KR100989967B1

KR100989967B1 - 웨이퍼 캐리어 도어 및 래칭 기구

Info

Publication number: KR100989967B1
Application number: KR1020047010892A
Authority: KR
Inventors: 에검션
Original assignee: 엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date: 2002-01-15
Filing date: 2003-01-14
Publication date: 2010-10-26
Also published as: TW200305964A; EP1466063A1; JP4322681B2; US20030137151A1; KR20040076890A; JP2005515620A; AU2003205139A1; CN100387799C; WO2003060264A1; CN1615388A; US6955382B2; MY131125A; TWI293195B

Abstract

본 발명은 웨이퍼 용기(100) 및 웨이퍼 용기(100)의 구성 방법에 관한 것이다. 웨이퍼 용기(100)는 적어도 상면부(104)와, 하면부(106)와, 한 쌍의 대향 측면부(108, 110)과, 후면부(112)와, 개방된 전면부(116) 및 개방된 전면부(116)를 폐쇄하기 위한 도어(114)를 갖는 외피부(102)를 갖는다. 도어(114)는 적어도 하나의 제1 래칭 기구(160)을 갖는 도어 섀시(150)를 구비한다. 래칭 기구(160)은 회전식 캠 부재(170)와 적어도 하나의 래칭 아암(162)를 갖는다. 래칭 아암(162)은 캠 부재(170)의 주연부와 결합되는 분기형 캠 종동부(166)를 갖는다.

웨이퍼, 웨이퍼 용기, 래칭 기구, 도어 섀시, 외피부

Description

웨이퍼 캐리어 도어 및 래칭 기구 {WAFER CARRIER DOOR AND LATCHING MECHANISM}

본 발명은 전체적으로 집적 회로 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼 디스크를 지지, 구속, 저장 및 정밀한 위치 설정하기 위해 디자인된 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 웨이퍼 캐리어용 래칭 기구에 관한 것이다. 본 출원은 U.S.C 35조 119(e)항에 따라 2002년 1월 15일 제출된 미국 가출원 제60/349,068호의 이점을 주장한다.

전형적으로, 반도체 웨이퍼를 최종 전자 부품 내부로 처리하는 것은 웨이퍼가 취급 및 처리되어야 하는 많은 처리 단계를 필요로 한다. 웨이퍼는 매우 비싸며, 극도로 민감하며, 물리적 전기적 충격에 의해 손상되기 쉽다. 또한, 성공적인 처리는 입자 및 다른 오염원이 없는 최상의 청결함을 요구한다. 이에 따라, 특수한 용기 또는 캐리어가 웨이퍼의 처리, 취급 및 이송에 사용되도록 개발되어 왔다. 이러한 용기들은 웨이퍼를 물리적 전기적 위험으로부터 보호하며 웨이퍼를 오염원으로부터 보호하도록 밀봉할 수 있다. 이러한 용기의 중요한 특징은 청결함이 최대한 유지되는 것을 보증하도록 사용 중에 세척될 수 있어야 한다는 것이다. 따라서, 캐리어의 조립 및 조립 해제가 용이한 것이 바람직한 특성이다.

다양한 구성의 도어 외피부 및 밀봉식 웨이퍼 캐리어용 래칭 기구가 이 기술 분야에 공지되었다. 이 기술 분야에 공지된 래칭 기구는 대부분 회전식 캠 부재를 사용한다. 전형적으로, 이러한 캠 부재는 캠 표면을 형성하는 장형 리세스를 갖는 평평한 플라스틱 판으로 형성되었다. 초기 디자인에 있어서, 상기 캠 표면은 래칭부의 연장부 및 수축부로 전달되는 단일한 반경 방향의 후방 및 전방으로의 오직 일 방향으로만 캠 종동부의 운동을 제공하였다. 따라서, 밀봉을 이유로 더욱 긴밀하게 웨이퍼 캐리어 도어를 고정하는 수단을 제공하도록 캠 부재의 축방향으로의 래치 운동이 도입되었다. 일반적으로, 이러한 축방향 이동은 상기 래치 조립체에 상당한 수의 구성요소 부분들이 부가되는 것을 의미한다. 이렇게 부가된 구성요소 부분들은 제조 단가와, 래칭 기구의 복잡성, 조립 및 조립 해제의 어려움 및 더 많은 입자들을 발생시키는 마멸 및 긁힘 등의 문제를 증가시킨다.

