JP2012023240A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できるように構成した基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器である。容器本体の第１外壁面とこの第１外壁面と隣接する第２外壁面との稜線部に、識別プレートが第１外壁面側および第２外壁面側に延在された幅を有して取り付けられている。識別プレートは着色されている。
【選択図】図１

Description

本発明は基板収納容器に係り、特に、半導体ウェーハ、マスクガラス等からなる精密基板が収納され、搬送がなされるとともに、前記精密基板を加工・処理する加工装置に位置決め固定される基板収納容器に関する。

この種の基板収納容器は、いわゆるフロントオープンボックスタイプと称され、正面に形成された開口を通して精密基板（以後、基板と称す）を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、を備えたものが知られている。容器本体の内周面の一部には上下方向に並設された複数の支持溝が対向して設けられ、各基板は支持溝のそれぞれに支持されて容器本体内に同軸上に整列配置されて収納されるようになっている。

また、このような基板収納容器は、半導体デバイスの製造工程において、作業者による搬送方法に代え、様々な自動機によって搬送されるようになっている。これにより、基板収納容器内の各基板の汚染を防止できるとともに、効率的な作業を実現することができる。

たとえば、工場内には、ＯＨＴ（Overhead Hoist
Transportation）と称される方式が採用され、基板収納容器の天面に取り付けられたロボティグンフランジを搬送機構によって把持することによって、いわゆる天井搬送ができるようになっている。

また、上記ＯＨＴ方式の他に、基板収納容器の底部に取り付けられた一対のボトムレールや、基板収納容器の左右の外側面のそれぞれに取り付けられたサイドフォークリフトフランジを使用して基板収納容器を持ち上げ、搬送するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）方式、ＰＧＶ（Person
Guided Vehicle）方式等が採用されている。

このような構成からなる基板収納容器の構成は、たとえば下記特許文献１に開示がなされている。

特開2000-306988号公報

このような基板収納容器は、工場内において、複数の基板収納容器が、それぞれ、各種の行程ごと、各種の仕様ごとに形態を変えて搬送されるようになっている。このため、作業員は、各基板収納容器において行程および仕様の種類を認識しておくことが必要となる場合がある。

この場合、基板収納容器に取り付けられるマニュアルハンドル等を色分けすることによって該基板収納容器を区別するようにする方法、また、基板収納容器のたとえば背面側にカードケース等を取り付けることによって該基板収納容器を区別するようにする方法等が考えられる。

しかし、マニュアルハンドル等を色分けする場合、基板収納容器の性能（用途）に応じて材料が選択されていることから、該材料によっては着色の色が制限されてしまう不都合が生じる。この不都合を解消するには複雑な構成となってしまうことを免れ得なくなる。また、カードケース等を取り付ける場合、該カードケースを基板収納容器のたとえば背面側からしか目視できず、作業者の位置によっては該基板収納容器を識別できないという不都合が生じる。

そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できるように構成した基板収納容器を提供することにある。

本発明は、容器本体の隣接する外壁面の境界部となる稜線部に識別プレートを配置させることによって、異なる方向から前記識別プレートを目視できるようにしたものである。

本発明は、以下に示す構成によって把握される。
（１）本発明の基板収納容器は、開口を有し前記開口を通して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、前記容器本体の第１外壁面と前記第１外壁面と隣接する第２外壁面との稜線部に着色された第１識別プレートが、前記第１外壁面側および前記第２外壁面側に延在された幅を有して着脱自在に取り付けられていることを特徴とする。
（２）本発明の基板収納容器は、（１）の構成において、前記第１外壁面は、前記容器本体を前記開口側から観た場合の左右の各側壁面であり、前記第２外壁面は背側壁面であることを特徴とする。

