JP2002076106A

JP2002076106A - ボックス開閉装置

Info

Publication number: JP2002076106A
Application number: JP2000256686A
Authority: JP
Inventors: Akira Narizumi; 顕成住; Koichi Sugano; 菅野　　孝一; Yoshihisa Shitani; 佳久志谷
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2000-08-28
Filing date: 2000-08-28
Publication date: 2002-03-15

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】開閉に際し、精度良く蓋部、底部を嵌合で
き、発塵の少ない、ボックス開閉装置、特にコストが安
価な手動式開閉装置を提供する。【解決手段】ボックスの底部を、その上に載置し、ボ
ックスの蓋部と底部との開閉のロック、あるいはロック
の解除を行う、ロック操作部１３０を備えた、底部の台
座であるステージ部１１０と、ボックスの蓋部をその上
に載置して支持する蓋部の台座１２０と、ボックスを設
置するステージの周辺部に設けた複数の支柱１４０と、
支柱に沿い取り付けたリニアガイド１５０とを有し、且
つ、蓋部の台座は、底部の台座であるステージ部上に、
リニアガイドに上下移動可能に保持されており、リニア
ガイドにより蓋部の台座を上下移動させることにより、
ボックスの開閉を行なうものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、標準機械的インタ
ーフエースＳＭＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎ
ｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）機構等のロック機構が
組み込まれている蓋部と底部とを合わせ、密閉した状態
で、その中に製品を保持し、搬送、保管するためのボッ
クスを、開閉する開閉装置に関し、特に搬送、保管され
る製品が、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基
板、ウエハ等の薄板状の製品であるボックスの開閉装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子（チップ）の高密度化
は激しく、０．３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの
量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５
６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。更に、最近
では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４
ＭＤＲＡＭを０．２５設計ルールまで微細化して、ある
いは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８設計ルールまで微細
化してチップ縮小化を行っている。仮に、６４ＭＤＲＡ
Ｍを０．２μｍ設計ルールとすると、約１６ＭＤＲＡＭ
と同じチップ寸法となり、ビットコストは１６Ｍの約１
／４になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置
でコスト低減が達成されることとなる。０．１８μｍ設
計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍ設
計ルールが開発完了予定とされている。このような中、
ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、
ますます高精度、高品質のものが求められるようになっ
てきた。

