JP6591297B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。

半導体ウェーハのような薄板状の基板は、その輸送や保管時において振動やほこりなどから保護する必要がある。そこで、基板の保護容器として、特許文献１，２に記載された容器が知られている。特許文献１の容器は、基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを備える。蓋体は、蓋体に設けられた施錠機構によって容器本体に固定される。特許文献２の容器は、容器本体と蓋体とを備える。蓋体は、容器本体に係止されるカム部材を有する。カム部材は、ラッチアームと連動すると共に、位置規制手段によって静止位置が規制される。

特開２０１３−１６７４３号公報 特開２００７−１９１２０５号公報

特許文献１に記載された施錠機構は、施錠機構に差し込んだキーの回転操作によって施錠に関する機械的な動作を行う。例えば、この機械的な動作として、蓋体を容器本体側に押し付けることにより基板を挟み込む動作がある。したがって、キーの回転操作にあっては、機械的な動作に起因する力に対抗可能なトルクが必要になる。

一方、半導体の製造プロセスに用いられる装置は、ＳＥＭＩスタンダードと呼ばれる標準規格に従って設計及び製造される。この標準規格には、基板を収納する容器に関する項目が存在する。その項目には施錠動作に要するトルクの最大値が定められている。しかしながら、この規格内であっても、上限に近い場合には、基板収納容器のばらつきや装置の設定能力により蓋体の開閉動作が不安定となり、開閉動作が中断されてしまうことが懸念されていた。したがって、当該技術分野においては、施錠動作を確実に行いつつ、施錠動作に要するトルクの最大値を低減可能な基板収納容器が望まれている。

そこで、本発明では、施錠動作に要するトルクの最大値を低減可能な基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明の一形態は、基板を導入する開口に設けられた係合部を有する容器本体と、開口を閉鎖するように容器本体に取り付けられる蓋体と、係合部と係合することにより蓋体を容器本体に着脱可能に固定する施錠機構であって、外部からの操作によって回転軸線のまわりに回転する回転操作体、及び、係合部に係合される先端部及び回転操作体に連結される基端部を含む施錠体、を有する施錠機構と、を備え、回転操作体は、回転操作体の施錠方向への回転運動を回転軸線と交差する方向への施錠体の直線運動に変換することにより、先端部を係合部に係合させる第１動作を行う第１カム機構と、回転操作体の施錠方向への回転運動を回転軸線に沿った方向への施錠体の直線運動に変換することにより、蓋体を容器本体に引き込む第２動作を行う第２カム機構と、を含み、回転操作体は、第１角度領域及び第２角度領域を含む施錠領域における回転運動によって、第１動作及び第２動作を行い、第１動作は、第１角度領域における回転操作体の回転運動に基づく第１カム機構の動作によって行われ、第２動作は、第２角度領域における回転操作体の回転運動に基づく第２カム機構の動作によって行われ、第２角度領域は、第１角度領域より大きく、且つ、施錠領域より小さい。

容器本体の開口を閉鎖するように蓋体が容器本体へ取り付けられた後に、施錠機構による施錠動作が行われる。まず、施錠機構は、第１角度領域における回転操作体の回転運動により第１カム機構を動作させる。この第１カム機構の動作によれば、施錠体の先端部が容器本体の係合部に係合される。したがって、蓋体が容器本体に固定される。次に、施錠機構は、第２角度領域における回転操作体の回転運動により第２カム機構を動作させる。この第２カム機構の動作によれば、蓋体が容器本体の内側に引き込まれる。ここで、蓋体を容器本体に引き込む第２動作に要する仕事を考えたとき、力と変位の積である仕事は、回転操作体を回転させるトルク（力）と第２角度領域の大きさ（変位）とにより示される。そして、第２カム機構の動作は、第１角度領域よりも大きい第２角度領域において行われる。したがって、第２動作に要する仕事を得る場合において、第２角度領域の大きさ（変位）が大きくなるので、回転操作体を回転させるトルク（力）の最大値が低減される。したがって、この基板収納容器によれば、施錠動作に要するトルクの最大値を低減することができる。

第２角度領域は、施錠領域の１／２より大きく、且つ、施錠領域の４／５より小さくてもよい。この構成によれば、施錠動作に要するトルクの最大値を低減することができる。

施錠領域は、９０°以上であり、第２角度領域は、４５°以上７０°以下であってもよい。この構成によれば、施錠動作に要するトルクの最大値を好適に低減することができる。

施錠領域は、９０°以上であり、第１角度領域は、２０°以上３５°以下であってもよい。この構成によれば、施錠領域に占める第２角度領域の割合が大きくなる。したがって、第２角度領域をより大きく設定することが可能になるので、施錠動作に要するトルクの最大値をさらに低減することができる。

回転操作体は、一対の円板部を有し、第１カム機構は、円板部の一方に設けられたカム溝を含み、第２カム機構は、円板部の一方に設けられ、円板からの突出高さが施錠方向に沿って高くなる立体カムを含んでもよい。カム溝によれば、回転操作体の回転運動を回転軸線に交差する方向への施錠体の直線運動へ確実に変換することができる。また、立体カムによれば、回転操作体の回転運動を回転軸線方向への施錠体の直線運動へ確実に変換することができる。

立体カムは、第１部分と、施錠方向に沿って第１部分に連続するように設けられた第２部分と、を含み、第１部分は、第１立体カム勾配を有し、第２部分は、第１立体カム勾配とは異なる第２立体カム勾配を有していてもよい。ここで、第２動作に要するトルクは、容器本体への蓋体の引き込み長さに対応して変化する。この構成によれば、第１部分と第２部分とで、回転操作体の回転運動を施錠体の直線運動に変換する効率を異ならせることができる。したがって、第２動作に要するトルクの変化に対応することが可能になるので、施錠動作に要するトルクの最大値を低減することができる。

第２立体カム勾配は、第１立体カム勾配よりも小さくてもよい。第２動作は、第１部分における回転操作体の回転と、第２部分における回転操作体の回転とを含む。ここで、第２立体カム勾配は、第１立体カム勾配よりも小さいので、単位長さ当たりの直線運動を得るために必要な回転角度が大きくなる。その結果、上記した仕事を考えたとき、ある仕事を得るために必要な回転角度は、第１部分よりも第２部分の方が大きい。回転角度が大きくなると、必要な仕事を得るためのトルクの最大値は小さくなる傾向にある。換言すると、第１部分と第２部分とで同じトルクを付与した場合には、第１部分よりも第２部分における仕事が大きくなる。したがって、この構成によれば、第２動作において、単位トルクあたりの仕事を第１部分に対して第２部分において大きくなるように設定することができる。