래칭 아암의 축방향 운동에 단순한 반경 방향 운동에 부가하고자 하는 요구를 가능하게 하는 개선된 캠 종동부를 갖는 래칭 기구 구동식 회전 캠이 본 명세서에서 완전히 참조하는 미국 특허 제5,957,292호에 개시된다. 본 발명은 보다 적은 구성요소 부분을 갖고 더 적은 접촉 마멸 및 긁힘을 가지며, 일부에서는 캠 부재를 결합하고 붙잡는 S형 캠 종동부로 인해 확실한 도어 래칭 기구가 가능하다. 그러나, S형 캠 종동부는 여전히 캠 내의 장형 슬롯에 의해 형성된 캠 표면을 필요로 한다. 이러한 슬롯식 구조는 중실 부재보다 제조하기가 더 어렵다. 또한, 캠 종동부를 캠 부재에 조립하는데는 더 많은 숙련된 단계들이 요구된다.

캠 종동부가 임의의 방법으로 회전 캠 부재의 에지를 결합하고 붙잡는 도어 래칭 기구에 단순성과 조립의 용이성을 더욱 향상시키는 것이 요구된다.

본 발명은 회전 캠 부재를 사용하기 위한 에지를 붙잡는 캠 종동부의 요구를 충족시킨다. 본 발명에서는, 적어도 상면부, 하면부, 한 쌍의 대향 측면부, 후면 및 개방된 전면부를 갖는 하나의 외피부와 상기 개방된 전면부를 폐쇄하기 위한 도어를 갖는 웨이퍼 용기가 제공된다. 도어는 적어도 하나의 제1 래칭 기구를 갖는 도어 섀시를 구비한다. 래칭 기구는 회전식 캠 부재와 적어도 하나의 래칭 아암을 갖는다. 래칭 아암은 캠 부재의 주연부와 결합하는 분기형 캠 종동부를 갖는다. 본 발명은 캠 종동부를 캠에 확실히 유지시키는 보다 단순한 래칭 기구를 제공한다.

본 발명의 목적 및 이점은 캠 종동부가 캠 부재에 확실히 결합되고 붙잡혀져 반경 방향 캠 운동뿐만 아니라 축방향 운동도 할 수 있다는 것이다.

본 발명의 다른 목적 및 이점은 캠 부재의 제조와 구성요소의 조립이 단순해지도록, 캠 종동부가 장형 슬롯보다는 캠 부재의 에지에서 캠 부재와 결합된다는 것이다.

본 발명의 다른 목적 및 이점은 세척을 위해 보다 용이하게 조립되고 조립 해제되는 웨이퍼 캐리어 도어용 래칭 기구에 있다.

본 발명의 부가적인 목적, 이점 및 신규한 특성들은 다음에 설명되며, 다음의 설명을 통하거나, 본 발명의 실시예를 통해 이 기술 분야의 숙련자들에게 명백히 이해될 수 있다. 본 발명의 목적 및 이점은 특히 첨부된 청구범위에 지적된 도 구 및 그 조합에 의한 수단에 의해 실현되고 획득될 수 있다.

도1은 본 발명의 웨이퍼 캐리어 및 도어의 사시도이다.

도2는 웨이퍼 캐리어의 사시도이다.

도3은 도어 래칭 기구의 사시도이다.

도4는 본 발명의 캠 및 캠 종동부의 가장 바람직한 실시예의 단면도이다.

도5는 본 발명의 캠 및 캠 종동부의 다른 실시예의 단면도이다.

도6는 본 발명의 캠 및 캠 종동부의 다른 실시예의 단면도이다.

도7은 본 발명의 조립 단계에 있는 캠 및 캠 종동부의 가장 바람직한 실시예의 단면도이다.

도8은 본 발명의 다른 조립 단계에 있는 캠 및 캠 종동부의 가장 바람직한 실시예의 단면도이다.

도9는 본 발명의 다른 조립 단계에 있는 캠 및 캠 종동부의 가장 바람직한 실시예의 단면도이다.

첨부 도면은 본 발명의 웨이퍼 캐리어의 실시예 및 그 특성과 구성 요소를 도시한다. 전후, 좌우, 상면부와 하면부, 상향과 하향 및 수평과 수직은 설명의 편의를 위한 것이며, 본 발명을 제한하거나 구성 요소들의 위치 또는 공간 배향을 제한하려는 것이 아니다. 첨부 도면 및 본 명세서의 특정 치수는 디자인에 따라 변할 수 있으며 본 발명의 실시예에 대한 의도는 본 발명의 범위에 있다.

