KR100546482B1 - 잠그는도어가있는운송모듈 - Google Patents

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KR100546482B1
KR100546482B1 KR1019980023585A KR19980023585A KR100546482B1 KR 100546482 B1 KR100546482 B1 KR 100546482B1 KR 1019980023585 A KR1019980023585 A KR 1019980023585A KR 19980023585 A KR19980023585 A KR 19980023585A KR 100546482 B1 KR100546482 B1 KR 100546482B1
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엘. 니세스 데이비드
제이. 크람포티치 데니스
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

웨이퍼 콘테이너는 도어를 받는 프레임으로 정의되는 전면 개방을 갖으며, 도어는 도어를 받는 프레임을 위한 크기로 만들어진다. 도어를 받는 프레임은 반대되는 면위에 슬롯을 갖으며, 도어를 받는 프레임의 잠그는 턱의 외부와 도어를 통하여, 도어는 잠그는 링크와 들어올리는 링크들을 인장하고, 들어올리고, 낮추고 오무라들기 위하여 서로 이용된다.
도어는 또한 적은 웨이퍼의 완충이 있을 수 있거나 또는 도어가 제 위치에 있을 때 내측으로 인장되어 웨이퍼를 보호하기위한 활동적인 웨이퍼 결합암을 갖을 수 있다. 잠그는 링크, 들어올리는 링크와 요구되는 곳의 유지하는 암들은 도어의 내측의 회전 가능한 캠이 형성된 요소와 연결되어있다.
캠이 형성된 요소들은 캠이 형성된 표면에서 제 1방향의 처음 인장되는 잠그는부분에서 잠그는 턱을 통해 형성되고, 제 2방향내의 잠그는 부분으로 이동하며 제 2방향에서 도어를 내측으로 당기고, 콘테이너 부분에서 도어를 밀봉시키기 위해 이용한다.

Description

잠그는 도어가 있는 운송모듈
이 출원은 1996년 7월 12일 출원번호 제 08/678,885 의 일부 계속 출원이다.
본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
특히, 본 발명은 웨이퍼들을 콘테이너속에 넣기 위해 커버나 도어를 갖는 웨이퍼 콘테이너에 관한 것이다.
웨이퍼를 콘테이너에 넣어 보관하거나 운송하기 위해 여러 방법이 이용되고 있다.
몇몇 콘테이너들은 웨이퍼용 수직 슬롯 및 상부 커버상의 멈춤쇠 또는 탄성적 으로 유연한 플라스틱의 뚜껑을 이용해 왔다. 이러한 캐리어에서, 상부 커버에 부착된 수동 쿠션은 상부 커버가 부착됨으로써 웨이퍼와 맞물릴 때 변경되었다.
반도체 산업은 지름이 300㎜ 이상 되는 큰 웨이퍼를 처리할 수 있는 만큼 발전해 있으며, 지금은 수평적 웨이퍼 위치 조절을 위한 캐리어 또는 운송 콘테이너를 개발하고 있다.
큰 웨이퍼를 보관하는데 필요한 큰 콘테이너로 인해 종래의 수동식 탄성적으로 유연한 쿠션의 이용을 어렵게 하고 있다 문제는 콘테이너가 크다는 것이다.
큰 도어는 큰 웨이퍼 캐리어들을 필요로 하므로 도어들에서 잠금 메카니즘이 요구된다.
이상적으로, 이러한 래칭 메카니즘은 소수의 이동 부품으로 그리고 금속재료 없이 기계적으로 구성될 수 있을 것이다. 반도체 공정에서 금속부품의 존재는 금속 미립자를 발생할 수 있어서 심각한 문제를 야기할 수 있다.
본 발명은 웨이퍼 캐리어 상의 큰 도어에 의해 야기되는 문제를 해결하는 것이다.
웨이퍼 콘테이너는 도어 수용 프레임에 의해 형성된 개방된 정면과 이 도어 수용 프레임 용 크기의 도어를 갖는다.
도어 수용 프레임은 대향측상에 슬롯을 갖고 도어는 좌측, 및 아래로 연장하여 각각의 잠금 부분을 도어의 모서리 부분으로부터 도어 수용 프레임상의 잠금 리셉터클안으로 그리고 밖으로 복귀시키는 잠금 링크를 이용한다.
도어가 적소에 위치한 경우, 도어는 웨이퍼를 고정하기 위해 웨이퍼 안쪽으로 연장한 수동 웨이퍼 쿠션 또는 능동 웨이퍼 결합 암을 갖는다.
잠금 링크, 리프팅 링크 및 바람직한 경우, 유지부재는 도어 내측의 회전가능한 캠 부재에 결합되어 있다. 캠 부재는 먼저 잠금 부분을 제 1 방향으로 해서 잠금 리셉터클에 연장하게 한 다음 이 잠금 부분은 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향으로 이동하여 도어를 안쪽으로 끌어들여 도어를 콘테이너 부분에 끌어 당긴다 바람직한 경우, 웨이퍼 유지 암이 또한 연장되어도 좋다.
본 발명의 장점과 특징은 이용되는 잠금 메카니즘이 효과적이고 신뢰할 만한 잠금 작용를 기계적으로 간단히 하는 최소 구성요소로 구성되어 있다는 것이다.
본 발명의 장점과 특징은 도어는 도어의 잠금과 더불어, 웨이퍼 유지를 제공한다는 것이다. 상기 잠금과 유지는 도어 핸들의 단일의 회전 가능한 운동에 의해 제공된다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 메카니즘이 도어의 내부에 위치되어 도어 메카니즘에 의한 입자의 발생 및 분산을 최소화 한다는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 도어 메카니즘은 적절한 순서로 잠금과 웨이퍼 유지를 제공한다는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 회전 가능한 캠 부재의 캠된 면은 도어를 잠금 위치에 쉽고 간단히 고정하기 위해 그리고 웨이퍼 유지 암을 결합 위치에 고정하기 위해 멈춤 쇠를 포함한다.