（３）本発明の基板収納容器は、（２）の構成において、前記第１識別プレートは、容器本体の天壁面側に延在されて取り付けられていることを特徴とする。
（４）本発明の基板収納容器は、（１）の構成において、前記第１識別プレートが取り付けられる前記容器本体の前記稜線部はＲ加工され、前記識別プレートは前記Ｒ加工面に沿って湾曲されて形成されていることを特徴とする。
（５）本発明の基板収納容器は、（１）の構成において、前記第１識別プレートは、容器本体に形成された係止部に係止される係止片が形成されていることを特徴とする。
（６）本発明の基板収納容器は、（１）の構成において、前記蓋体の外壁面に第２識別プレートが着脱可能に取り付けられていることを特徴とする。
（７）本発明の基板収納容器は、（６）の構成において、前記第２識別プレートは、前記蓋体に係止される突出片が形成されていることを特徴とする。

本発明の基板収納容器によれば、簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できる構成とすることができる。

本発明の基板収納容器（識別プレートが取り付けられている）を上方背面側から観た斜視図である。 図１の丸枠Ａの部分を拡大して示した図である。 図１と対応して描画された基板収納容器で、識別プレートを取り外した状態を示す斜視図である。 識別プレートの裏面の構成を示す斜視図である。 本発明の基板収納容器を上方前面側から観た斜視図である。 基板収納容器の蓋体に取り付けられる識別プレート（第２識別プレート）を示す平面図である。 第２識別プレートを基板収納容器の蓋体に取り付けた際の状態を示す断面図である。 本発明の基板収納容器の他の実施形態を示す斜視図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施態様１）
図１は、たとえば、フロントオープンボックスタイプと称される基板収納容器１００の構成図で、上方背面側から観た斜視図である。図１に示す基板収納容器１００はたとえば直径４５０ｍｍの半導体ウェーハからなる大型基板を収納できるようになっている。

図１において、基板収納容器１００は、まず、容器本体３と、この容器本体３の前方に形成された開口（図示せず）を閉鎖する蓋体４とから構成されている。

容器本体４には前記開口を通して複数の基板（図示せず）が収納されるようになっている。各基板は水平状態で高さ方向に一定間隔を有して整列されるようになっている。このため、容器本体４の開口側から観た内部の左右の内側面には、それぞれ、各基板の周縁を溝部によって支持する一対の支持部（図示せず）が取り付けられている。

蓋体４は、容器本体３に基板を収納した後に、容器本体３の開口を閉鎖するように配置されるとともに、表面に形成された一対のキー孔４Ａ、４Ｂ（図５参照）にキーを差し込んで回転させることによって容器本体３との施錠がなされるようになっている。蓋体４には一対の施錠機構（図示せず）が内蔵され、これら施錠機構は前記各キーの操作に連動して容器本体３の前記開口の周辺の一部に係止される係止部が備えられて構成されている。また、蓋体４の容器本体３と当接する個所にはシール用のガスケット（図示せず）が備えられ、容器本体３と蓋体４との施錠がなされた際には前記ガスケットによって容器本体３と蓋体４との気密性が保たれるようになっている。

なお、蓋体４の裏面にはフロントリテーナ（図示せず）が設けられ、このフロントリテーナは、各基板の前方の周縁を個別に接触して該基板を保持する弾性片を備えて構成されている。各基板は、それらの奥側の周縁を規制する前記支持部の壁面（ストッパ）と前記フロントリテーナとの間に位置規制されるようになっている。

容器本体３の天壁面ＵＷには、図１に示すように、ロボテックフランジ７が取り付けられている。このロボテックフランジ７は、工場内に設置された搬送機構によって把持され、基板収納容器１００を天井搬送できるようになっている。ロボテックフランジ７の周辺には搬送機構との位置決めがなされる位置決め用Ｖ溝７ａが形成されている。

また、容器本体２の開口（蓋体４）側から観た左右の側壁面ＳＷ１、ＳＷ２には、開口（蓋体４）側から奥側にかけて延在するサイドフォークリフトフランジ５が取り付けられている。このサイドフォークリフトフランジ５は、工場内に設置された搬送機構によって把持され、基板収納容器１００を持ち上げることができるようになっている。サイドフォークリフトフランジ５の周辺には前記搬送機構との位置決めがなされる位置決め用Ｖ溝６が形成されている。

また、図１では明瞭に示されていないが、容器本体３の底面には、ボトムプレート１０が取り付けられている。このボトムプレート１０は、工場内に設置された搬送機構によって、基板を加工等するための加工装置等に案内され、該加工装置等に位置決めされて配置できるようになっている。これにより、ボトムプレート１０の裏面には、たとえば、コンベアレール、識別孔、固定用貫通孔、および位置決め機構等が備えられて構成されている。

