JP2002002866A

JP2002002866A - ケース

Info

Publication number: JP2002002866A
Application number: JP2000192538A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Shitani; 佳久志谷; Akira Narizumi; 顕成住; Koichi Sugano; 菅野　　孝一
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2000-06-27
Filing date: 2000-06-27
Publication date: 2002-01-09

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基
板を保管、搬送する際に、振動、摩擦によるゴミ付着を
起こさず、且つ、その表面部に経時変化を起こさない、
開閉耐久性に優れたケースを提供する。【解決手段】製品固定部１０は、製品をその端部で保
持する複数の保持治具１１０と、弾性体１２０からなる
外力伝達部と、これらを支持する支持部１３０とを有
し、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝
達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受
け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、
製品を固定するものであり、且つ、外力伝達部は、ほぼ
ケースの内側へのみ変形できるようにその周囲を囲い支
持しているものであり、外力伝達部の蓋部側の面は、密
封する際、ピン２１０に略直交する面から、保持治具間
の間隔を狭める向きに、ピン側に上がる傾斜を持たせた
面である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子を作製
する際に用いられる、フォトマスク、ウエハ、あるい
は、フォトマスク用のマスクブランクス、ガラス基板等
の製品を、その端部にて保持して、搬送、保管を行うケ
ース（ボックス）に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子（チップ）の高密度化
は激しく、０．３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの
量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５
６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。更に、最近
では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４
ＭＤＲＡＭを０．２５設計ルールまで微細化して、ある
いは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８設計ルールまで微細
化してチップ縮小化を行っている。仮に、６４ＭＤＲＡ
Ｍを０．２μｍ設計ルールとすると、約１６ＭＤＲＡＭ
と同じチップ寸法となり、ビットコストは１６Ｍの約１
／４になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置
でコスト低減が達成されることとなる。０．１８μｍ設
計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍ設
計ルールが開発完了予定とされている。このような中、
ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、
ますます高精度、高品質のものが求められるようになっ
てきた。

【０００３】このため、半導体素子を形成するためのレ
チクル、およびこれらを作製するためのマスク（以降、
これらを総称してフォトマスク呼ぶ）や、これに用いら
れるマスクブランクス、ガラス基板については、その保
管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求
められるようになってきた。一般に、フォトマスク、マ
スクブランクス、ガラス基板は、所定のケース（ボック
ス）に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処
理されるが、その際、その表面部に、振動、摩擦などに
よりゴミが付着したり、周囲雰囲気の影響による経時変
化が起こることが知られている。更に、レジストが塗布
された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合、
周囲雰囲気の空気中の酸素と有機物等により、その感度
は経時変化を起こすことが良く知られている。しかし、
近年の半導体素子の高い集積化に伴い、これらの保管、
搬送に起因する品質低下が無視できなくなってきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、近年の半
導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブラ
ンクス、ガラス基板を、保管、搬送する際に起こる、振
動、摩擦等によるゴミ付着、表面部の経時変化が問題に
なってきており、この対応が求められていた。本発明
は、これに対応するもので、フォトマスク、マスクブラ
ンクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、振動、摩擦
によるゴミ付着を起こさず、且つ、その表面部に経時変
化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）で
あって、簡単な構造でケースの開閉耐久性が優れたケー
スを提供しようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のケースは、フォ
トマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の
薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬
送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製
品固定部に、あるいは、底部と一体となった製品固定部
に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部と
を合わせ密封するもので、製品固定部は、製品をその端
部で保持する複数の保持治具と、密封する際に、蓋部に
設けられたピンから、その蓋部側の面に外力を受け、変
形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間
隔を狭める向きに力を与える弾性体からなる外力伝達部
と、これらを支持する支持部とを有し、密封する際、移
動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保
持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面
を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するもの
であり、且つ、弾性体からなる外力伝達部は、密封する
際、ほぼケースの内側へのみ変形できるようにその周囲
を囲い支持しているものであり、弾性体からなる外力伝
達部の蓋部側の面は、密封する際、ピンに略直交する面
から、保持治具間の間隔を狭める向きに、ピン側に上が
る傾斜を持たせた面であることを特徴とするものであ
る。そして、上記において、外力伝達部からの力を受け
る保持治具には、保持治具間の間隔に対応して、外力伝
達部からの力に対抗し、外力伝達部からの力を緩和する
力を発生させる、緩和力発生部、およびまたは、蓋を開
け、外力伝達部からの力を受けなくなった際に、移動可
能な保持治具を元の位置に復元するための復元力発生部
を備えていることを特徴とするものであり、移動可能な
一つの保持治具は、板バネを介して、移動可能に支持部
に固定されているもので、板バネが、緩和力発生部およ
びまたは復元力発生部を兼ねることを特徴とするもので
ある。このように、上記外力伝達部から力を与えられる
一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるい
は広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を
所定範囲内で移動可能に設けられている。そしてまた、
上記において、各保持治具は、複数の所定の製品サイズ
に対応するため、その保持部を段状に複数設けているこ
とを特徴とするものである。また、上記において、製品
固定部と底部とは別体で、製品固定部は底部に保持され
ていることを特徴とするものである。また、上記におい
て、底部には、不活性なガスを充填するための充填部を
備えていることを特徴とするものである。また、上記に
おいて、蓋に、製品を識別するための識別マークを設け
ていることを特徴とするものである。また、上記におい
て、蓋部、底部には、ＳＭＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭ
ｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み
込まれていることを特徴とするものである。