도1을 참조하면, 웨이퍼 콘테이너(20)는 콘테이너부(22)와 도시되어있는 협동 도어(24)로 일반적으로 구성되어있다. 콘테이너 부(22)는 웨이퍼(W)는 실질적으로 수평면에 삽입 및 제거를 위한 다수의 웨이퍼 슬롯(28)들을 갖는다. 웨이퍼 슬롯들은 웨이퍼 가이드(32)와 웨이퍼 지지선반(36)으로 구성되어 있다. 콘테이너부는 일반적으로 전면 개방 부(40), 폐쇄된 상부(42), 폐쇄된 우측 부(44). 폐쇄된 후부(46), 폐쇄된 좌측 부(48), 폐쇄된 바닥 부(50)에 의해 경계된 개방된 내부(41)를 갖는다. 콘테이너는 장치 경계면(52)위에 위치된 것으로 도시되어 있다.
도어(24)는 도어 프레임(60)에 장착되어 결합한다. 도어 프레임(60)은 두 쌍의 반대되는 수직 쌍(64), 수평 쌍(68)의 프레임 부재를 갖는다. 수직 쌍 프레임 부재는 한 쌍의 구멍 또는 슬롯(72), (74)을 갖으며, 그것들은 도어를 콘테이너부(22)에 결합 및 잠그기 위해 이용된다. 도어는 능동 웨이퍼를 유지하는 수단은 물론, 도어 잠금 수단을 갖는다. 정면 커버(86)의 리세스(84)에 설치된 수동 및 자동 핸들(81)을 갖는 중앙에 위치한 회전 가능한 부재(80)를 갖는다. 앞쪽 커버(86)는 도어 모서리 부분(94)과 도시하지 않은 뒷판(96)을 포함하는 도어 엔클러저(90)를 포함한다. 정면 커버(86)는 적당한 기계적인 패스너(98)에 의해 조여진다.
도 2는 개방된 내면(21)을 지니며, 정면 커버(86)의 부분이 제거되어 서로 소자를 공유하는 잠금 메카니즘(101)과 웨이퍼 유지 메카니즘(102)을 포함하는 도어 메카니즘(100)을 도시한다. 도어 메카니즘의 개별적인 구성부재는 도3, 도4, 도5와 도6에 도시하고 있으며 회전 가능한 캠 부재(110), 벨 크랭크(113)가 부착된 결합암(112), 웨이퍼 결합 암 작동기 링크(120) 등을 포함한다.
도 2와 도 3을 참조하면, 회전 가능한 캠 부재(110)는 캠 표면(116)을 형성하는 한 쌍의 캠 구멍(114)을 갖는다. 캠 구멍(114)은 플라스틱 돌기를 거쳐 끝단에 형성된 멈춤 쇠(detent)(122)가 있는 대향하는 끝단(123)을 가지고 있다. 멈춤쇠(122)는 멈춤쇠 장치(124)의 추가에 의한 잘 구부러지고 탄성이 있는 것으로 만들어진다. 회전 가능한 캠 부재(110)는 또한 대향하는 한 쌍의 웨이퍼 결합 캠 구멍(130)을 가지며, 이 캠 구멍(120)은 웨이퍼 결합 캠 형성 표면(132)에 형성된다. 더 나아가, 웨이퍼와 결합 캠 잠금 쇠(134)는 캠 표면의 돌출부에의해 공급되며, 웨이퍼 결합캠 구멍(130)의 끝단(138)에 인접한 잠금 쇠 구멍(136)을 통하여 탄력적으로 구부러질 수 있게 되어 있다. 회전 가능한 캠 부재는 회전 가능한 캠 부재(110)를 샤프트(152)에 의해 도어의 뒷판(96)에 위치하여 고정시키는데 이용되는 중앙 보어(150)를 갖는다.
도 2와 도 4를 참조하면, 각각의 잠금 암(118)은 링크 부(160)와 한 쌍의 연장할 수 있는 부분(162)으로 구성되어있고, 이 연장할 수 있는 부분(162)은 잠금 부분(164)을 포함하며, 이 잠금 부분은 도어를 수용하는 도어 프레임(60)내에 형성된 구멍 또는 슬롯(72),(74)에 결합하도록 구성되어 있다. 각각의 잠금 암은 암(118)의 평면 부분으로부터 샤프트나 돌출부로 형성된 캠 접속자(166)를 갖는다.
도 5, 도 7 및 도8을 참조하면, 각각의 웨이퍼 결합 암(112)은 웨이퍼 모서리 결합부(170), 연결 슬롯(174)이 있는 벨 크랭크(113)와 피벗 표면으로 구성되어 있다. 웨이퍼 모서리 결합부(170)는 하이트렐(Hytrel)로 형성되는 것이 적당하다.
도 6을 참조하면 웨이퍼 결합 암의 작동기 링크(120)근 도시되어 있고 캠 접속자(196)와 힌지(195)를 가지고 있다.
잠금 암 구멍(118)은 회전 가능한 캠 부재(110)와 웨이퍼 결합 암 작동기 링크(120)사이에 위치되어 있다. 잠금 부분(118)들은 도어의 모서리 부분(94)의 슬롯(216)을 통하여 미끄러질 수 있게 연장하여 이 슬롯을 통해 복귀하도록 구성되어 있다. 캠 접속자(166)는 캠 구멍(114)으로 연장되며, 뒷판 홈(200)으로 더 연장된다. 상부 커버는 도어 모서리부분(94)위에 조립되어 도어의 엔클러저(enclosure)(90)를 형성한다. 전면판과 뒷판 사이의 상대적으로 제한된 공간은 메카니즘(100)을 안정시켜 유지하도록 작동한다.
