KR100545427B1 - 수송용기 - Google Patents

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신-에쓰 한도타이 가부시키가이샤
신-에쓰 포리마 가부시키가이샤
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Abstract

용기는 그의 정면측상에 개구를 갖는 박스형 구조이고 실리콘 웨이퍼를 정렬 수납하기 위한 수납 케이스를 구비하며, 다수의 끼워맞춤 슬롯이 정면 개구 근처의 내측 상부 및 하부면상에 형성된다. 또한, 용기는 수납 케이스의 정면 개구를 개폐하기 위한 FIMS 도어와, FIMS 도어의 림에 부착된 개스킷과, FIMS 도어가 부착될 때 결합 클로가 대응하는 끼워맞춤 슬롯내로 끼워맞춤되게 하고 FIMS 도어가 제거될 때, 결합 클로와 끼워맞춤 슬롯의 결합을 해제하기 위해 FIMS 도어내에 제공되는 래칭 기구와, FIMS 도어를 커버하기 위해 수납 케이스가 FIMS 도어로 밀폐되는 정면측상에 끼워맞춤되는 수송용 외측 도어를 포함한다.

Description

수송 용기{A SHIPPING CONTAINER}
본 발명은 실리콘 웨이퍼 등을 수납하기 위한 수송 용기에 관한 것이다.
종래의 수송 용기는, 도시하지는 않았지만, 상부가 개구된 수납 케이스와, 그 수납 케이스에 수납되는 실리콘 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 함)의 정확한 정렬을 위한 내측 상자와, 수납 케이스의 개구 상부에 개스킷을 통해 끼워맞춤되어 정렬용 내측 상자를 덮는 상부 도어와, 이 상부 도어의 내측 상부 표면에 부착되는 웨이퍼 가압 플레이트를 포함한다. 이에 따라 구성된 상부 개방형 수송 용기는 정렬을 위한 내측 상자내에 수직 배치된 복수의 웨이퍼를 유지하며 적절히 수송된다.
최근에, 개발비 및 제조비를 감소시키기 위해서, 웨이퍼의 규격 통일화가 진행되고 있다. 이에 의해 국제적으로 표준화된 수송 용기의 이용이 제안되고 있다. 이러한 표준화의 제안은, 위치설정의 향상 및 정밀 정렬[언로더(unloader)가 고속 접근을 수행하도록 함]을 필요로 하는 대구경 웨이퍼(가까운 미래에 300mm 이상 직경의 웨이퍼로 변천)의 개발과, 각종 비용의 절감 및 대구경 시스템의 개발 및 자동화를 고려하여 이루어져 왔다.
통일된 표준하에서 이러한 수송 용기는, 도시되지 않았지만, 정면이 개방된 수납 케이스와, 수납 케이스의 정면 개구를 개폐하는 정면-개방 인터페이스 기계 표준 도어(Front-Opening Interface Mechanical Standard door)(이하, FIMS 도어라고 함)와, 수납 케이스의 내주면상에 형성된 복수의 끼워맞춤 슬롯과, FIMS 도어가 부착될 때 결합 클로(claw)를 끼워맞춤 슬롯과 정합시키고, FIMS 도어가 제거될 때 끼워맞춤 슬롯과 결합 클로의 정합을 해제시키는 래칭 기구(latching mechanism)를 포함한다.
이러한 정면 개구형 수송 용기는 수직으로 배열된 복수의 웨이퍼를 수납하며, 이러한 수송 용기는 반도체 제조자로부터 IC 제조자까지 운송되어 각종 프로세서에 자동적으로 세팅된다. 계속해서, 래칭 기구는 작업 로봇에 의해 자동적으로 분리되어 FIMS 도어가 수납 케이스로부터 자동적으로 제거된 후에, 복수의 웨이퍼가 자동 방식으로 언로더에 의해 수납 케이스로부터 연속적으로 취출된다.