【０００６】尚、ここでは、不活性なガスとは、ガラス
表面（製品表面）と反応する物性のガスを含まないガス
のことで、窒素ガスや不活性ガス（Ｎｅ、Ｘｅ等）を言
うが、一般には安価な、清浄な窒素ガスが用いられる。
また、ここで言う製品とは、最終製品および中間製品を
含むもので、レジストを塗布した状態のマスクブランク
ス（単にブランクスとも言う）も含む。また、ＳＭＩＦ
機構とは、ＳＭＩＦ規格に則った、底部、蓋部のロッ
ク、取外し機構を備えていることを意味する。

【０００７】

【作用】本発明のケースは、このような構成にすること
により、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板
を保管、搬送する際に、振動、摩擦などによるゴミ付着
を起こさず、且つ、その表面部に経時変化を起こさな
い、保管、搬送用のケース（ボックス）であって、簡単
な構造でケースの開閉耐久性が優れたケースの提供を可
能とするものである。これにより、近年の半導体素子の
高集積化に対応できる品質を確保でき、量産にも対応で
きるものとしている。具体的には、フォトマスク、マス
クブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品
を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行
う、ケース（ボックス）であって、底部に固定された製
品固定部に、あるいは、底部と一体となった製品固定部
に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部と
を合わせ密封するもので、製品固定部は、製品をその端
部で保持する複数の保持治具と、密封する際に、蓋部に
設けられたピンから、その蓋部側の面に外力を受け、変
形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間
隔を狭める向きに力を与える弾性体からなる外力伝達部
と、これらを支持する支持部とを有し、密封する際、移
動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保
持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面
を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するもの
であり、且つ、弾性体からなる外力伝達部は、密封する
際、ほぼケースの内側へのみ変形できるようにその周囲
を囲い支持しているものであり、弾性体からなる外力伝
達部の蓋部側の面は、密封する際、ピンに略直交する面
から、保持治具間の間隔を狭める向きに、ピン側に上が
る傾斜を持たせた面であることにより、更には、底部に
は、不活性なガスを充填するための充填部を備えている
ことにより、これを達成している。

【０００８】底部には、不活性なガスを充填するための
充填部を備えていることにより、不活性なガスを充填
（注入）して、製品の表面に、酸素や空気中の有機物に
触れることがなく、保管や搬送中における経時変化を抑
えることを可能としている。特に、レジストが塗布され
た状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合には有
効で、レジストの感度の経時変化を抑えることを可能と
している。

