JPH08255826A - 半導体ウェーハ収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ウェーハの形状が変わっても保持力や作業性に
影響を与えることがなく、輸送中に受けるあらゆる方向
からの振動・衝撃を吸収してウェーハの清浄性を保持し
ながら安全に輸送することのできる半導体ウェーハ収納
容器を提供する。 【構成】この半導体ウェーハ収納容器は、これを構成す
る、上蓋１、容体２、内箱３、上部および下部緩衝板
９、10の内のいずれか、または２以上の部材間に伸縮性
膜13を張設し、この伸縮性膜13に半導体ウェーハＷの周
縁部の少なくとも一点を接触させることで、半導体ウェ
ーハＷを容器内に支持するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハ（以下、
ウェーハとする）を損傷、汚染から防いで安全に輸送し
保管し取り扱うのに有用なウェーハ収納容器に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】半導体単結晶棒をスライスしたウェーハ
は集積回路を作るためにユーザーに向けて大量に輸送す
る場合が多く、このとき薄くて脆いウェーハを損傷、汚
染から守るために十分な配慮が必要とされる。そこでウ
ェーハ収納容器として、例えば、特開昭48-21466号、実
開昭52−148043号および同58−175627号各公報に記載の
ように、容器本体の内側面に複数枚のウェーハを一定間
隔で分離配列するためのガイド手段を設けると共に、ウ
ェーハと容器本体および／または蓋体との間にフォーム
板、弾性緩衝板またはゴム状弾性棒状体等を、ガイド手
段を横切る方向に設けたものが提案された。これらの収
納容器は構造的に簡単な反面、外部の振動等によるウェ
ーハの損傷、汚染に対して完全なものとはいえず、また
ウェーハの収納容器への挿脱の自動化が困難である。

【０００３】このため、最近は図８に示されるような構
造の収納容器、すなわち収納する多数のウェーハＷを周
側縁で支持するひだ状の側壁ａを備えた内箱ｂと、内箱
ｂの内側底部に装着されてウェーハＷの下縁を支持する
下部緩衝板（受け台）ｃと、内箱ｂを所定の場所に収容
・係止する容器本体ｄと、パッキンｅを介して容器本体
ｄと係合し、この上面を被覆すると共に、内面に装着さ
れた上部緩衝板（ウェーハ抑え）ｆにより内箱ｂに収納
されたウェーハＷの上縁を保持する蓋体ｇとからなるも
のが広く使用されるようになってきている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記緩衝板には、上記
のほか円筒状、衝立状、三角柱状、蛇腹状等、種々の形
状のものが提案されているが、いずれもウェーハの直径
方向にかかる振動・衝撃に対しては緩衝能力を発揮する
ものの、ウェーハの厚み方向にかかる振動・衝撃に対し
ては不完全で、ウェーハの破損や微粒子の生成を抑制で
きず、ウェーハの清浄性を保持しながら安全に輸送する
には不十分であった。また、ウェーハＷの形状には、基
準位置を示す方式として、図２に示すような頂部の一部
にだけ切り欠きのあるノッチ式と、図１に示すような上
部がフラットになったオリフラ式とがあるため、上部緩
衝板の形状によっては両方式の保持力に差が生じ、一方
では満足しても他方ではウェーハの回転やガタつきによ
る発塵汚染が生ずるという問題があった。したがって、
本発明の目的は、ウェーハの形状が変わっても保持力や
作業性に影響を与えることがなく、輸送中に受けるあら
ゆる方向からの振動・衝撃を吸収してウェーハの清浄性
を保持しながら安全に輸送することのできる、ウェーハ
収納容器を提供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
の解決のため鋭意研究の結果、半導体ウェーハ収納容器
を構成する、上蓋、容体、内箱、上部および下部緩衝板
の内のいずれか、または２以上の部材間の適宜な部位
に、ウェーハを汚染から守って保持固定するのに十分な
強度、伸度を有する材料からなる伸縮性膜を設け、半導
体ウェーハを周縁部の少なくとも一点で保持するように
すれば、輸送中に受けるあらゆる方向からの振動、衝撃
を吸収してウェーハを破損や汚染から保護し、安全に輸
送できることを見出し、本発明に到達したものである。
すなわち、本発明によるウェーハ収納容器は、半導体ウ
ェーハ収納容器を構成する、上蓋、容体、内箱、上部お
よび下部緩衝板の内のいずれか、または２以上の部材間
に伸縮性膜を張設し、この伸縮性膜に半導体ウェーハの
周縁部の少なくとも一点を接触させることで、半導体ウ
ェーハを容器内に支持することを特徴とするものであ
る。