우선 도1에서, 웨이퍼 용기(100)는 자동 처리 장치(10) 상에 안착된다. 웨이퍼 용기(100)는 폴리카보네이트 플라스틱으로 구성되고 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110) 및 후면부(112)를 갖는 외피부(102)를 갖는다. 도어(114)는 외피부(102)의 개방된 전면부(116)를 감싸고, 도어 리세스(118)로 끼움으로써 외피부를 닫는다. 웨이퍼 지지부(120)는 외피부 내에 반도체 웨이퍼를 지지하도록 제공된다. 외피부의 하면부(106) 외면에 장착된 이동식 커플링(124)이 사용중 용기의 자동 취급이 용이하도록 제공되고 공정 중 하우징 내에 있는 웨이퍼의 위치에 대한 기준 데이터를 제공한다. 로봇 리프팅 플랜지(126)가 외피부의 상면부(104) 외면에 장착되며 사용 중 용기(100)의 자동 취급 및 이동이 용이하도록 제공된다.

도2에, 본 발명의 웨이퍼 캐리어 도어(114)가 도시된다. 도어(114)는 도어 섀시(150) 및 래칭 기구(160, 200)로 구성된다. 기구 커버(300, 302)는 래칭 기구(160, 200)를 물리적 손상과 오염원으로부터 보호하고 래칭 기구 구성요소를 보유하고 안내하기 위해 제공된다.

도1, 도2 및 도3에서, 래칭 기구(160, 200)의 구조와 작동을 알 수 있다. 도3에, 래칭 기구(160)의 부분도가 도시된다. 각각의 래칭 아암(162, 164)은 캠 부분(172, 174)에서 캠 부재(170)의 주연부(256)와 결합된 캠 종동부(166, 168)을 갖는다. 도2에 도시된 바와 같이, 각각의 래칭 아암(162, 164)은 캠 종동부(166, 168)에 대향한 단부에 래칭 부분(176, 178)을 갖는다. 키이(220)가 키이 슬롯(222)에 삽입되어 회전될 때, 캠 종동부(166, 168)는 캠 부분(172, 174)을 따라 활 주한다. 캠 부재(170)의 형상으로 인해, 래칭 아암(162, 164)은 래칭 부분(176, 178)은 래치 개구(180, 182)를 통해 연장 및 후퇴하여 반경 방향으로 이동된다. 또한, 캠 부재(170)는 밀봉의 목적을 위해 도어(114)를 도어 리세스(118) 내부로 더욱 긴밀하게 잡아당기도록 하여 래칭 아암(162, 164)에 캠 부재(170)의 회전축에 평행한 이동을 부여할 수 있다. 래칭 부분(176, 178)은 웨이퍼 캐리어 내의 리세스(도시 생략)에 의해 수용되어, 도어를 제 위치에 고정되게 한다.

본 발명의 가장 바람직한 실시예에서, 캠 부재(170)의 캠 종동부(166) 및 캠 부분(172)의 부분 단면도가 도4에 도시된다. 캠 부재(170)의 주연부(256)의 일부인 캠 부분(172)은 상면(250) 및 하면(252)을 갖는다. 리세스부(254)는 캠 부재(170) 주연부(256)의 하면(252)의 안쪽에 형성된다. 상승된 립(258)은 캠 부재(170)의 상면(250)으로부터 상승된다. 래칭 아암(162)은 상면부 분기부(260)와 하면부 분기부(262)로 분기형 캠 종동부(166)를 갖는다. 상면부 분기부(260)는 캠 부분(172) 위로 연장되어 상승된 립(258)과 결합되며, 하면부 분기부(262)는 캠 부분(172) 아래로 연장된다. 하면부 분기부(262)의 상향으로 꺾여진 부분(264)은 캠 부재(170)의 리세스부(254)와 결합된다. 따라서, 캠 부분(172)은 캠 종동부(166)의 분기부들 사이에 유지되어, 캠 종동부(166)가 캠의 회전축에 대한 축방향에 부여된 캠 운동을 따르는 것을 보증한다. 또한, 캠 부분(172)은 캠 종동부(166)와 상향으로 꺾여진 부분(264) 사이에 유지되어, 반경 방향으로 캠을 따르는 것을 보증한다.