이러한 유형의 구성에 대한 종래 기술의 문헌은 일본 실용신안 출원 공개 공보 제 1988-82788 호, 일본 실용신안 출원 공개 공보 제 1988-166948 호, 일본 특허 출원 공개 공보 제 1996-279546 호 및 일본 특허 출원 공개 공보 제 1997-107025 호를 포함한다.
통일된 표준을 만족하는 수송 용기는 그와 같이 구성되며, 위치 정밀도의 향상 각종 비용의 절감 및 자동화의 촉진에 효과적이지만, 여전히 수송에 대한 문제를 초래한다. 구체적으로, 통일된 표준의 수송 용기는 공장내에서의 처리 지점간 수송에 충분히 효과적이지만, 반도체 제조자로부터 IC 제조자까지 항공기 또는 트럭을 사용한 장거리 수송의 경우에 용기가 다양한 외부 환경(비행중의 압력 변화 및 진동 등을 포함함)에 노출되기 때문에 FIMS 도어만으로는 충분한 밀폐성을 보장하기에 충분한 높은 강도를 제공할 수 없다. 결과적으로, 웨이퍼는 외부 공기의 유입에 의해 동반될 수 있는 이물질로 오염되거나 또는 유기 오염을 받을 수도 있어, 웨이퍼를 충분히 높은 품질로 유지할 수 없는 우려가 있다.
본 발명은 상기 문제점을 고려하여 이루어진 것이며, 따라서 본 발명의 목적은 수송 용기가 다양한 외부 환경에 노출되더라도 충분한 밀폐성을 유지하고 고품질로 내용물을 보유할 수 있는 수용 용기를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같이 구성된다.
본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 수송 용기는, 물품을 수납하기 위한 것으로, 그것의 일 측면상에 개구를 갖는 박스 형상의 수납 케이스와, 상기 수납 케이스의 개구 면을 개폐하는 내측 도어와, 상기 내측 도어에 제공되어 상기 수납 케이스와 내측 도어 사이의 간극을 밀봉하는 밀봉 부재와, 상기 내측 도어를 커버하기 위한 것으로, 폐쇄된 상기 수납 케이스의 개구의 면과 끼워맞춤되는 외측 도어를 포함한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 상기 제 1 실시예의 특징을 갖는 수송 용기는, 상기 외측 도어를 부착 및 고정하기 위한 클램핑 수단을 더 포함하며, 상기 클램핑 수단은 상기 수납 케이스의 외주면상에 제공되는 돌출부와, 상기 외측 도어가 상기 케이스에 끼워맞춤될 때 상기 돌출부와 결합하도록 상기 외측 도어의 림상에 제공되는 결합 부재를 구비한다.
본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 상기 제 1 실시예의 특징을 갖는 수송 용기는, 상기 외측 도어를 부착 및 고정하기 위한 클램핑 수단을 더 포함하며, 상기 클램핑 수단은 상기 수납 케이스의 외주면으로부터 돌출되는 제 1 대향 시트와, 상기 외측 도어가 상기 케이스에 끼워맞춤될 때 상기 제 1 대향 시트와 접촉하도록 상기 외측 도어의 림으로부터 돌출되는 제 2 대향 시트와, 상기 제 1 및 제 2 대향 시트를 유지하기 위한 파지 수단을 구비한다.
본 발명에서 불려지는 "물품(articles)"은 석영 유리, 기판, 반도체 웨이퍼와 같은 적어도 전기 및 전자 산업과 반도체 제조 산업에서 사용되는 다양한 얇은 플레이트를 포함한다.
