JP4286991B2 - ケース - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子を作製する際に用いられる、フォトマスク、ウエハ、あるいは、フォトマスク用のマスクブランクス、ガラス基板等の製品を、その端部にて保持して、搬送、保管を行うケース（ボックス）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体素子（チップ）の高密度化は激しく、０．３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。
更に、最近では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４ＭＤＲＡＭを０．２５μｍ設計ルールまで微細化して、あるいは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８μｍ設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行っている。
仮に、６４ＭＤＲＡＭを０．２μｍ設計ルールとすると、約１６ＭＤＲＡＭと同じチップ寸法となり、ビットコストは１６Ｍの約１／４になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置でコスト低減が達成されることとなる。
０．１８μｍ設計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍ設計ルールが開発完了予定とされている。
このような中、ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、ますます高精度、高品質のものが求められるようになってきた。
【０００３】
このため、半導体素子を形成するためのレチクル、およびこれらを作製するためのマスク（以降、これらを総称してフォトマスク呼ぶ）や、これに用いられるマスクブランクス、ガラス基板については、その保管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求められるようになってきた。
一般に、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板は、所定のケース（ボックス）に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処理されるが、その際、その表面部に、振動、摩擦などによりゴミが付着したり、周囲雰囲気の影響による経時変化が起こることが知られている。
更に、レジストが塗布された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合、周囲雰囲気の空気中の酸素と有機物等により、その感度は経時変化を起こすことが良く知られている。
しかし、近年の半導体素子の高い集積化に伴い、これらの保管、搬送に起因する品質低下が無視できなくなってきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、近年の半導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を、保管、搬送する際に起こる、振動、摩擦などによるゴミ付着、表面部の経時変化が問題になってきており、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のケースは、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けており、密封した際、底部、拡散部、製品、蓋部の順に、配置するものであり、拡散部は、底部を覆い、底部に平行な板状の基材からなり、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体を排出するための排気孔を、二次元的に複数設けて、且つ、インレットから充填される不活性なガスを、製品の蓋部側に供給するための、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、あるいは、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、充填される不活性ガスを供給するための供給孔を、二次元的に複数設けて、且つ、製品の蓋部側からケース内のガスを排出するための、アウトレットから前記板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、ことを特徴とするものである。
そして、上記のケースであって、前記板状の基材に排気孔を二次元的に複数設けているものであり、該板状の基材に所定のピッチで設けられた貫通孔を排気孔としていることを特徴とするものであり、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路は、板状の基材を貫通して設けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
また、上記のいずれかのケースであって、拡散部である板状の基材が、製品固定部の各部を支持し、底部に保持される支持部を兼ねるものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのケースであって、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることを特徴とするものである。
【０００７】
また、上記いずれかのケースであって、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれていることを特徴とするものである。
【０００８】
尚、ここでは、不活性なガスとは、経時変化を起こしずらいガスのことで、窒素ガスや不活性ガス（Ｎｅ、Ｘｅ等）を言うが、一般には安価で、清浄な窒素ガスが用いられる。
また、ここで言う製品とは、最終製品および中間製品を含むもので、レジストを塗布した状態のマスクブランクスも含む。
また、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ機構とは、標準機械的インターフェースＳＭＩＦシステムに適合した、底部、蓋部のロック、取外し機構を備えていることを意味する。
【０００９】
【作用】
本発明のケースは、このような構成にすることにより、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）の提供を可能とするものである。
これにより、近年の半導体素子の高集積化に対応できる品質を確保でき、量産にも対応できるものとしている。
具体的には、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース（ボックス）であって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部の充填機構から充填される不活性なガスを、ケース（ボックス）内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けていることにより、これを達成している。