【０００３】このため、半導体素子を形成するためのレ
チクル、およびこれらを作製するためのマスク（以降、
これらを総称してフォトマスク呼ぶ）や、これに用いら
れるマスクブランクス、ガラス基板等の製品について
は、その保管、搬送についても、品質的に悪影響がでな
い方法が求められるようになってきた。このため、これ
ら製品を搬送、保管する際には、専用のボックスを使用
することが多くなってきた。人手により専用ボックスを
開閉すると、人からの発塵があり、これに対応し、専用
ボックスの開閉を自動で行なうことができる自動ボック
ス開閉装置も市場に出回ってきている。しかし、自動ボ
ックス開閉装置は高価なこと、作業者による製品の取り
出しが容易でないことから、自動ボックス開閉装置の故
障、メンテナンスの際には、ボックスから製品を取り出
すために手動式開閉装置を使用している。手動式開閉装
置はボックスのロックの開閉機構のみを備えたもので、
ボックスの開閉時に人等からの発塵により、内容物が汚
染されたり、ボックスの蓋部と底部との組み合わせ時に
本来の接合部ではないところで接触してしまい、発塵に
よる製品の汚染や接触による製品の破損などの危険があ
った。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、近年の半
導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブラ
ンクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品にもます
ます高品質が求められる中、これらの製品を保管、搬送
するボックスの開閉装置においては、ボックスの開閉に
際し、精度良く蓋部、底部を嵌合でき、発塵の少ないも
の、特にコストが安価な手動式開閉装置が求められてい
た。本発明は、これに対応するもので、フォトマスク、
マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製
品を、搬送、保管するためのボックス（ケースないしコ
ンテナとも言う）の開閉装置であって、開閉に際し、精
度良く蓋部、底部を嵌合でき、発塵の少ない、ボックス
開閉装置、特にコストが安価な手動式開閉装置を提供し
ようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のボックス開閉装
置は、標準機械的インターフエースＳＭＩＦ（Ｓｔａｎ
ｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃ
ｅ）機構等のロック機構が組み込まれている蓋部と底部
とを合わせ、密閉した状態で、その中に製品を保持し、
搬送、保管するためのボックスを、開閉する開閉装置で
あって、ボックスの底部を、その上に載置し、ボックス
の蓋部と底部との開閉のロック、あるいはロックの解除
を行う、ロック操作部を備えた、底部の台座であるステ
ージ部と、ボックスの蓋部をその上に載置して支持する
蓋部の台座と、ボックスを設置するステージの周辺部に
設けた複数の支柱と、前記支柱に沿い取り付けたリニア
ガイドとを有し、且つ、蓋部の台座は、底部の台座であ
るステージ部上に、リニアガイドに上下移動可能に保持
されており、リニアガイドにより蓋部の台座を上下移動
させることにより、ボックスの開閉を行なうものである
ことを特徴とするものである。そして、上記において、
蓋部、底部に設けられたロック機構は、標準機械的イン
ターフエースＳＭＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａ
ｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）機構であり、ロック
操作部は、底部からボックスに嵌合するピンを設け、ボ
ックスに嵌合したピンを回転することにより、ボックス
の蓋部と底部との開閉のロック、あるいはロックの解除
を行うものであることを特徴とするものであり、ピンの
回転は、ピン部を保持する軸を回転させて行なうもの
で、底部の台座であるステージ下側で、軸から装置外側
に向けて伸びている、手動でピン部を保持する軸を回転
できる取っ手を設けていることを特徴とするものであ
る。そしてまた、上記において、蓋部の台座を上下移動
させるリニアガイドをボックス側と分離するための分離
板を設けていることを特徴とするものである。また、上
記において、底部の台座であるステージ部にクリーンエ
アーを導入する外気取り入れ口を設けていることを特徴
とするものである。また、上記において、ボックスの中
に保持し、搬送、保管される製品が、フォトマスク、マ
スクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品
であることを特徴とするものである。

【０００６】また、標準機械的インターフエースＳＭＩ
Ｆ機構とは、標準機械的インターフエースＳＭＩＦシス
テムに適合した、底部、蓋部のロック、取外し機構を備
えていることを意味する。

【０００７】

【作用】本発明のボックス開閉装置は、このような構成
にすることにより、フォトマスク、マスクブランクス、
ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、搬送、保管す
るためのボック（スケースないしコンテナとも言う）の
開閉装置で、開閉に際し、精度良く蓋部、底部を嵌合で
き、発塵の少ない、ボックス開閉装置の提供、特にコス
トが安価な手動式開閉装置の提供を可能にしている。こ
れにより、近年の半導体素子の高集積化に対応できる品
質を確保できるものとしている。具体的には、標準機械
的インターフエースＳＭＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅ
ｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅ）機構等のロッ
ク機構が組み込まれている蓋部と底部とを合わせ、密閉
した状態で、その中に製品を保持し、搬送、保管するた
めのボックスを、開閉する開閉装置であって、ボックス
の底部を、その上に載置し、ボックスの蓋部と底部との
開閉のロック、あるいはロックの解除を行う、ロック操
作部を備えた、底部の台座であるステージ部と、ボック
スの蓋部をその上に載置して支持する蓋部の台座と、ボ
ックスを設置するステージの周辺部に設けた複数の支柱
と、前記支柱に沿い取り付けたリニアガイドとを有し、
且つ、蓋部の台座は、底部の台座であるステージ部上
に、リニアガイドに上下移動可能に保持されており、リ
ニアガイドにより蓋部の台座を上下移動させることによ
り、ボックスの開閉を行なうものであることにより、こ
れを達成している。更に具体的には、蓋部、底部に設け
られたロック機構は、標準機械的インターフエースＳＭ
ＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎ
ｔｅｒｆａｃｅ）機構であり、ロック操作部は、底部か
らボックスに嵌合するピンを設け、ボックスに嵌合した
ピンを回転することにより、ボックスの蓋部と底部との
開閉のロック、あるいはロックの解除を行うものであ
り、ピンの回転を、ピン部を保持する軸を回転させて行
なうもので、底部の台座であるステージ下側で、軸から
装置外側に向けて伸びている、手動でピン部を保持する
軸を回転できる取っ手を設けていることにより、これを
達成している。

