TWM469290U - 光罩收納盒結構 - Google Patents

Description

光罩收納盒結構

本創作隸屬一種用於收納光罩之容器技術，具體而言係一種定位效果佳之光罩收納盒結構，藉以減少接觸面積、且避免光罩不當晃動，以減少不必要的刮傷。

按，電子產品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發展，而欲滿足這個發展的方向，用於電子產品中的核心半導體元件之晶片就需微小化與具有高效能，而欲使晶片微小化與具高效能，則需使晶片上的積體電路線徑微細化，因此現有的積體電路線徑已由早期的0.25微米發展至90~45奈米，而晶片上積體電路線徑的微細化的成敗主要在於半導體製程中的黃光微影製程技術，而其關鍵零件係在於光罩【Reticle】；因此，光罩於保存或運送時，用於收納之光罩收納盒除了需能有效防止微粒侵入，以避免光罩表面附著塵埃外，更需要能防止光罩於容器內任意滑動或晃動等微細動作，除能減少靜電的產生外，更能避免刮傷光罩表面，從而影響到整體的黃光微影製程，所以光罩於光罩收納盒內的定位結構就極為重要。再者，為了滿足實際使用的需求，光罩收納盒中用於與光罩接觸的定位結構有使用特殊材料的需要，如高硬度、耐磨之聚醚醚酮(PEEK)或者聚酰亞胺樹脂(VESPEL)或鐵弗 龍(Teflon)等材質；然，現有光罩收納盒係由可相對蓋合的上、下蓋體所組成，且上、下蓋體內面角落形成L形支撐件，供光罩放置及定位，但其接觸面積大，且光罩無法有效定位，同時光罩易因晃動而產生刮損及靜電，影響光罩的品質。為此業界開發有如我國專利申請第097147258號的光罩收納盒，其係於上蓋體與下蓋體的角落形成有複數個以懸空方式配置的支撐件，該等支撐件係為兩端分別與上、下蓋體內表面角落之相鄰兩側邊相連接的封閉片體，並於封閉片體之轉折處形成一供光罩角落放置的缺口。該等支撐件的雖可減少接觸的面積，但其定位效果仍然不佳，無法準確的定位於光罩收納盒內，仍然無法有效的提升光罩品質。

換言之，如能使光罩能準確的定位於光罩收納盒內，讓光罩不致任意晃動，相信可克服前述產生刮損或靜電的問題，但如何達到這個目的，則是業界相當重要的課題。

有鑑於此，本創作人仍針對前述光罩收納盒所面臨的問題，藉由本創作人長期從事相關產業的研發與製作經驗，經不斷努力的改良，終於成功開發一種光罩收納盒結構，藉以克服現有者因夾掣力小、且面積大所造成的困擾與不便。

因此，本創作之主要目的係在提供一種接觸面積小的光罩收納盒結構，藉以能減少光罩收納盒與光罩間的接觸面積，俾使光罩更為平穩，同時減少磨損的現象，以避免光罩損傷。

又，本創作之次一主要目的係在提供一種夾掣力佳的光罩收納盒結構，其能有效的固定光罩，防止光罩在光罩收納盒移動或存放過程中，因不當滑動而產生刮損的現象。

再者，本創作之另一主要目的係在提供一種低成本的光罩收納盒結構，藉此當有特性需求時，僅需改變定位結構使用特殊材料即可，無需令整個光罩收納盒均使用該特殊材材，而能大幅減少特殊材料的使用量，從而降低製造成本。

基於此，本創作主要係透過下列的技術手段來具體實現前述的目的與效能；其係由一本體及一蓋體所組成，又本體與蓋體可選擇性相對蓋合收納一光罩，且本體與蓋體內部各角落間分別具有一供夾壓光罩之夾壓件，再者本體與蓋體之相對角落的夾壓件呈垂直狀設置；而前述之該等夾壓件係於本體與蓋體的對應位置形成有一固定座，固定座上具有一抵壓體，該等抵壓體具有一分別對應光罩上、下表面之凸緣部，再者該等抵壓體並具有一分別對應光罩周緣表面之弧凸部。

藉此，透過前述技術手段的展現，讓本創作之光罩收納盒不僅可減少抵壓體相對光罩的接觸面積，且抵壓體透過其具彈性之弧凸部設計，可進一步有效固定光罩，避免其因不當滑動而產生刮損，再者利用分離式抵壓體的設計，更可減少特殊材料的使用量，大幅降低光罩收納盒的製造成本，且能增進光罩收納盒的特性，故可提升其附加價值，並可提高其經濟效益。

