JP2001048152A

JP2001048152A - ケース

Info

Publication number: JP2001048152A
Application number: JP21942899A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Shitani; 佳久志谷; Koichi Sugano; 菅野　　孝一; Akira Narizumi; 顕成住
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1999-08-03
Filing date: 1999-08-03
Publication date: 2001-02-20

Abstract

(57)【要約】【課題】フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基
板、ウエハ等を製品として、これを保管、搬送する際
に、振動によるゴミ付着を起こさず、且つ、その表面部に
経時変化を起こさないケース(ボックス)を提供する。【解決手段】底部に固定された製品固定部に、あるい
は、底部と一体となった製品固定部に、製品をその端部
にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせ密封するも
ので、製品固定部は、製品をその端部で保持する複数の
保持治具と、密封する際に蓋部から外力を受け、移動な
いし変形することにより、保持治具の一つに、保持治具
間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝達部と、これ
らを支持する支持部とを有し、且つ、前記外力伝達部か
ら力を与えられる一つの保持治具は、保持治具間の間隔
を狭める、あるいは広げる所定の方向に力を受け、これ
によりその位置を所定範囲内で移動可能に設けられてお
り、密封する際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝
達部からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受
け、製品の端部の端面を、製品面に沿う方向の力で押
し、製品を固定するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子を作製
する際に用いられる、フォトマスク、ウエハ、あるい
は、フォトマスク用のマスクブランクス、ガラス基板等
の製品を、その端部にて保持して、搬送、保管を行うケ
ース（ボックス）に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子（チップ）の高密度化
は激しく、０．３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの
量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５
６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。更に、最近
では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４
ＭＤＲＡＭを０．２５設計ルールまで微細化して、ある
いは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８設計ルールまで微細
化してチップ縮小化を行っている。仮に、６４ＭＤＲＡ
Ｍを０．２μｍ設計ルールとすると、約１６ＭＤＲＡＭ
と同じチップ寸法となり、ビットコストは１６Ｍの約１
／４になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置
でコスト低減が達成されることとなる。０．１８μｍ設
計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍ設
計ルールが開発完了予定とされている。このような中、
ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、
ますます高精度、高品質のものが求められるようになっ
てきた。

【０００３】このため、半導体素子を形成するためのレ
チクル、およびこれらを作製するためのマスク（以降、
これらを総称してフォトマスク呼ぶ）や、これに用いら
れるマスクブランクス、ガラス基板については、その保
管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求
められるようになってきた。一般に、フォトマスク、マ
スクブランクス、ガラス基板は、所定のケース（ボック
ス）に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処
理されるが、その際、その表面部に、振動、摩擦などに
よりゴミが付着したり、周囲雰囲気の影響による経時変
化が起こることが知られている。更に、レジストが塗布
された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合、
周囲雰囲気の空気中の酸素と有機物等により、その感度
は経時変化を起こすことが良く知られている。しかし、
近年の半導体素子の高い集積化に伴い、これらの保管、
搬送に起因する品質低下が無視できなくなってきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、近年の半
導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブラ
ンクス、ガラス基板を、保管、搬送する際に起こる、振
動、摩擦等によるゴミ付着、表面部の経時変化が問題に
なってきており、この対応が求められていた。本発明
は、これに対応するもので、フォトマスク、マスクブラ
ンクス、ガラス基板を保管、搬送する際に、振動、摩擦
によるゴミ付着を起こさず、且つ、その表面部に経時変
化を起こさない、保管、搬送用のケース（ボックス）を
提供しようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のケースは、フォ
トマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の
薄板状の製品を、１枚づつ、その端部にて保持して、搬
送、保管を行う、ケース（ボックス）であって、底部に
固定された製品固定部に、あるいは、底部と一体となっ
た製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、
蓋部と底部とを合わせ密封するもので、製品固定部は、
製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密封する
際に蓋部から外力を受け、移動ないし変形することによ
り、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向き
に力を与える外力伝達部と、これらを支持する支持部と
を有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられる一つ
の保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、あるいは広
げる所定の方向に力を受け、これによりその位置を所定
範囲内で移動可能に設けられており、密封する際、移動
可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力を、保持
治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の端面を、
製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定するものであ
ることを特徴とするものである。そして、上記におい
て、外力伝達部からの力を受ける保持治具には、保持治
具間の間隔に対応して、外力伝達部からの力に対抗し、
外力伝達部からの力を緩和する力を発生させる、緩和力
発生部、およびまたは、蓋を開け、外力伝達部からの力
を受けなくなった際に、移動可能な保持治具を元の位置
に復元するための復元力発生部を備えていることを特徴
とするものであり、移動可能な一つの保持治具は、板バ
ネを介して、移動可能に支持部に固定されているもの
で、板バネが、緩和力発生部およびまたは復元力発生部
を兼ねることを特徴とするものである。そしてまた、上
記において、外力伝達部は、密封する際、蓋部から力を
外力として受け、製品面方向に変形する弾性体であるこ
とを特徴とするものである。そしてまた、上記におい
て、蓋部にはピンが設けられており、密封する際、蓋部
に設けられたピンが、製品固定部に設けられた弾性体を
押し、弾性体を製品面に沿う方向に変形させ、移動可能
な１つの保持治具に対し、変形した弾性体からの力を保
持治具間の間隔を狭める向きに、働かせるものであるこ
とを特徴とするものである。また、上記において、各保
持治具は、複数の所定の製品サイズに対応するため、そ
の保持部を段状に複数設けていることを特徴とするもの
である。また、上記において、製品固定部と底部とは別
体で、製品固定部と底部に保持されていることを特徴と
するものである。また、上記において、底部には、不活
性なガスを充填するための充填部を備えていることを特
徴とするものである。また、上記において、蓋に、製品
を識別するための識別マークを設けていることを特徴と
するものである。また、上記において、蓋部、底部に
は、標準機械的インターフエースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄ
ａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）
機構が組み込まれていることを特徴とするものである。