即ち、底部には、不活性なガスを充填するための充填部を備え、且つ、底部に保持された拡散部を設けていることにより、不活性なガスを、ケース内に均一に充填することを可能とし、これにより、製品の表面に、酸素や空気中の有機物に触れることがなく、保管や搬送中における経時変化を抑えることを可能としている。
特に、レジストが塗布された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合には有効で、レジスト感度の経時変化を抑えることを可能としている。
【００１０】
特に、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品の端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることにより、移動の際、極力振動を抑えることができるものとして、これにより、振動による製品面へのゴミ付着を無くすことを可能としている。
【００１１】
また、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれていることにより、搬送、保管等の自動化をし易いものとしている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の例を挙げて説明する。
図１は、本発明のケースの実施の形態の第１の例の鳥瞰図で、図２は図１に示す実施の形態の第１の例のケースの一断面図で、図３は実施の形態の第２の例のケースの一断面図で、図４は図１に示す実施の形態の第１の例のケースの製品固定部の一断面図で、図５は保持治具の支持方法の別の例を説明するための断面図である。
図１〜図５中、１０は製品固定部、２０は蓋部、３０は底部、１１０は（移動可能な）保持治具、１１０Ａは（固定の）保持治具、１１１は保持治具本体、１１１Ａは保持部、１１２、１１２Ａは固定部、１１３、１１３Ａ、１１３Ｂは板バネ、１１５、１１６、１１７は固定部、１２０は弾性体（外力伝達部）、１３０は板状の基材（拡散部あるいは支持部とも言う）、１４０はバネ部、１５０は排気孔、１６１は貫通孔（通気路の一部）、１８０はレジスト塗布済のマスクブランクス（製品とも言う）、１８１は端面、１８２は製品面、１９０は外力、２１０はピン、２２０バーコード（識別マーク）、３１０は充填部、３１１はインレット、３１２はアウトレット、３１５、３１６、３１６Ａ、３１６Ｂ、３１７は通気路である。
【００１３】
先ず、本発明のケースの実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
本例は、レジスト塗布済みのマスクブランクス製品として、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース（ボックス）で、底部３０に固定された製品固定部１０に、製品１８０をその端部にて固定した状態で、蓋部２０と底部３０とを合わせることにより密封するものである。
そして、底部３０には、インレット部３１１、アウトレット部３１２からなる、不活性なガスを充填するための充填部３１０を備えており、密封した後に、充填部３１０にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うものである。
勿論、本例のケースは、フォトマスク、ガラス基板、ウエハ（レジスト塗布したものも含む）等にも適用できる。
【００１４】
本例は、底部３０に備えられた充填部３１０にて充填される不活性なガスを、ケース（ボックス）内に積極的に拡散して導くための、底部３０に保持された拡散部１３０を設けているもので、密封した際、底部３０、拡散部１３０、製品１８０、蓋部２０の順に、配置される。
拡散部１３０は、底部３０をほぼ覆い、底部３０にほぼ平行な板状の基材からなり、該板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体（ガス）を排出するための排気孔１５０を設けている。
拡散部１３０である板状の基材には、所定のピッチで二次元的にほぼ全面に、貫通孔１５０が複数設けられており、不活性のガスの充填の際、底部３０の充填部３１０のインレット３１１から注入される不活性なガスが、一旦、製品１８０の蓋部２０側に達するように、インレット３１１から板状の基材１３０の製品１８０側に少なくとも達する通気路（３１５および１６１）が設けられており、不活性のガスの充填の際には、インレット３１１から注入される不活性なガスを、インレット３１１から板状の基材の製品側に達する通気路３１５（貫通孔１６１もこれにはいる）を通り、製品１８０の蓋部２０側に供給し、且つ、ケース内の気体（ガス）を、板状の基材１３０に設けられた複数の貫通孔１５０を通しながら、底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出するものである。
【００１５】
本例においては、製品固定部１０は、図１や図４に示すように、製品１８０をその端部で保持する複数の保持治具１１０、１１０Ａと、密封する際に蓋部２０から力を外力として受け、変形することにより、保持治具１１０、１１０Ａの一つ（ここでは１１０のこと）に、保持治具間の間隔を狭める向きの力を与える弾性部１２０と、これらを支持する支持部１３０とを有し、且つ、弾性部１２０から力を与えられる一つの保持治具１１０は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられている。
本例では、保持治具１１０は、支持板１３０に、それぞれ、固定部１１５、１１６により保持されている、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂにより、支持板１３０からは浮いた状態で保持されており、受ける力により、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂで、移動できるようになっている。
そして、密封の際、移動可能な一つの保持治具１１０は、弾性部１２０からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品１８０の端部の端面１８１を、製品面１８２に沿う方向の力で押し、製品１８０を固定するものである。
本例は、上記のように、密封する際に蓋部２０から力を外力として受け、保持治具の一つ１１０に、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部として弾性部１２０を用いたものであり、弾性体１２０としては、ゴム等のエラストマーが用いられるている。
