KR20020045202A - 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트의 구조개선을 통해 카세트를 오픈하지 않고도 내부를 확인할 수 있도록 하여 카세트의 오픈에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있도록 한 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

이를 위해, 본 발명은 웨이퍼 캐리어(2)가 삽입되는 하부상자(4)와 상기 하부상자(4)에 결합되는 뚜껑(5)을 구비한 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트(3)에 있어서; 상기 카세트(3) 측면 또는 상면중 적어도 일측에 내부를 확인할 수 있도록 하는 확인창(6)을 두고, 상기 확인창(6) 외측에는 상기 확인창(6)을 선택적으로 개방시키기 위한 커버(7)를 둔 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조가 제공된다.

Description

웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조 {structure of cassette for receiving wafer carrier}

본 발명은 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트에 관한 것으로서, 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트의 구조개선을 통해 카세트를 오픈하지 않고도 내부를 확인할 수 있도록 하여 카세트의 오픈에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 캐리어(2)는 도 1에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼(1)를 수납하여 공정간의 이동 및 세정 등에 사용하는 치구로서 테플론 재질로 제작된다.

그리고, 웨이퍼 캐리어(2)는 전면에서 바라볼 경우, H자 형태를 띠고, 뒷면은 판 형태를 띠게 된다.

또한, 종래 웨이퍼 캐리어(2)의 몸체 양측면에는 상·하 방향으로 길이를 갖는 복수개의 슬롯이 형성되어 있다.

여기서, 상기 슬롯(3)에는 웨이퍼(1)가 위치하게 되며, 상기 각 슬롯(3)의 양측면으로부터 내측으로는 웨이퍼(1)의 가장자리를 전·후방향에서 지지하는 지지리브가 형성된다.

따라서, 상기 웨이퍼(1)를 웨이퍼 캐리어(2)에 수납시, 각 슬롯(3)내에 위치하는 웨이퍼(1)는 캐리어(2) 내측으로 연장 형성된 지지리브(4a)에 의해 가장자리면이 지지되어 안정된 상태로 캐리어(2)에 머물게 된다.

한편, 상기 웨이퍼 캐리어(2)는 하부상자(4) 및 뚜껑(5)으로 이루어진 캐리어 수납용기인 카세트(3) 내에 수납되어 공정간을 이동하게 되는데, 상기 카세트(3)는 노광공정등에서의 웨이퍼(1) 보호를 위해 불투명 재질로 이루어진다.

그러나, 종래에는 카세트(3)가 불투명 재질이므로 인해 박스 내부의 웨이퍼 번호 및 ID확인 또는 매수의 확인등을 위해서는 반드시 뚜껑(5)을 열어야만 하므로 인해, 파티클 유입으로 인한 웨이퍼(1) 오염 가능성이 높았다.

즉, 종래에는 웨이퍼 번호 및 ID확인 또는 매수의 확인을 위해 카세트 뚜껑(5)을 열 경우, 사람이나 장비등의 주위환경으로부터 발생한 이물질이 웨이퍼(1)를 오염시키므로 인해 반도체 제조 공정의 수율을 저하시키는 등의 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 카세트의 구조개선을 통해 카세트를 오픈하지 않고도 내부를 확인할 수 있도록 하여 카세트의 오픈에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있도록 한 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 캐리어 및 카세트를 나타낸 사시도

도 2는 본 발명의 카세트를 나타낸 사시도

도 3은 도 2의 A부 확대 정면도로서, 확인창 오픈시의 상태도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1:웨이퍼 2:캐리어

3:카세트 4:하부상자

5:뚜껑 6:확인창

7:커버 8:조작놉

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 웨이퍼 캐리어가 삽입되는 하부상자와 상기 하부상자에 결합되는 뚜껑을 구비한 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트에 있어서; 상기 카세트 측면 또는 상면중 적어도 일측에 내부를 확인할 수 있도록 하는 확인창을 두고, 상기 확인창 외측에는 상기 확인창을 선택적으로 개방시키기 위한 커버를 둔 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조가 제공된다.