본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 물품이 수송 용기를 사용하여 수송될 때, 정밀 웨이퍼 또는 다른 기판과 같은 물품을 수납하는 수납 케이스의 개방면은 내측 도어로 폐쇄 및 밀봉된다. 내측 도어가 잠긴 후에, 외측 도어가 선적을 허용하기 위해 내측 도어 위로 배치된다. 수송 용기는 항공기, 선박, 트럭 등과 같은 각종 유형의 수송 수단을 이용하여 수송될 것이다. 선적용 외측 도어가 밀봉 효과를 향상시키고 내측 도어의 변형 및 탈락을 방지하기 때문에, 용기는 외부 환경과 무관하게 충분한 기밀성을 확보할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 및 제 3 실시예에 따르면, 내측 도어가 잠긴 후에, 외측 도어는 수납 케이스의 개구가 내측 도어에 의해 밀폐되는 면을 클램핑 수단을 이용하여 커버하도록 세팅된다. 이러한 클램핑 수단을 이용하여 외측 도어를 부착함으로써, 외측 도어가 쉽게 풀어지는 것을 방지하며, 그에 따라 기밀성을 증대시킨다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 제 1 실시예에 따른 수송 용기는, 도 1에 도시된 바와 같이, 수납 케이스(1), FIMS 도어(6), 외측 도어(13) 및 클램핑 수단(14)을 포함한다. FIMS 도어(6)는 도 6을 참조하여 설명되고 도 7에 도시된 단면 구조(평면 100-101에서 절단됨)를 갖는 것과 같은 래칭 기구(8)를 그 안에 구비한다는 것을 인지해야 한다.
수납 케이스(1)는 정면측상에 개구를 갖는 정면 개구형의 박스 구성을 가지며, 폴리카보네이트(polycarbonate), 아크릴 수지(acrylic resin), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리아세탈(polyacetal), PEEK 또는 이들의 조합물과 같이 기계적 특성, 내오염성, 성형성이 우수한 수지로 구성되며, 필러 또는 첨가제가 전도성을 제공하도록 혼합된다. 이들 중, 우수한 투명도 및 기계적 강도를 갖는 폴리카보네이트가 가장 바람직하다.
이러한 수납 케이스(1)는, 개구 림에서 상부 및 하부 측면상에 일체형으로 형성되고 양 측면으로 연장되는 한 쌍의 플랜지(2)와, 케이스의 양 측면상에 형성되고 플랜지(2)와 일체형으로 형성되며 케이스의 상부 및 하부 에지를 따라 정면으로부터 배면으로 연장되는 플랜지(3)를 포함한다. 수납 케이스(1)는 양 측면상에 소정의 피치(예컨대, 10mm의 피치)로 그와 일체형으로 형성되는 복수의 정렬 리브(4)를 구비하여, 복수(예컨대, 25개)의 웨이퍼(도시하지 않음)가 소정 레벨(level)로 지지되어 수직으로 정렬 수납된다. 수납 케이스(1) 내측의 정면 개구 근처의 상부 및 하부상에는 소정의 간격을 갖는 끼워맞춤 슬롯(5)으로서 복수의 중공이 형성된다.
FIMS 도어(6)는 경사진 코너를 갖는 경량의 직사각형 플레이트로 구성되며 탄성중합체, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등으로 제조된다. 또한, 직사각형 개스킷(7)은 도어의 림 주위에 접착된다. 또한, FIMS 도어는 그것의 내측면상에 부착된 하나 또는 그 이상의 리테이너(32)를 가지며, 이 리테이너(32)는 웨이퍼가 정렬 리브 내부에서 이동하는 것을 방지하도록 규칙적인 간격으로 배열되는 치형 돌출부를 갖는다. FIMS 도어는 그 안에 래칭 기구(8)를 더 구비한다. 개스킷은 올레핀 탄성중합체, 폴리에스테르 탄성중합체, 스틸렌 탄성중합체, 실리콘 고무, 플루오르플라스틱 고무(fluoroplastic rubber) 등으로 제조된다. 리테이너(32)는 폴리에스테르 탄성중합체, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌 폴리부틸렌 테레프탈레이트(polyethylene polybutylene terephthalate) 등으로 제조된다. 이러한 래칭 기구(8)는, 도 1, 도 6 및 도 7에 도시되는 바와 같이 FIMS 도어(6) 내측에 설치되며, 복수의 링크 부재에 의해 수직으로 이동가능하게 지지되는 한 쌍의 플레이트(9)와, 이 한 쌍의 플레이트(9) 사이에 회전가능하게 배치되고, 래칭 기구의 외부 조작을 가능하게 하는 키 구멍(33)을 그것의 중앙에 갖는 디스크(10)와, 핀을 통해 디스크(10)와 플레이트(9)를 각각 연결하는 한 쌍의 이동가능한 로드형 요소(11)로 구성된다. 각각의 플레이트(9)는 대응하는 끼워맞춤 슬롯(5)에 끼워맞춤되도록 그의 상측 부분 또는 하측 부분으로부터 돌출한 결합 클로(12)를 갖는다. 여기서, FIMS 도어(6)는 하나 또는 2개의 키 구멍(33)을 구비하며, 래칭 기구(8)의 개수에 따라 달라진다.