本例では、蓋２０からの力を、ピン２１０にて外力として弾性体１２０に与え、これを変形させ、保持治具１１０に対し、弾性体１２０から、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与えることにより、製品１８０の端部の端面１８１を押し、保持治具で、振動に対しても確実に保持できるようにしたものであるが、弾性体１２０は、言わば蓋２０からの外力を製品１８０の端面１８１を押す方向の力に変換して外力を伝達する外力である。
本例では、外力伝達部として、弾性体１２０を用いたが、これに限定されない、例えば、板バネ、カム等を用いても良い。
【００１６】
本例のケースにおける製品１８０の保持治具への固定を図４に基づいて、更に説明する。
尚、図４中、細点線円は移動可能な保持治具１１０を含む領域を示している。
製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａの保持治具本体１１１にセットした後、蓋部２０の内側の所定位置に設けられたピン２１０は、蓋部２０と底部を合わせ、ケースを密封することにより、蓋部２０の内側に設けられたピン（図１の２１０）は、弾性体１２０を押し、圧縮する。
図２に太線矢印で示すように、蓋２０に固定されたピン２１０により、弾性体１２０は外力１９０を受ける。
弾性体１２０は外力１９０を受けると、図４の太点線で示すように、変形する。
即ち、製品面１８２に沿う方向へ、弾性体１２０は変形する。
製品面１８２に沿う方向への弾性体１２０の変形により、保持治具１１０は、図４の太点線矢印の向き（マスク治具間の間隔を狭める向きである）に力を受ける。
この向きの力を保持治具１１０が受けると、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その方向に変形する。
この変形により、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに保持され、支持部１３０から浮いた状態で保持されている保持治具部１１０は、板バネの変形に従いその位置を、マスク治具間の間隔を狭める向きに移動させる。
この移動は、通常１ｍｍ程度であるが、これにより、製品１８０の端面１８１に、マスク治具間の間隔を狭める向きに力をかけながら、製品を確実に保持治具の保持部１１２、１１２Ａにて保持することができる。
【００１７】
また、蓋部２０を開けることにより、蓋２０のピン２１０は弾性体１２０から離れることとなり、弾性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻る。
弾性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻ると、保持治具１１０には、弾性体１２０からの力は無くなるため、保持治具１１０を支持部１３０から浮いた状態で保持している板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その復元力で元の状態に戻ろうとする。
これにより、保持治具１１０は、保持治具間の間隔を広げ、元の間隔（弾性体から保持治具が力を受けなかった、製品１８０を保持治具にセット時の間隔）に戻り、製品１８０の取り外しが容易となる。
板バネ１１３Ａ、１１３Ｂが、弾性体１２０からの力を緩和する緩和力発生部であり、且つ、弾性体１２０からの力が無く成った際に元の状態に復元するための、復元力発生部を兼ねている。
【００１８】
尚、本例では、板バネ１３０Ａを、支持部１３０に一端が間接的に固定されたバネ１４０により移動可能に保持された固定部１１５により、保持している。
これにより、弾性体１２０から保持治具１１０が受ける力を、更に緩和したり、弾性体１２０から力保持治具１１０が力を受けなくなった際の、復元し易いものとしている。
【００１９】
本例の場合、上記のように、保持治具１１０は、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに支持されており、支持部１３０から離れて、浮いた状態で、移動するため、移動に際して、擦ることは無く、保持治具１１０の移動によるゴミの発生がない。
【００２０】
本例の、各保持治具１１０、１１０Ａは、複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けているもので、各種サイズの製品に対応できる。
【００２１】
本例の場合は、製品固定部１０と底部３０とは別体で、製品固定部１０に底部３０に保持されており、底部３０には、不活性なガスを充填するための充填部３１０を備えており、レジスト塗布済のマスクブランクスを収納し、密封した後、例えば、充填部３１０のアウトレットから排気しながら、不活性なガスとして清浄な窒素ガスをインレット３１１から充填して、ケース内を窒素雰囲気とする。
これにより、レジスト感度の経時変化を抑えることができる。
ケース内の窒素雰囲気として、Ｏ2 濃度が１００ｐｐｍ以下、Ｈ2 Ｏ濃度が１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。
一般に、レジスト塗布済のマスクブランクスを空気中に保管した場合には、空気中の、酸素、有機物等により、レジスト感度の経時変化が起こるとされている。
また、空気中の水分等により、汚れの発生も起こるとされている。
尚、不活性なガスの充填部３１０のインレット３１１、３１２としては、それぞれ、所定の圧をかけた場合、所定の負圧をかけた場合に、弁が開く方式のもので、必要に応じ、所定サイズのフィルターを併設したものが挙げられる。
【００２２】
また、本例のケースは、レジスト塗布済のマスクブランクスを製品とするもので、外見では、中身が判別しにくいので、蓋部２０の表側に、識別マーク部（バーコード表示）２２０を設けており、製品の管理、判別を人手によらず、機械的にあるいは更に自動でできるものとしている。
【００２３】
各部の材質については、以下のものを使用する。
蓋部２０については、非帯電性のもので、耐磨耗性に優れているもので、レジストを感光させない遮光性のものが好ましく、具体的には、ノバロイ（製品名、ダイセル化学工業株式会社製、ＡＢＳ樹脂の１種）等が挙げられる。
底部３０については、帯電防止用の樹脂を練り込んであるもの等が用いられ、具体的には、ＰＣ（ポリカーボネート）を主材とするものが挙げられる。
板状の基材（拡散部あるいは支持部とも言う）１３０については、樹脂等のアウトガスの少ない、硬度の高いものが挙げられる。
保持部１１１Ａとしては、ＰＥＥＫ（ガラス保持に実績がある）等の樹脂が挙げられる。
固定部１１５、１１６、１１７としては、ＳＵＳ、アルミ等が挙げられる。
弾性体１２０としては、シリコンゴム等が挙げられる。
【００２４】
製品１８０をレジストが塗布されたマスクブランクスとした場合には、ケース内が、不活性のガスにより、確実に所定の、Ｏ2 濃度以下、Ｈ2 Ｏ濃度以下に制御されていることが、管理上、要求される。
本例は、これに対応できるケースである。
以下、本例における、不活性ガスの充填動作を、図２に基づいて説明する。
先ず、製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａにセットした後、蓋部２０と底部３０とを嵌合し、密封する。