【０００６】尚、ここでは、不活性なガスとは、経時変
化を起こしずらいガスのことで、窒素ガスや不活性ガス
（Ｎｅ、Ｘｅ等）を言うが、一般には安価な、清浄な窒
素ガスが用いられる。また、ここで言う製品とは、最終
製品および中間製品を含むもので、レジストを塗布した
状態のマスクブランクス（単にブランクスとも言う）も
含む。また、標準機械的インターフエースＳＭＩＦ機構
とは、標準機械的インターフエースＳＭＩＦシステムに
適合した、底部、蓋部のロック、取外し機構を備えてい
ることを意味する。

【０００７】

【作用】本発明のケースは、このような構成にすること
により、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板
を保管、搬送する際に、振動、摩擦などによるゴミ付着
を起こさず、且つ、その表面部に経時変化を起こさな
い、保管、搬送用のケース（ボックス）の提供を可能と
するものである。これにより、近年の半導体素子の高集
積化に対応できる品質を確保でき、量産にも対応できる
ものとしている。具体的には、フォトマスク、マスクブ
ランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、１
枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケ
ース（ボックス）であって、底部に固定された製品固定
部に、あるいは、底部と一体となった製品固定部に、製
品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わ
せ密封するもので、製品固定部は、製品をその端部で保
持する複数の保持治具と、密封する際に蓋部から外力を
受け、移動ないし変形することにより、保持治具の一つ
に、保持治具間の間隔を狭める向きに力を与える外力伝
達部と、これらを支持する支持部とを有し、且つ、前記
外力伝達部から力を与えられる一つの保持治具は、保持
治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に力
を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能に
設けられており、密封する際、移動可能な一つの保持治
具は、外力伝達部からの力を、保持治具間の間隔を狭め
る向きに受け、製品の端部の端面を、製品面に沿う方向
の力で押し、製品を固定するものであることにより、更
には、底部には、不活性なガスを充填するための充填部
を備えていることにより、これを達成している。

【０００８】また、底部には、不活性なガスを充填する
ための充填部を備えていることにより、不活性なガスを
充填（注入）して、製品の表面に、酸素や空気中の有機
物に触れることがなく、保管や搬送中における経時変化
を抑えることを可能としている。特に、レジストが塗布
された状態のマスクブランクスを保管、搬送する場合に
は有効で、レジストの感度の経時変化を抑えることを可
能としている。