【０００９】また、製品固定部と底部とは別体で、製品
固定部と底部に保持されていることにより、全体を洗浄
がし易い形態としている。

【００１０】また、蓋部、底部には、ＳＭＩＦ（Ｓｔａ
ｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃ
ｅ）機構が組み込まれていることにより、搬送、保管等
の自動化をし易いものとしている。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を挙げて
説明する。図１は、本発明のケースの実施の形態の１例
の鳥瞰図で、図２は、図１のＡ１−Ａ２における製品固
定部の一断面図で、図３は弾性体からなる外力伝達部を
説明するための図で、図４は本例とは別の保持治具支持
方法を説明するための断面図で、図５は従来の外力伝達
部を説明するための図で、図６は、図１に示すケース
の、自動オープナーを用いた開閉を示した図である。図
１〜図６中、１０は製品固定部、２０は蓋部、３０は底
部、１１０は（移動可能な）保持治具、１１０Ａは（固
定の）保持治具、１１１は保持治具本体、１１１Ａは保
持部、１１２、１１２Ａは固定部、１１３、１１３Ａ、
１１３Ｂは板バネ、１１５、１１６、１１７は固定部、
１２０は弾性体（外力伝達部）、１２１、１２１Ａはピ
ン接触面、１２５は弾性体支持部、１３０は支持部、１
４０はバネ部、１６１はインレット部、１６２はアウト
レット部、１８０はレジスト塗布済のマスクブランクス
（製品とも言う）、１８１は端面、１８２は製品面、１
９０は外力、２１０はピン、２２０はバーコード（識別
マーク）、３１０は充填部、３１１はインレット、３１
２はアウトレット、６１０はケース、６２０は自動オー
プナー、６２１は蓋部載置台、６２２は底部載置台、６
２５はエアシリンダである。

【００１２】先ず、本発明のケースの実施の形態の１例
を、図１、図２、図３に基づいて説明する。本例は、レ
ジスト塗布済みのマスクブランクス製品として、１枚づ
つ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース
（ボックス）で、製品固定部１０に、製品１８０をその
端部にて保持した状態で、底部３０に固定された製品固
定部１０を、蓋部２０と底部３０とを合わせることによ
り密封するものである。勿論、本例のケースは、フォト
マスク、ガラス基板、ウエハ（レジスト塗布したものも
含む）等にも適用できる。

【００１３】製品固定部１０は、図２に示すように、製
品１８０をその端部で保持する複数の保持治具１１０、
１１０Ａと、密封する際に蓋部２０から力を外力として
受け、変形することにより、保持治具１１０に、保持治
具間の間隔を狭める向きの力を与える弾性部１２０と、
これらを支持する支持部１３０とを有し、且つ、弾性部
１２０から力を与えられる一つの保持治具１１０は、保
持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に
力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能
に設けられている。本例では、保持治具１１０は、支持
部１３０に、それぞれ、固定部１１５、１１６により保
持されている、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂによ
り、支持板１３０からは浮いた状態で保持されており、
受ける力により、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂが変
形し、移動できるようになっている。そして、密封の
際、移動可能な一つの保持治具１１０は、弾性部１２０
からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製
品１８０の端部の端面１８１を、製品面１８２に沿う方
向の力で押し、製品１８０を固定するものである。本例
は、上記のように、密封する際に、蓋部２０に設けられ
たピン２１０から、その蓋部側の面に外力を受け、保持
治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与
える外力伝達部として、弾性体１２０を用いたものであ
り、弾性体１２０としては、ゴム等のエラストマーが用
いられる。

【００１４】本例のケースの製品１８０の保持治具への
固定を図２に基づいて、更に説明する。これを以て、本
例のケースの使用方法の説明に代える。尚、図２中、細
点線円は移動可能な保持治具１１０を含む領域を示して
いる。製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａの保持治
具本体１１１にセットした後、蓋２０と底部を嵌合す
る。蓋２０と底部を嵌合することにより、即ち、ケース
を密封することにより、蓋２０の内側に設けられたピン
２１０は、弾性体１２０を押し、圧縮する。図２に太線
矢印で示すように、蓋２０に固定されたピン２１０によ
り、弾性体１２０は外力１９０を受ける。弾性体１２０
は外力１９０を受けると、図２の太点線で示すように、
変形する。即ち、製品面１８２に沿う方向へ、弾性体１
２０は変形する。製品面１８２に沿う方向への弾性体１
２０の変形により、保持治具１１０は、図２の太点線矢
印の向き（マスク治具間の間隔を狭める向きである）に
力を受ける。この向きの力を保持治具１１０が受ける
と、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その方向に変形す
る。この変形により、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに保持
され、支持部１３０から浮いた状態で保持されている保
持治具部１１０は、板バネの変形に従いその位置を、マ
スク治具間の間隔を狭める向きに移動させる。この移動
は、通常１ｍｍ程度であるが、これにより、製品１８０
の端面１８１に、マスク治具間の間隔を狭める向きに力
をかけながら、製品を確実に保持治具の保持部１１２、
１１２Ａにて保持することができる。

