JP4286991B2 - ケース - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子を作製する際に用いられる、フォトマスク、ウエハ、あるいは、フォトマスク用のマスクブランクス、ガラス基板等の製品を、その端部にて保持して、搬送、保管を行うケース(ボックス)に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体素子(チップ)の高密度化は激しく、0.35μm設計ルールの64MDRAMの量産もすでに始められ、0.25μm設計ルールの256MDRAMの時代へと移ろうとしている。
更に、最近では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、64MDRAMを0.25μm設計ルールまで微細化して、あるいは、256MDRAMを0.18μm設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行っている。
仮に、64MDRAMを0.2μm設計ルールとすると、約16MDRAMと同じチップ寸法となり、ビットコストは16Mの約1/4になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置でコスト低減が達成されることとなる。
0.18μm設計ルールは開発完了し、2000年には0.15μm設計ルールが開発完了予定とされている。
このような中、ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、ますます高精度、高品質のものが求められるようになってきた。
【0003】
このため、半導体素子を形成するためのレチクル、およびこれらを作製するためのマスク(以降、これらを総称してフォトマスク呼ぶ)や、これに用いられるマスクブランクス、ガラス基板については、その保管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求められるようになってきた。
一般に、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板は、所定のケース(ボックス)に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処理されるが、その際、その表面部に、振動、摩擦などによりゴミが付着したり、周囲雰囲気の影響による経時変化が起こることが知られている。
更に、レジストが塗布された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合、周囲雰囲気の空気中の酸素と有機物等により、その感度は経時変化を起こすことが良く知られている。
しかし、近年の半導体素子の高い集積化に伴い、これらの保管、搬送に起因する品質低下が無視できなくなってきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように、近年の半導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を、保管、搬送する際に起こる、振動、摩擦などによるゴミ付着、表面部の経時変化が問題になってきており、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース(ボックス)を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明のケースは、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けており、密封した際、底部、拡散部、製品、蓋部の順に、配置するものであり、拡散部は、底部を覆い、底部に平行な板状の基材からなり、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体を排出するための排気孔を、二次元的に複数設けて、且つ、インレットから充填される不活性なガスを、製品の蓋部側に供給するための、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、あるいは、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、充填される不活性ガスを供給するための供給孔を、二次元的に複数設けて、且つ、製品の蓋部側からケース内のガスを排出するための、アウトレットから前記板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、ことを特徴とするものである。
そして、上記のケースであって、前記板状の基材に排気孔を二次元的に複数設けているものであり、該板状の基材に所定のピッチで設けられた貫通孔を排気孔としていることを特徴とするものであり、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路は、板状の基材を貫通して設けられていることを特徴とするものである。
【0006】
また、上記のいずれかのケースであって、拡散部である板状の基材が、製品固定部の各部を支持し、底部に保持される支持部を兼ねるものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのケースであって、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることを特徴とするものである。
【0007】