【０００８】即ち、支柱に沿い取り付けたリニアガイド
により蓋部の台座を上下移動させ、ボックスの開閉を行
なうものであることにより、開閉の際の、蓋部と底部の
嵌合位置精度を、精度良く保つことを可能としている。
また、蓋部の台座を上下移動させるリニアガイドをボッ
クス側と分離するための分離板を設けていることによ
り、更には、底部の台座であるステージ部にクリーンエ
アーを導入する外気取り入れ口を設けていることによ
り、発塵の影響を少ないものとしている。特に、手動で
ピン部を保持する軸を回転できる取っ手を設けているこ
とにより、高価な市販の自動開閉装置とは異なり、コス
ト的に有利な手動の開閉装置の提供を可能としている。

【０００９】尚、本発明のボックス開閉装置は、基本的
には自動化も可能であるが、手動で開閉を行なう装置と
した場合に、コスト的に有利となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明のボックス開閉装置の実施
の形態例を、図に基づいて説明する。図１は、本発明の
ボックス開閉装置の実施の形態の１例の概略図で、図２
はボックスの蓋部、底部を開いた状態で保持したボック
ス開閉装置の図で、図３はボックスの蓋部、底部を閉じ
た状態で保持したボックス開閉装置の図で、図４はクリ
ーンエアーを導入する外気取り入れ口、クリーンエアー
の流れを示した一断面図である。図１〜図４中、１０５
は製品取り出し口、１１０はステージ部、１１１は（底
部の）位置決めピン、１２０は蓋部台座、１２５は（蓋
部台座の）止め治具、１３０はロック操作部、１３１は
ピン、１３２は回転台座、１３５は取っ手、１４０は支
柱、１５０はリニアガイド、１６１は（蓋部の）押え治
具、１６２は（蓋部の）位置決め治具、１７１、１７２
は分離板（遮蔽板とも言う）、１８０は昇降取っ手、１
９０は支柱、２１０は底部、２２０は蓋部、４１０は整
流板、４１５は外気取り入れ口、４２０はクリーンエア
ーである。

【００１１】本例は、標準機械的インターフエースＳＭ
ＩＦ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎ
ｔｅｒｆａｃｅ）機構のロック機構が組み込まれている
蓋部２２０と底部２１０とを合わせ、密閉した状態で、
その中に製品（図示していない）を保持し、搬送、保管
するためのボックスを開閉するボックス開閉装置で、ボ
ックスの底部２１０を、その上に載置し、ボックスの蓋
部２２０と底部２１０との開閉のロック、あるいはロッ
クの解除を行う、ロック操作部１３０を備えた、底部２
１０の台座であるステージ部１１０と、ボックスの蓋部
をその上に載置して支持する蓋部の台座１２０と、ボッ
クスを設置するステージ１１０の周辺、四隅に設けた４
本の支柱１４０と、支柱１４０に沿い取り付けられたリ
ニアガイド１５０とを有するものである。そして、蓋部
２２０の台座１２０は、底部２１０の台座であるステー
ジ部１１０上に、リニアガイド１５０に上下移動可能に
保持されており、リニアガイド１５０により蓋部２２０
の台座１２０を上下移動させることにより、ボックスの
開閉を行なうものである。ステージ部１１０は水平方向
にその面を持ち、支柱１４０は略鉛直方向に設けられて
いる。