【０００６】以下、本発明のウェーハ収納容器の一実施
態様を示した図１に基づいて説明する。このウェーハ収
納容器は上蓋１と容体２および容体２に収納される内箱
３とから構成され、上蓋１と容体２のそれぞれの開口周
縁には帯状段部４、５があって、パッキン６を介して互
いに係合閉止できるようになっている。内箱３は幅方向
の縦断面が椀状をしていて、その椀側壁７、７の内側に
はウェーハＷの配列方向に多数のひだ８が互いに対称に
設けられていて、それぞれの隣接するひだ８、８間に各
ウェーハＷをその左右両側縁で個別に収容・支持し得る
ようになっている。一方、上蓋１の下面には上部緩衝板
９が、内箱３の内側底部には下部緩衝板10が嵌合爪11に
よって着脱自在に装着されている。上部および下部の両
緩衝板９、10としては、いずれもポリプロピレン製等の
枠12の少なくとも両側またはその全周にわたって、例え
ば、厚さ50μm 、比重1.20、引っ張り強さ 500kg/cm²、
破断伸び 520％（いずれもASTM規格による）の特性を有
するウレタンフィルム等の伸縮性膜13が、緩みを生じな
い程度の適度な張力をかけながら 160℃のヒートシール
温度で熱溶着されたものが用いられる。

【０００７】上部および下部の両緩衝板９、10の取付位
置は、ウェーハＷを収納した内箱３を容体２に収納した
際に、各ウェーハＷの頂縁または底縁が、伸縮性膜13の
下面または上面に接して、それぞれの収納溝において安
定的に納まる程度の高さであることが望ましい。また、
伸縮性膜13の両緩衝板９、10への取り付けには、ウェー
ハＷに対し最適な保持力となるようにするのがよく、一
般にはウェーハ１枚当たりの保持力が10ないし 1,000ｇ
程度が望ましく、例えば直径８インチのウェーハ25枚の
収納において、上下の緩衝板９、10に挟持された状態で
ウェーハ１枚当たり 200ｇとなるようにすればよい。

【０００８】内箱３の全部のひだ８、８間にウェーハＷ
を収納した後、この内箱３を容体２内に設置し、容体２
に上部緩衝板９を装着した上蓋１をかぶせていくと、図
２（ａ）に示すように、上部および下部緩衝板９、10に
張設された伸縮性膜13は、まず内箱３に収納された各ウ
ェーハＷの頂縁および底縁と接触し、さらに上蓋１を押
し込んでいくと、その押し込み量と共に伸縮性膜13はウ
ェーハＷの頂縁および底縁での接触面積が増え［図２
（ｂ）］、同時にウェーハＷにかかる保持力が増加し、
最後には上蓋１が容体２に嵌合した状態で、ウェーハ１
枚当たり 200ｇの設定保持力に達して密閉される［図２
（ｃ）］。この過程でウェーハＷの頂縁および底縁に接
触した伸縮性膜は、その接触部において、よく密着し、
その後の押し込みによっても、接触位置が移動すること
なくウェーハの周りにおける接触面積が増すことで、ウ
ェーハを保持していくため、収納中にウェーハと伸縮性
膜との相対的な移動が少なく、したがって、これらの摩
擦摩耗による微粒子汚染の発生を最小限に抑えられる。
こうして収納されたウェーハは、その配列位置を内箱の
溝によって規制されながら上下の緩衝板の伸縮性膜によ
って内箱の溝のクリアランスの範囲で外部から振動、衝
撃が吸収され、ウェーハを安全に搬送することができ
る。