また、上記いずれかのケースであって、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースSMIF(Standard Mechanical Interface)機構が組み込まれていることを特徴とするものである。
【0008】
尚、ここでは、不活性なガスとは、経時変化を起こしずらいガスのことで、窒素ガスや不活性ガス(Ne、Xe等)を言うが、一般には安価で、清浄な窒素ガスが用いられる。
また、ここで言う製品とは、最終製品および中間製品を含むもので、レジストを塗布した状態のマスクブランクスも含む。
また、標準機械的インターフェースSMIF機構とは、標準機械的インターフェースSMIFシステムに適合した、底部、蓋部のロック、取外し機構を備えていることを意味する。
【0009】
【作用】
本発明のケースは、このような構成にすることにより、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース(ボックス)の提供を可能とするものである。
これにより、近年の半導体素子の高集積化に対応できる品質を確保でき、量産にも対応できるものとしている。
具体的には、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース(ボックス)であって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部の充填機構から充填される不活性なガスを、ケース(ボックス)内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けていることにより、これを達成している。
即ち、底部には、不活性なガスを充填するための充填部を備え、且つ、底部に保持された拡散部を設けていることにより、不活性なガスを、ケース内に均一に充填することを可能とし、これにより、製品の表面に、酸素や空気中の有機物に触れることがなく、保管や搬送中における経時変化を抑えることを可能としている。
特に、レジストが塗布された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合には有効で、レジスト感度の経時変化を抑えることを可能としている。
【0010】
特に、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品の端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることにより、移動の際、極力振動を抑えることができるものとして、これにより、振動による製品面へのゴミ付着を無くすことを可能としている。
【0011】
また、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースSMIF(Standard Mechanical Interface)機構が組み込まれていることにより、搬送、保管等の自動化をし易いものとしている。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の例を挙げて説明する。
図1は、本発明のケースの実施の形態の第1の例の鳥瞰図で、図2は図1に示す実施の形態の第1の例のケースの一断面図で、図3は実施の形態の第2の例のケースの一断面図で、図4は図1に示す実施の形態の第1の例のケースの製品固定部の一断面図で、図5は保持治具の支持方法の別の例を説明するための断面図である。
図1〜図5中、10は製品固定部、20は蓋部、30は底部、110は(移動可能な)保持治具、110Aは(固定の)保持治具、111は保持治具本体、111Aは保持部、112、112Aは固定部、113、113A、113Bは板バネ、115、116、117は固定部、120は弾性体(外力伝達部)、130は板状の基材(拡散部あるいは支持部とも言う)、140はバネ部、150は排気孔、161は貫通孔(通気路の一部)、180はレジスト塗布済のマスクブランクス(製品とも言う)、181は端面、182は製品面、190は外力、210はピン、220バーコード(識別マーク)、310は充填部、311はインレット、312はアウトレット、315、316、316A、316B、317は通気路である。
【0013】
先ず、本発明のケースの実施の形態の第1の例を、図1に基づいて説明する。
本例は、レジスト塗布済みのマスクブランクス製品として、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース(ボックス)で、底部30に固定された製品固定部10に、製品180をその端部にて固定した状態で、蓋部20と底部30とを合わせることにより密封するものである。
そして、底部30には、インレット部311、アウトレット部312からなる、不活性なガスを充填するための充填部310を備えており、密封した後に、充填部310にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うものである。
勿論、本例のケースは、フォトマスク、ガラス基板、ウエハ(レジスト塗布したものも含む)等にも適用できる。
【0014】
本例は、底部30に備えられた充填部310にて充填される不活性なガスを、ケース(ボックス)内に積極的に拡散して導くための、底部30に保持された拡散部130を設けているもので、密封した際、底部30、拡散部130、製品180、蓋部20の順に、配置される。
拡散部130は、底部30をほぼ覆い、底部30にほぼ平行な板状の基材からなり、該板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体(ガス)を排出するための排気孔150を設けている。