도5에, 캠 종동부(166)와 캠 부재(170)의 다른 실시예에 대한 단면도를 도시한다. 본 실시예에서, 상면(250)은 상승된 립(270)을 갖고, 하면부(252)는 대향 상승된 립(272)을 갖는다. 캠 종동부(166)는 상면부 분기부(274)와 하면부 분기부(276)로 분기된다. 캠 부분(172)은 상면부 분기부(274)와 하면부 분기부(276) 사이에 유지되어 캠 종동부(166)가 캠의 회전축에 대한 축방향에 부여된 캠 운동을 따르는 것을 보증한다. 상면부 분기부(274) 및 하면부 분기부(276)는 각각 내향으로 꺾여진 부분(278, 280)을 가짐으로써, 주연부(256)의 내향으로 상승된 립(270, 272)들과 결합하고, 캠 부분(172)을 유지하며, 캠 종동부(166)가 캠 부재(170)에 의해 부여된 반경 방향 운동을 따르는 것을 보증한다.

본 발명의 다른 실시예가 도6에 도시된다. 본 실시예에서, 상면(250)은 상승된 립(284)을 갖는다. 또한, 캠 종동부(166)는 상면부 분기부(286)와 하면부 분기부(288)로 분기된다. 캠 부분(172)은 상면부 분기부(286)와 하면부 분기부(288) 사이에 유지되며, 캠 종동부(166)가 캠의 회전축에 대한 축방향에 부여된 캠 운동을 따르는 것을 보증한다. 상면부 분기부(286)는 주연부(256)의 내향으로 상승된 립(284)과 결합하는 내향으로 꺾여진 부분(290)을 가짐으로써, 캠 부분(172)을 유지하며, 캠 종동부(166)가 캠 부재(170)에 의해 부여된 반경 방향 운동을 따르는 것을 보증한다.

도7, 도8 및 도9는 도4의 실시예에 대한 조립 방법을 도시한다. 도7에 도시된 바와 같이, 상면부 분기부(260)는 우선 립(258)에 결합된다. 도8에 도시된 바와 같이, 캠 종동부(166)가 캠 부재(170)를 향해 선행될 때 캠 부분(172)은 상면부 분기부(260)와 하면부 분기부(262) 사이의 분기에 끼워진다. 도9에 도시된 바와 같이, 캠 종동부(166)는 하향으로 회전되며, 상향으로 꺾여진 부분(264)은 리세스부(254)를 결합한다.

상기한 설명한 방향에 부가하여, 본 발명의 범위에서 다양한 다른 구성이 가능한 것을 알 수 있다. 예로써, 도4에 도시된 실시예에서, 이러한 구조는 캠 부재(170)의 하면부 측의 상승된 립(258)과 상면부 상에 형성된 리세스부(254)를 제공하여 역전될 수 있다. 또한, 본 실시예에서, 캠 종동부(166)는 분기부(262)가 상면부 분기가 되고 분기부(260)는 하면부 분기가 되도록 역전될 수도 있다.

본 발명의 캠 부재 및 캠 종동부는 임의의 적절한 재료 또는 재료의 조합물로 제조될 수 있다. 플라스틱 재료는 현재 두 가지 모두를 위한 가장 바람직한 재료이다. 캠 부재(170) 및 캠 부분(172)은 PPS와 같은 단단한 내마모재로 성형되며, 래칭 아암 및 캠 종동부는 아세탈 플라스틱으로 성형되는 것이 바람직하다. 탄소 섬유 또는 다른 전기 도전성 필(fill)이 도전성을 제공하도록 부가될 수 있으며, PTFE가 마찰을 감소하도록 부가될 수 있다.

상기 설명이 많은 특수 사항들을 포함하고 있으나, 이는 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 이해되어서는 안되며 단지 현재 본 발명의 몇몇 바람직한 실시예들에 대한 설명을 제공하는 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 제시된 예들보다는 첨부된 청구범위 및 그의 법적 동등물에 의해서 결정되어야 한다.