第２角度領域は、第１部分が配置される領域と、第２部分が配置される領域と、を含み、第１部分が配置される領域は、第２角度領域の４０％以下であってもよい。この構成によれば、第２動作に要するトルクの最大値を好適に低減させることができる。

第２動作では、蓋体が第１部分によって第１引き込み長さだけ収納容器に引き込まれると共に、蓋体が第２部分によって第２引き込み長さだけ収納容器に引き込まれ、第１引き込み長さと第２引き込み長さの和は、第２動作において蓋体が収納容器に引き込まれる総引き込み長さであり、第１引き込み長さは、総引き込み長さの７０％以上であってもよい。この構成によれば、第２動作に要するトルクの最大値を好適に低減させることができる。

施錠機構は、回転操作体の施錠方向への回転を規制する第３の動作を行う回転規制機構をさらに含み、第３の動作は、施錠領域に含まれた第３角度領域における回転操作体の回転に基づく回転規制機構の動作によって行われもよい。この構成によれば、蓋体が容器本体へ固定された状態と、蓋体が容器本体へ引き込まれた状態と、を維持することができる。

本発明によれば、施錠動作を確実に行いつつ、施錠動作に要するトルクの最大値を低減可能な基板収納容器が提供される。

本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。 容器本体と蓋体との係合の様子を示す断面図である。 蓋体の構成を示す分解斜視図である。 カバープレートの裏面を示す斜視図である。 施錠機構を示す分解斜視図である。 第１カムリールを示す斜視図である。 第２カムリールを示す斜視図である。 施錠動作を説明するための側面図である。 第１動作を説明するための平面図である。 施錠領域、第１角度領域、第２角度領域及び第３角度領域の関係を示す図である。 第２動作を説明するための側面図である。 第１立体カム勾配及び第２立体カム勾配を示す側面図である。 第２動作を説明するための図である。 実施例１、実施例２、実施例３及び参考例１の設計条件と施錠動作における測定されたトルクを示す図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明を実施するための形態を詳細に説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図１に示される基板収納容器１は、例えばφ４５０ｍｍのシリコンウェーハである半導体ウェーハ１００（図８参照）を収納する。基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３とを有する。容器本体２は、半導体ウェーハ１００を収納するための空間を形成する。蓋体３は、容器本体２の開口した正面に着脱自在に取り付けられて、収納空間を閉鎖する。蓋体３は、後述する施錠機構４（図３参照）によって二段階の施錠操作で施錠される。

容器本体２及び蓋体３は、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形される。この成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加されてもよい。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されてもよい。また、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加されてもよい。

容器本体２は、半導体ウェーハ１００を導入する開口６を有するフロントオープンボックスである。以下の説明において、必要に応じて「上下」、「右左」、「背面」の文言を用いる。「上下」とは、容器本体２の長手方向が水平となる姿勢において、開口６を正面視したときの鉛直方向である。「左右」とは、容器本体２の長手方向が水平となる姿勢において、開口６を正面視したときの水平方向をいう。「背面」とは、容器本体２の開口６と対向する側の面をいう。容器本体２は、開口６を囲むように設けられたリブ７を有する。図２に示されるように、リブ７は、施錠に利用される施錠穴８（係合部）を有する。施錠穴８は、リブ７の内周面７ａに設けられる。

図３に示されるように、蓋体３は、蓋本体９とカバープレート１１とを有する。蓋本体９とカバープレート１１との間には、施錠機構４が配置される。蓋本体９は、略トレイ形をなし、容器本体２のリブ７に着脱自在に嵌合される。蓋本体９は、角部がそれぞれ丸く面取りされた長方形の板状を呈する。蓋本体９は、施錠穴８に対向するように設けられた矩形の出没孔１３を有する。出没孔１３は、蓋本体９の周囲壁９ａにおける上部と下部とに設けられる（図２参照）。蓋本体９は、施錠機構４を設置するための一対の設置空間１４を有する。

蓋本体９は、設置空間１４に設けられたリブ群１６を有する。リブ群１６は、包囲リブ１７と、支持リブ１８とを含む。包囲リブ１７は、回転操作体用リブ２１と、複数のラッチバー用リブ２２とをさらに含む。回転操作体用リブ２１は、設置空間１４の中央部に形成される。回転操作体用リブ２１は、平面視でリングを描くように配置された複数の円弧リブを有する。回転操作体用リブ２１の上部と下部とには、ラッチバー用リブ２２がそれぞれ接続される。ラッチバー用リブ２２は、周囲壁９ａと回転操作体用リブ２１との間に配置される。支持リブ１８は、回転操作体用リブ２１に囲まれた空間において、回転操作体用リブ２１に対して略同心円状に設けられる。支持リブ１８は、平面視でリングを描くように配置された複数の湾曲リブを有する。

蓋本体９は、シール機能のためのガスケット１２を有する。ガスケット１２は、蓋本体９の容器本体２と対面する裏面の周縁を囲むように配置される。ガスケット１２は、例えばシリコーンゴムやフッ素ゴム等からなり、施錠時に蓋本体９と容器本体２とに挟持されて圧縮変形する（図２参照）。ガスケット１２の圧縮変形は、シール機能を発揮し、外気との接触に伴う半導体ウェーハ１００の汚染を防止する。

蓋本体９は、半導体ウェーハ１００の円周縁を保護するリテーナ２３を有する。リテーナ２３は、半導体ウェーハ１００に対向する蓋本体９の裏面に着脱自在に設けられる。リテーナ２３は、断面略Ｖ字型の保持溝が形成された複数の弾性片２４を含む。保持溝は、複数枚の半導体ウェーハ１００を容器本体２内の背面方向に押し込みつつ弾性的に保持する。

カバープレート１１は、蓋本体９の開口形状に対応する略長方形の板であり、蓋本体９の前面側に取り付けられる。カバープレート１１は、中央部において放射状に設けられた複数の洗浄孔２６を有する。カバープレート１１は、施錠機構４を操作するためのキースロット２７を有する。キースロット２７は、カバープレート１１の左右両側部の中央に設けられる。