拡散部130である板状の基材には、所定のピッチで二次元的にほぼ全面に、貫通孔150が複数設けられており、不活性のガスの充填の際、底部30の充填部310のインレット311から注入される不活性なガスが、一旦、製品180の蓋部20側に達するように、インレット311から板状の基材130の製品180側に少なくとも達する通気路(315および161)が設けられており、不活性のガスの充填の際には、インレット311から注入される不活性なガスを、インレット311から板状の基材の製品側に達する通気路315(貫通孔161もこれにはいる)を通り、製品180の蓋部20側に供給し、且つ、ケース内の気体(ガス)を、板状の基材130に設けられた複数の貫通孔150を通しながら、底部30に設けられたアウトレット312から排出するものである。
【0015】
本例においては、製品固定部10は、図1や図4に示すように、製品180をその端部で保持する複数の保持治具110、110Aと、密封する際に蓋部20から力を外力として受け、変形することにより、保持治具110、110Aの一つ(ここでは110のこと)に、保持治具間の間隔を狭める向きの力を与える弾性部120と、これらを支持する支持部130とを有し、且つ、弾性部120から力を与えられる一つの保持治具110は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられている。
本例では、保持治具110は、支持板130に、それぞれ、固定部115、116により保持されている、2つの板バネ113A、113Bにより、支持板130からは浮いた状態で保持されており、受ける力により、2つの板バネ113A、113Bで、移動できるようになっている。
そして、密封の際、移動可能な一つの保持治具110は、弾性部120からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品180の端部の端面181を、製品面182に沿う方向の力で押し、製品180を固定するものである。
本例は、上記のように、密封する際に蓋部20から力を外力として受け、保持治具の一つ110に、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部として弾性部120を用いたものであり、弾性体120としては、ゴム等のエラストマーが用いられるている。
本例では、蓋20からの力を、ピン210にて外力として弾性体120に与え、これを変形させ、保持治具110に対し、弾性体120から、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与えることにより、製品180の端部の端面181を押し、保持治具で、振動に対しても確実に保持できるようにしたものであるが、弾性体120は、言わば蓋20からの外力を製品180の端面181を押す方向の力に変換して外力を伝達する外力である。
本例では、外力伝達部として、弾性体120を用いたが、これに限定されない、例えば、板バネ、カム等を用いても良い。
【0016】
本例のケースにおける製品180の保持治具への固定を図4に基づいて、更に説明する。
尚、図4中、細点線円は移動可能な保持治具110を含む領域を示している。
製品180を保持治具110、110Aの保持治具本体111にセットした後、蓋部20の内側の所定位置に設けられたピン210は、蓋部20と底部を合わせ、ケースを密封することにより、蓋部20の内側に設けられたピン(図1の210)は、弾性体120を押し、圧縮する。
図2に太線矢印で示すように、蓋20に固定されたピン210により、弾性体120は外力190を受ける。
弾性体120は外力190を受けると、図4の太点線で示すように、変形する。
即ち、製品面182に沿う方向へ、弾性体120は変形する。
製品面182に沿う方向への弾性体120の変形により、保持治具110は、図4の太点線矢印の向き(マスク治具間の間隔を狭める向きである)に力を受ける。
この向きの力を保持治具110が受けると、板バネ113A、113Bは、その方向に変形する。
この変形により、板バネ113A、113Bに保持され、支持部130から浮いた状態で保持されている保持治具部110は、板バネの変形に従いその位置を、マスク治具間の間隔を狭める向きに移動させる。
この移動は、通常1mm程度であるが、これにより、製品180の端面181に、マスク治具間の間隔を狭める向きに力をかけながら、製品を確実に保持治具の保持部112、112Aにて保持することができる。
【0017】
また、蓋部20を開けることにより、蓋20のピン210は弾性体120から離れることとなり、弾性体120は、外力を受ける前の元の形状に戻る。
弾性体120は、外力を受ける前の元の形状に戻ると、保持治具110には、弾性体120からの力は無くなるため、保持治具110を支持部130から浮いた状態で保持している板バネ113A、113Bは、その復元力で元の状態に戻ろうとする。
これにより、保持治具110は、保持治具間の間隔を広げ、元の間隔(弾性体から保持治具が力を受けなかった、製品180を保持治具にセット時の間隔)に戻り、製品180の取り外しが容易となる。
板バネ113A、113Bが、弾性体120からの力を緩和する緩和力発生部であり、且つ、弾性体120からの力が無く成った際に元の状態に復元するための、復元力発生部を兼ねている。
【0018】
尚、本例では、板バネ130Aを、支持部130に一端が間接的に固定されたバネ140により移動可能に保持された固定部115により、保持している。
これにより、弾性体120から保持治具110が受ける力を、更に緩和したり、弾性体120から力保持治具110が力を受けなくなった際の、復元し易いものとしている。
【0019】