【０００９】次に、本発明のウェーハ収納容器の別の実
施態様について説明する。図３（ａ）〜（ｄ）は、従来
広く用いられてきた図８に示すタイプのウェーハ収納容
器において、内箱ｂのひだａ、ａ間または内箱ｂの底部
に装着される下部緩衝板ｃの溝間に、本発明で適用され
る伸縮性膜を張設することにより、振動、衝撃に対する
吸収能を改善した例である。図３（ａ）〜（ｃ）に示す
ように、内箱３の椀側壁７の内面のひだ８、８間のウェ
ーハＷが接触する部分に伸縮性膜13を設けて、この伸縮
性膜13を介してウェーハＷを収納する。この内箱３を上
記ウェーハ収納容器の内箱ｂの代わりに使用すると、ウ
ェーハＷの周側縁は内箱３を構成する材料と直接接触す
ることがなくなるので、摩擦摩耗による微粒子発生の汚
染を低減すると共に、外部からの振動衝撃を吸収するこ
とができる。この構成は、図３（ａ）、（ｄ）に示され
る、多数の溝14を備えた下部緩衝板15にも同様に適用す
ることができ、上記ウェーハ収納容器の下部緩衝板ｃの
代わりに使用される。この場合は各ウェーハＷの底縁が
伸縮性膜を介して下部緩衝板15の各溝14に収納・支持さ
れることになる。

【００１０】同様のことは、図８のウェーハ収納容器の
上部緩衝板ｆにも適用して改造することができる。すな
わち、この上部緩衝板は、図４（ａ）〜（ｃ）に示すよ
うに、左右対称の櫛状片16の各櫛の先端部にあるウェー
ハ収納溝17に伸縮性膜13を設けたものである。また、同
じ上部緩衝板において、図４（ｃ）に示すように、左右
対称の櫛状片16の先端部間に伸縮性膜13を張設して、櫛
状片自体の弾性力と伸縮性膜の特性との二重の機能でウ
ェーハＷを保持することもできる。なお、前述した各ひ
だ８、８間または各溝14、17に設ける伸縮性膜13は、こ
れらの各々について設けてもよいし、隣接するひだ８ま
たは溝14、17を含む全表面を被覆して設けてもよい。ま
た、図３〜図４の各図に示した構成は、適宜組み合わせ
て用いてもよい。さらに、図１に示した構造の上部緩衝
板９または下部緩衝板10を、それぞれ図８に示した既存
の上部緩衝板ｆまたは下部緩衝板ｃに代えて使用するこ
とで、上記と同様の改善を図ることもできる。

【００１１】従来のウェーハ収納容器に用いられる既存
部品への伸縮性膜の応用例として、上蓋１または容体２
の内部に伸縮性膜13を介してウェーハＷの周縁を支持す
る既存部品を配設することもできる。図５（ａ）は上蓋
１および容体２の開口縁にそれぞれ伸縮性膜13ａ、13ｂ
を張設した後、ウェーハＷを収納した内箱３を、容体２
の伸縮性膜13ｂ面上より、これを介して押し込み、上蓋
１をすることで、ウェーハＷの上縁を伸縮性膜13ａで抑
えるようにしたものである。図５（ｂ）は同様の上蓋１
に上部緩衝板18を、容体２にウェーハＷを収納した内箱
３を、それぞれ伸縮性膜13ａ、13ｂを介して押し込み、
容体２に上蓋１をすることで、ウェーハＷの周縁を上部
緩衝板18と内箱３を介して伸縮性膜13ａ、13ｂで支持す
るようにしたものである。