구성 부품들은 다음과 같이 조립된다. 도2와 도9를 참조하면, 도어의 뒷판(96)은 4개의 구멍(186)을 갖고 있으며, 이 구멍은 직사각형의 모퉁이로써 정렬되어 있다. 뒷판은 4개의 원통형상의 핀 부재(190)들을 갖으며, 이 부재는 각각의 구멍에 배치되어 틈과 일체로 되어 있다. 핀 부재(190)는 벨 크랭크(113)내에 스넵 고정되어, 핀 부재(190)상에서 벨 크랭크(113)의 회전을 허용하도록 적당한 크기로 형성되어 있다. 벨 크랭크(113)의 슬롯(174)은 힌지(195)내에 형성된 핀(194)을 통하여 결합 암 작동기 링크(120)와 결합한다. 각각의 작동기 링크(120)는 캠 접촉부(196)를 갖으며, 이 작동기 링크는 웨이퍼 결합 캠 형성 표면(132)과 결합하고, 또한, 뒷판(96)에 형성된 리세스 또는 홈과 결합한다. 상기 홈들은 앞쪽 판 쪽으로 위쪽으로 연장하여 융기된 돌기 내에 형성되어 있다. 또한, 뒷판으로부터 윗쪽으로 연장되고, 회전 가능한 캠 부재(80)가 올라탄 다수의 회전 가능한 캠 부재 지지바(210)가 제공되어 있다. 상기 바(210)는 적소에 유지하는데 이용되는 러그(lug)(212)를 갖는다. 제 7도의 실시예는 도 2에 도시되어 있듯리, 직사각형 구멍을 이용하지 않고 슬롯(186)을 이용한다. 추가적으로, 핀(190)은 도 2에 도시된 구멍의 반대측에 대향하여 슬롯의 중앙에 위치되어 있다.
장치들의 작동은 다음과 같다. 도 14A, 14B를 통해 도 2와 도 10A, 10B로부터 연속 참조하면, 먼저, 도어는 수동 또는 로봇수단을 이용하여 콘테이너 부(22)의 도어를 수용하는 도어 프레임(60) 내에 위치한다. 회전 가능한 캠 부재는 도 2의 실시예에 대하여 시계반대 방향으로 회전된다. 회전 가능한 캠 부재에서 잠금 암의 캠 접속자(166)와 캠표면의 결합에 의해, 상기 잠금 암의 캠 구멍(114) 의 특성 현상 때문에 잠금 암이 바깥쪽으로 미끄러지게 연장한다. 잠금 암이 바깥쪽으로 연장함에 따라 잠금 부분(164)은 구멍(216)을 통해 도어 수용 프레임(60)의 수직프레임 부재 상에 형성된 슬롯(74)으로 연장한다. 특히, 노 11A를 참조하면, 웨이퍼 결합암들은 이 점에서 연장되어있지 않았다. 도 12A에서 도시되어 있듯이, 캠된 웨이퍼의 회전은 잠금 암(118)을 충분히 이동시키지 못하기만, 웨이퍼 결합 작동기 링크(120)의 캠 접속자(196)를 바깥쪽으로 밀치어서 벨 크랭크(113)을 회전 시켜서 작동기 링크(120)의 측면 운동을 웨이퍼 결합 암의 바깥쪽 운동으로 웨이퍼를 향해 연장시킨다.
도 12B는 도어 둘레와 웨이퍼 결합부에 관하여 말단부에서 웨이퍼 결합 암을 보여준다. 캠 부재가 90°시계반대 방향으로 회전하는 경우, 캠 접속자(196) 및 (166)가 이동하여 멈춤 쇠(134, 122)를 통과함으로써 캠 부재를 도 12A 및 도 12B의 상기 위치에서 걸린다. 상기 도어를 해제하고 제거하기 위해, 캠 부재가 먼저, 도 13A 및 도13B에 도시된 위치로 시계방향으로 회전하면(이 위치에서 웨이퍼 결합암(112)이 웨이퍼로부터 복귀하며), 다음 도 13A 및 도 13B에 도시된 근접 위치로 시계방향으로 회전한다(이 위치에서, 잠금 암(118)은 도어 수용 프레임에 형성된 슬롯으로부터 복귀된다).
도 14C는 본 발명의 또 다른 실시예로, 잠금 부를 연장하고 수축하는 수단과 웨이퍼 결합 부재를 근접위치와 원심 위치사이를 이동케 하는 수단은 캠 표면과 캠 접속자 대신에 링 케이지(211),(212)과 조인트(213)를 포함한다.
이런 구조에서, 회전 가능한 캠 부재(110)는 도면에서 숫자(216)로 표시하고 점선에 의해 도시된 링크(212)의 오버센터(overcenter)를 통하여 잠그는 부분으로 걸리게 할 수 있다.
도면에 도시된 특정구성에서, 잠금 암과 웨이퍼 결합 암의 전체 작동은 회전 가능한 캠 부재(110)에의 대략 ⅛회전으로 성취된다. 화살표(219)는 잠금 암(118)과 웨이퍼 결합 암을 완전히 연장하도록 하는 회전방향을 나타낸다.
도어 메카니즘(100)의 개별적인 부품들은 카본 파이버 폴리카보네이트로 적절히 형성될 수 있으며 이들은 정적인 소산적인 특성을 공급한다. 도어의 전면 판과 후면 판은 폴리 카보네이트로 형성될 수 있다.
도 15, 16, 17, 18A, 18B, 19A, 19B 와 20을 참조하면 대안적인 잠금장치와 웨에퍼 유지 메카니즘을 지닌 운송모듈이 일반적으로 도면부호 (220)로 도시하고 있으며, 대체로 콘테이너 부(222)와 협동 도어(224)로 구성되어있다. 콘테이너부는 일반적으로 개방된 전면 개방 부(240), 폐쇄된 상부(242), 폐쇄된 좌측 부(244), 폐쇄된 후부(246), 폐쇄된 우측면(248)과 폐쇄된 바닥 부(250)를 갖는다. 바닥부(250)는 또한 기계 경계면(252)을 포함한다. 콘테이너 부(222)는 웨이퍼의 평면과 실질적으로 수평인 다수의 웨이퍼(w)를 포함한다. 콘테이너 부(222)는 두 쌍의 대향하는 프레임 부재를 갖는 일반적인 직사각형의 도어 프레임(260)을 포함하며, 이 두 쌍의 대향하는 프레임 부재는 한 쌍의 수직 부재(264)와 한 쌍의 수평 부재(268)를 포함한다. 수평부재(268)는 슬롯(275)을 포함하는 각각의 잠금 리셉터클(272),(274)을 갖는다. 잠금 리셉터클은 도어를 콘테이너 부에 결합, 잠금 및 밀폐를 위해 사용되었다. 도어는 내측 잠금 메카니즘을 접근하기 위한 키 구멍(278)을 이용한다. 도어(224)는 좌측 판(285)과 우측 판(286)을 포함하는 한 쌍의 외측으로 마주보는 판들을 포함한다. 도어는 도어 프레임(260)내에서 결합할 수 있는 도어 장착 부(295)를 형성하는 외주 변을 포함하는 도어 모서리 부분(294)을 갖는다. 외부로 마주보는 판(285),(286)은 또한 잠금 지시기(297)의 부분을 형성하는 구멍(296)를 가지고 있다. 도어 모서리부분은 도어 모서리부분(294)에 위치한 슬롯(299)으로 구성된 네 개의 개구부를 포함한다.