【００１５】本例のケースにおいては、弾性体１２０
は、密封する際、ほぼケースの内側へのみ変形できるよ
うに、その周囲を囲う弾性体支持部１２５に支持され、
蓋部２０のピン２１０と接していない状態で、図３
（ａ）に示すように、弾性体１２０の蓋部側の面１２１
は、保持治具間の間隔を狭める向きに、ピン側に上がる
傾斜を持たせた面である。このような形状にすることに
より、ピン２１０から外力を受けた場合、図３（ｂ）の
ように変形する。これは、従来の、図５（ａ）に示すよ
うに、弾性体１２０の蓋部側の面１２１をピン２１０に
略直交する面にした場合は、ピン２１０から外力を受け
た場合の変形は図５（ｂ）のようになり、図３（ａ）に
比べ、変形量が小さい。即ち、図３（ａ）に示す本例の
弾性体からなる外力伝達部の方が、図５（ａ）に示す弾
性体からなる外力伝達部よりも、ピン２１０から外力を
受け、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向
きに与える力に効率的に変換される。このことは、ケー
スの開閉を繰り返し実施した場合の弾性体１２０の耐久
性が、本例の方が、図５（ａ）に示す従来の場合よりも
優れていることを意味する。

【００１６】尚、ケースの弾性体１２０の開閉の耐久性
については、所定のオープナー（図６の６２０に相当）
を用い、図６（ａ）に示す様にケース６１０（図１に
示すケースと同じ）を閉じ、図６（ｂ）に示す様にケー
ス６１０開ける動作を繰り返し行ってみた結果は、以下
の表１のようになった。但し、本例の弾性体は、本例のケースを用い、図３にお
ける、ａ，ｂ、ｃは、それぞれ、７ｍｍ．６ｍｍ、２２
ｍｍ、θは１５°としたもので、従来の弾性体の場合
は、図５におけるａ１、ｂ１、ｃ１、は７ｍｍ．６ｍ
ｍ、２０ｍｍとし、弾性体部以外は本例のケースと同じ
とした場合のものである。判定は、図３（ａ）に示す弾
性体１２０の面１２１、図５に示す弾性体１２０の面１
２１Ａに断裂や亀裂が生じた場合を×、生じない場合を
○とした。図示してはいないが、本例のケースは、ＳＭ
ＩＦ機構を備えた蓋部、底部からなるケースで、上記結
果は、図６に示す自動オープナー６２０により、その開
閉を自動で行なった場合の結果である。自動オープナー
は、テスト用のもので、底部を上下させ、ケース６１０
の開閉を行なうものである。

【００１７】次いで、蓋２０を開けることにより、蓋２
０のピン２１０は弾性体１２０から離れることとなり、
弾性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻る。弾
性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻ると、保
持治具１１０には、弾性体１２０からの力は無くなるた
め、保持治具１１０を支持部１３０から浮いた状態で保
持している板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その復元力で
元の状態に戻ろうとする。これにより、保持治具１１０
は、保持治具間の間隔を広げ、元の間隔（弾性体から保
持治具が力を受けなかった、製品１８０を保持治具にセ
ット時の間隔）に戻ろうとする。即ち、保持治具１１０
は板バネ１１３Ａ、１１３Ｂが、弾性体１２０からの力
を緩和する緩和力発生部であり、且つ、弾性体１２０か
らの力が無くなった際に元の状態に復元するための、復
元力発生部を兼ねている。