次いで、清浄な不活性のガスを底部３０に設けられたインレット３１１から注入するが、これと併行して、ケース内のガス（気体）を底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出する。
ここで言う清浄な不活性のガスとは、勿論、前記所定の、Ｏ2 濃度以下、Ｈ2 Ｏ濃度以下に制御されているガスである。
底部３０に設けられたインレット３１１から注入される不活性なガスは、通気路３１５を通り、そのほとんどが、まず、製品の蓋部側に注入される。
図２において、通気孔１６１の位置は、孔部の大半が製品１８０よりはずれる位置あるためである。
一方、排気されるガス（気体）のほとんどは、拡散部１３０の複数の貫通孔１５０を通り、底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出される。
拡散部１３０は、底部３０をほぼ覆い、底部３０にほぼ平行な板状の基材からなるためである。
このようにして、拡散部１３０の複数の貫通孔１５０が設けられている広い領域から、排気が行われるため、これに伴い、インレットから供給される不活性ガスは、拡散し易くなる。
インレット３１１からの不活性ガスの注入と、アウトレット３１２からの排気を所定時間併行して行うことにより、ケース内を所定のＯ2 濃度以下、Ｈ2 Ｏ濃度以下に制御することができる。
更に、ケースから排出された気体（ガス）について、そのＯ2 濃度、Ｈ2 Ｏ濃度を測定することにより、より正確にケース内の気体（ガス）のＯ2 濃度、Ｈ2 Ｏ濃度を制御することができる。
【００２５】
次に、本発明のケースの実施の形態の第２の例を挙げ、図３に基づいて説明する。
第２の例は、図２に示す第１の例において、拡散部１３０となる板状の基板を、拡散部１３０Ａの板状の基板に代え、且つ、図２に示すケースのインレット３１１からの通気路３１６Ａを、拡散部１３０Ａの通気路３１６Ｂ、３１６Ｃに繋げ一体として通気路３１６を形成したもので、且つ、アウトレットに繋がる、通気路３１７を設けたものである。
それ以外については第１の例と同じで、各部の説明は省略し、ここでは、不活性ガスの充填動作を、図３に基づいて説明しておく。
尚、図３は、第１の例の図２相当する断面図である。
先ず、製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａにセットした後、蓋部２０と底部２０とを合わせ、密封する。
次いで、不活性のガスを底部３０に設けられたインレット３１１から注入するが、これと併行して、ケース内のガス（気体）を底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出する。
底部３０に設けられたインレット３１１から注入される不活性なガスは、通気路３１６を通り、拡散部１３０Ａの製品１８０側へと、分散されて供給される。不活性なガスは、拡散部１３０Ａの複数の通気路３１６Ｃから、製品の一面に当たるように注入される。
一方、通気路３１７を介して、製品１８０と蓋部２０間から、ケース内のガス（気体）をアウトレット３１２から排出する。
このようにして、拡散部１３０の複数の通気孔３１６Ｃが設けられている広い領域から、注入が行われるため、これに伴い、インレットから供給される不活性ガスは、ケース内で拡散し易くなる。
【００２６】
第１の例、第２の例のケースの変形例としては、保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けず、所定の製品サイズのみに対応し、各保持治具１１０、１１０Ａの保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを１個設けたものが挙げられる。
【００２７】
また、他の変形例としては、本例の板バネ１１３Ａ、１１３Ｂの固定に代え、図５に示すように、それぞれ、支持部１３０に固定された固定部１１７に、保持された２つの板バネ１１３を固定にしたものが挙げられる。
この場合、２つの板バネ１１３のみが、弾性体１２０からの力を緩和する緩和力発生部で、且つ、弾性体１２０からの力が無く成った際に元の状態に復元するための、復元力発生部となる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ基板等を製品とし、これらを保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）の提供を可能とした。
特に、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ機構を備えた蓋部、底部からなるボックス（ケースあるいはコンテナとも言う）にも簡単に適用でき、自動化がし易い。
これにより、製品の大型化、高品質化、量産化に対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のケースの実施の形態の第１の例の鳥瞰図
【図２】 実施の形態の第１の例のケースの一断面図
【図３】 実施の形態の第２の例のケースの一断面図
【図４】 図１に示す実施の形態の第１の例のケースの製品固定部の一断面図
【図５】 保持治具の支持方法の別の例を説明するための断面図
【符号の説明】
１０ 製品固定部
２０ 蓋部
３０ 底部
１１０ （移動可能な）保持治具
１１０Ａ （固定の）保持治具
１１１ 保持治具本体
１１１Ａ 保持部
１１２、１１２Ａ 固定部
１１３、１１３Ａ、１１３Ｂ 板バネ
１１５、１１６、１１７ 固定部
１２０ 弾性体（外力伝達部）
１３０ 板状の基材（拡散部あるいは支持部とも言う）
１４０ バネ部
１５０ 排気孔（貫通孔とも言う）あるいは供給孔
１６１ 貫通孔（通気路の一部）
１８０ レジスト塗布済のマスクブランクス（製品とも言う）
１８１ 端面
１８２ 製品面
１９０ 外力
２１０ ピン
２２０ バーコード（識別マーク）
３１０ 充填部
３１１ インレット
３１２ アウトレット
３１５、３１６、３１６Ａ、３１６Ｂ、３１７ 通気路
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子を作製する際に用いられる、フォトマスク、ウエハ、あるいは、フォトマスク用のマスクブランクス、ガラス基板等の製品を、その端部にて保持して、搬送、保管を行うケース（ボックス）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体素子（チップ）の高密度化は激しく、０．３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。
更に、最近では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４ＭＤＲＡＭを０．２５μｍ設計ルールまで微細化して、あるいは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８μｍ設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行っている。