【００１２】図示されていないが、図５（ａ）で用いた
のと同じ上蓋１および／または容体２に、ウェーハＷと
前述した上部緩衝板９および／または下部緩衝板10を、
伸縮性膜13ａおよび／または13ｂを介して押し込み、容
体２に上蓋１をすることで、ウェーハＷの周縁を上部緩
衝板９および／または下部緩衝板10を介して伸縮性膜13
ａ、13ｂで支持するようにすることもできる。図５
（ｃ）は、下面にウェーハＷの上縁を受け入れる円弧状
の溝を多数ウェーハＷの配列方向に連設した構造の上部
緩衝板19で、その左右両側縁が上蓋１の両側壁とそれぞ
れ伸縮性膜13ａを介して保持されるが、図５（ｂ）の上
部緩衝板18のように伸縮性膜13ａとウェーハＷの間に介
在させて用いてもよい。前述した上部緩衝板９、18、
ｆ、下部緩衝板10、15、ｃ、内箱３等も、この上部緩衝
板19と同様に、それぞれの両側縁を上蓋１、容体２の両
側壁とそれぞれ伸縮性膜13ａ、13ｂを介して保持するこ
ともできる。

【００１３】図６（ａ）〜（ｂ）は、図５に示したよう
に、上蓋１および容体２のそれぞれの両側壁に伸縮性膜
13ａ、13ｂを張設し、従来のウェーハ収納容器に用いら
れる既存部品を全く使用せずに、この両伸縮性膜13ａ、
13ｂ間にウェーハＷを直接介在させて保持する場合を示
している。この例では、上蓋、容体の内壁の適宜の位置
に伸縮性膜を張設して上下方向からウェーハを保持す
る。これは構造も簡単で、特に１枚入り等、少数のウェ
ーハを収納する容器として適している。

【００１４】このほか、容器にウェーハを個別に収納す
る方式として、図７（ａ）に示す細長い枠20に伸縮性膜
13を張った緩衝板21を、上蓋１および容体２のそれぞれ
の両側壁に取り付け、この２個の緩衝板21ａ、21ｂの伸
縮性膜13ａ、13ｂ間にウェーハＷを介在させて保持する
こともできる［図７（ｂ）参照］。図７（ｃ）〜（ｄ）
は細長い枠の側面形状をウェーハＷと近似する曲率の半
円部分を備えた旭日状や三角形状とした緩衝板22、23を
用いた場合であり、これによればウェーハＷに対し局部
的にストレスをかけることなく外周にわたって比較的均
一な荷重で保持することができる。このような枠20をウ
ェーハの厚み方向に必要数、重積・整列させた構造の緩
衝板24［図７（ｅ）参照］を用いれば、同時に多くのウ
ェーハを収納することもできる。

【００１５】図１および図２〜図７に示した各態様を要
約すれば次の通りである。 １）上蓋および容体の各々の側壁間に伸縮性膜が設けら
れ、２枚の伸縮性膜の間に半導体ウェーハが介在する請
求項１記載の半導体ウェーハ収納容器（図６）。 ２）半導体ウェーハが、内箱、上部緩衝板および下部緩
衝板の内の少なくとも１個の部材と共に介在する上記
１）記載の半導体ウェーハ収納容器（図５ａおよび
ｂ）。 ３）上蓋および容体の各々の側壁間に長方形状の枠体が
取り付けられ、この枠体の少なくとも両側に伸縮性膜が
張設されている上記１）記載の半導体ウェーハ収納容器
（図７ｂ）。 ４）長方形状の枠体が、半導体ウェーハと近似する曲率
の半円部を備えた旭日状の側面形状を呈する上記３）記
載の半導体ウェーハ収納容器（図７ｃ）。 ５）長方形状の枠体が、Ｖ字状の側面形状を呈する上記
３）記載の半導体ウェーハ収納容器（図７ｄ）。 ６）長方形状の枠体が、多数整列して柵状を呈し、各細
溝に伸縮性膜が張設されている上記３）記載の半導体ウ
ェーハ収納容器（図７ｅ）。