図４に示されるように、カバープレート１１は、裏面両側部の中央付近に設けられた対応リブ２８を有する。対応リブ２８は、蓋本体９の回転操作体用リブ２１（図３参照）に対向する。対応リブ２８は、一対の回転規制片２９を含む。回転規制機構３０を構成する回転規制片２９は、対応リブ２８の一部が略へ字形に屈曲して形成される。カバープレート１１は、裏面の下部両側に設けられた三角突起３１を有する。

基板収納容器１は、蓋体３に配置された２組の施錠機構４を有する。

図５に示されるように、施錠機構４は、１個のカムリール３２（回転操作体）と２個のラッチバー３３（施錠体）とを有する。カムリール３２は、設置空間１４の支持リブ１８に回転可能に支持され、カバープレート１１のキースロット２７から差し込まれる施錠キーによって回転操作される。ラッチバー３３は、カムリール３２の回転により設置空間１４の回転軸線Ａと交差する上下方向Ｄ１に往復移動する。ラッチバー３３の両端は、カムリール３２の回転により回転軸線Ａの方向と平行な前後方向Ｄ２に揺動する。つまり、施錠機構４では、カムリール３２が施錠方向ＤＬに回転したとき、ラッチバー３３の上下方向Ｄ１への移動によって、蓋体３の出没孔１３から容器本体２の施錠穴８内にラッチバー３３の先端部５９を非接触で突出させる動作（第１動作）が行われる。また、施錠機構４では、カムリール３２が施錠方向ＤＬに回転したとき、ラッチバー３３の両端の前後方向Ｄ２への揺動によって、蓋体３を容器本体２に引き込む動作（第２動作）が行われる。

カムリール３２は、第１カムリール３４と第２カムリール３６とを有する。第１カムリール３４及び第２カムリール３６は、回転軸線Ａにおいて互いに離間して配置される。この第１カムリール３４及び第２カムリール３６には、ラッチバー３３の基端部３７が連結される。具体的には、第１カムリール３４及び第２カムリール３６は、それらの間に形成される隙間に、ラッチバー３３の基端部３７を挟み込む。

図６に示されるように、第１カムリール３４は、円板３８（円板部）と円筒リブ３９とを有する。

円板３８は、設置空間１４の回転操作体用リブ２１に包囲されるように蓋体３に取り付けられる。円板３８は、中心部に設けられた長方形の操作孔４１（図５参照）を有する。円板３８は、周縁部において１８０°の間隔でそれぞれ内方向に切り欠かれるように設けられた一対の凹部４２を有する。円板３８は、周縁部と各凹部４２との境界付近に設けられた位置制御片４３を有する。位置制御片４３は、略鉤形であって可撓性を有し、周方向に突出して凹部４２を囲む。一対の位置制御片４３は、カバープレート１１の回転規制片２９（図５参照）に係合する。この係合により、カムリール３２の回転が制御される。したがって、位置制御片４３と回転規制片２９とは、回転規制機構３０を構成する。

円筒リブ３９は、第２カムリール３６に嵌め合わされる。円筒リブ３９は、円板３８上に設けられる。円板３８は、ラッチバー３３の基端部３７を案内する円弧状溝部４４を有する。円弧状溝部４４は、円板３８の周縁部付近において凹部４２の近傍に設けられる。円弧状溝部４４は、一端部が円板３８の回転軸線Ａに偏在する。この一端部の偏在により、ラッチバー３３を蓋体３の内部へ収納する動作及び蓋体３から突出させる動作がなされる。円弧状溝部４４の他端部側は、徐々に円板３８の円周方向に沿うように形成され、やがて円周方向に同心円状の溝になる。円弧状溝部４４は、後述する第１カム機構１０を構成する。

第１カムリール３４は、第２カム機構２０を構成する第１カム４６を有する。第１カム４６は、円板３８において円筒リブ３９が立設する面に設けられる。第１カム４６は、第１水平カム４７と、第１傾斜カム４８と、第１係合カム４９とを有する。第１傾斜カム４８及び第１係合カム４９は、立体カムを構成する。

第１水平カム４７は、一対の円弧状溝部４４の間に設けられ、円弧状溝部４４の一端部に隣接する。

第１傾斜カム４８は、円弧状溝部４４の周縁両側部に部分的に立設される。第１傾斜カム４８は、円弧状溝部４４を挟む一対の湾曲した略三角形の壁に形成される。第１傾斜カム４８の高さは、円弧状溝部４４の基端部から終端部方向に向かうにしたがい徐々に高くなる。第１傾斜カム４８は、最も低い低位部分が円弧状溝部４４中央の変曲点付近に位置する。第１傾斜カム４８は、最も高い高位部分が円弧状溝部４４の終端部の手前付近に位置する。

第１係合カム４９は、円弧状溝部４４の終端部の近傍に立設される。第１係合カム４９は、円弧状溝部４４の他端部を包囲する断面略Ｕ字形の壁に形成される。第１係合カム４９の高さは、第１傾斜カム４８の高位部分と同じである。第１係合カム４９は、第１傾斜カム４８と一体であり、第１傾斜カム４８の高位部分に整合されて滑らかに連続する。

図７に示されるように、第２カムリール３６は、円筒リブ５１と、外側フランジ５２と、を有する。円筒リブ５１は、第１カムリール３４の円筒リブ３９に嵌め合される。外側フランジ５２は、円筒リブ５１の外周面から半径外方向に張り出すように設けられる。外側フランジ５２は、円筒リブ５１の外周面に設けられた一対の分割壁５３によって二分割される。一対の分割壁５３に分割された外側フランジ５２のそれぞれの部分は、立体的な第２カム５４をそれぞれ形成する。

第２カム５４は、第２水平カム５６と、第２傾斜カム５７と、第２係合カム５８とを有する。第２傾斜カム５７の高さは、他方の分割壁５３の方向に向かうにしたがい徐々に変化する。第２係合カム５８は、第２傾斜カム５７の端部と他方の分割壁５３の他端部との間に連続して位置する。