そして、この実施形態１において、容器本体３の側壁面ＳＷ１と背壁面ＢＷとの境界となる稜線部は、たとえばＲ加工された湾曲面として構成されている。さらに側壁面ＳＷ１と背壁面ＢＷの稜線部には識別プレート１Ａが着脱自在に取り付けられている。この識別プレート１Ａは所定の色に着色され、この色を認識することによって、当該基板収納容器１００の行程、仕様の種別を区別できるようになっている。識別プレート１Ａは、容器本体３の天壁面ＵＷ側および底面側のそれぞれに端辺を有する板材から構成され、前記稜線部のＲ加工面に沿って湾曲された形状となっている。また、識別プレート１Ａは、側壁面ＳＷ１および背壁面ＢＷのそれぞれの側に延在された幅を有するようになっている。これにより、作業員が、基板収納容器１００を側壁面ＳＷ１側から観た場合あるいは背壁面ＢＷ側から観た場合においても識別プレート１Ａを目視できるようになっている。

同様に、容器本体３の側壁面ＳＷ２と背壁面ＢＷとの境界となる稜線部も、たとえばＲ加工された湾曲面として構成されている。さらに側壁面ＳＷ２と背壁面ＢＷの稜線部にも識別プレート１Ｂが着脱自在に取り付けられている。識別プレート１Ｂは、容器本体３の天壁面ＵＷ側および底面側のそれぞれに端辺を有する板材から構成され、前記稜線部のＲ加工面に沿って湾曲された形状となっている。また、識別プレート１Ｂは、側壁面ＳＷ２および背壁面ＢＷのそれぞれの側に延在された幅を有するようになっている。これにより、作業員が、基板収納容器１００を側壁面ＳＷ２側から観た場合あるいは背壁面ＢＷ側から観た場合においても識別プレート１Ｂを目視できるようになっている。

識別プレート１Ａ、１Ｂ（後述の識別プレート１Ｃに対して第１識別プレートと称する場合がある）は、上述したように容器本体３に着脱可能に取り付けられている。図３は、図１と対応して描画された基板収納容器１００で、識別プレート１Ａ、１Ｂを容器本体３から取り外した状態を示している。図３において、容器本体３の識別プレート１Ａ、１Ｂの取り付け個所の近傍にはたとえば４個の係止部１２が形成されている。この係止部１２は、たとえば識別プレート１Ａの取り付け個所の近傍において、側壁面ＳＷ１側において２個、背壁面ＢＷ側において２個設けられている。

また、図４は、基板収納容器１００から取り外した識別プレート１Ａを裏面（容器本体３と対向する面）側から観た斜視図である。図４において、識別プレート１Ａは、その長手方向の辺において係止片１６が設けられている。これら係止片１６は、それぞれ前記係止部１２と対応する個所に形成され、これら係止部１２と係合するように形成されている。係止部１２と係止片１６の詳細な構成は、後に図２を用いて説明する。また、識別プレート１Ａの裏面には、長手方向に沿って並設されたたとえば３個の支承リブ１５ａが形成され、これら支承リブ１５ａは、識別プレート１Ａを容器本体３に取り付けた際に、容器本体３側に形成された長孔１５ｂ（図３参照）に嵌合されるようになっている。

図２は、図１の丸枠Ａの部分を拡大して示した図で、識別プレート１Ａの係止片１６と容器本体３の係止部１２との係合状態を示している。図２において、識別プレート１Ａの係止片１６は識別プレート１Ａの辺から突出して形成されている。また、係止片１６は先端から識別プレート１Ａとの基端側へかけて高さが高くなるように形成（表面側に傾斜面が形成）され、また、識別プレート１Ａの近傍において高さが急激に低くなる段差部（戻り止め部）を有するようになっている。