【００１６】７）上蓋および／または容体の各々の側壁
間に、それぞれ伸縮性膜を介して上部緩衝板、下部緩衝
板、内箱のいずれか一つが設けられている請求項１記載
の半導体ウェーハ収納容器（図５ｃ）。 ８）上部緩衝板として左右対称の櫛状片の先端部間に伸
縮性膜を設けたものを使用する請求項１記載の半導体ウ
ェーハ収納容器（図４ｃ）。 ９）内箱、上部緩衝板および下部緩衝板の内の少なくと
も１個の部材として、そのひだまたは溝間に伸縮性膜が
張設されているものを使用する請求項１記載の半導体ウ
ェーハ収納容器（図３、図４ａおよびｂ）。 10）上部緩衝板および／または下部緩衝板として、枠体
の少なくとも両側に伸縮性膜が張設されてなるものを使
用する請求項１記載の半導体ウェーハ収納容器（図
１）。

【００１７】これらの本発明で使用される伸縮性膜の材
質としては、例えば、ＰＥ、ＰＰ、セルロースアセテー
ト、フッ化エチレン、ポリカーボネート、ナイロン、ポ
リビニルアルコール、塩化ビニル、ポリスチレン、アイ
オノマー、ポリイミド、ポリウレタン等の熱可塑性プラ
スチック材料、シリコーンゴムをはじめとする各種ゴム
材料等の熱硬化性プラスチック材料等が挙げられる。こ
れらの内では、長時間の保持による変形や歪みが少ない
ものとして、特にウレタン、アイオノマーの膜（フィル
ム）が好ましい。これらは透明性もあるので、上蓋や容
体も透明材料とすれば、収納するウェーハを外部から透
視することもできる。また、外部からの振動、衝撃を吸
収するのに十分な柔軟性と強度を満たすための機械的特
性として、引っ張り強さが 100kg/cm²以上、とくには 3
00kg/cm²以上、破断伸びが 100％以上、とくには 300％
以上、引き裂き伝播が 10gm/25μm 以上、とくには 30g
m/25μm 以上、引き裂き強さが１kg/mm 以上、とくには
10kg/mm 以上、耐折強さが1,000 回以上、とくには10,0
00回以上のものが望ましい。

【００１８】ここで、引っ張り強さが 100kg/cm²未満の
ものでは、ウェーハを直接保持したり、内箱等の構成部
分を介して保持する場合に、それらの保持力や荷重が伸
縮膜の強度を超えて破断する恐れがある。破断伸びが 1
00％未満のものでは、ウェーハや構成部品を保持する際
に、十分な伸びのストロークが得られないために接触面
積が減り、保持が不十分となったり、外部から受ける振
動や衝撃を十分に吸収することができない。また、引き
裂き伝播が 10gm/25μm 未満では何らかの原因で伸縮膜
に亀裂が生じた場合にウェーハを支える保持力や構成部
品を支持する荷重によって亀裂が伝播し、収納するウェ
ーハを破壊する恐れがある。引き裂き強さが１kg/mm 未
満では、例えばウェーハのエッジ等鋭利な部分に接した
場合に伸縮膜が亀裂を生じてしまうし、耐折強さが 1,0
00回未満では繰り返しの使用に対しての実用性が低い。

【００１９】伸縮性膜の製造に当たっては、材料の純度
をできるだけ高め、ウェーハに与える影響を最小にする
のが望ましい。伸縮性膜の成膜には、押出し、キャステ
ィング、ブロー、延伸等のいずれの方法でもよい。伸縮
性膜の容器の各構成部品における固定方法としては、熱
溶着や超音波溶着のほか、接着剤の使用、各種の機械的
方法等が挙げられる。伸縮性膜の緊張度はウェーハまた
は構成部品の装着に際して受ける荷重に応じて調整され
る。より大きな荷重が必要とされるときは、伸縮性膜に
細孔を穿ち、伸縮性膜内外のガスの流通を保ったり、伸
縮性膜を介する一方の領域に加圧流体を挿入する等の手
段を講ずることもできる。本発明のウェーハ収納容器に
用いられる伸縮性膜以外の上蓋、容体等の構成部材は、
内外圧の変化や衝撃等に対応できるよう、必要に応じて
リブを備えた強靭な構造体とし、その製作には内容物が
透視可能なポリカーボネート、ポリプロピレンまたはア
クリル等の樹脂からなる剛性の高い材質のものが一般に
採用される。