第２傾斜カム５７及び第２係合カム５８は、第２傾斜カム５７から第２係合カム５８に向かうにしたがい張り出し量が徐々に小さくなる。第２傾斜カム５７の一部は、施錠機構４が施錠操作される前段階において、第１カム４６の第１傾斜カム４８の一部と対向してラッチバー３３の末端部を挟持する。また、第２係合カム５８は、施錠操作前の段階において、第１カム４６の第１水平カム４７と対向してラッチバー３３の基端部３７を挟持する。

図５に示されるように、施錠爪であるラッチバー３３は、基本的には略長方形の板に形成され、設置空間１４のラッチバー用リブ２２内に収納される。ラッチバー３３は、矩形を呈した先端部５９を有する。先端部５９は、蓋体３の施錠時に蓋体３の出没孔１３から突出して容器本体２の施錠穴８に嵌入する。

ラッチバー３３は、長手方向に伸びる複数本の補強リブ６１を有する。補強リブ６１は、ラッチバー３３のカバープレート１１に対向する表面に横一列に設けられる。補強リブ６１の間には、カバープレート１１の三角突起３１が配置される。ラッチバー３３は、断面略台形の支点部６２を有する。支点部６２は、ラッチバー３３の蓋本体９に対向する裏面の先端側に設けられる。

ラッチバー３３は、カムリール３２に遊嵌するピン６３を有する。ピン６３は、ラッチバー３３の基端部３７に設けられる。ピン６３は、円弧状溝部４４、第１傾斜カム４８、第１係合カム４９に第２カムリール３６側からスライド可能及び揺動可能に遊嵌する。ピン６３は、円弧状溝部４４との接触を円滑にするために円筒形や円柱形に形成される。

基板収納容器１における施錠動作について説明する。既に述べたように、ラッチバー３３による施錠動作には、先端部５９を施錠穴８に係合させる第１動作と蓋体３を容器本体２に引き込む第２動作とがあり、さらに施錠方向ＤＬへのカムリール３２の回転を規制する第３の動作がある。第１動作は、第１カム機構１０により行われる。第２動作は、第２カム機構２０により行われる。第３の動作は、回転規制機構３０により行われる。

図８及び図９を参照しつつ、施錠動作について説明する。図８の（ａ）部及び図９の（ａ）部に示されるように、蓋体３を容器本体２のリブ７内に嵌め込む。このとき、ラッチバー３３の先端部５９は、蓋本体９内に配置される。すなわち、ラッチバー３３と容器本体２の施錠穴８とは係合していない。次に、図８の（ｂ）部及び図９の（ｂ）部に示されるように、施錠キーの回転を始めると、まず、第１動作が開始されて、ラッチバー３３の先端部５９が施錠穴８（係合部）に係合する。この第１動作が進行している間に、第２動作が開始される。すなわち、第１動作と第２動作とは一部が重複している。さらに、施錠キーを回転させると、第１動作が終了する。つまり、ラッチバー３３が最も突出した位置になる。この状態では、第２動作は継続している。つまり、蓋体３を容器本体２に引き込む動作が継続する。さらに、施錠キーを回転させると、図８の（ｃ）部及び図９の（ｃ）部に示されるように、蓋体３が容器本体２に引き込まれて第２動作が終了する。ここで、蓋体３が容器本体２に引き込まれるとは、蓋体３が容器本体２の内部へ移動することをいう。この蓋体３の引き込みによって、搭載部５ａに支持された半導体ウェーハ１００は、リテーナ２３により、容器本体２内の背面方向に押し込まれる。さらに、施錠キーを回転させると、今度は、第３の動作が開始される。つまり、第２動作と第３の動作とは重複しない。そして、さらに施錠キーを回転させると、カムリール３２の回転運動が規制されて第３の動作が終了する。

図９の（ａ）部は、施錠動作開始前の第１カムリール３４とラッチバー３３との関係を示す正面図である。図９の（ａ）部に示されるように、施錠動作において施錠キーが回転される範囲は施錠領域θａである。そして、施錠キーが回転される方向は、施錠方向ＤＬである。ラッチバー３３のピン６３は、第１カムリール３４の円弧状溝部４４の一端に配置される。ここで、円弧状溝部４４は、第１溝部４４ａと第２溝部４４ｂとを有する。

第１溝部４４ａは、第１カムリール３４の回転軸線Ａから溝までの距離が変化する部分ある。ピン６３が円弧状溝部４４を案内されるとき、ピン６３の中心軸線が通る軌跡Ｌを設定する。軌跡Ｌの始点Ｌ１と回転軸線Ａとを通る直線Ｒ１の長さは、軌跡Ｌにおける第１溝部４４ａの終点Ｌ２と回転軸線Ａとを通る直線Ｒ２の長さよりも短い。このような第１溝部４４ａにピン６３が嵌められて、第１カムリール３４が施錠方向ＤＬに回転されたとき、図９の（ｂ）部に示されるように、ピン６３は、円弧状溝部４４に案内される。このピン６３の動きは、ピン６３が回転軸線Ａから離れるように移動する動きに見える。

一方、軌跡Ｌにおける第２溝部４４ｂの始点Ｌ３（終点Ｌ２と同じ）と回転軸線Ａとを通る直線Ｒ３の長さは、軌跡Ｌにおける第２溝部４４ｂの終点Ｌ４と回転軸線Ａとを通る直線Ｒ４の長さと略等しい。したがって、回転軸線Ａから軌跡Ｌまでの距離は一定である。これにより、ピン６３が第２溝部４４ｂにおいて案内されたとき、図９の（ｃ）部に示されるように、ピン６３は第１カムリール３４に対する相対位置は変化するものの、ピン６３が回転軸線Ａから離れるような移動は生じない。したがって、円弧状溝部４４における第１溝部４４ａは、第１動作を生じさせる。

ここで、図１０に示されるように、第１動作は、施錠領域θａにおける第１角度領域θ１において生じる。第１角度領域θ１は、第１溝部４４ａの形状に基づく。ピン６３の移動は、第１溝部４４ａにおける始点Ｌ１から終点Ｌ２までの間において生じる。この始点Ｌ１に対応する直線Ｒ１と終点Ｌ２に対応する直線Ｒ２とのなす角が、第１角度領域θ１である。すなわち、第１角度領域θ１は、回転軸線Ａと始点Ｌ１とを通る直線と、回転軸線Ａと終点Ｌ２とを通る直線とのなす角度領域であるといえる。この第１角度領域θ１は、２０°以上３５°以下であり、一例として、３０°である。