도 16, 17과 20을 참조하면 잠금 메카니즘이 있는 도어(224)는 상세하게 도시되어있다. 도 16은 키 구멍(278)이 수동 동작 핸들(302)에 의해 부가되는 대안적인 구성을 도시한다. 도어의 좌측면(304)은 슬롯(299)으로부터 연장된 잠그는 부분(306)를 갖는 다는 것에 주목해야 한다. 우측 부(307)는 복귀한 잠금 부분과 대응하는 수평위치에 핸들을 갖는다. 도 17을 참조하면 도어(224)의 확대도로, 내측의 잠금 메카니즘(300)을 볼 수 있다. 각각의 잠금 메카니즘(300)은 회전할 수 있는 캠 부재와 두 개의 잠금 링크 세트(311)를 포함한다. 회전 할 수 있는 캠 부재(310)는 슬롯(314)으로 구성된 한 쌍의 제 1캠 가이드(314)와 캠 된 휠에 구멍 또는 슬롯으로 구성된 한 쌍의 제 2 캠 가이드를 갖는다.
잠금 링크(311)의 세트(311)들은 각각 잠금 암 또는 링크(318)와 리프팅 암 또는 링크(319)로 구성된다. 본 발명에 이용되는 경우 " 링크 " 는 새그먼트된 부재 또는 두개이상의 합께 연결된 분리된 조각을 포함할 수 있다.
각각의 잠금 링크(318)는 일반적으로 직사각형의 평면부분(359)과 끝단(361, 362)을 지니며, 원심적으로 위치한 이 끝 단(362)은 잠금 부분(306)을 포함한다. 회전 가능한 캠 부재(210)에 인접한 끝단은 캠 접속자(366)와 두 개의 끝단 사이의 제 1의 리프팅 부분(368)을 갖는다. 잠금 링크는 각각의 잠금 링크(318)을 결합하기 위한 하측 가이드(370)를 갖는다.
각각의 리프팅 링크(319)는 잠금 링크(318)의 하측 가이드(370)와 맞물려서 링크(318, 319)의 측면운동을 제한하는 한 쌍의 상극 가이드(375)를 갖는다. 리프팅 링크(319)는 캠 접속자(382)를 갖는 인접 단(388)과 리프팅 부분(368)의 결합 표면(368.1)과 미끄러 질수 있게 접촉하는 경사면(394)으로 구성된 부가적인 캠 표면을 포함하는 대향 단(390)을 포함한다.
도 18A, 18B, 19A, 19B와 21을 참조하면, 잠금 메카니즘(300)이 상세히 나타나 있다. 도어가 도 1에 도시되어 있듯이, 콘테이너부(222)로부터 위치될 때, 잠금 부분(306)은 전형적으로 도어 엔클로저(404)의 내부로 복귀한다. 이는 18A와 18B에서 명확하게 도시하였다. 도 18A 와 19A 는 우측 판(286)을 제거한 상태에서의 도어의 정면도를 나타낸 것이다. 18A 와 18B는 완전 복귀위치에서의 잠금을 나타낸다. 키(key)구멍에 끼워진 키를 이용하거나 수동핸들(302)을 이용하여 캠 부재(310)가 회전하면, 캠 부재(310)가 시계방향으로 회전한다. 제 1의 캠 가이드(314)와 제 2의 캠 가이드(315)는 처음에 대략적인 22½°의 회전을 위해 서로로부터 균일하게 방사상으로 공간을 두고 있다. 제 1부분 회전 동안, 링크의 각각의 세트(311)는 도 18B에 도시된 위치로부터 도 21에 도시된 위치로 함께 이동한다. 캠 휠이 다음 22½°회전 중, 잠금 링크(318)는 캠 된 휠의 중앙으로부터 제2의 22½°원호를 통한 방사상으로 상대적으로 고정된 거리를 갖는 제 1 캠 핀 가이드(311)와 상대적으로 고정된다. 제 1의 22½°의 원호(411)를 통하여 잠금 링크(318)는 좌표계(425)상의 "y"축에 대응하는 화살표(414)로 표시된 제 1 방향으로 도어에 대해 바깥쪽으로 연장되어 있다. 제 2의 22½°의 원호 동안에, 리프팅 링크는 도 21에 도시된 위치로부터 도 19B에 도시된 위치로 이동하여 화살표(415)로 표시된 제 2방향으로 잠금 링크(318)의 잠금 부분(306)을 이동시킨다. 제 2방향(415)은 " Z " 축에 대응한다. 이것이 발생하는 경우, 도어는 콘테이너 부분에 대하여 안쪽으로 밀쳐져서 도어 프레임(260)과 도어 모서리 부분(294), 특히 탄성 링(420)사이에 고정 실(seal)을 제공한다.
도 19A를 참조하면, 잠금 지시기(297)의 부분인 지시기 구멍(430)이 캠된 휠의 축(434)의 좌측에 즉각 위치하게 된다는 것에 주지해야 한다. 이는 도 17에 도시되어 있듯이, 우측 앞판(286)에 형성된 구멍(296)에 대응한다. 따라서, 캠된 휠이 완전히 시계 방향 회전 위치에 있고 잠금 부분(306)이 도 21에 도시된 것처럼 완전히 연장하고 안쪽으로 펼쳐진 위치에 있는 경우. 구멍(430)은 구멍(296)과 일치되어 도어가 상기 완전한 잠금 위치에 있다.