【００２０】

【作用】本発明のウェーハ収納容器によれば、 伸縮性膜が、すべての方向の衝撃、振動を吸収するサ
スペンションの機能を果たし、ウェーハを安全に保持、
固定する。また、ウェーハと面接触となるため、ウェー
ハと伸縮膜との相対的移動が少なくなるほかウェーハと
の接触面積が増加する。このため、単位面積当たりの接
触圧力が低下して凝集・摩耗が抑制され、微粒子の発生
量が低減する。 伸縮性膜はウェーハやその他の部品のどの部分の形状
にも追随するため、複雑な寸法、形状設計が不要な上、
位置決めが容易である。

【００２１】

【実施例】図１に示した本発明のウェーハ収納容器につ
いて、次の方法により評価した。 上蓋の開閉によるパーティクル数の変化：まず、清浄
なウェーハ25枚の各表面について、表１に示す粒径ラン
クごとのパーティクル数を市販のパーティクルカウンタ
ーにより測定し、その平均値を試験前のパーティクル数
とした。次に、これらのウェーハを上記ウェーハ収納容
器の内箱に収納し、上蓋の開閉を10回行った後、上記と
同様に各ウェーハの表面の粒径ランクごとのパーティク
ル数を測定し、その平均値を蓋開閉試験後のパーティク
ル数として、この値から試験前のパーティクル数を差し
引いた値を、蓋開閉動作によるパーティクル増加数とし
たところ、表１に示す結果が得られた。これより、本実
施例では0.10μm以上の粒径において増加数が０であっ
た。比較例として、図８に示すウェーハ収納容器につい
て上記と同様の蓋開閉試験を行い、パーティクル増加数
の測定を行ったところ、0.10〜0.14μm の粒径ランクに
おいて10個の増加が認められた。なお、これらの試験は
いずれもクリーンルーム内で行った。

【００２２】

【表１】

【００２３】輸送試験によるパーティクル数の変化：
試験で用いた上記実施例の容器と比較例の容器につい
て、ポリプロピレン製シートにより容器外形に合わせて
成形した緩衝材を容器の上下から挟み込み、これをさら
に段ボールケースに入れたものを、東京〜九州間の往復
航空輸送に供した後、開封して輸送後のパーティクル数
を測定し、と同様に輸送によるパーティクル増加数を
求めたところ、表２に示す結果が得られた。実施例では
0.10μm 以上の粒径において増加数が０であり、比較例
では0.10〜0.14μm の粒径ランクにおいて17個の増加が
認められた。これより本発明のウェーハ収納容器では従
来の容器と比べて輸送中の微粒子の発生を低減できるこ
とが分かった。

【００２４】

【表２】

【００２５】振動試験：試験で用いた上記実施例の
容器と比較例の容器とを加振機に載せ、バンドで固定
し、片振幅0.75mm、周波数10Hz→55Hz→10Hz（掃引60
秒）、加振時間10分の条件で振動を与えた。振動付加
後、ウェーハの隣接溝への移動やウェーハ外周方向への
２°以上の回転等の不良発生状況を目視にて確認し、収
納したウェーハ枚数中の不良発生枚数で表した。収納容
器の加振機への取り付け方向は、ウェーハ表面が加振機
平面と垂直になる正立方向と水平になる横置き方向の２
方向で試験し、結果を表３に示した。これより本発明の
ウェーハ収納容器では、従来の容器に比較して、特に横
置き方向における不良発生が少なかった。

