いたり、他の特徴や方法と組み合わせて用いたりして、改良版の容器やその製造方法や使用方法を得ることも可能である。それゆえ、ここで説明した特徴や方法の組み合わせは最も上位の発明を実施するために必ずしも必要ではないかもしれないが、その代わりに、本発明の代表的で好ましい実施例を単に具体的に説明するために開示している。

本発明の実施例に様々な改良を行えることは当業者がこの開示を読むことで明らかとなるであろう。例えば、発明の様々な実施例のために説明した個々の特徴を発明の趣旨の範囲内で適切に組み合わせたり、別々にしたり、組み合わせ直したりすることによって、他の特徴とともに用いたり、単独で用いたり、異なる組み合わせで用いたりすることができることは、当該分野の当業者であれば認識できるであろう。同様に、上で説明した様々な特徴はすべて発明の範囲と趣旨を制限するものではなく、例示的な実施例として認識するべきである。それゆえ、上記は、発明の範囲を制限しようとするものではない。

発明が、上で説明した任意の個々の実施例において説明したものよりも少ない特徴で構成することができることは、当該分野の当業者ならば認識できるであろう。ここで説明した実施例は、発明の個々の特徴を組み合わせることができる方法を網羅的に提示しようとしているものではない。したがって、実施例は互いに相容れない特徴の組み合わせではなく、むしろ、発明は様々な個々の実施例から選択した様々な個々の特徴の組み合わせから構成することが可能であるが、これは当該分野の当業者が理解しているとおりである。

以上に記載した参照による文書の援用は、ここでの明白な開示に反する主題を援用しないように制限する。以上に記載した参照による文書の援用はさらに、その文書に含まれる請求項を参照によって本願に組み入れないように制限する。以上に記載した参照による文書の援用はさらに、その文書に出てきたいかなる定義も、本願に明確に含まれていない限り、参照によって本願に組み入れないように制限する。

発明の実施例に対して請求の範囲を解釈する目的では、請求項に「〜するための手段（means for）」或いは「〜するための工程（step for）」といった特定の言葉が記載されていない限り、合衆国法典第３５巻第６章第１１２項の規定を適用すべきではないという意図を表明する。

Claims (23)

1. 基板やレチクルを格納するためのレチクル運搬容器であって、
   協同して筐体を形成する上側部材と下側部材を含む外側ポッド組立品と、基板やレチクルを保管するための内側ポッド組立品とを含み、内側ポッド組立品が外側ポッド組立品の筐体内に格納できるようになっており、
   内側ポッド組立品がカバーとベースと位置合わせ機構を含み、カバーとベースの中心の位置が一本の中心軸に合わせて同じになっており、その中心軸を軸方向とし、
   位置合わせ機構は、カバーとベースのうちの一方に設けられた穴が形成された構造と、カバーとベースのうちの他方の端に面した位置に形成したガイドとなる窪みと、穴に配置する位置合わせピンとを含んでおり、
   カバーとベースを組み合わせると位置合わせピンがガイドとなる窪みの位置に来るようになっており、カバーとベースの位置合わせのためにカバーをベースに向かって軸方向に動かすときにガイドとなる窪みで位置合わせピンを案内できるようになっているもの。
2. 請求項１のレチクル運搬容器であって、穴が貫通穴であるもの。
3. 請求項２のレチクル運搬容器であって、位置合わせピンが貫通穴から突き出る頭を含むもの。
4. 請求項１のレチクル運搬容器であって、穴が止まり穴であるもの。
5. 請求項４のレチクル運搬容器であって、止まり穴と連通した空気穴が形成された構造をさらに含むもの。
6. 請求項１のレチクル運搬容器であって、カバーをベースに対して軸方向に動かすときに位置合わせピンが接触できるよう、ガイドとなる窪みの内側から径方向に突起が出ているもの。
7. 請求項の６のレチクル運搬容器であって、ガイドとなる窪みに陥凹部を設け、この陥凹部にボールを配置して突起としたもの。
8. 請求項１のレチクル運搬容器であって、ガイドとなる窪みが稜線のある段状の壁を備えており、位置合わせピンが軸方向に動くときにその稜線がピンと線接触か点接触できるようになっているもの。
9. 請求項８のレチクル運搬容器であって、段状の壁が、カバーとベースの他方の内側表面のすぐ隣にある円錐面部分と、この円錐面部分のすぐ隣にある直円柱面部分とを含み、
   円錐面部分の半径がカバーとベースの他方の内側表面に面する位置で第一半径となっており、直円柱面部分の半径が第一半径より小さい第二半径となっており、
   円錐面部分と直円柱面部分の合流点に段状の壁の稜線が形成されているもの。
10. 請求項１のレチクル運搬容器であって、カバーが材料の単一の塊から形成される一体構造であるもの。
11. 請求項１のレチクル運搬容器であって、ベースが材料の単一の塊から形成される一体構造であるもの。
12. 請求項１１のレチクル運搬容器であって、材料が金属であるもの。
13. 請求項１のレチクル運搬容器であって、位置合わせピンが、上側の軸部と下側の軸部を含む金属の核と、少なくとも下側の軸部を覆うポリマーの軸鞘または塗膜とで構成されるもの。
14. 請求項１３のレチクル運搬容器であって、ポリマーの軸鞘または塗膜がポリアミドイミド材料からできているもの。
15. 請求項１３のレチクル運搬容器であって、ポリマーの軸鞘または塗膜を下側の軸部に固定できるよう、下側の軸部に径方向外側へ突き出た掛かりが設けられているもの。
16. 請求項１のレチクル運搬容器であって、位置合わせピンがストッパーとなる突出部を含むもの。
17. 請求項１のレチクル運搬容器であって、ガイドとなる窪みが端に形成した陥凹部であるもの。
18. 粒子生成を抑えるためのレチクル運搬容器を作る方法であって、
    組み合わせた際に基板やレチクルを保管するための筐体を形成できるようになった内側ポッド組立品のカバーとベースを製造する工程と、
    カバーとベースのうち一方にガイドとなる窪みを形成する工程と、
    位置決めピンを準備する工程と、
    カバーとベースのうち他方に位置決めピンを固定する工程とを含み、
    カバーをベースと組み合わせて筐体を形成するときに、位置決めピンが位置決め軸を決め、位置決め軸に沿ってガイドとなる窪みに入って位置を合わせることができる方法。
19. 請求項１８の方法であって、カバーとベースを製造する過程において、カバーとベースのうち少なくとも一つが一体であるもの。
20. 請求項１８の方法であって、ガイドとなる窪みの壁から突出部が外向きに出ており、位置合わせピンとガイドとなる窪みとの間に位置合わせの軸に沿った相対的な動きがあるときにその突出部が位置合わせピンと接触するように配置されているもの。
21. 請求項２０の方法であって、ガイドとなる窪みを形成する段階において、ガイドとなる窪みの壁にある円錐面部分と直円柱面部分の合流点で突出部を形成するもの。
22. 請求項２０の方法であって、ガイドとなる窪みの壁に陥凹部を形成する段階と、陥凹部にボールを固定する段階とを含み、このボールで突出部を形成するもの。
23. 請求項２２の方法であって、固定する段階で用いるボールがポリマーでできているもの。
    
    

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