【０００９】また、製品固定部と底部とは別体で、製品
固定部と底部に保持されていることにより、全体を洗浄
がし易い形態としている。。

【００１０】また、蓋部、底部には、標準機械的インタ
ーフエースＳＭＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎ
ｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）機構が組み込まれてい
ることにより、搬送、保管等の自動化をし易いものとし
ている。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を挙げて
説明する。図１は、本発明のケースの実施の形態の１例
の鳥瞰図で、図２（ａ）は、図１のＡ１−Ａ２における
製品固定部の一断面図で、図３は本例とは別の保持治具
支持方法を説明するための断面図、図４は外力伝達部の
変形例を示した図である。図１〜図４中、１０は製品固
定部、２０は蓋部、３０は底部、４１は保持治具、５１
はテーパー付きピン、５２は板バネ、５３はカム、５４
はベアリング付きローラー、５５は回転機構、１１０は
（移動可能な）保持治具、１１０Ａは（固定の）保持治
具、１１１は保持治具本体、１１１Ａは保持部、１１
２、１１２Ａは固定部、１１３、１１３Ａ、１１３Ｂは
板バネ、１１５、１１６、１１７は固定部、１２０は弾
性体（外力伝達部）、１３０支持部、１４０はバネ部、
１６１はインレット部、１６２はアウトレット部、１８
０はレジスト塗布済のマスクブランクス（製品とも言
う）、１８１は端面、１８２は製品面、１９０は外力、
２１０はピン、２２０バーコード（識別マーク）、３１
０は充填部、３１１はインレット、３１２はアウトレッ
トである。

【００１２】先ず、本発明のケースの実施の形態の１例
を、図１、図２に基づいて説明する。本例は、レジスト
塗布済みのマスクブランクス製品として、１枚づつ、そ
の端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース（ボッ
クス）で、製品固定部１０に、製品１８０をその端部に
て保持した状態で、底部３０に固定された製品固定部１
０を、蓋部２０と底部３０とを合わせることにより密封
するものである。勿論、本例のケースは、フォトマス
ク、ガラス基板、ウエハ（レジスト塗布したものも含
む）等にも適用できる。

【００１３】製品固定部１０は、図２に示すように、製
品１８０をその端部で保持する複数の保持治具１１０、
１１０Ａと、密封する際に蓋部２０から力を外力として
受け、変形することにより、保持治具１１０に、保持治
具間の間隔を狭める向きの力を与える弾性部１２０と、
これらを支持する支持部１３０とを有し、且つ、弾性部
１２０から力を与えられる一つの保持治具１１０は、保
持治具間の間隔を狭める、あるいは広げる所定の方向に
力を受け、これによりその位置を所定範囲内で移動可能
に設けられている。本例では、保持治具１１０は、支持
板１３０に、それぞれ、固定部１１６、１１７により保
持されている、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂによ
り、支持板１３０からは浮いた状態で保持されており、
受ける力により、２つの板バネ１１３Ａ、１１３Ｂが変
形し、移動できるようになっている。そして、密封の
際、移動可能な一つの保持治具１１０は、弾性部１２０
からの力を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製
品１８０の端部の端面１８１を、製品面１８２に沿う方
向の力で押し、製品１８０を固定するものである。本例
は、上記のように、密封する際に蓋部２０から力を外力
として受け、保持治具の一つに保持治具間の間隔を狭め
る向きに力を与える外力伝達部として、弾性部１２０を
用いたものであり、弾性体１２０としては、ゴム等のエ
ラストマーが用いられる。

【００１４】本例のケースの製品１８０の保持治具への
固定を図２に基づいて、更に説明する。これを以て、本
例のケースの使用方法の説明に代える。尚、図２中、細
点線円は移動可能な保持治具１１０を含む領域を示して
いる。製品１８０を保持治具１１０、１１０Ａの保持治
具本体１１１にセットした後、蓋２０と底部を嵌合す
る。蓋２０と底部を嵌合することにより、即ち、ケース
を密封することにより、蓋２０の内側に設けられたピン
２１０は、弾性体１２０を押し、圧縮する。図２に太線
矢印で示すように、蓋２０に固定されたピン２１０によ
り、弾性体１２０は外力１９０を受ける。弾性体１２０
は外力１９０を受けると、図２の太点線で示すように、
変形する。即ち、製品面１８２に沿う方向へ、弾性体１
２０は変形する。製品面１８２に沿う方向への弾性体１
２０の変形により、保持治具１１０は、図２の太点線矢
印の向き（マスク治具間の間隔を狭める向きである）に
力を受ける。この向きの力を保持治具１１０が受ける
と、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その方向に変形す
る。この変形により、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに保持
され、支持部１３０から浮いた状態で保持されている保
持治具部１１０は、板バネの変形に従いその位置を、マ
スク治具間の間隔を狭める向きに移動させる。この移動
は、通常１ｍｍ程度であるが、これにより、製品１８０
の端面１８１に、マスク治具間の間隔を狭める向きに力
をかけながら、製品を確実に保持治具の保持部１１２、
１１２Ａにて保持することができる。

