JP2007266453A - 電子線露光用マスクホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子線露光用マスクホルダ1は、板状の電子線露光用マスク2が載置されるホルダ本体3と、ホルダ本体3との間で電子線露光用マスク2を挟持するホルダ蓋5と、電子線露光用マスク2をホルダ本体3に位置合わせする位置決め部6とを備えている。位置決め部6は、ホルダ本体3に立設された一対の位置決めピンと、電子線露光用マスク2に設けられて一対の位置決めピンが嵌合する一対のマスク側位置決め孔部と、ホルダ蓋5に設けられた一対のホルダ側位置決め孔部とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明に係る電子線露光用マスクホルダは、電子線露光用マスクが載置されるホルダ本体と、該ホルダ本体との間で前記電子線露光用マスクを挟持するホルダ蓋と、前記電子線露光用マスクを前記ホルダ本体に位置合わせする位置決め部とを備え、前記位置決め部が、前記ホルダ本体又は前記ホルダ蓋の何れか一方に立設された位置決め凸部と、前記電子線露光用マスクに設けられて前記位置決め凸部が嵌合するマスク側位置決め孔部とを備えていることを特徴とする。
本実施形態に係る電子線露光用マスクホルダ1は、図1に示すように、板状の電子線露光用マスク2が載置されるホルダ本体3と、ホルダ本体3との間で電子線露光用マスク2を挟持するホルダ蓋5と、電子線露光用マスク2をホルダ本体3に位置合わせする位置決め部6とを備えている。
まず、ホルダ蓋5を照射面5bが下になるようにセットし、電子線露光用マスク2の面2bが枠状凹部13と接触するように載置する。そして、ホルダ本体3の放出面3aが上方になるようにして載置面3bと電子線露光用マスク2の面2aと対向させ、一対の位置決めピン11A,11Bを一対のマスク側位置決め孔部8A,8B、一対のホルダ側位置決め孔部15A,15Bに順に嵌合させる。
例えば、上記実施形態では、一対の位置決めピン11A,11Bが、ホルダ本体3に立設されているとしているが、ホルダ蓋に立設されていてもよい。
2 電子線露光用マスク
2a,2b 面
3 ホルダ本体
5 ホルダ蓋
5a 接触面(面)
5b 照射面(面)
6 位置決め部
8A,8B マスク側位置決め孔部
11A,11B 位置決めピン(位置決め凸部)
15A,15B ホルダ側位置決め孔部
Claims (7)
- 電子線露光用マスクが載置されるホルダ本体と、
該ホルダ本体との間で前記電子線露光用マスクを挟持するホルダ蓋と、
前記電子線露光用マスクを前記ホルダ本体に位置合わせする位置決め部とを備え、
前記位置決め部が、前記ホルダ本体又は前記ホルダ蓋の何れか一方に立設された位置決め凸部と、
前記電子線露光用マスクに設けられて前記位置決め凸部が嵌合するマスク側位置決め孔部とを備えていることを特徴とする電子線露光用マスクホルダ。 - 前記ホルダ本体又は前記ホルダ蓋の何れか他方に、前記位置決め凸部が嵌合するホルダ側位置決め孔部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電子線露光用マスクホルダ。
- 前記位置決め凸部が、根元側から先端側に向かって漸次縮径し、かつ、前記ホルダ蓋と前記ホルダ本体との間で前記電子線露光用マスクを挟持した際に前記ホルダ側位置決め孔部を貫通する高さに設けられていることを特徴とする請求項2に記載の電子線露光用マスクホルダ。
- 前記位置決め凸部が、互いに離間して前記ホルダ本体又は前記ホルダ蓋に少なくとも二つ配されていることを特徴とする請求項1から3の何れか一つに記載の電子線露光用マスクホルダ。
- 前記位置決め凸部が挿入される方向の面から反対側の面に向かって、前記位置決め凸部に合わせて前記マスク側位置決め孔部が漸次縮径されていることを特徴とする請求項2に記載の電子線露光用マスクホルダ。
- 前記位置決め凸部が挿入される方向の面から反対側の面に向かって、前記位置決め凸部に合わせて前記ホルダ側位置決め孔部が漸次縮径されていることを特徴とする請求項2に記載の電子線露光用マスクホルダ。
- 前記位置決め凸部が、立設された前記ホルダ本体又は前記ホルダ蓋と同一材料を備えて、導電性を有していることを特徴とする請求項1から6の何れか一つに記載の電子線露光用マスクホルダ。
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