【００１８】尚、本例では、板バネ１１３Ａを、支持部
１３０に一端が間接的に固定されたバネ１４０により移
動可能に保持された固定部１１５により、保持してい
る。これにより、弾性体１２０から保持治具１１０が受
ける力を、更に緩和したり、弾性体１２０から力保持治
具１１０が力を受けなくなった際に、復元し易いものと
している。

【００１９】本例の場合、上記のように、保持治具１１
０は、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに支持されており、支
持部１３０から離れて、浮いた状態で、移動するため、
移動に際して、擦ることは無く、保持治具１１０の移動
によるゴミの発生がない。

【００２０】本例の、各保持治具１１０、１１０Ａは、
複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持治具
本体１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けている
もので、各種サイズの製品に対応できる。

【００２１】本例の場合は、製品固定部１０と底部３０
とは別体で、製品固定部１０に底部３０に保持されてお
り、底部３０には、不活性なガスを充填するための、イ
ンレット３１１、アウトレット３１２からなる充填部を
備えている。そして、製品固定部１０には、底部３０の
充填部３１０のインレット３１１、アウトレット３１２
位置に合わせ、インレット部１６１、アウトレット１６
２部が設けられている。レジスト塗布済のマスクブラン
クスを収納した後、例えば、充填部３１０のアウトレッ
トから排気しながら、不活性なガスとして清浄な窒素ガ
スをインレット３１１から充填し、ケース内を窒素雰囲
気とする。これにより、レジスト感度の経時変化を抑え
ることができる。清浄な窒素ガスを充填された後の、ケ
ース内の窒素雰囲気としては、Ｏ₂濃度が１００ｐｐｍ
以下であることが好ましい。尚、一般に、レジスト塗布
済のマスクブランクスを空気中に保管した場合には、空
気中の、酸素、有機物等により、レジスト感度の経時変
化が起こるとされている。また、空気中の水分等によ
り、汚れの発生も起こるとされている。尚、不活性なガ
スの充填部３１０のインレット３１１、アウトレット３
１２としては、それぞれ、所定の圧をかけた場合、所定
の負圧をかけた場合に、弁が開く方式のもので、必要に
応じ、所定サイズのフィルターを併設したものが挙げら
れる。

【００２２】また、本例のケースは、レジスト塗布済の
マスクブランクスを製品とするもので、外見では、中身
が判別しにくいので、蓋２０の表側に、識別マーク部
（バーコード表示）２２０を設けており、製品の管理、
判別を人手によらず、機械的にあるいは更に自動ででき
るものとしている。

【００２３】各部の材質については、以下のものを使用
する。蓋部２０については、非帯電性のもので、耐磨耗
性に優れているもので、レジストを感光させない遮光性
のものが好ましく、具体的には、ノバロイ（製品名、ダ
イセル化学工業株式会社製、ＡＢＳ樹脂の１種）等が挙
げられる。底部３０については、帯電防止用の樹脂を練
り込んであるもの等が用いられ、具体的には、ＰＣ（ポ
リカーボネート）を主材とするものが挙げられる。支持
部１３０については、ＳＵＳ、樹脂等、特に限定されな
いが、例えば、ＰＥＥＫが挙げられる。保持部１１１Ａ
としては、ＰＥＥＫ（ガラス保持に実績がある）等の樹
脂が挙げられる。固定部１１５、１１６、１１７として
は、ＳＵＳ、アルミ等が挙げられる。弾性体１２０とし
ては、シリコンゴム等が挙げられる。

【００２４】本例の変形例としては、製品固定部１０と
底部３０とを一体としたものが挙げられる。

【００２５】また、別の変形例としては、保持治具本体
１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けず、所定の
製品サイズのみに対応し、各保持治具１１０、１１０Ａ
の保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを１個設けた
ものも挙げられる。

【００２６】また、他の変形例としては、本例の板バネ
１１３Ａ、１１３Ｂの固定に代え、図４に示すように、
それぞれ、支持部１３０に固定された固定部１１７に、
保持された２つの板バネ１１３の固定にしたものが挙げ
られる。この場合、２つの板バネ１１３のみが、弾性体
１２０からの力を緩和する緩和力発生部で、且つ、弾性
体１２０からの力が無く成った際に元の状態に復元する
ための、復元力発生部となる。