【００１２】蓋部２２０、底部２１０に設けられたロッ
ク機構は、標準機械的インターフエースＳＭＩＦ（Ｓｔ
ａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒｆａ
ｃｅ）機構のものであり、ロック操作部１３０は、底部
２１０からボックスに嵌合するピン１３１を設け、ボッ
クスに嵌合したピン１３１を回転することにより、ボッ
クスの蓋部２２０と底部２１０との開閉のロック、ある
いはロックの解除を行うものである。本例においては、
ピン１３１の回転は、ピン部を保持する軸（図４の１３
７）を回転させて行なうもので、底部２１０の台座であ
るステージ１１０下側で、軸１３７から装置外側に向け
て伸びている、取っ手１３５を手動で回転させることに
より、軸１３７を回転させて行なう。尚、取っ手１３５
は蓋部２２０の台座１２０と一体的に繋がっている。

【００１３】また、本例においては、蓋部２２０と底部
２１０との開閉のロックが解除された状態で、昇降取っ
手１８０を手動でリニアガイド１５０に沿い移動させる
ことにより、ボックスの開閉を行なう。

【００１４】本例の開閉装置の動作の１例を図２、図３
に基づいて、さらに説明する。はじめに、製品が入って
いるボックスを開く動作を説明する。先ず、図３に示す
ように、蓋部の台座１２０がリニアガイド１５０に沿い
支柱１４０の上部に押し下げられた状態で、閉じられ、
開閉のロックがされ、製品（図示していない）が入って
いるボックスをステージ部１１０の所定位置に置く。底
部２１０の位置合せは、底部２１０の位置決めピン１１
１により行ない、蓋部の位置合せは、蓋部２２０の位置
決め治具１６２により行なう。この後、押え治具１６１
により、蓋部２２０を固定する。次いで、ロック操作部
１３０により開閉のロックを解除する。手動の取っ手１
３５を所定の方向に回転させることにより、ボックスに
嵌合したピン１３１を回転させてロックを解除する。次
いで、ボックスが開いている状態で、台座１２０と一体
的に連結している手動式の取っ手１８０により、作業者
は、図２のように、蓋部２２０の台座１２０をリニアガ
イド１５０に沿い移動させ、支柱１４０の上部に押し上
げ、蓋部台座の）止め治具１２５で、分離板１７１（１
７２）の上端面に止め、台座１２０位置を固定する。こ
の状態で、製品取り出し口１０５より製品を取り出す。

【００１５】次いで、製品をボックスにセットする動作
を説明する。上記、製品取り出し口１０５より製品を取
り出した状態で、新たに製品をセットする。製品を底部
２１０上にセットした（図示していない）後、止め治具
１２５をはずし、手動で取っ手１８０を動かし、蓋部２
２０を載せた台座１２０をリニアガイド１５０に沿い移
動させ、支柱１４０の下部まで押し下げる。そして、押
え治具１６１により、蓋部２２０を固定し、図３に示す
状態とした後、手動で取っ手１３５を所定方向に回転い
て、ピン１１１を回転させ、ボックス開閉のロックをす
る。この後、押え治具１６１をはずし、蓋部２２０と底
部２１０が閉じたボックスをステージ部１１０からはず
し、搬送、保管のために移動させる。

【００１６】本例の場合、蓋部２２０の台座１２０を上
下移動させるリニアガイド１５０をボックス側と分離す
るための分離板１７１、１７２を設けているため、図２
に示すように蓋部２２０が、支柱の上部に押し上げられ
た台座１２０上にあり、ボックスが開いた状態におい
て、図４に示すように、クリーンエアー４２０は、開閉
装置の、製品取り出し口１０５と対向する側外部に取り
付けた外気取り入れ口４１５から導入されると、クリー
ンエアー４２０は点線矢印の方向に流れる。即ち、製品
取り出し口１０５から開閉装置外に向かいクリーンエア
ー４２０が流れているため、人に起因する発塵が開閉装
置に入ることはなく、製品の清浄度が保たれることとな
る。尚、４１０は、クリーンエアー４２０を導く整流板
である。また、このように、分離板１７１、１７２を設
けていることにより、リニアガイド部からの発塵もボッ
クス側に入ることはない。