캠된 휠이 각각의 슬롯 상에 부가적인 제 5의 캠 가이드(440)를 도시하는 18A, 18B, 19A, 19B, 및 17에 있다. 이는 상술되고 도 2-15에 도시되어 있듯이 능동 웨이퍼 제한 장치를 부가하는 옵션에 대응한다 부가적으로, 능동 웨이퍼 제한 시스템의 대안적인 실시예가 설명될 것이다.
도 22를 참조하면, 도어(224)의 일체적으로 마주하는 측면이 도시되어 있다. 한 쌍의 웨이퍼 제한 부품(470)이 도어의 표면(462)으로부터 연장되어 있다. 이 제한 부품은 도어에 간단히 고정되는 수동적인 방식으로 또는 이 제한 부품이 도어의 내부쪽으로 안쪽으로 연장하고 다시 도어 바깥쪽으로 연장할 수 있는 능동방식으로 이용될 수 있다. 이러한 운동을 성취하는 메카니즘이 도 22-26에 도시되어있다.
도 23을 참조하면, 제 5 캠 가이드(440)는 슬라이딩 바(476)의 부분인 캠 접속자(474)와 결합하고 있다. 이 바(476)는 도어 엔클로저(404)와 일체가 된 가이드(479)와 맞물려 있다. 바(476)의 뒷 표면상의 가이드(482)는 엔클로저 상의 가이드(479)와 결합한다.
슬라이딩 바(476)는 도어 엔클로저(404)에 형성된 구멍(500)을 통해 연장하여 부싱(504)과 특히 맞물리고 O-링(506)으로 실(seal)된 피스톤(494)에 부착된 캠 접속자(490)와 결합된 캠 가이드(486)를 포함한다. 슬라이딩 바(476)는 도어(224)의 바깥쪽으로 마주하는 좌측 판(285)에 의해 더 제한된다.
캠된 부재(310)는 도 23에 도시된 위치로부터 시계방향으로 회전되기 때문에 슬라이딩 바는 캠 접속자(490)로 하여금 화살표(509)로 도시된 방향으로 캠 가이드(486)를 아래로 미끄러지게 하는 "x"방향과 반대의 좌측에 밀쳐진다. 이는 도어가 콘테이너 부분에 고정됨에 따라 웨이퍼쪽으로 이동하여 이 웨이퍼와 맞물리는 피스톤과 맞물리는 웨이퍼 제한부품과 콘테이너 부분의 내측쪽 으로의 피스톤의 운동에 대응한다.
슬라이딩 바(476)와 캠 가이드(486) 및 캠 집속자(490)는 이동 천이 메카니즘(514)의 일부이다.
대안적으로, 앞서 설명한 실시예에 설명되어 있듯이 , 크랭크 구성은 이용에 적절할 수 있다. 본 발명은 본 발명의 정신 또는 기본적인 특성에서 벗어나지 않으면 기타 고유의 형식으로도 구형될 수 있고 본 발명의 실시예는 단지 예시적이지, 제한하려는 것은 아니다.
본 발명의 장점과 특징은 이용되는 잠금 메카니즘이 효과적이고 신뢰할 만한 잠금 작용를 기계적으로 간단히 하는 최소 구성요소로 구성되어 있다는 것이다.
본 발명의 장점과 특징은 도어는 도어의 잠금과 더불어, 웨이퍼 유지를 제공한다는 것이다. 상기 잠금과 유지는 도어 핸들의 단일의 회전 가능한 운동에 의해 제공된다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 메카니즘이 도어의 내부에 위치되어 도어 메카니즘에 의한 입자의 발생 및 분산을 최소화 한다는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 도어 메카니즘은 적절한 순서로 잠금과 웨이퍼 유지를 제공한다는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 회전 가능한 캠 부재의 캠 된 면은 도어를 잠금 위치에 쉽고 간단히 고정하기 위해 그리고 웨이퍼 유지 암을 결합 위치에 고정하기 위해 멈춤 쇠를 포함한다.
도 1은 웨이퍼 콘테이너와 도어의 사시도.
도 2는 정면부분이 제거되어 메카니즘을 노출하는 웨이퍼 콘테이너 도어의 사시도.
도 3은 회전 가능한 캠 부재의 사시도.
도 4는 잠금 암의 사시도.
도 5는 웨이퍼 결합 암의 사시도.
도 6은 웨이퍼 결합 암 작동링크의 사시도.
도 7은 뒷판과 결합한 벨 크랭크의 단면도.
도 8은 웨이퍼 결합부의 사시도.
도 9는 도어 뒷판 내부의 정면도.
도 10A는 폐쇄 위치에서의 도어의 개략도.
도 10B는 웨이퍼 결합 암 부분의 개략적인 도면.
도 11A는 잠금 암들이 연장된 도어 메카니즘의 개략도.
도 11B는 11A도의 메카니즘 위치에 대응하는 웨이퍼를 맞물리지 않고 있는 근접위치에서의 웨이퍼 결합 암의 개략도.
도 12A는 잠금 암들이 연장한 완전 잠금 위치에서의 메카니즘의 개략도.
도 12B는 웨이퍼 결합 암이 원심적으로 위치하여 웨이퍼를 맞물리는 도 12A의 메카니즘 부분에 대응하는 개략도.
도 13A는 잠금 암이 완전히 연장된 상태에서의 개방 절차동안의 도어의 개락도.
도 13B는 웨이퍼 결합 암의 근접위치에서 웨이퍼로부터 분리된 도 13A의 메카니즘 위치에 대응하는 도면.
도 14A는 웨이퍼 메카니즘이 상기 도어를 개방하기 위해 완전 해제된 위치에 복귀하는 도어의 개략도.
도 14B는 도 14A의 메카니즘 위치에 대응하고 웨이퍼로부터 분리된 웨이퍼 결합 암을 도시한 도면.
도 14C는 다른 실시예의 평면도.
도 15는 대안적인 운송 모듈의 도면.
도 16은 수동핸들을 이용하는 도 15의 도어의 대안적인 실시예의 사시도.
도 17은 잠금 메카니즘이 나타난 도 15의 도어의 확대 사시도.
도 18A는 커버가 제거된 도 17의 도어의 우측의 단면도.
도 18B는 도 18A의 선 18B에서 본 횡단면도.