【００１５】次いで、蓋２０を開けることにより、蓋２
０のピン２１０は弾性体１２０から離れることとなり、
弾性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻る。弾
性体１２０は、外力を受ける前の元の形状に戻ると、保
持治具１１０には、弾性体１２０からの力は無くなるた
め、保持治具１１０を支持部１３０から浮いた状態で保
持している板バネ１１３Ａ、１１３Ｂは、その復元力で
元の状態に戻ろうとする。これにより、保持治具１１０
は、保持治具間の間隔を広げ、元の間隔（弾性体から保
持治具が力を受けなかった、製品１８０を保持治具にセ
ット時の間隔）に戻ろうとする。即ち、保持治具１１０
は板バネ１１３Ａ、１１３Ｂが、弾性体１２０からの力
を緩和する緩和力発生部であり、且つ、弾性体１２０か
らの力が無くなった際に元の状態に復元するための、復
元力発生部を兼ねている。

【００１６】尚、本例では、板バネ１１３Ａを、支持部
１３０に一端が間接的に固定されたバネ１４０により移
動可能に保持された固定部１１５により、保持してい
る。これにより、弾性体１２０から保持治具１１０が受
ける力を、更に緩和したり、弾性体１２０から力保持治
具１１０が力を受けなくなった際の、復元し易いものと
している。

【００１７】本例の場合、上記のように、保持治具１１
０は、板バネ１１３Ａ、１１３Ｂに支持されており、支
持部１３０から離れて、浮いた状態で、移動するため、
移動に際して、擦ることは無く、保持治具１１０の移動
によるゴミの発生がない。

【００１８】本例の、各保持治具１１０、１１０Ａは、
複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持治具
本体１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けている
もので、各種サイズの製品に対応できる。

【００１９】本例の場合は、製品固定部１０と底部３０
とは別体で、製品固定部１０に底部３０に保持されてお
り、底部３０には、不活性なガスを充填するための、イ
ンレット３１１、アウトレット３１２からなる充填部を
備えている。そして、製品固定部１０には、底部３０の
充填部３１０のインレット３１１、アウトレット３１２
位置に合わせ、インレット１６１、アウトレット１６２
が設けられている。レジスト塗布済のマスクブランクス
を収納した後、例えば、充填部３１０のアウトレットか
ら排気しながら、不活性なガストとして清浄な窒素ガス
をインレット３１１から充填し、ケース内を窒素雰囲気
とする。これにより、レジスト感度の経時変化を抑える
ことができる。清浄な窒素ガスを充填された後の、ケー
ス内の窒素雰囲気としては、Ｏ₂濃度が１００ｐｐｍ以
下であることが好ましい。尚、一般に、レジスト塗布済
のマスクブランクスを空気中に保管した場合には、空気
中の、酸素、有機物等により、レジスト感度の経時変化
が起こるとされている。また、空気中の水分等により、
汚れの発生も起こるとされている。尚、不活性なガスの
充填部３１０のインレット３１１、アウトレット３１２
としては、それぞれ、所定の圧をかけた場合、所定の負
圧をかけた場合に、弁が開く方式のもので、必要に応
じ、所定サイズのフィルターを併設したものが挙げられ
る。

【００２０】また、本例のケースは、レジスト塗布済の
マスクブランクスを製品とするもので、外見では、中身
が判別しにくいので、蓋２０の表側に、識別マーク部
（バーコード表示）２２０を設けており、製品の管理、
判別を人手によらず、機械的にあるいは更に自動ででき
るものとしている。