외측 도어(13)는, 폴리카보네이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리아세탈, 아크릴 수지, PEEK 등과 같이 기계적 특성, 강성, 경도 및 성형성이 우수한 재료로 형성되거나 또는 금속 재료로 형성된다. 이러한 외측 도어(13)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 수납 케이스(1)의 개구 정면에 대응하도록 그의 양 측면상의 중앙 부분에 형성된 안쪽으로 오목한 부분을 구비한다.
클램핑 수단(14)은 끼워맞춤 돌출부(15), 결합 부재(16), 결합 돌출부(18) 및 결합 후크(19)와 같은 복수의 요소를 포함한다. 끼워맞춤 돌출부(15)는 삼각형 단면을 가지며, 몇개의 돌출부(15)가 수납 케이스(1)의 상부 및 하부상의 개구의 림에 근접하여 일체형으로 형성된다. 복수의 결합 부재(16)는 외측 도어(13)와 일체형으로 형성되며, 외측 도어(13)의 림의 상부 또는 하부면으로부터 각각 연장하며 사각형의 구멍(17)을 갖는다. 복수의 결합 돌출부(18)는 수납 케이스(1)의 좌우 측면상의 개구의 림에 근접하여 일체형으로 형성된다. 복수의 결합 후크(19)는 외측 도어(13)의 림의 좌우 측면상에 형성되며, 그 중앙 부분내의 오목부로부터 각각 연장된다. 또한, 이러한 후크(19)는 요동가능하게 형성되며, 미끄럼 방지 표면(20)을 갖는다.
상기 구성의 수송 용기가 반도체 제조자로부터 IC 제조자에게 수송하는데 사용될 때, 우선 다수의 슬라이스 웨이퍼가 수직으로 층을 이루어 정렬 수납된다. 그 후, FIMS 도어(6)는 수납 케이스(1)의 정면 개구에 자동적으로 끼워맞춤되며, 래칭 기구(8)의 디스크(10)는 작업 로봇에 의해 잠김 방향으로 자동적으로 회전된다. 이러한 이동에 따르면, 디스크(10)의 회전에 의해, 한 쌍의 플레이트(9)가 요소(11)를 통해서 상향 및 하향으로 미끄러져 결합 클로(12)가 대응하는 끼워맞춤 슬롯(5)내로 끼워맞추어짐으로써 FIMS 도어를 견고하게 잠그게 된다. 이러한 상태에서, FIMS 도어(6)는 개스킷(7)의 수축 반발력에 의해 수납 케이스(1)의 개구의 상부에 유지된다.
연속적인 이용하에서 개스킷의 밀봉 성능을 보장하기 위해서, 개스킷은 일본 공업 규격 JIS K6301A에 의해 규정된 시험 방법에서 80 이하 또는 바람직하게는 60 이하의 경도를 갖는 재료로 제조된다.
FIMS 도어(6)가 상기 방법으로 잠겨질 때, 외측 도어(13)에는 개스킷이 장착되거나, 또는 결합 부재(16)와 끼워맞춤 돌출부(15)를 수동 결합하고 결합 후크(19)와 결합 돌출부(18)를 결합함으로써 그 사이에 밀봉 고정되어, 용기를 수송할 수 있다. 이러한 방식에 있어서, 수송 용기는 적절하게 항공기 또는 트럭에 의해 반도체 제조자로부터 IC 제조자 등으로 수송될 것이다. 수송을 위한 외측 도어(13)의 인성 때문에, 용기는 효과적으로 밀봉 및 보호되어 충분히 높은 기밀성을 용이하게 확보함으로써 어떠한 외부 환경으로부터도 보호가 가능하다. 그 결과, 수송 시간이 길거나 그렇지 않음에 관계없이, 외부 공기가 용기내로 유입되는 것으로 인한 웨이퍼의 이물질 또는 유기 오염이 전혀 발생하지 않으며, 그에 따라 웨이퍼를 고품질로 유지하는 것이 가능하다.