図１１の（ａ）部は、施錠開始前の第１カムリール３４とラッチバー３３との関係を示す側面図である。第２動作は、第１傾斜カム４８によって実現される。ピン６３は、第１傾斜カム４８が形成する溝に案内される。このとき、ピン６３が設けられたラッチバー３３の基端部３７は、第１傾斜カム４８の斜面に沿って案内される。第１傾斜カム４８は、容器本体２の背面に向かって突出するように配置される。したがって、ラッチバー３３の基端部３７は、容器本体２の背面側に向かって移動される。

ラッチバー３３は、図１１の（ｂ）部に示される動作を経て、図１１の（ｃ）部に示された支点部６２が蓋本体９に押し当てられた状態に至る。したがって、ラッチバー３３の基端部３７を容器本体２の背面側に向けて押すと、ラッチバー３３の先端部５９は、容器本体２の外側に向けて移動して、施錠穴８の側壁に当接する。先端部５９が施錠穴８に当接した後、さらに基端部３７が移動されると、先端部５９はそれ以上移動することができず、施錠穴８から反力Ｆ２を受けるようになる。この反力Ｆ２と、リテーナ２３の弾性片２４の圧縮により生じる圧縮力Ｆ１とが釣り合う位置まで蓋体３が容器本体２の内部に引き込まれる。すなわち、図１１の（ｃ）部に示された状態では、蓋体３の引き込みによって生じる弾性片２４の圧縮力Ｆ１は、先端部５９と施錠穴８との当接による反力Ｆ２と釣り合う。

ここで、物理学上の仕事の概念を提示する。仕事は、力と変位との積によって定義される。この定義を利用して、第２動作に必要な仕事の規定を試みると、力は施錠キーのトルクに相当し、変位は第２動作が行われる第２角度領域θ２の角度に相当する。したがって、第２動作に必要な仕事は、トルクと第２角度領域θ２の角度の積として考えることができる。一方、第２動作に必要な仕事は、弾性片２４を所定長さだけ圧縮するために必要な仕事であるともいえる。そうすると、弾性片２４のバネ定数と圧縮長さ（すなわち引き込み長さ）が決まれば、仕事の量も決まる。第２動作では、トルクと回転角度との積が弾性片２４のバネ定数と圧縮長さから決まる仕事の量を満たせばよい。この場合、大きいトルクによって小さい角度だけ第１カムリール３４を回転させる態様と、小さいトルクによって大きい角度だけ第１カムリール３４を回転させる態様と、が考えられる。基板収納容器１の技術分野においては、施錠動作に要するトルクは、上限がＳＥＭＩ規格によって規定されている。したがって、施錠動作における第２動作にあっては、小さいトルクによって大きい角度だけ第１カムリール３４を回転させる態様の方が望ましい。

換言すると、基板収納容器１は、蓋体３に設けられるリテーナ２３を用いて、輸送時に基板が回転しないように所定の荷重以上で保持する。その荷重は、蓋体３を施錠する際のキー回転トルク(ラッチトルク)となる。この荷重は引き込み長さに比例するので、カムリール３２が回転されて引き込み長さが大きくなるにつれてトルクが一律に大きくなる。そして、最終的な施錠に生じるトルクのピーク値が高くなってしまうという問題があった。この施錠機構のトルクは、ＳＥＭＩ標準規格にて上限値が規定されている。したがって、装置側の負荷を減らすためになるべく低いトルクで施錠できることが望まれていた。一方、低いトルクに設定した蓋体開閉装置において、施錠に必要なトルクが高い基板収納容器では、エラーとなり、その後の開閉動作が停止してしまい、生産効率が悪くなってしまう問題がった。

そこで、基板収納容器１は、トルクの最大値を抑制するために、第２動作が行われる第２角度領域θ２を大きく確保している。図１０に示されるように、第２角度領域θ２は、少なくとも第１角度領域θ１よりも大きい。一方、第２角度領域θ２は、施錠領域θａに含まれるので、第２角度領域θ２は施錠領域θａよりも小さい。本実施形態の施錠機構４では、施錠領域θａは９０°以上とできるが、ＳＥＭＩ規格により多くの場合は９０°である。第１角度領域θ１は、３０°であり、第２角度領域θ２は５５°であり、第３角度領域θ３は１５°である。第２角度領域θ２は、第３角度領域θ３と重複しないので、７５°（＝９０°−１５°）の領域に第１角度領域θ１と第２角度領域θ２とが設定される。要するに、第１角度領域θ１は施錠領域θａにおける０°から３０°まで（すなわちθ１＝３０°）に設定される。第２角度領域θ２は、施錠領域θａにおける２０°から７５°（すなわちθ２＝５５°）に設定される。したがって、第２角度領域θ２は、第１角度領域θ１に対して１０°だけ重複している。なお、第２角度領域θ２は、少なくとも施錠領域θａにおける１５°以上の角度において設定されればよい。

この第２角度領域θ２は、第１傾斜カム４８が設けられた範囲に対応する。第１傾斜カム４８は、始点Ｌ５と回転軸線Ａとを通る直線Ｒ５と終点Ｌ６と回転軸線Ａとを通る直線Ｒ６との間の角度（第２角度領域θ２）が４５°以上７０°以下に設定され、一例として５５°に設定される。また、直線Ｒ５と基準線である直線Ｒ１との間の角度は２０°である。また、第２角度領域θ２は、施錠領域θａの１／２より大きく、且つ、施錠領域θａの４／５より小さいと規定することもできる。

ここで、第２動作に要するトルクは、リテーナ２３の弾性片２４における反力に対応することを既に述べた。この弾性片２４の反力は、圧縮バネの反力と同様に取り扱うことが可能である。すなわち、弾性片２４の反力の大きさは距離に比例して大きくなる。したがって、弾性片２４の反力は、蓋体３が容器本体２に引き込まれるほど（弾性片２４が圧縮されるほど）に大きくなるので、第２動作に要するトルクも蓋体３が容器本体２に引き込まれるほどに大きくなる。さらに、蓋体３が容器本体２に引き込まれる過程は、その過程の最終段階において、蓋体３がガスケット１２を押し潰しながら容器本体２に引き込まれる過程も含む。したがって、第２動作では、弾性片２４に起因する反力と、ガスケット１２の圧縮に起因する力とにより必要なトルクが増加する傾向にある。