本例の場合、上記のように、保持治具110は、板バネ113A、113Bに支持されており、支持部130から離れて、浮いた状態で、移動するため、移動に際して、擦ることは無く、保持治具110の移動によるゴミの発生がない。
【0020】
本例の、各保持治具110、110Aは、複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持治具本体111には保持部111Aを段状に複数設けているもので、各種サイズの製品に対応できる。
【0021】
本例の場合は、製品固定部10と底部30とは別体で、製品固定部10に底部30に保持されており、底部30には、不活性なガスを充填するための充填部310を備えており、レジスト塗布済のマスクブランクスを収納し、密封した後、例えば、充填部310のアウトレットから排気しながら、不活性なガスとして清浄な窒素ガスをインレット311から充填して、ケース内を窒素雰囲気とする。
これにより、レジスト感度の経時変化を抑えることができる。
ケース内の窒素雰囲気として、O2 濃度が100ppm以下、H2 O濃度が100ppm以下であることが好ましい。
一般に、レジスト塗布済のマスクブランクスを空気中に保管した場合には、空気中の、酸素、有機物等により、レジスト感度の経時変化が起こるとされている。
また、空気中の水分等により、汚れの発生も起こるとされている。
尚、不活性なガスの充填部310のインレット311、312としては、それぞれ、所定の圧をかけた場合、所定の負圧をかけた場合に、弁が開く方式のもので、必要に応じ、所定サイズのフィルターを併設したものが挙げられる。
【0022】
また、本例のケースは、レジスト塗布済のマスクブランクスを製品とするもので、外見では、中身が判別しにくいので、蓋部20の表側に、識別マーク部(バーコード表示)220を設けており、製品の管理、判別を人手によらず、機械的にあるいは更に自動でできるものとしている。
【0023】
各部の材質については、以下のものを使用する。
蓋部20については、非帯電性のもので、耐磨耗性に優れているもので、レジストを感光させない遮光性のものが好ましく、具体的には、ノバロイ(製品名、ダイセル化学工業株式会社製、ABS樹脂の1種)等が挙げられる。
底部30については、帯電防止用の樹脂を練り込んであるもの等が用いられ、具体的には、PC(ポリカーボネート)を主材とするものが挙げられる。
板状の基材(拡散部あるいは支持部とも言う)130については、樹脂等のアウトガスの少ない、硬度の高いものが挙げられる。
保持部111Aとしては、PEEK(ガラス保持に実績がある)等の樹脂が挙げられる。
固定部115、116、117としては、SUS、アルミ等が挙げられる。
弾性体120としては、シリコンゴム等が挙げられる。
【0024】
製品180をレジストが塗布されたマスクブランクスとした場合には、ケース内が、不活性のガスにより、確実に所定の、O2 濃度以下、H2 O濃度以下に制御されていることが、管理上、要求される。
本例は、これに対応できるケースである。
以下、本例における、不活性ガスの充填動作を、図2に基づいて説明する。
先ず、製品180を保持治具110、110Aにセットした後、蓋部20と底部30とを嵌合し、密封する。
次いで、清浄な不活性のガスを底部30に設けられたインレット311から注入するが、これと併行して、ケース内のガス(気体)を底部30に設けられたアウトレット312から排出する。
ここで言う清浄な不活性のガスとは、勿論、前記所定の、O2 濃度以下、H2 O濃度以下に制御されているガスである。
底部30に設けられたインレット311から注入される不活性なガスは、通気路315を通り、そのほとんどが、まず、製品の蓋部側に注入される。
図2において、通気孔161の位置は、孔部の大半が製品180よりはずれる位置あるためである。
一方、排気されるガス(気体)のほとんどは、拡散部130の複数の貫通孔150を通り、底部30に設けられたアウトレット312から排出される。
拡散部130は、底部30をほぼ覆い、底部30にほぼ平行な板状の基材からなるためである。
このようにして、拡散部130の複数の貫通孔150が設けられている広い領域から、排気が行われるため、これに伴い、インレットから供給される不活性ガスは、拡散し易くなる。
インレット311からの不活性ガスの注入と、アウトレット312からの排気を所定時間併行して行うことにより、ケース内を所定のO2 濃度以下、H2 O濃度以下に制御することができる。
更に、ケースから排出された気体(ガス)について、そのO2 濃度、H2 O濃度を測定することにより、より正確にケース内の気体(ガス)のO2 濃度、H2 O濃度を制御することができる。
【0025】
次に、本発明のケースの実施の形態の第2の例を挙げ、図3に基づいて説明する。
第2の例は、図2に示す第1の例において、拡散部130となる板状の基板を、拡散部130Aの板状の基板に代え、且つ、図2に示すケースのインレット311からの通気路316Aを、拡散部130Aの通気路316B、316Cに繋げ一体として通気路316を形成したもので、且つ、アウトレットに繋がる、通気路317を設けたものである。
それ以外については第1の例と同じで、各部の説明は省略し、ここでは、不活性ガスの充填動作を、図3に基づいて説明しておく。
尚、図3は、第1の例の図2相当する断面図である。
先ず、製品180を保持治具110、110Aにセットした後、蓋部20と底部20とを合わせ、密封する。
次いで、不活性のガスを底部30に設けられたインレット311から注入するが、これと併行して、ケース内のガス(気体)を底部30に設けられたアウトレット312から排出する。
底部30に設けられたインレット311から注入される不活性なガスは、通気路316を通り、拡散部130Aの製品180側へと、分散されて供給される。不活性なガスは、拡散部130Aの複数の通気路316Cから、製品の一面に当たるように注入される。