도 19A는 도 17의 상부 판이 제거된 상태에서의 도어의 우측의 정면도.
도 19B는 도 19A의 선 19B에서본 횡단면도.
도 20은 잠금 링크들 세트의 사시도.
도 21은 잠금 부분이 다른 위치에 있는, 도 18B, 도 19B와 같은 도면을 도시한 단면도.
도 22는 웨이퍼 감금 장치를 나타내는 도어의 내측의 투시도.
도 23은 도어 판이 제거되어 잠금 메카니즘이 나타나는 도어의 정면측의 사시도 및 능동 웨이퍼 제한 메카니즘의 실시예의 도면.
도 24는 피스톤과 결합한 슬라이딩 바를 상세히 도시한 투시도.
도 25는 엔클러저 벽의 부싱의 위치에서의 피스톤의 상세한 투시도.
도 26은 슬라이딩 바 부분을 상세히 도시한 투시도.

Claims (24)

  1. a) 개방된 내부(41)와 도어 정면 개방구(40)를 형성하고, 잠금 리셉터클(72)을 가지는 직사각형 도어 프레임(60)을 가지며, 웨이퍼(w)를 유지하는 콘테이너부(22)와;
    b)도어 입구를 덮기 위해서 도어 프레임에 위치할 수 있는 도어(24)와,
    상기 도어는
    개방된 내부를 포함하고;
    i) 직사각형의 도어 프레임과 결합하기 위한 크기로 되어 도어가 도어 프레임에 위치할 때 잠금 리셉터클에 대응하는 개구부(229)를 갖는 외측 장착부(295)를 포함하며;
    ii) 도어의 개방 내부에 형성되어 부분적으로 회전이 가능하며, 제 1 캠 가이드(314)와 제 2 캠 가이드(315)를 갖는 캠 부재(310)를 포함하며;
    iii) 두 개의 끝단을 갖으며, 하나의 끝단은 제 1캠 가이드와 결합하는 캡 접속자(366)를 지니며, 나머지 끝단은 외부의 장착부의 개방부에 연장하는 잠금 부분(306)을 갖으며, 또한, 두 개의 끝단의 중간에 제1 의 리프팅 부분(368)을 갖는 잠금 링크(318)를 포함하며,
    상기 제 1 캠 가이드는 잠금 부분을 도어에 대하여 제 1방향(414)으로 잠금 리셉터클에 연장하며;
    iv) 제 2캠 가이드에 연결된 캠 접속자(382)를 갖는 캠된 끝단(380)을 가지며, 상기 제1 의 리프팅 부분과 결합할 수 있는 협동하는 제 2의 리프팅 부분을 갖는 리프팅 링크(319)를 포함하며,
    상기 제 1의 리프팅 부분과 상기 제2의 리프팅 부분은 겹치는 관계로 배열되며, 상기 제1의 리프팅 부분과 상기 제 2의 리프팅 부분 중 하나는 경사면(394)을 갖고 있고, 상기 제1의 리프팅 부분과 상기 제 2 리프팅 부분 중 나머지는 경사면 결합 표면(368.1)을 갖으며, 상기 제 2의 캠 가이드는 잠그는 링크에 대하여 리프팅 링크를 이동시키도록 구성되어서, 잠금 부분이 잠금 리셉티클에 있을 때, 경사면 결합 부분은 제 2방향에 수직한 제 2방향(415)으로 잠금 링크를 이동하도록 경사면위로 올라타는 것을 특징으로 하는 잠금 도어가 있는 운송모듈.
  2. 제 1항에 있어서,
    도어는 웨이퍼를 결합과 감금을 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  3. 제 2항에 있어서,
    캠 부재는, 웨이퍼 결합 캠 가이드(440)를 더 포함하며, 웨이퍼 리테이너는 움직일수 있도록 도어에 장착되고, 콘테이너 부의 내측 개방으로부터 앞쪽으로 움직일 수 있고 그리고 그로부터 멀어질 수 있으며, 운동 전환링크(476)는 웨이퍼 리테이너와 웨이퍼 결합 캡 가이드 사이에서 연장하며, 상기 운동 전환 링크는 캠 부재의 회전이 웨이퍼 리테이너의 바깥쪽으로 연장하도륵 형성된 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  4. 제 1항에 있어서,
    안쪽과 바깥쪽으로 움직일 수 있는 웨이퍼 결합 암(112)과,이 웨이퍼 결합암에 연결된 작동기암(120)을 포함하는 웨이퍼 결합 메카니즘(102)을 더 포함하며, 상기 작동기 암은 웨이퍼 결합 캠 가이드에 결합하는 캠 접속자(196)를 갖고 있으므로, 캠 부재가 회전하는 경우, 작동기 암은 웨이퍼의 모서리 부를 맞물리도록 바깥쪽으로 웨이퍼 결합 암을 연장하게 되어 , 상기 웨이퍼를 유지하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  5. 제 1항에 있어서,
    도어가 있는 능동 웨이퍼 유지 메카니즘(102)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  6. 제 1항에 있어서,
    도어를 가진 능동 웨이퍼 유지 수단을 더 포함하며, 상기 유지 수단은 캠부재와 결합된 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  7. 개방된 내부와 도어 개방부를 갖는 콘테이너부(22)와 상기 정면 정면 개방부(70)를 폐쇄하여 이에 의해 수용되어 지도록 크기를 한 도어를 구비하며, 이 콘테이너부는 도어 개방부에 인접한 잠금 슬롯(72)을 가지는 웨이퍼용 운송모듈에 있어서,
    상기 도어는,
    a) 주변부(94), 개방된 내부(41) 및 이 주변부에 형성된 슬롯(299)을 가진 도어 엔클러저(90)를 포함하며, 상기 슬롯은 도어가 도어 개방부에 위치할 때 잠금 슬롯에 인접 배치되어 있으며;