為使 貴審查委員能進一步了解本創作的構成、 特徵及其他目的，以下乃舉本創作之較佳實施例，並配合圖式詳細說明如后，同時讓熟悉該項技術領域者能夠具體實施。

(10)‧‧‧本體

(12)‧‧‧開口緣

(14)‧‧‧擋片

(20)‧‧‧本體

(22)‧‧‧開口緣

(24)‧‧‧擋片

(30)‧‧‧夾壓件

(31)‧‧‧固定座

(32)‧‧‧嵌插孔

(35)‧‧‧抵壓體

(36)‧‧‧嵌插部

(37)‧‧‧凸緣部

(38)‧‧‧弧凸部

(40)‧‧‧扣件

(50)‧‧‧光罩

第一圖：為本創作之光罩收納盒結構的外觀示意圖，其說明各組件的態樣及其相對關係。

第二圖：為本創作之光罩收納盒結構的局部分解放大示意圖。

第三圖：為本創作之光罩收納盒結構於實際使用開啟時的外觀參考示意圖。

第四圖：為本創作之光罩收納盒結構於實際使用開啟時的局部放大參考示意圖。

第五圖：為本創作之光罩收納盒結構於實際使用蓋合時的剖面參考示意圖。

第六圖：為本創作光罩收納盒結構於實際使用蓋合時的局部放大參考示意圖。

本創作係一種供收納、保存運送用於製造半導體元件之光罩的光罩收納盒結構，隨附圖例示之本創作光罩收納盒的具體實施例及其構件中，所有關於前與後、左與右、頂部與底部、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用於方便進行描述，並非限制本創作，亦非將其構件限制於任何位置或空間方向。圖式與說明書中所指定的尺寸，當可在不離開本創作之申請專利範圍內，根據本創作之具體實施例的設計與需求而 進行變化。

而本創作光罩收納盒結構的構成，則請參照第一、二及三圖所示，其係由一本體(10)及一蓋體(20)所組成，且該本體(10)與該蓋體(20)可選擇性相對蓋合或展開，又本體(10)與蓋體(20)於蓋合之接合線上設有至少一扣件(30)，供本體(10)與蓋體(20)於相對蓋合後選擇性扣掣，再者本體(10)與蓋體(20)於蓋合後內部形成有一供收納一光罩(50)之存放空間【如第五圖所示】，又本體(10)與蓋體(20)之內面各角落分別具有一夾壓件(30)，供相對夾掣該光罩(50)之角落，且該本體(10)與蓋體(20)的材質可選自金屬或塑膠，本創作係以硬質的ABS塑膠【苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳漿共聚合而成】為主要實施例；至於於本創作較佳實施例之詳細構成，則仍請參看第一、二及三圖所示者，其中本體(10)與蓋體(20)於開口端緣分別形成有一可相對嵌卡的開口緣(12、22)，該本體(10)與蓋體(20)蓋合時能產生密合作用，又本體(10)與蓋體(20)的內部四周內壁與底面間分別立設有至少一擋片(14、24)，該等擋片(14、24)所圍空間略大於光罩(50)大小，供光罩(50)置入時初步定位用，且可增加本體(10)與蓋體(20)的強度；再者，所述之夾壓件(30)係於該本體(10)與該蓋體(20)的內部內面各角落分別形成有一固定座(31)，且本體(10)與蓋體(20)相對角落之固定座(31)適成垂直夾角狀，又該等固定座(31)上具有一抵壓體(35)，且該等 抵壓體(35)與相對之固定座(31)可為一體結構或分離結構，而本創作之抵壓體(35)與固定座(31)係以分離結構為主要實施例，其係於固定座(31)頂面形成有一嵌插孔(32)，且該等抵壓體(35)具有相對之嵌插部(36)，該抵壓體(35)可選自與固定座(31)不同之材質，如高硬度、耐磨之聚醚醚酮【PEEK】或者聚酰亞胺樹脂【VESPEL】或鐵弗龍【Teflon】等材質，以防止抵壓體(35)受摩擦形成塵粒，且不需令固定座(31)、甚至本體(10)與蓋體(20)均使用前述特殊材料，以節省特殊材料的使用量，達到防止摩擦形成塵粒與降低成本，又該等抵壓體(35)具有一突出固定座(31)上表面之凸緣部(36)，供分別以支撐或壓掣該光罩(50)之上、下表面，再者該等抵壓體(35)並具有一由側邊向上凸伸之弧凸部(37)，供分別抵掣該光罩(50)之周緣表面，使本體(10)與蓋體(20)之該等夾壓件(30)的抵壓體(35)能圍繞成一可夾置光罩(50)的範圍；藉此，當本體(10)與蓋體(20)相對蓋合時，該等夾壓件(30)之固定座(31)上的抵壓體(35)可利用凸緣部(36)撐壓光罩(50)上、下表面，且該等抵壓體(35)之弧凸部(37)可同步夾掣光罩(50)邊緣表面，而能有效防止光罩(50)任意晃動或移動，避免產生粉塵及靜電等有害物質，而組構成一接觸面積小、且定位效果佳的光罩收納盒結構者。