【００２７】

【発明の効果】本発明は、上記のように、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ基板等を製
品とし、これらを保管、搬送する際に、振動によるゴミ
付着を起こさず、且つ、その表面部に経時変化を起こさ
ない、保管、搬送用のケース（ボックス）であって、簡
単な構造でケースの開閉耐久性が優れたケースの提供を
可能とした。特に、標準機械的インターフエースＳＭＩ
Ｆ機構を備えた蓋部、底部からなるボックス（ケースあ
るいはコンテナとも言う）にも簡単に適用でき、自動化
がし易い。これにより、製品の大型化、高品質化、量産
化に対応できるものとした。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のケースの実施の形態の１例の鳥瞰図

【図２】図１のＡ１−Ａ２における製品固定部の一断面
図

【図３】弾性体からなる外力伝達部を説明するための図

【図４】保持治具の支持方法の別の例を説明するための
断面図

【図５】従来の外力伝達部を説明するための図

【図６】図１に示すケースの、自動オープナーを用いた
開閉を示した図

【符号の説明】

１０製品固定部２０蓋部３０底部１１０（移動可能な）保持治具１１０Ａ（固定の）保持治具１１１保持治具本体１１１Ａ保持部１１２、１１２Ａ固定部１１３、１１３Ａ、１１３Ｂ板バネ１１５、１１６、１１７固定部１２０弾性体（外力伝達部）１２１、１２１Ａピン接触面１２５弾性体支持部１３０支持部１４０バネ部１６１インレット部１６２アウトレット部１８０レジスト塗布済のマスクブラ
ンクス（製品とも言う）１８１端面１８２製品面１９０外力２１０ピン２２０バーコード（識別マーク）３１０充填部３１１インレット３１２アウトレット６１０ケース６２０自動オープナー６２１蓋部載置台６２２底部載置台６２５エアシリンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者菅野孝一東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内Ｆターム(参考） 3E096 AA01 BA15 BB03 CA02 CB03 DA13 DA25 DA26 FA03 FA11 FA20 GA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フォトマスク、マスクブランクス、ガラ
ス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、１枚づつ、その端
部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、
底部に固定された製品固定部に、あるいは、底部と一体
となった製品固定部に、製品をその端部にて保持した状
態で、蓋部と底部とを合わせ密封するもので、製品固定
部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密
封する際に、蓋部に設けられたピンから、その蓋部側の
面に外力を受け、変形することにより、保持治具の一つ
に、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える弾性体
からなる外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有
し、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝
達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受
け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、
製品を固定するものであり、且つ、弾性体からなる外力
伝達部は、密封する際、ほぼケースの内側へのみ変形で
きるようにその周囲を囲い支持しているものであり、弾
性体からなる外力伝達部の蓋部側の面は、密封する際の
ピンに略直交する面から、保持治具間の間隔を狭める向
きに、ピン側に上がる傾斜を持たせた面であることを特
徴とするケース。
【請求項２】請求項１において、外力伝達部からの力
を受ける保持治具には、保持治具間の間隔に対応して、
外力伝達部からの力に対抗し、外力伝達部からの力を緩
和する力を発生させる、緩和力発生部、およびまたは、
蓋を開け、外力伝達部からの力を受けなくなった際に、
移動可能な保持治具を元の位置に復元するための復元力
発生部を備えていることを特徴とするケース。
【請求項３】請求項２において、移動可能な一つの保
持治具は、板バネを介して、移動可能に支持部に固定さ
れているもので、板バネが、緩和力発生部およびまたは
復元力発生部を兼ねることを特徴とするケース。
【請求項４】請求項１ないし３において、各保持治具
は、複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持
部を段状に複数設けていることを特徴とするケース。
【請求項５】請求項１ないし４において、製品固定部
と底部とは別体で、製品固定部は底部に保持されている
ことを特徴とするケース。
【請求項６】請求項１ないし５において、底部には、
不活性なガスを充填するための充填部を備えていること
を特徴とするケース。
【請求項７】請求項１ないし６において、蓋に、製品
を識別するための識別マークを設けていることを特徴と
するケース。
【請求項８】請求項１ないし７において、蓋部、底部
には、ＳＭＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃ
ａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれているこ
とを特徴とするケース。