    b) 도어 엔클러저의 외부로터 제어가능하고 이 도어 엔클러저 안쪽에 회전가능하게 장착되어 있는 회전부재(310)를 포함하며;
    c) 제 1끝단(361)이 회전 가능한 부재에 연결되어 있고, 제 2 끝단(362)은 상기 회전 가능한 부재가 부분적으로 회전할 때 상기 슬롯을 통해 제 1방향(414)에 바깥쪽으로 연장하게 하여 엔클러저 안쪽에 위치되어 있으며, 제 1끝단과 제 2끝단 중간에 위치한 잠금 링크(318)를 포함하며, 그리고
    d) 제 1끝단(380)이 회전 가능한 부재에 연결되고, 제 2 협동 리프팅 부분(390)이 제 1 리프팅 부분에 인접 위치한 리프팅 링크(319)를 포함하며,
    상기 제 2의 리프팅 부분은 제 1방향과 평행한 방향으로 움직일 수 있으며, 제 1의 리프팅 부분과 제 2의 리프팅 부분 중 하나는 정사면(394)을 가지고 있으며, 나머지는 경사면 결합 부분(368.1)을 갖게 됨으로써 , 제 2의 리프팅 부분이 제 1의 리프팅 부분에 대하여 움직일 때, 경사면 결합 부분은 경사면위로 타고 올라오게 되며, 리프팅 링크는 제 1방향에 직교하는 제 2방향(415)으로 움직이는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  8. 제 7항에 있어서,
    도어는 웨이퍼를 결합해서 감금하기 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  9. 제 8항에 있어서,
    캠 부재는, 웨이퍼 결합 캠 가이드(440)를 더 포함하며, 웨이퍼 리테이너는 도어에 움직일 수 있게 장착되어 리테이너 부분의 개방된 내부 쪽으로 그리고 그로부터 멀리 이동할 수 있으며, 운동 전환 링크(476)는 상기 웨이퍼 리테이너와 웨이퍼 결합 캠 가이드 사이로 연장되며, 또한, 운동 전환 링크는 캠 부재가 웨이퍼 리테이너의 외부로 연장하도록 형성된 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  10. 제 7항에 있어서,
    외부와 내부로 움직일 수 있는 웨이퍼 결합 암(112)과 이 웨이퍼 결합 암에 연결된 작동기 암(120)을 포함하며, 상기 작동기 암은 웨이퍼 결합 캠 가이드와 결합하는 캠 접속자를 갖게 됨으로서, 캠 부재가 회전하는 경우에, 작동기 암은 웨이퍼의 모서리 부분을 맞물리도록 바깥쪽으로 웨이퍼 결합 암을 연장 하게 함으로써 상기 웨이퍼를 보지하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  11. 제 9항에 있어서,
    도어를 가진 능동 웨이퍼 유지 기기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  12. 제 9항에 있어서,
    도어를 가진 웨이퍼 유지 수단(102)을 더 포함하며, 유지수단은 캠 부재와 결합된 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  13. 도어와 콘테이너 부분을 구비한 운송 모듈에 있어서,
    상기 콘테이너 부분은 정면 개방 부(240), 폐쇄된 좌측 부(244), 폐쇄된 우측 부(248), 폐쇄된 상부(242), 장치 계면을 가지는 폐쇄된 바닥 부(250). 폐쇄된 배부(246), 개방된 내부(41), 상기 개방된 내부에 위치하여 웨이퍼를 적층형태로 유지하기 위한 다수의 웨이퍼지지 칼럼(36) 및, 정면 측에 위치하여 개방된 내부에 이어지는 도어 프레임(60)을 가지며,
    또한, 상기 도어 프레임은 네 개의 잠금 리셉터클을 가지고 있으며, 상기 도어는 상기 도어프레임용 크기로 된 주변부(94), 개방된 내부를 갖는 좌측면(304)과 개방된 내측을 가지는 우측 부(306)를 지니며, 상기 좌측 부는 도어프레임위의 각각의 잠금 리셉터클과 일치하게 배열될 수 있는 한 쌍의 잠그는 슬롯(299)을 지니며, 우측 부는 도어 프레임 상의 각각의 잠금 리셉터클과 일치하게 배열될 수 있는 추가적인 한 쌍의 잠그는 슬롯을 갖으며,
    상기 도어는 각각의 개방된 내부에서 각각의 좌측면과 우측면상에 회전 가능한 캠 부재(310)와 각각 두 개의 잠금 링크(311)를 더 포함하고, 각각의 회전 가능한 부재는 두 세트의 캠 가이드(314, 315)를 가지며, 각각의 잠금 링크는 각각의 세트의 캠 가이드와 대응하여 맞물리며,
    각각의 잠그는 링크들은 제 1 캠 가이드와 맞물려서 잠금 슬롯 중 하나에 연장한 제 1 잠금 링크(318)와, 상기 제 1 잠금 링크에 평행하게 연장한 협동 리프팅 링크(319)를 포함하며, 리프팅 링크는 경사면(394)과, 경사면 결합부분(368)을 가지는 잠금 링크를 가지며, 캠 가이드는 도어가 도어프레임에 있을 때 Z고 회전 가능한 부분이 제 1원호(411)를 통하여 회전하였을 때, 리프팅 링크가 잠금 슬롯을 통해 대응하는 잠금 리셉터클로 제 1 방향(414) 바깥쪽으로 이동하도록 구성되어서, 회전가능한 부분이 제 1인접 원호(412)를 통해 이동하는 경우, 잠금 링크가 상기 제 1방향에 대해 상당히 유지되고, 리프팅 링크가 상기 잠금 링크에 대해 이동하게 됨으로써, 경사 결합부와 잠금 암 아래의 쇄기가 제 1방향에 직교하는 제 2방향으로 밀쳐지는 것을 특징으로 하는 운송모듈.