仮に、６４ＭＤＲＡＭを０．２μｍ設計ルールとすると、約１６ＭＤＲＡＭと同じチップ寸法となり、ビットコストは１６Ｍの約１／４になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置でコスト低減が達成されることとなる。
０．１８μｍ設計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍ設計ルールが開発完了予定とされている。
このような中、ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、ますます高精度、高品質のものが求められるようになってきた。
【０００３】
このため、半導体素子を形成するためのレチクル、およびこれらを作製するためのマスク（以降、これらを総称してフォトマスク呼ぶ）や、これに用いられるマスクブランクス、ガラス基板については、その保管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求められるようになってきた。
一般に、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板は、所定のケース（ボックス）に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処理されるが、その際、その表面部に、振動、摩擦などによりゴミが付着したり、周囲雰囲気の影響による経時変化が起こることが知られている。
更に、レジストが塗布された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合、周囲雰囲気の空気中の酸素と有機物等により、その感度は経時変化を起こすことが良く知られている。
しかし、近年の半導体素子の高い集積化に伴い、これらの保管、搬送に起因する品質低下が無視できなくなってきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、近年の半導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を、保管、搬送する際に起こる、振動、摩擦などによるゴミ付着、表面部の経時変化が問題になってきており、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のケースは、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けており、密封した際、底部、拡散部、製品、蓋部の順に、配置するものであり、拡散部は、底部を覆い、底部に平行な板状の基材からなり、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体を排出するための排気孔を、二次元的に複数設けて、且つ、インレットから充填される不活性なガスを、製品の蓋部側に供給するための、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、あるいは、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、充填される不活性ガスを供給するための供給孔を、二次元的に複数設けて、且つ、製品の蓋部側からケース内のガスを排出するための、アウトレットから前記板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、ことを特徴とするものである。
そして、上記のケースであって、前記板状の基材に排気孔を二次元的に複数設けているものであり、該板状の基材に所定のピッチで設けられた貫通孔を排気孔としていることを特徴とするものであり、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路は、板状の基材を貫通して設けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
また、上記のいずれかのケースであって、拡散部である板状の基材が、製品固定部の各部を支持し、底部に保持される支持部を兼ねるものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのケースであって、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることを特徴とするものである。
【０００７】
また、上記いずれかのケースであって、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれていることを特徴とするものである。
【０００８】
尚、ここでは、不活性なガスとは、経時変化を起こしずらいガスのことで、窒素ガスや不活性ガス（Ｎｅ、Ｘｅ等）を言うが、一般には安価で、清浄な窒素ガスが用いられる。
また、ここで言う製品とは、最終製品および中間製品を含むもので、レジストを塗布した状態のマスクブランクスも含む。
また、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ機構とは、標準機械的インターフェースＳＭＩＦシステムに適合した、底部、蓋部のロック、取外し機構を備えていることを意味する。
【０００９】
【作用】
本発明のケースは、このような構成にすることにより、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）の提供を可能とするものである。
これにより、近年の半導体素子の高集積化に対応できる品質を確保でき、量産にも対応できるものとしている。
具体的には、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース（ボックス）であって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部の充填機構から充填される不活性なガスを、ケース（ボックス）内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けていることにより、これを達成している。
即ち、底部には、不活性なガスを充填するための充填部を備え、且つ、底部に保持された拡散部を設けていることにより、不活性なガスを、ケース内に均一に充填することを可能とし、これにより、製品の表面に、酸素や空気中の有機物に触れることがなく、保管や搬送中における経時変化を抑えることを可能としている。
特に、レジストが塗布された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合には有効で、レジスト感度の経時変化を抑えることを可能としている。
【００１０】
特に、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品の端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることにより、移動の際、極力振動を抑えることができるものとして、これにより、振動による製品面へのゴミ付着を無くすことを可能としている。