【００２１】各部の材質については、以下のものを使用
する。蓋部２０については、非帯電性のもので、耐磨耗
性に優れているもので、レジストを感光させない遮光性
のものが好ましく、具体的には、ノバロイ（製品名、ダ
イセル化学工業株式会社製、ＡＢＳ樹脂の１種）等が挙
げられる。底部３０については、帯電防止用の樹脂を練
り込んであるもの等が用いられ、具体的には、ＰＣ（ポ
リカーボネート）を主材とするものが挙げられる。支持
部１３０については、ＳＵＳ、樹脂等、特に限定されな
いが、例えば、ＰＥＥＫが挙げられる。保持部１１１Ａ
としては、ＰＥＥＫ（ガラス保持に実績がある）等の樹
脂が挙げられる。固定部１１５、１１６、１１７として
は、ＳＵＳ、アルミ等が挙げられる。弾性体１２０とし
ては、シリコンゴム等が挙げられる。

【００２２】本例の変形例としては、製品固定部１０と
底部３０とを一体としたものが挙げられる。

【００２３】また、別の変形例としては、保持治具本体
１１１には保持部１１１Ａを段状に複数設けず、所定の
製品サイズのみに対応し、各保持治具１１０、１１０Ａ
の保持治具本体１１１には保持部１１１Ａを１個設けた
ものも挙げられる。

【００２４】また、他の変形例としては、本例の板バネ
１１３Ａ、１１３Ｂの固定に代え、図３に示すように、
それぞれ、支持部１３０に固定された固定部１１７に、
保持された２つの板バネ１１３の固定にしたものが挙げ
られる。この場合、２つの板バネ１１３のみが、弾性体
１２０からの力を緩和する緩和力発生部で、且つ、弾性
体１２０からの力が無く成った際に元の状態に復元する
ための、復元力発生部となる。

【００２５】更に別の変形例としては、上記の本例のよ
うに、密封する際に蓋部２０から力を外力として受け、
保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭める向きに力
を与える外力伝達部として弾性部１２０を用いずに、図
４に示す各種の手段を用い、蓋部から保持治具４１へ、
外力を与えるものを挙げることができる。以下、簡単に
図４に示す手段を説明する。図４（ａ）に示す手段は、
テーパー付きピン５１を用いたもので、蓋からの外力を
これに与えることにより、図４（ａ）に示す上下方向の
位置を変え、図４（ａ）に示す水平方向のテーパー幅が
変わり、保持治具４１へ、保持治具間の間隔を狭める向
きに力を与えるものである。図４（ａ）に示すように、
保持治具４１にもテーパー部４１Ａを設けておくと、そ
の動作がスムーズに行われる。図４（ｂ）に示す手段
は、板バネ５２を用いたもので、蓋からの外力をこれに
与えることにより、板バネ５２を保持治具４１方向へ変
形させ、変形された板バネが、保持治具間の間隔を狭め
る向きに力を保持治具４１に与えるものである。図４
（ｃ）に示す手段は、カム５３を用いたもので、蓋から
の外力をこれに与えることにより、カム５３を回転さ
せ、保持治具４１と接するカム５３の位置を変え、保持
治具間の間隔を狭める向きに力を保持治具４１に与える
ものである。図４（ｄ）に示す手段は、ベアリング付き
ローラー５４を用いたもので、蓋からの外力をこれにえ
ることにより、保持治具４１のテーパー部４１Ａに沿
い、外力の方向に進み、保持治具４１に保持治具間の間
隔を狭める向きに力を与えるものである。図４（ｅ）に
示す手段は、回転機構５５を用いたもので、蓋からの外
力をこれに加えて回転させ、図４（ｅ）に示す水平方向
位置を変え、保持治具間の間隔を狭める向きに力を保持
治具４１に与えるものである。尚、図４に示す各手段に
おいては、外力からの力を、これらの手段に直接与えた
場合、これらの手段に対する外力を取り除いた場合、即
ち、蓋を開けた場合、保持治具１１０が元の状態に復帰
するために、バネや弾性体を介して、その位置が復元可
能に与えるものである。

【００２６】

【発明の効果】本発明は、上記のように、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ基板等を製
品とし、これらを保管、搬送する際に、振動によるゴミ
付着を起こさず、且つ、その表面部に経時変化を起こさ
ない、保管、搬送用のケース（ボックス）の提供を可能
とした。特に、標準機械的インターフエースＳＭＩＦ機
構を備えた蓋部、底部からなるボックス（ケースあるい
はコンテナとも言う）にも簡単に適用でき、自動化がし
易い。これにより、製品の大型化、高品質化、量産化に
対応できるものとした。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のケースの実施の形態の１例の鳥瞰図