この点に鑑み、本実施形態の施錠機構４は、第２動作におけるトルクの最大値の増加をさらに抑制する構成を有する。上述したように、第２動作にあっては、小さいトルクによって大きい角度だけ第１カムリール３４を回転させる態様が望ましい。そこで、第１傾斜カム４８において、立体カム勾配が互いに異なる第１カム部４８ａ（第１部分）と第２カム部４８ｂ（第２部分）とを設定する。第１カム部４８ａは、第２角度領域θ２のうち第１カム領域θ２ａを占める。具体的には、第１カム領域θ２ａは、第２角度領域θ２の４０％以下に設定される。一例として、第１カム領域θ２ａは、３０％に設定される。また、第２カム部４８ｂは、第２角度領域θ２のうち第２カム領域θ２ｂを占める。

図１２に示されるように、第１立体カム勾配αは、第２立体カム勾配βよりも大きい。第１立体カム勾配αは、第１カム部４８ａの斜面と円板３８の平坦面との間の角度である。第２立体カム勾配βは、第２カム部４８ｂの斜面と円板３８の平坦面との間の角度である。第１立体カム勾配αは、１０°以上４５°以下であり、一例として３０°である（カムが半径約５０ｍｍ）。第２立体カム勾配βは、５°以上２２．５°以下であり、一例として５°である。ここで、第１立体カム勾配αと第２立体カム勾配βとの比（α／β）は、２／１〜６／１となるように設定することが好ましい。この比率が２／１であれば、第２角度領域θ２の４０％以内で引き込み動作の７０％を完了させることができる。すなわちリテーナ２３の弾性片２４からの反力が増大する前に引き込み動作の７０％を完了できる。比率が６／１以下であれば、第２角度領域θ２が好適な範囲にある間に、引き込み動作をスムーズに完了させることができる。

要するに、第１傾斜カム４８は、第１カム部４８ａと第２カム部４８ｂとを有する。第１カム部４８ａは、第１カム領域θ２ａが１６．９°であり、第１立体カム勾配αが３０°である。一方、第２カム部４８ｂは、第２カム領域θ２ｂが３８．１°であり、第２立体カム勾配βが５°である。それぞれの立体カム勾配は、回転角度と引き込み長さとの関係から決定される。

図１３は、回転角度と引き込み長さとの関係を示す。グラフにおける符号θ２は、第１傾斜カム４８が設けられた第２角度領域θ２に対応する。グラフにおいて、符号θ２ａが第１カム部４８ａに対応し、符号θ２ｂが第２カム部４８ｂに対応する。第１カム部４８ａに対応する第１カム領域θ２ａは、第２角度領域θ２の４０％以下に設定する。また、第１カム部４８ａにおける引き込み長さＤＡは、最大引き込み長さＤの７０％以上に設定する。

上述したように、第２動作では、リテーナ２３の弾性片２４からの反力が、蓋体３が容器本体２に引き込まれるに伴って徐々に大きくなる。そうすると、第２動作（引込動作）は後半になるにつれ、強いトルクが必要になる。したがって、トルクの軽い前半に少ない回転角度で引込動作の大半（最大引き込み長さＤの７０％以上）を完了させ、その後の高トルク領域で立体カム勾配を小さくし、多くのカムリール回転角度を使いトルクの最大値を低減する。

次に、本実施形態の基板収納容器１に関する作用効果を説明する。

容器本体２の開口を閉鎖するように蓋体３が容器本体２へ取り付けられた後に、施錠機構４による施錠動作が行われる。まず、施錠機構４は、第１角度領域θ１におけるカムリール３２の回転運動により第１カム機構１０を動作させる。この第１カム機構１０の動作によれば、ラッチバー３３の先端部５９が容器本体２の施錠穴８に係合される。したがって、蓋体３が容器本体２に固定される。次に、施錠機構４は、第２角度領域θ２におけるカムリール３２の回転運動により第２カム機構２０を動作させる。この第２カム機構２０の動作によれば、蓋体３が容器本体２に引き込まれる。ここで、蓋体３を容器本体２に引き込む第２動作に要する仕事を考えたとき、力と変位の積である仕事は、カムリール３２を回転させるトルク（力）と第２角度領域θ２の大きさ（変位）とにより示される。そして、第２カム機構２０の動作は、第１角度領域θ１よりも大きい第２角度領域θ２において行われる。したがって、第２動作に要する仕事を得る場合において、第２角度領域θ２の大きさ（変位）が大きくなるので、カムリール３２を回転させるトルク（力）の最大値が低減される。したがって、この基板収納容器１によれば、施錠動作に要するトルクの最大値を低減することができる。

第１カム機構１０は、円弧状溝部４４であり、第２カム機構２０は、立体カムである。円弧状溝部４４によれば、カムリール３２の回転運動を回転軸線Ａに交差する方向へのラッチバー３３の直線運動へ確実に変換することができる。また、立体カムによれば、カムリール３２の回転運動を回転軸線Ａの方向へのラッチバー３３の直線運動へ確実に変換することができる。

立体カムは、第１カム部４８ａと第２カム部４８ｂとを含む（図５参照）。第１カム部４８ａは、第１立体カム勾配αを有し、第２カム部４８ｂは、第２立体カム勾配βを有する（図１３参照）。ここで、第２動作に要するトルクは、容器本体２への蓋体３の引き込み長さに対応して変化する。この構成によれば、第１カム部４８ａと第２カム部４８ｂとで、カムリール３２の回転運動をラッチバー３３の直線運動（引き込み動作）に変換する効率を異ならせることができる。したがって、第２動作に要するトルクの変化に対応することが可能になるので、施錠動作に要するトルクの最大値を低減することができる。

第２立体カム勾配βは、第１立体カム勾配αよりも小さい。第２動作は、第１カム部４８ａにおけるカムリール３２の回転と、第２カム部４８ｂにおけるカムリール３２の回転とを含む。ここで、第２立体カム勾配βは、第１カム部４８ａよりも小さいので、単位長さ当たりの直線運動を得るために必要な回転角度が大きくなる。その結果、上記した仕事を考えたとき、ある仕事を得るために必要な回転角度は、第１カム部４８ａよりも第２カム部４８ｂの方が大きい。回転角度が大きくなると、必要な仕事を得るためのトルクの最大値は小さくなる傾向にある。換言すると、第１カム部４８ａと第２カム部４８ｂとで同じトルクを付与した場合には、第１カム部４８ａよりも第２カム部４８ｂにおける仕事が大きくなる。したがって、この構成によれば、第２動作において、単位トルクあたりの仕事を第１カム部４８ａに対して第２カム部４８ｂにおいて大きくなるように設定することができる。