【００１１】
また、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれていることにより、搬送、保管等の自動化をし易いものとしている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の例を挙げて説明する。
図１は、本発明のケースの実施の形態の第１の例の鳥瞰図で、図２は図１に示す実施の形態の第１の例のケースの一断面図で、図３は実施の形態の第２の例のケースの一断面図で、図４は図１に示す実施の形態の第１の例のケースの製品固定部の一断面図で、図５は保持治具の支持方法の別の例を説明するための断面図である。
図１〜図５中、１０は製品固定部、２０は蓋部、３０は底部、１１０は（移動可能な）保持治具、１１０Ａは（固定の）保持治具、１１１は保持治具本体、１１１Ａは保持部、１１２、１１２Ａは固定部、１１３、１１３Ａ、１１３Ｂは板バネ、１１５、１１６、１１７は固定部、１２０は弾性体（外力伝達部）、１３０は板状の基材（拡散部あるいは支持部とも言う）、１４０はバネ部、１５０は排気孔、１６１は貫通孔（通気路の一部）、１８０はレジスト塗布済のマスクブランクス（製品とも言う）、１８１は端面、１８２は製品面、１９０は外力、２１０はピン、２２０バーコード（識別マーク）、３１０は充填部、３１１はインレット、３１２はアウトレット、３１５、３１６、３１６Ａ、３１６Ｂ、３１７は通気路である。
【００１３】
先ず、本発明のケースの実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
本例は、レジスト塗布済みのマスクブランクス製品として、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース（ボックス）で、底部３０に固定された製品固定部１０に、製品１８０をその端部にて固定した状態で、蓋部２０と底部３０とを合わせることにより密封するものである。
そして、底部３０には、インレット部３１１、アウトレット部３１２からなる、不活性なガスを充填するための充填部３１０を備えており、密封した後に、充填部３１０にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うものである。
勿論、本例のケースは、フォトマスク、ガラス基板、ウエハ（レジスト塗布したものも含む）等にも適用できる。
【００１４】
本例は、底部３０に備えられた充填部３１０にて充填される不活性なガスを、ケース（ボックス）内に積極的に拡散して導くための、底部３０に保持された拡散部１３０を設けているもので、密封した際、底部３０、拡散部１３０、製品１８０、蓋部２０の順に、配置される。
拡散部１３０は、底部３０をほぼ覆い、底部３０にほぼ平行な板状の基材からなり、該板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体（ガス）を排出するための排気孔１５０を設けている。
拡散部１３０である板状の基材には、所定のピッチで二次元的にほぼ全面に、貫通孔１５０が複数設けられており、不活性のガスの充填の際、底部３０の充填部３１０のインレット３１１から注入される不活性なガスが、一旦、製品１８０の蓋部２０側に達するように、インレット３１１から板状の基材１３０の製品１８０側に少なくとも達する通気路（３１５および１６１）が設けられており、不活性のガスの充填の際には、インレット３１１から注入される不活性なガスを、インレット３１１から板状の基材の製品側に達する通気路３１５（貫通孔１６１もこれにはいる）を通り、製品１８０の蓋部２０側に供給し、且つ、ケース内の気体（ガス）を、板状の基材１３０に設けられた複数の貫通孔１５０を通しながら、底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出するものである。
【００１５】
本例においては、製品固定部１０は、図１や図４に示すように、製品１８０をその端部で保持する複数の保持治具１１０、１１０Ａと、密封する際に蓋部２０から力を外力として受け、変形することにより、保持治具１１０、１１０Ａの一つ（ここでは１１０のこと）に、保持治具間の間隔を狭める向きの力を与える弾性部１２０と、これらを支持する支持部１３０とを有し、且つ、弾性部１２０から力を与えられる一つの保持治具１１０は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられている。
本例では、保持治具１１０は、支持板１３０に、それぞれ、固定部１１５、１１６により保持されている、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂにより、支持板１３０からは浮いた状態で保持されており、受ける力により、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂで、移動できるようになっている。
そして、密封の際、移動可能な一つの保持治具１１０は、弾性部１２０からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品１８０の端部の端面１８１を、製品面１８２に沿う方向の力で押し、製品１８０を固定するものである。
本例は、上記のように、密封する際に蓋部２０から力を外力として受け、保持治具の一つ１１０に、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部として弾性部１２０を用いたものであり、弾性体１２０としては、ゴム等のエラストマーが用いられるている。
本例では、蓋２０からの力を、ピン２１０にて外力として弾性体１２０に与え、これを変形させ、保持治具１１０に対し、弾性体１２０から、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与えることにより、製品１８０の端部の端面１８１を押し、保持治具で、振動に対しても確実に保持できるようにしたものであるが、弾性体１２０は、言わば蓋２０からの外力を製品１８０の端面１８１を押す方向の力に変換して外力を伝達する外力である。
本例では、外力伝達部として、弾性体１２０を用いたが、これに限定されない、例えば、板バネ、カム等を用いても良い。
【００１６】
本例のケースにおける製品１８０の保持治具への固定を図４に基づいて、更に説明する。
尚、図４中、細点線円は移動可能な保持治具１１０を含む領域を示している。
製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａの保持治具本体１１１にセットした後、蓋部２０の内側の所定位置に設けられたピン２１０は、蓋部２０と底部を合わせ、ケースを密封することにより、蓋部２０の内側に設けられたピン（図１の２１０）は、弾性体１２０を押し、圧縮する。
図２に太線矢印で示すように、蓋２０に固定されたピン２１０により、弾性体１２０は外力１９０を受ける。
弾性体１２０は外力１９０を受けると、図４の太点線で示すように、変形する。