【００１７】

【発明の効果】本発明は、上記のように、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状
の製品を、搬送、保管するためのボック（ケースないし
コンテナとも言う）の開閉装置であって、開閉に際し、
精度良く蓋部、底部を嵌合でき、発塵の少ない、ボック
ス開閉装置の提供、特にコストが安価な手動式開閉装置
の提供を可能とした。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のボックス開閉装置の実施の形態の１例
の概略図

【図２】ボックスの蓋部、底部を開いた状態で保持した
ボックス開閉装置の図

【図３】ボックスの蓋部、底部を閉じた状態で保持した
ボックス開閉装置の図

【図４】クリーンエアーを導入する外気取り入れ口、ク
リーンエアーの流れを示した一断面図

【符号の説明】

１１０ステージ部１１１（底部の）位置決めピン１２０蓋部台座１２５（蓋部台座の）止め治具１３０ロック操作部１３１ピン１３２回転台座１３５取っ手１４０支柱１５０リニアガイド１６１（蓋部の）押え治具１６２（蓋部の）位置決め治具１７１、１７２分離板（遮蔽板）１８０昇降取っ手１９０支柱２１０底部２２０蓋部４１０整流板４１５外気取り入れ口４２０クリーンエアー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者志谷佳久東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 CA07 DA08 EA12 EA20 NA16 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】標準機械的インターフエースＳＭＩＦ
（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔｅｒ
ｆａｃｅ）機構等のロック機構が組み込まれている蓋部
と底部とを合わせ、密閉した状態で、その中に製品を保
持し、搬送、保管するためのボックスを、開閉する開閉
装置であって、ボックスの底部を、その上に載置し、ボ
ックスの蓋部と底部との開閉のロック、あるいはロック
の解除を行う、ロック操作部を備えた、底部の台座であ
るステージ部と、ボックスの蓋部をその上に載置して支
持する蓋部の台座と、ボックスを設置するステージの周
辺部に設けた複数の支柱と、前記支柱に沿い取り付けた
リニアガイドとを有し、且つ、蓋部の台座は、底部の台
座であるステージ部上に、リニアガイドに上下移動可能
に保持されており、リニアガイドにより蓋部の台座を上
下移動させることにより、ボックスの開閉を行なうもの
であることを特徴とするボックス開閉装置。
【請求項２】請求項１において、蓋部、底部に設けら
れたロック機構は、標準機械的インターフエースＳＭＩ
Ｆ（ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｔ
ｅｒｆａｃｅ）機構であり、ロック操作部は、底部から
ボックスに嵌合するピンを設け、ボックスに嵌合したピ
ンを回転することにより、ボックスの蓋部と底部との開
閉のロック、あるいはロックの解除を行うものであるこ
とを特徴とするボックス開閉装置。
【請求項３】請求項２において、ピンの回転は、ピン
部を保持する軸を回転させて行なうもので、底部の台座
であるステージ下側で、軸から装置外側に向けて伸びて
いる、手動でピン部を保持する軸を回転できる取っ手を
設けていることを特徴とするボックス開閉装置。
【請求項４】請求項１ないし３において、蓋部の台座
を上下移動させるリニアガイドをボックス側と分離する
ための分離板を設けていることを特徴とするボックス開
閉装置。
【請求項５】請求項１ないし４において、底部の台座
であるステージ部にクリーンエアーを導入する外気取り
入れ口を設けていることを特徴とするボックス開閉装
置。
【請求項６】請求項１ないし５において、ボックスの
中に保持し、搬送、保管される製品が、フォトマスク、
マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製
品であることを特徴とするボックス開閉装置。