第２角度領域θ２は、第１カム領域θ２ａと第２カム領域θ２ｂとを含む。第１カム領域θ２ａは、第２カム領域θ２ｂの４０％以下である。また、第２動作では、蓋体３が第１カム部４８ａによって第１引き込み長さＳ１だけ容器本体２に引き込まれる。蓋体３が第２カム部４８ｂによって第２引き込み長さＳ２だけ容器本体２に引き込まれる。第１引き込み長さＳ１と第２引き込み長さＳ２の和は、第２動作において蓋体３が容器本体２に引き込まれる総引き込み長さＳＡである。第１引き込み長さＳ１は、総引き込み長さＳＡの７０％以上である。この構成によれば、第２動作に要するトルクの最大値を好適に低減させることができる。

施錠機構４は、カムリール３２の施錠方向ＤＬへの回転を規制する第３の動作を行う回転規制機構３０をさらに含む。第３の動作は、施錠領域θａに含まれた第３角度領域θ３におけるカムリール３２の回転に基づく回転規制機構３０の動作によって行われる。この構成によれば、蓋体３が容器本体２へ固定された状態と蓋体３が容器本体２へ引き込まれた状態とを確実に維持することができる。第３の動作は、第２の動作の終了後に開始されるので、第２の動作と第３の動作とが重なって必要な回転トルクの最大値が大きくなってしまうことを防止できる。

また、上記構成によれば、第１カムリール３４及び第２カムリール３６がラッチバー３３を挟持するので、ラッチバー３３が外れにくくなる。したがって、落下等で施錠機構４に強い衝撃が作用しても、施錠機構４が解錠して半導体ウェーハ１００を破損させたり、外部からの空気の流入で半導体ウェーハ１００の汚染を招く事態を未然に防止できる。また、第１カムリール３４及び第２カムリール３６の間にラッチバー３３を挟持する構成によれば、施錠機構４を構成する部品点数を低減し、且つ、構成を簡易にすることができる。したがって、施錠機構４を有する蓋体３を容易に組み立てることができる。

また、上記構成によれば、容器本体２の施錠穴８内にラッチバー３３の先端部５９が深く突出した後、蓋体３のカバープレート１１側に揺動して施錠穴８の正面側壁面に接触し、蓋体３を深く引き込む。したがって、施錠動作が安定化し、ラッチバー３３の先端部５９や施錠穴８を損傷させるおそれがない。しかも、蓋体３の十分な引き込み長さを確保することができる。また、容器本体２の施錠穴８内にラッチバー３３の先端部５９が接触しないよう突出するので、例え施錠機構４に過大な施錠力が作用しても、擦接に伴いパーティクルが発生したり、ラッチバー３３の先端部５９の変形を招くおそれがない。

本実施形態に係る基板収納容器１において、第２動作に要するトルクの最大値を低減させる効果を確認した。実施例１、実施例２、実施例３及び参考例１に係る施錠機構を作成し、それぞれの施錠機構において第２動作に要するトルクを測定した。

表１に示されるように、実施例１、実施例２、実施例３及び参考例１に係る施錠機構は、第１角度領域θ１、第２角度領域θ２、及び第３角度領域θ３が互いに相違する。実施例１の施錠装置は、θ１が２０°以上３５°以下（３０°）であり、θ２が４５°以上７０°以下（５５°）であり、θ３が１５°である。実施例２の施錠装置は、θ１が２０°以上３５°以下（２２．５°）であり、θ２が４５°以上７０°以下（６０°）であり、θ３が１５°である。実施例３の施錠装置は、θ１が２０°以上３５°以下（３０°）であり、θ２が４５°以上７０°以下（５７．５°）であり、θ３が１２．５°である。実施例４の施錠装置は、θ１が２０°以上３５°以下（２０°）であり、θ２が４５°以上７０°以下（６５°）であり、θ３が１２．５°である。一方、参考例１の施錠装置は、θ１が３５°以上（５７．５°）であり、θ２が４５°以上（４７．５°）であり、θ３が１７．５°である。

また、実施例１、実施例２、及び実施例３の施錠機構は、立体カムが第１カム部４８ａと第２カム部４８ｂとを有する。そして、図１４の（ａ）部及び表２に示されるように、実施例１、実施例２、及び実施例３の施錠機構では、第１カム部４８ａと第２カム部４８ｂとの構成が互いに相違する。図１４の（ａ）部において、グラフＧ１は実施例１の回転角度と引き込み長さとの関係を示す。グラフＧ２は実施例２の回転角度と引き込み長さとの関係を示す。グラフＧ３は参考例１の回転角度と引き込み長さとの関係を示す。グラフＧ４は実施例３の回転角度と引き込み長さとの関係を示す。具体的には、第２角度領域θ２に占める第１カム領域θ２ａの割合が相違する。また、総引き込み長さＳＡに占める第１引き込み長さＳ１の割合が相違する。実施例１の施錠機構は、第２角度領域θ２に占める第１カム領域θ２ａの割合が０．４以下（０．３０７）であり、総引き込み長さに占める割合が０．７以上（０．７２６）である。実施例２の施錠機構は、回転角度の割合が０．４以下（０．２６１）であり、総引き込み長さに占める割合が０．７以上（０．７２６）である。実施例３の施錠機構は、回転角度の割合が０．４以下（０．２８０）であるが、総引き込み長さに占める割合が０．７以下である（０．４０２）である。

上記した実施例１、実施例２、実施例３及び参考例１に係る施錠機構を準備し、回転角度センサとトルクゲージを取り付けた容器蓋体開閉装置を用いてトルクに関するデータを取得した。回転角度センサには、（株）緑測器製ＣＰ−４５Ｈを利用した。トルクゲージには、アイコーエンジニアリング（株）製ＲＸ−Ｔ−２０を利用した。