수송 용기가 IC 제조자에게 도착한 경우에, 결합 부재(16)는 끼워맞춤 돌출부(15)로부터 해제되고, 결합 후크(19)가 결합 돌출부(18)로부터 손으로 해제됨으로써, 외측 도어(13)가 제거된다. 그 다음 용기는 오프너/로더(opener/loader)상에 세팅된다. 그 이후, 래칭 기구(8)내의 디스크(10)가 작업 로봇에 의해 풀림 방향으로 자동적으로 회전되어, 쌍을 이룬 플레이트(9)가 요소(11)를 통해서 상향 및 하향으로 미끄러지며, 결합 클로(12)가 끼워맞춤 슬롯(5)으로부터 후퇴하여 FIMS 도어(6)의 제거를 허용한다. 그 이후, FIMS 도어(6)는 수납 케이스의 정면으로부터 자동적으로 분리되며, 복수의 웨이퍼가 연속적으로 픽업된다. 이러한 작동 동안에, 웨이퍼는 그들의 자세가 수평으로 유지된 상태로 수직으로 배열되기 때문에, 수송 용기의 위치를 변경할 필요가 없으며, 그에 따라 현저하게 원활하고 효과적이며 용이한 작업을 달성하는 것이 가능하다.
다음에, 도 3은 본 발명의 제 2 실시예를 도시한다. 이 경우에, 클램핑 수단(14A)은 끼워맞춤 돌출부(15), 결합 부재(16), 제 1 대향 시트(opposing seat)(21), 제 2 대향 시트(22) 및 고정 요소(25)로 구성된다.
한 쌍의 제 1 대향 시트(21)는 수납 케이스(1)의 양측면상의 개구 림 근처에 일체형으로 볼록하게 형성되며, 그 각각의 정면상에는 올록볼록하게 노치면(24)이 형성된다. 또한, 제 2 대향 시트(22)는 외측 도어(13)의 양측면상에 일체형으로 볼록하게 형성되며, 그 각각에는 올록볼록하게 대응 노치면(23)이 형성된다. 외측 도어(13)의 노치면(23)과 제 1 대향 시트(21)의 노치면(24)은, 외측 도어가 장착 및 고정될 때 서로 끼워맞춤된다.
고정 요소(25)는 탄성중합체, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등으로 구성되어 가요성을 가지며, U자형 단면을 갖도록 형성된다. 외측 도어(13)가 장착 및 고정될 때, 이러한 요소는 제 1 및 제 2 대향 시트(21, 22)의 스카프의 말단 측면을 파지하는데 사용된다. 다른 구성은 상기 실시예에서 설명된 것과 동일하다.
이러한 장치에 있어서, FIMS 도어(6)가 잠긴 후에, 결합 부재(16)는 끼워맞춤 돌출부(15)와 수작업으로 결합되는 한편, 제 1 제 2 대향 시트(21, 22)를 수작업으로 서로 맞댄 후에, 고정 요소(25)가 외측 도어(13)의 고정을 보장하도록 부착된다. 따라서, 외측 도어(13)는 수송이 가능하도록 비교적 단순한 구성으로 장착되고 단단히 고정될 수 있다. 또한, 이러한 실시예는 상기 실시예에 기술된 것과 동일한 효과를 제공한다는 것이 명백하다.
다음에, 도 4는 본 발명의 제 3 실시예를 도시한다. 이러한 경우에, 클램핑 수단(14B)은 끼워맞춤 돌출부(15), 결합 부재(16), 제 1 대향 시트(21A), 제 2 대향 시트(22A) 및 파지 플레이트(27)로 구성된다.