Claims

적어도 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110), 후면부(112), 개방된 전면부(116) 및 개방된 전면부를 폐쇄하기 위한 도어(114)를 갖는 외피부(102)와, 상기 외피부에 배치된 웨이퍼 지지부(120)를 구비한 웨이퍼 용기(100)이며,

상기 도어는,

도어 섀시(150)와,

상기 도어 섀시 상의 적어도 하나의 제1 래칭 기구(160, 200)를 포함하며,

상기 제1 래칭 기구는,

제1 면(250)과, 대향하는 제2 면(252)과, 주연부(256)를 가지며, 제1 면이 주연부에서 제1 상승 립 부분(258)을 갖고 제2 면이 주연부의 내측으로 리세스부(254)를 갖는 회전식 캠 부재(170)와,

한 쌍의 분기부를 갖고 캠 부재의 적어도 일부 주위로 접촉 결합하는 분기형(bifurcate) 캠 종동부(166, 168)를 갖는 적어도 하나의 제1 래칭 아암(162, 164)를 구비하며,

상기 쌍의 분기부 중 제1 분기부(260)는 제1 상승 립 부분에 결합되도록 구성되고, 상기 쌍의 분기부 중 제2 분기부(262)는 리세스부에 결합되도록 구성된 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 아암과 사실상 동일한 제2 래칭 아암을 더 포함하는 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 기구와 사실상 동일한 제2 래칭 기구를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
적어도 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110), 후면부(112), 개방된 전면부(116) 및 개방된 전면부를 폐쇄하기 위한 도어(114)를 갖는 외피부(102)와, 상기 한 쌍의 대향 측면부 각각에 근접하게 배치된 웨이퍼 지지부(120)를 구비한 웨이퍼 용기(100)이며,

상기 도어는,

도어 섀시(150)와,

상기 도어 섀시 상의 적어도 하나의 제1 래칭 기구(160, 200)를 포함하며,

상기 제1 래칭 기구는,

제1 면(250)과, 대향하는 제2 면(252)과, 주연부(256)를 가지며, 제1 면이 주연부에서 제1 상승 립 부분(270)을 갖고 제2 면이 주연부에서 제2 상승 립 부분(272)을 갖는 회전식 캠 부재(170)와,

한 쌍의 분기부를 갖고 캠 부재의 적어도 일부 주위로 활주식으로 결합되는 분기형 캠 종동부(166)를 갖는 적어도 하나의 제1 래칭 아암(162, 164)을 구비하며,

상기 쌍의 분기부 중 제1 분기부(274)는 제1 상승 립 부분(270)에 결합되도록 구성되고, 상기 쌍의 분기부 중 제2 분기부(276)는 제2 상승 립 부분(272)에 결합되도록 구성된 웨이퍼 용기.
제4항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 아암과 사실상 동일한 제2 래칭 아암을 더 포함하는 웨이퍼 용기.
제4항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 기구와 사실상 동일한 제2 래칭 기구를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
적어도 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110), 후면부(112), 개방된 전면부(116) 및 개방된 전면부를 폐쇄하기 위한 도어(114)를 갖는 외피부(102)와, 웨이퍼 지지용 수단(120)을 구비한 웨이퍼 용기(100)이며,

상기 도어는,

도어 섀시(150)와,

상기 도어 섀시 상의 적어도 하나의 제1 래칭 기구(160, 200)를 포함하며,

상기 제1 래칭 기구는,

제1 면(250)과, 대향하는 제2 면(252)과, 주연부(256)를 갖고, 제1 면이 주연부에서 상승 립 부분(284)을 갖는 회전식 캠 부재(170)와,

한 쌍의 분기부들을 갖고 캠 부재의 적어도 일부 주위에 접촉하는 관계에 있는 분기형 캠 종동부를 갖는 적어도 하나의 제1 래칭 아암(162, 164)을 포함하며,

상기 쌍의 분기부 중 제1 분기부(286)는 상기 상승 립 부분에 결합되도록 구성되고, 상기 쌍의 분기부 중 제2 분기부(288)는 제2면에 활주식으로 결합되도록 구성된 웨이퍼 용기.
제7항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 아암과 사실상 동일한 제2 래칭 아암을 더 포함하는 웨이퍼 용기.
제7항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 기구와 사실상 동일한 제2 래칭 기구를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
적어도 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110), 후면부(112), 개방된 전면부(116) 및 개방된 전면부를 폐쇄하기 위한 도어(114)를 갖는 외피부(102)와, 상기 외피부에 배치된 웨이퍼 지지부(120)를 구비한 웨이퍼 용기(100)이며,