すなわち、係止片１６は楔型に形成されている。容器本体３の係止部１２は、図２に示すように、識別プレート１Ａの係止片１６が挿入される貫通孔を備えるリブとして形成されている。この係止部１２の貫通孔に係止片１６が先端から挿入された際には、係止片１６に形成された前記段差部（戻り止め部）が係止部１２の側壁に当接され、係止片１６が係止部１２から容易に抜けることがないように構成されている。なお、識別プレート１Ａを容器本体３から取り外す場合、係止部１２から突出した係止片１６の先端を容器本体３側へ若干押圧するようにすればよい。これにより、係止片１６の前記段差と係止部１２の前記側壁との当接が解除されるからである。このような容器本体３に対する識別プレート１Ａ、１Ｂの取り付け構造とすることにより、容器本体３に対する識別プレート１Ａ、１Ｂの着脱を容易にでき、がたつきのない装着ができるという効果を奏する。

なお、識別プレート１Ａ、１Ｂは、たとえば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリブチテンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミドなどの熱可塑性樹脂等から構成することができる。これらの熱可塑性樹脂は、種々の着色剤を添加することで、識別プレートを複数の色ごとに着色させて形成することができる。このように着色された識別プレート１Ａ、１Ｂを基板収納容器１００に取り付けることにより、当該色の識別によって基板収納容器１００の行程あるいは仕様の種類を容易に区別することができるようになる。
（実施態様２）
図５は、本発明の基板収納容器の他の実施態様３を示す構成図で、基板収納容器１００を上方前面側から観た斜視図となっている。

図５において、基板収納容器１００は、たとえば、実施態様１に示したように、容器本体３の側壁面ＳＷ１と背壁面ＢＷの稜線部に、また、側壁面ＳＷ２と背壁面ＢＷの稜線部に、それぞれ、識別プレート１Ａ、識別プレート１Ｂが着脱自在に取り付けられたものとなっている。

そして、蓋体４の表面（外壁面）のほぼ中央部に、たとえば矩形状の凹部２３が形成され、この凹部２３内に識別プレート１Ｃ（前記識別プレート１Ａ、１Ｂに対して第２識別プレートと称する場合がある）が収納されている。この識別プレート１Ｃは、たとえば、識別プレート１Ａ、識別プレート１Ｂと同色に着色されて形成されている。識別プレート１Ｃもたとえば識別プレート１Ａ、識別プレート１Ｂと同材料で構成されている。

このようにした場合、作業員は、基板収納容器１００を、側壁面ＳＷ１、ＳＷ２、背壁面ＢＷの各側のみならず、正面（蓋体４）側から観た場合にも、識別プレート１Ｃを目視でき、当該識別プレート１Ｃの色の識別によって基板収納容器１００の行程あるいは仕様の種類を容易に区別することができるようになる。 また、基板収納容器１００を保管用ラック等に保管させる場合において、通常、基板収納容器１００は蓋体４側を正面にして保管する。この場合、作業員は、基板収納容器１００に取り付けられた識別プレート１Ｃを正面側から容易に確認でき、基板収納容器１００を容易に区別することができるようになる。

図６は、識別プレート１Ｃを基板収納容器１００から取り出した状態で示した平面図である。識別プレート１Ｃはたとえば水平方向に長手辺を有する矩形状からなり、短手辺のそれぞれにはたとえば２個の突出片２７を有し、それぞれの突出片２７には貫通孔２８が形成されている。

図７は、図５のVII−VII線における断面図である。識別プレート１Ｃは、蓋体４の凹部２３内に収納されているとともに、突出片２７は、前記凹部２３の側壁面に形成された孔２２を通して蓋体４の背面側に位置付けられるようになっている。また、蓋体４の背面側には突出片２７の貫通孔２８に嵌合し得る円筒突起２４が形成されている。この円筒突起２４は比較的高さが小さく形成されている。

可とう性からなる識別プレート１Ｃは、湾曲させながら蓋体４の凹部２３内に収納させることによって、突出片２７の貫通孔２８に円筒突起２４が嵌合され、容易に抜けることがないようになる。なお、識別プレート１Ｃを蓋体４から取り外す場合、識別プレート１Ｃを湾曲させながら外すようにすればよい。これにより、識別プレート１Ｃの係止片２６は円筒突起２４との嵌合が解除されるからである。
（実施態様３）
図８は、本発明の基板収納容器の他の実施態様３を示す構成図で、図１と対応づけて描いた図となっている。