한 쌍의 제 1 대향 시트(21A)는 수납 케이스(1)의 양 측면상의 개구 림 근처에 일체형으로 볼록하게 형성되며, 그 말단 측면에 원통형 결합 홈(26)(실질적으로 반원 단면을 가짐)이 형성된다. 또한, 제 2 대향 시트(22A)는 외측 도어(13)의 양 측면상에 일체형으로 볼록하게 형성되며, 그 말단 측면에 원통형 결합 홈(26A)(실질적으로 반원 단면을 가짐)이 형성된다. 각각의 파지 플레이트(27)는 탄성중합체, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등으로 구성되며, 본질적으로 가요성의 직사각형 플레이트이다. 이러한 플레이트는 대략 그 중앙에 U자형 슬롯(28)이 형성되어 내측 파지 요소(29)와 외측 파지 요소(30)를 분리하여 규정한다. 다른 구성은 상기 실시예에서 설명된 것과 동일하다.
이러한 장치에 있어서, FIMS 도어(6)가 잠겨진 후에, 결합 부재(16)가 끼워맞춤 돌출부(15)와 수작업으로 결합되는 한편, 제 1 및 제 2 대향 시트(21A, 22A)를 그 사이에 개스킷이 끼워진 상태로 수작업으로 서로 맞댄 후, 수납 케이스(1)의 측면상의 파지 플레이트(27)를 가압하여 내측 및 외측 파지 요소(29, 30) 사이에 결합 홈(26, 26A)을 유지하도록 파지 플레이트(27)가 부착되어, 외측 도어(13)의 고정을 확보한다. 따라서, 외측 도어(13)는 수송이 가능하도록 실질적으로 단순한 구성으로 장착 및 단단히 고정될 수 있다. 또한, 이러한 실시예는 상기 실시예에 기술된 것과 동일한 효과를 제공하는 것이 명백하다.
도 5는 클램핑 수단(14)이 회전 샤프트(31)를 갖는 제 4 실시예를 도시한다. 특히, 회전 샤프트(31)를 갖는 클램프는 외측 도어에 제거가능하게 끼워맞춤되어 클램프를 회전가능하게 유지할 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 클램프 부분은 외측 도어가 용기로부터 제거될 때 외측 도어와 결합된 채로 남아있으므로 분리된 클램프 부분의 안전 유지에 대한 필요가 없게 된다. 또한, 클램프 부분이 외측 도어의 세척 및 건조를 위해 제거될 수 있기 때문에, 이러한 구성은 세척 및 건조에 대한 작업성을 향상시키는 이점이 있다.
도 1의 수납 케이스(1)의 예를 이용하여 상기 실시예가 도시되었지만, 본 발명은 이러한 구성에 제한되지 않아야 된다. 예를 들면, 수납 케이스는 계란형 단면, 타원형 단면, 다각형 단면 등을 가질 수 있다. 또한, 수납 케이스는 반투명 구성으로 형성될 수도 있다. 또한, 적절하게 정렬 리브(4)의 개수를 증가 또는 감소시키는 것이 가능하다. 더욱이, 복수의 끼워맞춤 슬롯(5)은 수납 케이스(1) 내측의 상하 및 좌우 측면상에 제공될 수도 있다. 개스킷(7)은 재료, 개수, 형상 및/또는 구조에 대하여 적절하게 변경될 수도 있다. 래칭 기구(8)는 상기 구성에 제한되지 않아야 하며, 적절하게 변형될 수 있거나 또는 널리 주지된 구성(예컨대, 일본 특허 출원 공개 제 1992-505234 호에 개시됨)으로 적절하게 대체될 수도 있다.
예를 들면, 하나 또는 그 이상의 플레이트(9)가 FIMS 도어(6)의 내측 및/또는 그의 배면 측면에 제공될 수 있거나, 또는 하나 또는 그 이상의 결합 클로(12)가 플레이트(9)의 상하 및/또는 좌우 측면으로부터 적절하게 돌출될 수도 있다. 캠 요소, 나사 요소, 래크 및 피니언 등이 플레이트(9)를 미끄럼운동하는데 사용될 수도 있다. 래칭 기구(8) 대신에, 복수의 자석을 이용하는 개폐 기구가 사용될 수도 있다. 외측 도어(13)는 유사한 기능을 갖는 한 어떠한 재료, 어떠한 제조 방법, 어떠한 형상 또는 구성도 가능하다.