図１４の（ｂ）部は、カムリール３２の回転角度と正規化したトルクとの関係を示すグラフである。トルクの正規化は、参考例１の最大トルク値を基準（即ち「１」）とし、参考例１の最大トルク値に対する大きさを示している。グラフＧ５は、実施例１の測定結果を示す。グラフＧ６は、実施例２の測定結果を示す。グラフＧ７は、参考例１の測定結果を示す。グラフＧ８は、実施例３の測定結果を示す。

図１４の（ｂ）部を参照すると、トルクの最大値は、実施例１、２（グラフＧ５，Ｇ６）のいずれにおいても、参考例１（グラフＧ７）よりも小さくなることがわかった。また、実施例１の結果がトルクの最大値が最も小さかった。この実施例１の構成によれば、第２動作に要する仕事をトルク及び回転角度の積と考えたときに、トルクが回転角度によらず概ね一定になることがわかった。そして、この実施例１の構成が、トルクの最大値を低減するために適した構成であることがわかった。例えば、実施例１のトルクの最大値は、参考例１のトルクの最大値に対しておよそ３５％程度低減されていることが確認できた。また、実施例３の場合は、参考例１のトルクの最大値に対しておよそ１２％程度低減されていることが確認できた。

なお、上述した実施形態は本発明に係る基板収納容器の一例を示すものである。本発明に係る基板収納容器は、実施形態に係る基板収納容器に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で、実施形態に係る基板収納容器を変形し又は他のものに適用したものであってもよい。

例えば、容器本体２の側壁外面は、手動操作用のグリップ具や搬送用のサイドレール等を備えていてもよい。また、各ラッチバー３３のピン６３には、磨耗防止の観点から、回転可能なローラを有していてもよい。また、カムリール３２の立体カムは、第１カムリール３４又は第２カムリール３６の一方の側面に設けられた立体カム溝であってもよい。

１…基板収納容器、２…容器本体、３…蓋体、４…施錠機構、６…開口、８…施錠穴（係合部）、９…蓋本体、１０…第１カム機構、２０…第２カム機構、３０…回転規制機構、３２…カムリール（回転操作体）、３３…ラッチバー（施錠体）、３７…基端部、４４…円弧状溝部（カム溝）、４８…第１傾斜カム（立体カム）、４９…第１係合カム（立体カム）、４８ａ…第１カム部（第１部分）、４８ｂ…第２カム部（第２部分）、５９…先端部、１００…半導体ウェーハ、Ａ…回転軸線、ＤＬ…施錠方向、θ１…第１角度領域、θ２…第２角度領域、θ３…第３角度領域、α…第１立体カム勾配、β…第２立体カム勾配。

Claims (10)

1. 基板を導入する開口に設けられた係合部を有する容器本体と、
   前記開口を閉鎖するように前記容器本体に取り付けられる蓋体と、
   前記係合部と係合することにより前記蓋体を前記容器本体に着脱可能に固定する施錠機構であって、外部からの操作によって回転軸線のまわりに回転する回転操作体と前記係合部に係合される先端部及び前記回転操作体に連結される基端部を含む施錠体とを有する前記施錠機構と、を備え、
   前記回転操作体は、前記回転操作体の施錠方向への回転運動を前記回転軸線と交差する方向への前記施錠体の直線運動に変換することにより、前記先端部を前記係合部に係合させる第１動作を行う第１カム機構と、前記回転操作体の施錠方向への回転運動を前記回転軸線に沿った方向への前記施錠体の直線運動に変換することにより、前記蓋体を前記容器本体に引き込む第２動作を行う第２カム機構と、を含み、
   前記回転操作体は、第１角度領域及び第２角度領域を含む施錠領域における回転運動によって、前記第１動作及び前記第２動作を行い、
   前記第１動作は、前記第１角度領域における前記回転操作体の回転運動に基づく前記第１カム機構の動作によって行われ、
   前記第２動作は、前記第２角度領域における前記回転操作体の回転運動に基づく第２カム機構の動作によって行われ、
   前記第２角度領域は、前記第１角度領域より大きく、且つ、前記施錠領域より小さい、基板収納容器。
2. 前記第２角度領域は、前記施錠領域の１／２より大きく、且つ、前記施錠領域の４／５より小さい、請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記施錠領域は、９０°以上であり、
   前記第２角度領域は、４５°以上７０°以下である、請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記施錠領域は、９０°以上であり、
   前記第１角度領域は、２０°以上３５°以下である、請求項２又は３に記載の基板収納容器。
5. 前記回転操作体は、一対の円板部を有し、
   前記第１カム機構は、前記円板部の一方に設けられたカム溝を含み、
   前記第２カム機構は、前記円板部の一方に設けられ、前記円板部からの突出高さが前記施錠方向に沿って高くなる立体カムを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板収納容器。
6. 前記立体カムは、第１部分と、前記施錠方向に沿って前記第１部分に連続するように設けられた第２部分と、を含み、
   前記第１部分は、第１立体カム勾配を有し、
   前記第２部分は、前記第１立体カム勾配とは異なる第２立体カム勾配を有する、請求項５に記載の基板収納容器。
7. 前記第２立体カム勾配は、前記第１立体カム勾配よりも小さい、請求項６に記載の基板収納容器。
8. 前記第２角度領域は、前記第１部分が配置される領域と、前記第２部分が配置される領域と、を含み、
   前記第１部分が配置される領域は、前記第２角度領域の４０％以下である、請求項６又は７に記載の基板収納容器。
9. 前記第２動作では、前記蓋体が前記第１部分によって第１引き込み長さだけ前記容器本体に引き込まれると共に、前記蓋体が前記第２部分によって第２引き込み長さだけ前記容器本体に引き込まれ、
   前記第１引き込み長さと前記第２引き込み長さの和は、前記第２動作において前記蓋体が前記容器本体に引き込まれる総引き込み長さであり、
   前記第１引き込み長さは、前記総引き込み長さの７０％以上である、請求項６〜８のいずれか一項に記載の基板収納容器。
10. 前記施錠機構は、前記回転操作体の前記施錠方向への回転を規制する第３の動作を行う回転規制機構をさらに含み、
    前記第３の動作は、前記施錠領域に含まれた第３角度領域における前記回転操作体の回転に基づく前記回転規制機構の動作によって行われる、請求項１〜９のいずれか一項に記載の基板収納容器。