【図２】図１のＡ１−Ａ２における製品固定部の一断面
図

【図３】保持治具の支持方法の別の例を説明するための
断面図

【図４】外力伝達部の変形例を示した図

【符号の説明】

１０製品固定部２０蓋部３０底部４１保持治具５１テーパー付きピン５２板バネ５３カム５４ベアリング付きローラー５５回転機構１１０（移動可能な）保持治具１１０Ａ（固定の）保持治具１１１保持治具本体１１１Ａ保持部１１２、１１２Ａ固定部１１３、１１３Ａ、１１３Ｂ板バネ１１５、１１６、１１７固定部１２０弾性体（外力伝達部）１３０支持部１４０バネ部１６１インレット部１６２アウトレット部１８０レジスト塗布済のマスクブラ
ンクス（製品とも言う）１８１端面１８２製品面１９０外力２１０ピン２２０バーコード（識別マーク）３１０充填部３１１インレット３１２アウトレット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者成住顕東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内Ｆターム(参考） 3E033 AA09 BA26 CA17 DA02 DD01 GA03 3E036 AA04 CA04 DA02 FA01 FB01 5F031 CA02 CA05 CA07 DA12 EA02 EA11 EA19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フォトマスク、マスクブランクス、ガラ
ス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、１枚づつ、その端
部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、
底部に固定された製品固定部に、あるいは、底部と一体
となった製品固定部に、製品をその端部にて保持した状
態で、蓋部と底部とを合わせ密封するもので、製品固定
部は、製品をその端部で保持する複数の保持治具と、密
封する際に蓋部から外力を受け、移動ないし変形するこ
とにより、保持治具の一つに、保持治具間の間隔を狭め
る向きに力を与える外力伝達部と、これらを支持する支
持部とを有し、且つ、前記外力伝達部から力を与えられ
る一つの保持治具は、保持治具間の間隔を狭める、ある
いは広げる所定の方向に力を受け、これによりその位置
を所定範囲内で移動可能に設けられており、密封する
際、移動可能な一つの保持治具は、外力伝達部からの力
を、保持治具間の間隔を狭める向きに受け、製品端部の
端面を、製品面に沿う方向の力で押し、製品を固定する
ものであることを特徴とするケース。
【請求項２】請求項１において、外力伝達部からの力
を受ける保持治具には、保持治具間の間隔に対応して、
外力伝達部からの力に対抗し、外力伝達部からの力を緩
和する力を発生させる、緩和力発生部、およびまたは、
蓋を開け、外力伝達部からの力を受けなくなった際に、
移動可能な保持治具を元の位置に復元するための復元力
発生部を備えていることを特徴とするケース。
【請求項３】請求項２において、移動可能な一つの保
持治具は、板バネを介して、移動可能に支持部に固定さ
れているもので、板バネが、緩和力発生部およびまたは
復元力発生部を兼ねることを特徴とするケース。
【請求項４】請求項１ないし３において、外力伝達部
は、密封する際、蓋部から力を外力として受け、製品面
方向に変形する弾性体であることを特徴とするケース。
【請求項５】請求項４において、蓋部にはピンが設け
られており、密封する際、蓋部に設けられたピンが、製
品固定部に設けられた弾性体を押し、弾性体を製品面に
沿う方向に変形させ、移動可能な１つの保持治具に対
し、変形した弾性体からの力を保持治具間の間隔を狭め
る向きに、働かせるものであることを特徴とするケー
ス。
【請求項６】請求項１ないし５において、各保持治具
は、複数の所定の製品サイズに対応するため、その保持
部を段状に複数設けていることを特徴とするケース。
【請求項７】請求項１ないし６において、製品固定部
と底部とは別体で、製品固定部と底部に保持されている
ことを特徴とするケース。
【請求項８】請求項１ないし７において、底部には、
不活性なガスを充填するための充填部を備えていること
を特徴とするケース。
【請求項９】請求項１ないし８において、蓋に、製品
を識別するための識別マークを設けていることを特徴と
するケース。
【請求項１０】請求項１ないし９において、蓋部、底
部には、標準機械的インターフエースＳＭＩＦ（Ｓｔａ
ｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃ
ｅ）機構が組み込まれていることを特徴とするケース。