상기 도어는,

도어 섀시(150)와,

상기 도어 섀시 상의 적어도 하나의 제1 래칭 기구(160, 200)를 포함하며,

상기 제1 래칭 기구는,

한 쌍의 대향 상승 립 부분(270, 272)을 갖는 주연부(256)를 갖는 회전식 캠 부재(170)와,

캠 부재의 적어도 일부 주위에 접촉하는 관계에 있는 적어도 하나의 제1 래칭 아암(162, 164)을 포함하며,

상기 래칭 아암은 상기 대향 상승 립 부분의 각각에서 주연부와 결합하는 수단(166)을 갖는 웨이퍼 용기.
제10항에 있어서, 주연부와 결합하는 수단은 제1 래칭 아암 상에서 분기형 캠 종동부(166)를 구비하는 웨이퍼 용기.
삭제
제11항에 있어서, 상기 분기형 캠 종동부는 한 쌍의 분기부(274, 276)를 가지며, 상기 분기형 캠 종동부의 각각의 분기부는 한 쌍의 대향 상승 립 부분 중 개별 상승 립 부분과 결합되도록 구성된 웨이퍼 용기.
제10항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 아암과 사실상 동일한 제2 래칭 아암을 더 포함하는 웨이퍼 용기.
제10항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 기구와 사실상 동일한 제2 래칭 기구를 더 포함하는 웨이퍼 용기.
웨이퍼 용기(100)를 구성하는 방법이며,

적어도 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110), 후면부(112) 및 개방된 전면부(116)를 갖는 외피부(102)를 성형하는 단계와,

상기 외피부에 웨이퍼 지지부(120)를 배치하는 단계와,

상기 개방된 전면부를 폐쇄하는 래칭 도어(114)를 제공하는 단계와,

상기 개방된 전면부를 폐쇄하도록 구성된 도어 섀시(150)를 성형하는 단계와,

한 쌍의 대향 상승 립 부분(270, 272)을 갖는 주연부(256)를 갖는 캠 부재(170)를 제공하는 단계와,

상기 대향 상승 립 부분의 각각에서 상기 주연부에 결합하도록 구성된 분기형 캠 종동부(166)를 갖는 래칭 아암(162, 164)을 성형하는 단계와,

상기 래칭 아암이 캠 부재의 적어도 일부 주위에 접촉하는 관계가 되도록 분기형 캠 종동부를 주연부와 결합시키는 단계와,

상기 도어 섀시 상에 래칭 기구를 형성하도록 캠 부재 및 래칭 아암을 상기 도어 섀시에 부착하는 단계를 포함하는 웨이퍼 용기 구성 방법.
웨이퍼 용기(100)이며,

적어도 상면부(104), 하면부(106), 한 쌍의 대향 측면부(108, 110), 후면부(112), 개방된 전면부(116) 및 개방된 전면부를 폐쇄하기 위한 도어(114)를 갖는 외피부(102)와, 상기 외피부에 배치된 웨이퍼 지지부(120)를 포함하고,

상기 도어는,

도어 섀시(150)와,

상기 도어 섀시 상의 적어도 하나의 제1 래칭 기구(162, 164)를 포함하며,

상기 제1 래칭 기구는,

한 쌍의 대향 상승 립 부분(270, 272)을 갖는 주연부를 갖는 회전식 캠 부재(170)와,

적어도 하나의 제1 래칭 아암(162, 164)을 포함하며,

상기 제1 래칭 아암은 캠 부재의 주연부의 적어도 일부 주위에 연속적으로 결합되도록 구성된 분기형 캠 종동부(166)를 갖고,

상기 분기형 캠 종동부는 상기 한 쌍의 대향 상승 립 부분의 각각과 결합하도록 구성된 웨이퍼 용기.
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제17항에 있어서, 상기 분기형 캠 종동부는 한 쌍의 분기부들(286, 288)을 갖고, 상기 분기형 캠 종동부의 각각의 분기부들은 한 쌍의 대향 상승 립 부분 중 개별 상승 립 부분과 결합되도록 구성된 웨이퍼 용기.
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제17항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 아암과 사실상 동일한 제2 래칭 아암을 더 포함하는 웨이퍼 용기.
제17항에 있어서, 상기 도어는 제1 래칭 기구와 사실상 동일한 제2 래칭 기구를 더 포함하는 웨이퍼 용기.