經由上述之說明，本創作於實際運用時，則係如第三、五圖所揭示者，當使用者欲將光罩(50)收納於光罩收 納盒內時，係將蓋體(20)向上相對本體(10)掀開，且將光罩(50)置於本體(10)夾壓件(30)抵壓體(35)之凸緣部(36)上，並利用本體(10)周緣的擋片(14)產生初步限位作用，接著將蓋體(20)向下相對本體(10)蓋合，使蓋體(20)可利用其抵壓體(35)的凸緣部(36)壓掣光罩(50)上表面【如第六圖所示】，同時利用本體(10)與蓋體(20)之抵壓體(35)弧凸部(37)同步夾掣光罩(50)的邊緣表面【如第六圖所示】，令光罩(50)完全夾限於光罩收納盒的本體(10)與蓋體(20)之間；配合參看第六圖，由於本體(10)與蓋體(20)在蓋合後，光罩(50)與抵壓體(35)之凸緣部(36)及弧凸部(37)係呈線性接觸，其接觸面積極小，並能提高其定位夾掣效果，有效防止光罩(50)的晃動，如此不僅不會因磨擦而形成粉塵，且也不會產生靜電，大幅減少有害物質的產生，提高光罩(50)保存的品質；同時，由於夾壓件(30)之抵壓體(35)與固定座(31)係呈分離狀結構，使抵壓體(35)與固定座(31)可選自不同的材料，如此當特別需求而需使用到特殊材料時，如抵壓體(35)使用高硬度、耐磨之聚醚醚酮【PEEK】或者聚酰亞胺樹脂【VESPEL】或鐵弗龍【Teflon】等，則本體(10)與蓋體(20)可使用一般塑膠材料即可，如此可節省特殊材料的用量，而大幅降低製造的成本，提高其經濟效益。

綜上所述，可以理解到本創作為一創意極佳之新型創作，除了有效解決習式者所面臨的問題，更大幅增進功效 ，且在相同的技術領域中未見相同或近似的產品創作或公開使用，同時具有功效的增進，故本創作已符合新型專利有關「新穎性」與「進步性」的要件，乃依法提出申請新型專利。

(10)‧‧‧本體

(12)‧‧‧開口緣

(14)‧‧‧擋片

(30)‧‧‧夾壓件

(31)‧‧‧固定座

(32)‧‧‧嵌插孔

(35)‧‧‧抵壓體

(36)‧‧‧嵌插部

(37)‧‧‧凸緣部

(38)‧‧‧弧凸部

(40)‧‧‧扣件

Claims (5)

1. 一種光罩收納盒結構，其係由一本體及一蓋體所組成，又本體與蓋體可選擇性相對蓋合收納一光罩，且本體與蓋體內部各角落間分別具有一供夾壓光罩之夾壓件，再者本體與蓋體之相對角落的夾壓件呈垂直狀設置；而前述之該等夾壓件係於本體與蓋體的對應位置形成有一固定座，固定座上具有一抵壓體，該等抵壓體具有一分別對應光罩上、下表面之凸緣部，再者該等抵壓體並具有一分別對應光罩周緣表面之弧凸部；藉此，組構成一接觸面積小、且定位效果佳的光罩收納盒結構者。
2. 依申請專利範圍第1項所述之光罩收納盒結構，其中該本體與蓋體的材質可選自金屬或塑膠。
3. 依申請專利範圍第1項所述之光罩收納盒結構，其中該本體與蓋體的存放空間於四周內壁與底面間分別立設有至少一擋片，該等擋片具有相對光罩邊緣表面之擋緣，供光罩置入時初步定位用，且可增加本體與蓋體的強度。
4. 依申請專利範圍第1項所述之光罩收納盒結構，其中該等夾壓件之固定座具有一嵌插孔，而抵壓體具有對應嵌固之嵌插部，使抵壓體可選擇不同於固定座之材料或更換。
5. 依申請專利範圍第1或4項所述之光罩收納盒結構，其中該夾壓件之抵壓體係選自高硬度、耐磨之聚醚醚酮(PEEK)或者聚酰亞胺樹脂(VESPEL)或鐵弗龍(Teflon)。