상기 실시예에 있어서, 모두 수동으로 작동되는 클램핑 수단(14, 14A, 14B)이 설명되었지만, 클램핑 수단은 이들에 제한되지 않아야 하며, 기계에 의해 자동적으로 조정될 수 있는 기계적 클램핑 수단일 수도 있다. 또한, 클램핑 수단은 상술된 것(14, 14A, 14B)에 제한되지 않아야 하며, 적절하게 변형될 수 있거나, 또는 널리 주지된 종래 기술의 구성(예컨대, 일본 실용신안 출원 공개 제 1988-166948 호 등에 개시됨)으로 교체될 수도 있다. 예를 들면, 제 2 및 제 3 실시예에서, 끼워맞춤 돌출부(15) 및 결합 부재(16)가 생략될 수도 있다. 변형예로서, 더브테일 이음 구성, 장부 구멍 및 장부(mortise and tenon) 구성 등과 같은 클램핑 수단이 사용될 수도 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 제 1 구성은 충분히 높은 기밀성을 유지하는데 효과적이며, 그에 따라 용기가 어떠한 외부 환경에 노출되더라도 고품질로 내용물을 보유한다.
또한, 본 발명의 제 2 및 제 3 구성은 외측 도어가 용이하게 탈거되며 또한 충분한 기밀성을 유지함으로써 고품질로 내용물을 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 수송 용기의 제 1 실시예를 도시하는 분해 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 수송 용기의 제 1 실시예를 도시하는 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 수송 용기의 제 2 실시예를 도시하는 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 수송 용기의 제 3 실시예를 도시하는 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 수송 용기의 제 4 실시예를 도시하는 사시도,
도 6은 도 1에 도시된 수송 용기의 FIMS 도어 내측의 래칭 기구를 도시하는 정면도,
도 7은 도 6의 100-101 섹션을 도시한 단면도.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 수납 케이스 2, 3 : 플랜지
4 : 정렬 리브 6 : FIMS 도어
7 : 개스킷 13 : 외측 도어

Claims (3)

  1. 수송 용기에 있어서,
    물품을 수납하기 위한 것으로, 그것의 일 측면상에 개구를 갖는 박스 형상의 수납 케이스와,
    상기 수납 케이스의 개구 면을 개폐하는 내측 도어로서, 상기 내측 도어를 로크 또는 언로크하기 위한 래칭 기구를 구비하는, 내측 도어와,
    상기 내측 도어에 제공되어 상기 수납 케이스와 내측 도어 사이의 간극을 밀봉하는 밀봉 부재와,
    상기 내측 도어를 커버하기 위한 것으로, 폐쇄된 상기 수납 케이스의 개구의 면과 끼워맞춤되는 외측 도어를 포함하는
    수송 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 외측 도어를 부착 및 고정하기 위한 클램핑 수단을 더 포함하며, 상기 클램핑 수단은 상기 수납 케이스의 외주면상에 제공되는 돌출부와, 상기 외측 도어가 상기 케이스에 끼워맞춤될 때 상기 돌출부와 결합하도록 상기 외측 도어의 림상에 제공되는 결합 부재를 구비하는
    수송 용기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 외측 도어를 부착 및 고정하기 위한 클램핑 수단을 더 포함하며, 상기 클램핑 수단은 상기 수납 케이스의 외주면으로부터 돌출되는 제 1 대향 시트와, 상기 외측 도어가 상기 케이스에 끼워맞춤될 때 상기 제 1 대향 시트와 접촉하도록 상기 외측 도어의 림으로부터 돌출되는 제 2 대향 시트와, 상기 제 1 및 제 2 대향 시트를 파지하기 위한 고정 수단을 구비하는
    수송 용기.
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