이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 2는 본 발명의 카세트를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 A부 확대 정면도로서, 확인창 오픈시의 상태도이다.

본 발명은 웨이퍼 캐리어(2)가 삽입되는 하부상자(4)와 상기 하부상자(4)에 결합되는 뚜껑(5)을 구비한 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트(3)에 있어서; 상기 카세트(3) 측면 또는 상면중 적어도 일측에 내부를 확인할 수 있도록 하는 확인창(6)을 두고, 상기 확인창(6) 외측에는 상기 확인창(6)을 선택적으로 개방시키기 위한 커버(7)를 둔 것이다.

이 때, 상기 확인창(6)은 투명 재질이며, 확인창(6)을 선택적으로 개방시키는 커버(7)는 하부상자(4)와 마찬가지로 불투명 재질이어야 함은 물론이다.

또한, 상기 커버(7)에는 조작놉(8)이 설치됨이 바람직하다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용은 다음과 같다.

웨이퍼(1)가 수납된 캐리어(2)가 다시 그 내부에 수납되는 카세트(3)는 공정에 있어서, 웨이퍼 캐리어(2)와 더불어 웨이퍼(1)를 보관하고 이동하는 장치로서, 웨이퍼의 ID 및 번호 확인, 수납 매수 확인등을 위해 카세트(3)를 자주 열게된다.

따라서, 사람이나 장비로부터 혹은 주위 환경으로부터 파티클에 의한 웨이퍼(1) 오염가능성이 높아지게 되는데, 이때 본 발명에서는 카세트(3)의 측면 또는 상면에 구비된 확인창(6)을 통해 뚜껑(5)을 열지 않고 내부를 확인할 수 있다.

즉, 작업자는 카세트(3) 내부의 웨이퍼(1) 확인시 커버(7)를 슬라이딩시켜 확인창(6)을 노출시키므로써 상기 확인창(6)을 통해 카세트(3) 내부의 웨이퍼 정보를 확인할 수 있게 된다.

따라서, 본 발명은 웨이퍼(1)의 정보 확인을 위해 카세트(3)의 뚜껑(5) 전체를 개방할 필요가 없이 커버(7)만 조작하여 확인창(6)을 통해 내부 정보를 확인한 후 다시 커버(7)를 본래 상태로 되돌려 확인창(6)을 통한 빛 유입을 차단하게 된다.

이에 따라, 본 발명은 카세트(3) 내에 수납된 웨이퍼(1)로의 빛유입이 차단되어야 하는 포토 공정등에서도 아무런 문제없이 사용가능하며, 반도체소자의 전기적 안정성 및 신뢰성 확보가 가능하게 된다.

한편, 본 발명의 실시예에서는 커버(7)가 슬라이딩에 의한 미닫이식 구조로 설치된 경우를 예로 들었으나, 커버 설치구조는 힌지에 의한 여닫이식 구조등 여러 가지 개폐 구조로 변경 가능함은 물론이다.

본 발명은 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트의 구조개선을 통해 카세트를 오픈하지 않고도 내부를 확인할 수 있도록 하여 카세트의 오픈에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있게 되며, 이에 따라 반도체 제조공정의 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있게 된다.

Claims (4)

1. 웨이퍼 캐리어가 삽입되는 하부상자와 상기 하부상자에 결합되는 뚜껑을 구비한 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트에 있어서;

   상기 카세트 측면 또는 상면중 적어도 일측에 내부를 확인할 수 있도록 하는 확인창을 두고, 상기 확인창 외측에는 상기 확인창을 선택적으로 개방시키기 위한 커버를 둔 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 확인창은 투명 재질이며, 확인창을 선택적으로 개방시키는 커버는 불투명 재질임을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 커버에는 조작놉이 설치됨을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조.
4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,

   상기 확인창을 선택적으로 개방시키는 커버는 카세트상에 슬라이딩 구조로 설치됨을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 수납용 카세트 구조.