一方、通気路317を介して、製品180と蓋部20間から、ケース内のガス(気体)をアウトレット312から排出する。
このようにして、拡散部130の複数の通気孔316Cが設けられている広い領域から、注入が行われるため、これに伴い、インレットから供給される不活性ガスは、ケース内で拡散し易くなる。
【0026】
第1の例、第2の例のケースの変形例としては、保持治具本体111には保持部111Aを段状に複数設けず、所定の製品サイズのみに対応し、各保持治具110、110Aの保持治具本体111には保持部111Aを1個設けたものが挙げられる。
【0027】
また、他の変形例としては、本例の板バネ113A、113Bの固定に代え、図5に示すように、それぞれ、支持部130に固定された固定部117に、保持された2つの板バネ113を固定にしたものが挙げられる。
この場合、2つの板バネ113のみが、弾性体120からの力を緩和する緩和力発生部で、且つ、弾性体120からの力が無く成った際に元の状態に復元するための、復元力発生部となる。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ基板等を製品とし、これらを保管、搬送する際に、特に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース(ボックス)の提供を可能とした。
特に、標準機械的インターフェースSMIF機構を備えた蓋部、底部からなるボックス(ケースあるいはコンテナとも言う)にも簡単に適用でき、自動化がし易い。
これにより、製品の大型化、高品質化、量産化に対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のケースの実施の形態の第1の例の鳥瞰図
【図2】 実施の形態の第1の例のケースの一断面図
【図3】 実施の形態の第2の例のケースの一断面図
【図4】 図1に示す実施の形態の第1の例のケースの製品固定部の一断面図
【図5】 保持治具の支持方法の別の例を説明するための断面図
【符号の説明】
10 製品固定部
20 蓋部
30 底部
110 (移動可能な)保持治具
110A (固定の)保持治具
111 保持治具本体
111A 保持部
112、112A 固定部
113、113A、113B 板バネ
115、116、117 固定部
120 弾性体(外力伝達部)
130 板状の基材(拡散部あるいは支持部とも言う)
140 バネ部
150 排気孔(貫通孔とも言う)あるいは供給孔
161 貫通孔(通気路の一部)
180 レジスト塗布済のマスクブランクス(製品とも言う)
181 端面
182 製品面
190 外力
210 ピン
220 バーコード(識別マーク)
310 充填部
311 インレット
312 アウトレット
315、316、316A、316B、317 通気路
Claims (6)
- フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けており、密封した際、底部、拡散部、製品、蓋部の順に、配置するものであり、拡散部は、底部を覆い、底部に平行な板状の基材からなり、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体を排出するための排気孔を、二次元的に複数設けて、且つ、インレットから充填される不活性なガスを、製品の蓋部側に供給するための、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、あるいは、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、充填される不活性ガスを供給するための供給孔を、二次元的に複数設けて、且つ、製品の蓋部側からケース内のガスを排出するための、アウトレットから前記板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、ことを特徴とするケース。
- 請求項1に記載のケースであって、前記板状の基材に排気孔を二次元的に複数設けているものであり、該板状の基材に所定のピッチで設けられた貫通孔を排気孔としていることを特徴とするケース。
- 請求項2に記載のケースであって、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路は、板状の基材を貫通して設けられていることを特徴とするケース。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のケースであって、拡散部である板状の基材が、製品固定部の各部を支持し、底部に保持される支持部を兼ねるものであることを特徴とするケース。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のケースであって、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から力を外力として受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであることを特徴とするケース。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のケースであって、蓋部、底部には、標準機械的インターフェースSMIF(Standard Mechanical Interface)機構が組み込まれていることを特徴とするケース。
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