図８において、図１の場合と異なる部分は、まず、識別プレート１Ａ、１Ｂのそれぞれにおいて、天壁面ＵＷ側の端部を天壁面ＵＷにまで延在する延在部１Ｑを設けたことにある。これにより、作業員が基板収納容器１００を天壁面ＵＷ側から観た場合にも、識別プレート１Ａ、１Ｂの着色を容易に把握することができる。

また、図８において、識別プレート１Ａ、１Ｂは、それぞれ、容器本体３の稜線部の長さ方向に対して、分割された複数のプレートで構成するようにしている。これにより、識別プレート１Ａ、１Ｂの材料の低減等を図ることができる。また、分割された複数のプレートに異なる色を着色させ、その色の組み合わせに応じて基板収納容器１００の行程、仕様の区別をするようにしてもよい。なお、このように容器本体３の同一の稜線部に沿って識別プレート１Ａあるいは１Ｂを複数に分割して形成する場合、識別プレート１Ａあるいは１Ｂを天壁面ＵＷにまで延在する構成としない場合においても、適用できることはいうまでもない。

さらに、識別プレート１Ａ、１Ｂは、稜線部の一端から他端にかけて伸長された長さの大きなプレートとして構成する必要はなく、当該稜線部の長さ方向
おける一部において長さの小さなプレートとして構成するようにしてもよい。
（実施態様４）
上述した実施形態では、識別プレート１Ａあるいは１Ｂは、容器本体３の背面壁面ＢＷと側壁面ＳＷ１、ＳＷ２との稜線部に取り付けるようにしたものである。しかし、これに限定されることはなく、他の稜線部に取り付けるようにしてもよい。すなわち、側壁面ＳＷ１、ＳＷ２と天壁面ＵＷとの稜線部、あるいは、側壁面ＳＷ１、ＳＷ２と底面との稜線部において取り付ける構成であってもよい。
（実施態様５）
上述した実施形態では、たとえば直径４５０ｍｍの半導体ウェーハからなる大型基板を収納できる基板収納容器について説明したものである。しかし、半導体ウェーハの大きさに限定されることはないことはいうまでもない。また、基板として、半導体ウェーハに限定されることはなく、たとえばマスクガラス等のような他の基板であってもよいことはいうまでもない。

以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

１００……基板収納容器、１Ａ、１Ｂ……識別プレート、１Ｑ……延在部（識別プレートの延在部）、３……容器本体、４……蓋体、４Ａ、４Ｂ……キー孔、５……サイドフォークリフトフランジ、６……位置決め用Ｖ溝、７……ロボテックフランジ、７ａ……位置決め用Ｖ溝、１２……係止部、１５ａ……支承リブ、１５ｂ……長孔、１６……係止片、１０……ボトムプレート、１５Ａ……支承リブ、１５Ｂ……長孔、２２……孔、２３……凹部、２４……円筒突起、２７……突出片、２８……貫通孔、ＵＷ……天壁面、ＳＷ１、ＳＷ２……側壁面、ＢＷ……背壁面。

Claims (7)

1. 開口を有し前記開口を通して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、
   前記容器本体の第１外壁面と前記第１外壁面と隣接する第２外壁面との稜線部に着色された第１識別プレートが、前記第１外壁面側および前記第２外壁面側に延在された幅を有して着脱自在に取り付けられていることを特徴とする基板収納容器。
2. 前記第１外壁面は、前記容器本体を前記開口側から観た場合の左右の各側壁面であり、前記第２外壁面は背側壁面であることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記第１識別プレートは、容器本体の天壁面側に延在されて取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記第１識別プレートが取り付けられる前記容器本体の前記稜線部はＲ加工され、前記識別プレートは前記Ｒ加工面に沿って湾曲されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
5. 前記第１識別プレートは、容器本体に形成された係止部に係止される係止片が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
6. 前記蓋体の外壁面に第２識別プレートが着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
7. 前記第２識別プレートは、前記蓋体に係止される突出片が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。

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