【００２６】

【表３】

【００２７】衝撃試験：試験で用いた上記実施例の
容器と比較例の容器とに、の輸送試験と同様の外装を
施し、これを落下させるコンクリート面に対して、容器
の底面が対面する正立方向、ウェーハ表面が垂直となる
横置き方向（横置き１）、同じく水平となる横置き方向
（横置き２）、上蓋の上面が対面する倒立方向の各方向
において、最初にコンクリート面より25cmの高さから自
然落下させ、順次25cm高さを上げて行き、ウェーハの隅
接溝への移動やウェーハ外周方向への２°以上の回転等
の不良が発生した高さを記録し、結果を表４に示した。
これより本発明のウェーハ収納容器では、従来の容器に
比較して、特に横置き方向１、２において、より高い落
下位置まで不良が発生しなかった。なお、本実施例にお
いて下部緩衝板を取り除き、上部緩衝板だけの構成とし
たり、伸縮性膜の設置についても、枠の全周でなく、対
向する２辺の位置だけでの固定、さらに伸縮性膜の幅も
緩衝板全面でなく必要な一部分の幅だけにしても同様の
効果が得られた。

【００２８】

【表４】

【００２９】

【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器は、 伸縮性膜でウェーハを直接または間接的に保持する構
造としたことにより、輸送中に受けるあらゆる方向から
の振動・衝撃を吸収してウェーハを破損や汚染から保護
し、安全に輸送できる。 ウェーハを伸縮膜により直接接触保持する場合には、
ウェーハ収納時の伸縮膜とウェーハとの相対的移動によ
る微粒子の発生を最小限に抑え、汚染の低減に寄与す
る。 ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、比
較的簡単な構造でウェーハを確実に保持・固定・輸送す
ることができる。 外部からの振動、衝撃に対する抵抗力が大きいため、
外部包装を簡略化することが可能となり、輸送コストの
低減に寄与する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェーハ収納容器の一実施態様を示す
分解斜視図である。

【図２】（ａ）〜（ｃ）は、図１に示したウェーハ収納
容器における、ウェーハの上部および下部緩衝板に対す
る挙動を作業順に示す縦断面説明図である。

【図３】本発明のウェーハ収納容器の別の実施態様に係
り、図（ａ）は用いられる内箱の縦断面説明図、図
（ｂ）および図（ｃ）は内箱の椀側部における部分拡大
平面図、図（ｄ）は下部緩衝板の平面図である。

【図４】本発明のウェーハ収納容器のさらに別の実施態
様に係り、図（ａ）は用いられる上部緩衝板の部分正面
図、図（ｂ）は図（ａ）の側面図、図（ｃ）は上部緩衝
板の別の実施態様を示す部分正面図である。

【図５】それぞれ本発明のウェーハ収納容器の他の異な
る実施態様に係り、図（ａ）および図（ｂ）は縦断面
図、図（ｃ）は斜視図である。

【図６】本発明のウェーハ収納容器のさらに他の実施態
様に係り、図（ａ）は縦断面図、図（ｂ）は図（ａ）の
Ｂ−Ｂ線における横断面図である。

【図７】図（ａ）は本発明のウェーハ収納容器における
部材の一例についての平面図、図（ｂ）〜（ｄ）はそれ
ぞれ本発明のウェーハ収納容器のさらに他の異なる実施
態様についての縦断面図、図（ｅ）は他の異なる部材に
ついての平面図である。

【図８】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。

【符号の説明】

１‥上蓋、 ２‥容体、
３‥内箱、４、５‥帯状段部、 ６‥パッキ
ン、 ７‥椀側壁、８‥ひだ、 ９、1
8、19‥上部緩衝板、 10、15‥下部緩衝板、11‥
嵌合爪、 12、20‥枠、 13‥
伸縮性膜、14、17‥溝、 16‥櫛状片、
21、22、23、24‥緩衝板、Ｗ‥ウェーハ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウェーハ収納容器を構成する、上
   蓋、容体、内箱、上部および下部緩衝板の内のいずれ
   か、または２以上の部材間に伸縮性膜を張設し、この伸
   縮性膜に半導体ウェーハの周縁部の少なくとも一点を接
   触させることで、半導体ウェーハを容器内に支持するこ
   とを特徴とする半導体ウェーハ収納容器。