  14. 웨이퍼 운송 모듈은,
    a) 도어 개구부(40)를 형성하여, 잠금 리셉터클을 갖근 직사각형의 도어 프레임(60)과 개방된 내부을 가지고 웨이퍼를 수용하는 콘테이너 부분을 포함하며;
    b) 도어 개구부를 덮도록 되어 있으며 개방된 내부(41)를 지니는 도어를 포함하며,
    상기 도어는
    i) 내부 대면 판(96)과 외부 대면 판(86)을 가지는 도어 엔클러저(90)를 지니며, 외부 장착 부분(295)은 직사각형 도어 프레임과 맞물리는데 맞게 크기를 하고 있으며, 외측 시팅 부는 도어가 도어 프레임에 위치하는 경우, 잠금 리셉터클에 인접한 개구부(229)를 갖으며,
    ii) 개방된 내부에 형성되어 도어의 외부로부터 회전가능하며, 제 1의 캠 가이드(314)와 제 2의 캠 가이드(315)를 갖는 캠 부재(310)를 포함하며,
    iii) 두개의 끝단을 갖은 잠금 링크(318)를 포함하며, 하나의 끝단은 제 1의 캠 가이드에 결합하는 캠 접속자를 갖고 있고, 나머지 끝단은 외측 장착부에 형성된 개구부에 연장한 래치부분(306)을 지니며, 리프팅 링크는 상기 두 개의 끝단 중간에 제 1의 리프팅 부분(368)을 지니며, 제1의 캠 가이드는 잠글 부분을 도어에 대하여 제 1방향으로 잠금 리셉터클 바깥쪽으로 연장하도록 구성되어 있으며,
    iv) 제 2 캠 가이드에 결합된 캠 접속자를 가지는 캠 된 끝단(380)을 가지며, 상기 제 1 리프팅 부분과 결합할 수 있는 협동된 제 2의 리프팅 부분을 가지는 리프팅 링크(319)를 지니고 있으며, 제 1의 리프팅 부분과 제 2의 리프팅 부분은 겹치는 관계로 배열되며, 상기 제 1의 리프팅 부분과 상기 제 2의 리프팅 부분 중 하나는 경사면(394)을 가지고 있고 상기 제 1의 리프팅 부분과 상기 제 2의 리프팅 부분의 나머지는 경사면 결합부분(368.1)을 갖으며, 제 2 캠 가이드는 잠금 링크 에 대하여 리프팅 링크를 움직이도록 구성되어 있어서, 경사면 결합부분은 잠금 부분이 잠금 리셉터클에 있을 때 제 1방향에 직교하는 제 2방향으로 잠금 링크를 이동하기 위해 경사면에 올라타는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운동모듈.
  15. 제 14항에 있어서,
    도어는 웨이퍼를 결합하여 감금하기 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이너(470)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  16. 제 15항에 있어서,
    캠 부재는 웨이퍼 결합 캠 가이드(440)를 더 포함하며, 웨이퍼 리테이너는 도어에 이동할 수 있도록 장착되어 콘테이너부의 개방된 내부의 도어 쪽으로 그리고 이로부터 떨어지게 이동할 수 있으며, 운동 전환 링크(476)는 웨이퍼 리테이너와 웨이퍼 결합 캠 가이드의 사이로 연장되어 있으며 , 운동 전환 링크는 캠 부재의 회전이 웨이퍼 리테이너를 바깥쪽으로 연장하도록 구성된 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  17. 제 14항에 있어서,
    내부와 외부로 이동 가능한 웨이퍼 결합 암(112)과 이 웨이퍼 결합 암과 연결되어 있는 작동기암(120)을 포함하는 웨이퍼 결합 메카니즘(102)을 더 포함하며, 상기 작동기암은 웨이퍼 결합 캠 가이드와 결합되는 캠 접속자를 가지고 있어서, 캠부재가 회전하게 되면, 작동기 암은 웨이퍼의 모서리부분을 맞물리기 위해 웨이퍼 결합 암을 바깥쪽으로 연장하게 되어 상기 웨이피를 유지하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  18. 제 14항에 있어서,
    도어를 가진 능동 웨이퍼 유지 수단(102)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  19. 제 14항에 있어서,
    도어를 가진 웨이퍼 유지수단(102)을 더 포함하며, 상기 유지 수단은 캠 부재와 결합하는 것을 특징으로 하는 잠그는 도어가 있는 운송모듈.
  20. 웨이퍼 운송 모듈은
    a) 개방 전면(40)과 이 개방전면에서 용기부상에 형성된 잠금 리셉터클을 가지며, 수평배열로 웨이퍼를 유지하는 콘테이너부와;
    b) 개방전면을 닫을 수 있게 위치 가능한 도어(24)와;
    상기 도어는
    i) 잠금 리셉터클 쪽으로 제 1방향 바깥쪽으로 연상 가능한 잠금 부분(306)을 지니는 잠금 링크(318)를 포함하며,
    ii) 잠금 링크 장치에 인접하여 제 1방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 리프팅 링크(319)를 포함하며,
    하나이상의 리프팅 링크와 잠금 링크는 리프팅 링크와 잠금 부분 중 나머지가 경사면에 대하여 이동가능 하도록 경사면(394)을 지니며, 이 경사면에 의해 잠금 링크가 제 1방향에 직교하는 제 2방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운송 모듈.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 도어는 콘테이너 부의 개방 전방(40)에 크기가 맞는 외측 장착부(295)를 더 포함하며,
    이 장착부분은 도어가 콘테이너 부분을 폐쇄하도록 위치되는 경우 잠금 리셉터클과 일치되게 배열된 개구부(299)를 갖으며,
    개방된 내부를 포함하며;
    개방된 내부에 형성되어 도어의 외부로부터 부분적으로 회전가능하며 제 1 및 제 2 캠 가이드를 가지는 캠 부재를 포함하며;
    잠금 링크는 제 1 캠 가이드에 결합된 캠 접속자(366)를 더 포함하며, 제 1 캠 가이드는 제 1방향으로 외측 장착부의 개구부를 통해 잠금 리셉터클에 연장하도록 구성되어 있으며;
    리프팅 링크는 제 2 캠 가이드에 결합된 캠 접속자(382)를 가지는 캠 끝단(381)을 더 포함하며, 제 2캠 가이드는 리프팅 링크를 잠금 링크에 대하여 제 1방향으로 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운송 모듈.
  22. 제 20항에 있어서,
    도어는 웨이퍼를 결합하여 구속하기 위해 도어에 장착된 웨이퍼 리테이너(470)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운송 모듈.
  23. 제 20항에 있어서,
    도어는 능동 웨이퍼 구속 메카니즘(102)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운송 모듈.
  24. 제 20항에 있어서,
    경사면은 리프팅 링크와 잠금 링크중 하나와 일체가 되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운송 모듈.
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