即ち、製品面１８２に沿う方向へ、弾性体１２０は変形する。
製品面１８２に沿う方向への弾性体１２０の変形により、保持治具１１０は、図４の太点線矢印の向き（マスク治具間の間隔を狭める向きである）に力を受ける。
この向きの力を保持治具１１０が受けると、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その方向に変形する。
この変形により、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに保持され、支持部１３０から浮いた状態で保持されている保持治具部１１０は、板バネの変形に従いその位置を、マスク治具間の間隔を狭める向きに移動させる。
この移動は、通常１ｍｍ程度であるが、これにより、製品１８０の端面１８１に、マスク治具間の間隔を狭める向きに力をかけながら、製品を確実に保持治具の保持部１１２、１１２Ａにて保持することができる。
【００１７】
また、蓋部２０を開けることにより、蓋２０のピン２１０は弾性体１２０から離れることとなり、弾性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻る。
弾性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻ると、保持治具１１０には、弾性体１２０からの力は無くなるため、保持治具１１０を支持部１３０から浮いた状態で保持している板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その復元力で元の状態に戻ろうとする。
これにより、保持治具１１０は、保持治具間の間隔を広げ、元の間隔（弾性体から保持治具が力を受けなかった、製品１８０を保持治具にセット時の間隔）に戻り、製品１８０の取り外しが容易となる。
板バネ１１３Ａ、１１３Ｂが、弾性体１２０からの力を緩和する緩和力発生部であり、且つ、弾性体１２０からの力が無く成った際に元の状態に復元するための、復元力発生部を兼ねている。
【００１８】
尚、本例では、板バネ１３０Ａを、支持部１３０に一端が間接的に固定されたバネ１４０により移動可能に保持された固定部１１５により、保持している。
これにより、弾性体１２０から保持治具１１０が受ける力を、更に緩和したり、弾性体１２０から力保持治具１１０が力を受けなくなった際の、復元し易いものとしている。
【００１９】
本例の場合、上記のように、保持治具１１０は、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに支持されており、支持部１３０から離れて、浮いた状態で、移動するため、移動に際して、擦ることは無く、保持治具１１０の移動によるゴミの発生がない。
【００２０】
本例の、各保持治具１１０、１１０Ａは、複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けているもので、各種サイズの製品に対応できる。
【００２１】
本例の場合は、製品固定部１０と底部３０とは別体で、製品固定部１０に底部３０に保持されており、底部３０には、不活性なガスを充填するための充填部３１０を備えており、レジスト塗布済のマスクブランクスを収納し、密封した後、例えば、充填部３１０のアウトレットから排気しながら、不活性なガスとして清浄な窒素ガスをインレット３１１から充填して、ケース内を窒素雰囲気とする。
これにより、レジスト感度の経時変化を抑えることができる。
ケース内の窒素雰囲気として、Ｏ2 濃度が１００ｐｐｍ以下、Ｈ2 Ｏ濃度が１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。
一般に、レジスト塗布済のマスクブランクスを空気中に保管した場合には、空気中の、酸素、有機物等により、レジスト感度の経時変化が起こるとされている。
また、空気中の水分等により、汚れの発生も起こるとされている。
尚、不活性なガスの充填部３１０のインレット３１１、３１２としては、それぞれ、所定の圧をかけた場合、所定の負圧をかけた場合に、弁が開く方式のもので、必要に応じ、所定サイズのフィルターを併設したものが挙げられる。
【００２２】
また、本例のケースは、レジスト塗布済のマスクブランクスを製品とするもので、外見では、中身が判別しにくいので、蓋部２０の表側に、識別マーク部（バーコード表示）２２０を設けており、製品の管理、判別を人手によらず、機械的にあるいは更に自動でできるものとしている。
【００２３】
各部の材質については、以下のものを使用する。
蓋部２０については、非帯電性のもので、耐磨耗性に優れているもので、レジストを感光させない遮光性のものが好ましく、具体的には、ノバロイ（製品名、ダイセル化学工業株式会社製、ＡＢＳ樹脂の１種）等が挙げられる。
底部３０については、帯電防止用の樹脂を練り込んであるもの等が用いられ、具体的には、ＰＣ（ポリカーボネート）を主材とするものが挙げられる。
板状の基材（拡散部あるいは支持部とも言う）１３０については、樹脂等のアウトガスの少ない、硬度の高いものが挙げられる。
保持部１１１Ａとしては、ＰＥＥＫ（ガラス保持に実績がある）等の樹脂が挙げられる。
固定部１１５、１１６、１１７としては、ＳＵＳ、アルミ等が挙げられる。
弾性体１２０としては、シリコンゴム等が挙げられる。
【００２４】
製品１８０をレジストが塗布されたマスクブランクスとした場合には、ケース内が、不活性のガスにより、確実に所定の、Ｏ2 濃度以下、Ｈ2 Ｏ濃度以下に制御されていることが、管理上、要求される。
本例は、これに対応できるケースである。
以下、本例における、不活性ガスの充填動作を、図２に基づいて説明する。
先ず、製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａにセットした後、蓋部２０と底部３０とを嵌合し、密封する。
次いで、清浄な不活性のガスを底部３０に設けられたインレット３１１から注入するが、これと併行して、ケース内のガス（気体）を底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出する。
ここで言う清浄な不活性のガスとは、勿論、前記所定の、Ｏ2 濃度以下、Ｈ2 Ｏ濃度以下に制御されているガスである。
底部３０に設けられたインレット３１１から注入される不活性なガスは、通気路３１５を通り、そのほとんどが、まず、製品の蓋部側に注入される。
図２において、通気孔１６１の位置は、孔部の大半が製品１８０よりはずれる位置あるためである。
一方、排気されるガス（気体）のほとんどは、拡散部１３０の複数の貫通孔１５０を通り、底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出される。
拡散部１３０は、底部３０をほぼ覆い、底部３０にほぼ平行な板状の基材からなるためである。
このようにして、拡散部１３０の複数の貫通孔１５０が設けられている広い領域から、排気が行われるため、これに伴い、インレットから供給される不活性ガスは、拡散し易くなる。
インレット３１１からの不活性ガスの注入と、アウトレット３１２からの排気を所定時間併行して行うことにより、ケース内を所定のＯ2 濃度以下、Ｈ2 Ｏ濃度以下に制御することができる。
更に、ケースから排出された気体（ガス）について、そのＯ2 濃度、Ｈ2 Ｏ濃度を測定することにより、より正確にケース内の気体（ガス）のＯ2 濃度、Ｈ2 Ｏ濃度を制御することができる。
【００２５】
次に、本発明のケースの実施の形態の第２の例を挙げ、図３に基づいて説明する。
第２の例は、図２に示す第１の例において、拡散部１３０となる板状の基板を、拡散部１３０Ａの板状の基板に代え、且つ、図２に示すケースのインレット３１１からの通気路３１６Ａを、拡散部１３０Ａの通気路３１６Ｂ、３１６Ｃに繋げ一体として通気路３１６を形成したもので、且つ、アウトレットに繋がる、通気路３１７を設けたものである。
それ以外については第１の例と同じで、各部の説明は省略し、ここでは、不活性ガスの充填動作を、図３に基づいて説明しておく。
尚、図３は、第１の例の図２相当する断面図である。
先ず、製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａにセットした後、蓋部２０と底部２０とを合わせ、密封する。
次いで、不活性のガスを底部３０に設けられたインレット３１１から注入するが、これと併行して、ケース内のガス（気体）を底部３０に設けられたアウトレット３１２から排出する。
底部３０に設けられたインレット３１１から注入される不活性なガスは、通気路３１６を通り、拡散部１３０Ａの製品１８０側へと、分散されて供給される。不活性なガスは、拡散部１３０Ａの複数の通気路３１６Ｃから、製品の一面に当たるように注入される。
一方、通気路３１７を介して、製品１８０と蓋部２０間から、ケース内のガス（気体）をアウトレット３１２から排出する。
このようにして、拡散部１３０の複数の通気孔３１６Ｃが設けられている広い領域から、注入が行われるため、これに伴い、インレットから供給される不活性ガスは、ケース内で拡散し易くなる。
【００２６】
第１の例、第２の例のケースの変形例としては、保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けず、所定の製品サイズのみに対応し、各保持治具１１０、１１０Ａの保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを１個設けたものが挙げられる。
【００２７】
また、他の変形例としては、本例の板バネ１１３Ａ、１１３Ｂの固定に代え、図５に示すように、それぞれ、支持部１３０に固定された固定部１１７に、保持された２つの板バネ１１３を固定にしたものが挙げられる。
この場合、２つの板バネ１１３のみが、弾性体１２０からの力を緩和する緩和力発生部で、且つ、弾性体１２０からの力が無く成った際に元の状態に復元するための、復元力発生部となる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ基板等を製品とし、これらを保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）の提供を可能とした。
特に、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ機構を備えた蓋部、底部からなるボックス（ケースあるいはコンテナとも言う）にも簡単に適用でき、自動化がし易い。
これにより、製品の大型化、高品質化、量産化に対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のケースの実施の形態の第１の例の鳥瞰図
【図２】 実施の形態の第１の例のケースの一断面図
【図３】 実施の形態の第２の例のケースの一断面図
【図４】 図１に示す実施の形態の第１の例のケースの製品固定部の一断面図
【図５】 保持治具の支持方法の別の例を説明するための断面図
【符号の説明】
１０ 製品固定部
２０ 蓋部
３０ 底部
１１０ （移動可能な）保持治具
１１０Ａ （固定の）保持治具
１１１ 保持治具本体
１１１Ａ 保持部
１１２、１１２Ａ 固定部
１１３、１１３Ａ、１１３Ｂ 板バネ
１１５、１１６、１１７ 固定部
１２０ 弾性体（外力伝達部）
１３０ 板状の基材（拡散部あるいは支持部とも言う）
１４０ バネ部
１５０ 排気孔（貫通孔とも言う）あるいは供給孔
１６１ 貫通孔（通気路の一部）
１８０ レジスト塗布済のマスクブランクス（製品とも言う）
１８１ 端面
１８２ 製品面
１９０ 外力
２１０ ピン
２２０ バーコード（識別マーク）
３１０ 充填部
３１１ インレット
３１２ アウトレット
３１５、３１６、３１６Ａ、３１６Ｂ、３１７ 通気路
Claims (6)
- フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けており、密封した際、底部、拡散部、製品、蓋部の順に、配置するものであり、拡散部は、底部を覆い、底部に平行な板状の基材からなり、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体を排出するための排気孔を、二次元的に複数設けて、且つ、インレットから充填される不活性なガスを、製品の蓋部側に供給するための、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、あるいは、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、充填される不活性ガスを供給するための供給孔を、二次元的に複数設けて、且つ、製品の蓋部側からケース内のガスを排出するための、アウトレットから前記板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、ことを特徴とするケース。
- 請求項１に記載のケースであって、前記板状の基材に排気孔を二次元的に複数設けているものであり、該板状の基材に所定のピッチで設けられた貫通孔を排気孔としていることを特徴とするケース。
- 請求項２に記載のケースであって、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路は、板状の基材を貫通して設けられていることを特徴とするケース。
- 請求項１ないし３のいずれか１項に記載のケースであって、拡散部である板状の基材が、製品固定部の各部を支持し、底部に保持される支持部を兼ねるものであることを特徴とするケース。
- 請求項１ないし４のいずれか１項に記載のケースであって、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることを特徴とするケース。
- 請求項１ないし５のいずれか１項に記載のケースであって、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれていることを特徴とするケース。
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