JP2005515620A - ウエハ搬送装置の扉および掛止機構 - Google Patents
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Abstract
Description
、開放前面を閉鎖する扉とを備えたエンクロージャ部を有するウエハ・コンテナを提供する。扉は、少なくとも1つの第1掛止機構を有する扉外枠を含む。掛止機構は、回転可能カム部材と、少なくとも1つの掛止アームとを有する。掛止アームは、カム部材の周囲と係合する分岐カム・フォロワ部を有する。本発明は、カム・フォロワのカムとの確実な係合を維持しつつ、掛止機構の簡素化を図る。
本発明の別の目的および利点は、カム・フォロワが、細長いスロットの代わりに、カム部材の縁端においてカム部材と係合され、カム部材の製造および構成部品の組立を簡略化することである。
本発明の更に別の目的、利点、および新規な特徴は、部分的に以下に続く説明に明記され、部分的に以下のことを検討することによって当業者には明白となり、あるいは本発明の実施によって習得することができる。本発明の目的および利点は、添付した特許請求の範囲に特定的に指摘した手段および組み合わせによって実現および達成することができる。
よび168とは逆側の端部に、掛止部176および178を有する。キー220をキー・スロット222に挿入して回転させると、カム・フォロワ部166および168がカム部172および174に沿って摺動する。カム部材170の形状のために、掛止アーム162および164は、半径方向に並進し、掛止開口180および182を介して掛止部176および178を延出または後退させる。加えて、カム部材170は、カム部材170の回転軸に平行な掛止アーム162および164に運動を付与し、密封の目的のために扉114を扉陥凹118に一層緊密に引き込むことができる。掛止部176および178は、ウエハ搬送装置内の陥凹(図示せず)によって受容され、扉を適所に固定することができる。
プ258をカム部材170の下側に設け、凹部254を上側に形成することもできる。かかる実施形態では、カム・フォロワ部166も逆となり、分岐部262が上分枝となり、分岐部260が下分枝となる。
Claims (22)
- 少なくとも上面と、下面と、一対の対向側面と、背面と、開放前面と、前記開放前面を閉鎖する扉とを有するエンクロージャ部を含むウエハ・コンテナであって、前記扉が、
前記エンクロージャ部内に配置されたウエハ支持部と、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの第1掛止機構であって、
第1面と、対向する第2面と、周囲とを有する回転可能カム部材であって、前記第1面が前記周囲において第1隆起リップ部を有し、前記第2面が前記周囲の内側に凹部を有する、回転可能カム部材と、
1対の分枝を有し、前記カム部材の少なくとも一部を囲むように接触係合する分岐カム・フォロワ部を有する少なくとも1つの掛止アームであって、前記1対の分枝の内第1分枝が前記第1隆起リップ部と係合するように構成され、前記1対の分枝の内第2分枝が前記凹部と係合するように構成されている、掛止アームと、
を含む第1掛止機構と、
を備えている、ウエハ・コンテナ。 - 請求項1記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止アームと実質的に同一の第2掛止アームを備えているウエハ・コンテナ。
- 請求項1記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止機構と実質的に同一の第2掛止機構を備えているウエハ・コンテナ。
- 少なくとも上面と、下面と、一対の対向側面と、背面と、開放前面と、前記開放前面を閉鎖する扉とを有するエンクロージャ部を含むウエハ・コンテナであって、前記扉が、
前記1対の対向側面の各々の近傍に配置されたウエハ支持部と、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの第1掛止機構であって、
第1面と、対向する第2面と、周囲とを有する回転可能カム部材であって、前記第1面が前記周囲において第1隆起リップ部を有し、前記第2面が前記周囲において第2隆起リップを有する、回転可能カム部材と、
1対の分枝を有し、前記カム部材の少なくとも一部を囲むように摺動係合する分岐カム・フォロワ部を有する少なくとも1つの掛止アームであって、前記1対の分枝の内第1分枝が前記第1隆起リップ部と係合するように構成され、前記1対の分枝の内第2分枝が前記第2隆起リップ部と係合するように構成されている、掛止アームと、
を含む第1掛止機構と、
を備えている、ウエハ・コンテナ。 - 請求項4記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止アームと実質的に同一の第2掛止アームを備えているウエハ・コンテナ。
- 請求項4記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止機構と実質的に同一の第2掛止機構を備えているウエハ・コンテナ。
- 少なくとも上面と、下面と、一対の対向側面と、背面と、開放前面と、前記開放前面を閉鎖する扉とを有するエンクロージャ部を含むウエハ・コンテナであって、前記扉が、
ウエハ支持手段と、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの第1掛止機構であって、
第1面と、対向する第2面と、周囲とを有する回転可能カム部材であって、前記第1面
が前記周囲において第1隆起リップ部をする、回転可能カム部材と、
1対の分枝を有し、前記カム部材の少なくとも一部を囲むように接触する関係にある分岐カム・フォロワ部を有する少なくとも1つの掛止アームであって、前記1対の分枝の内第1分枝が前記第1隆起リップ部と係合するように構成され、前記1対の分枝の内第2分枝が前記第2面と摺動して係合するように構成されている、掛止アームと、
を含む第1掛止機構と、
を備えているウエハ・コンテナ。 - 請求項7記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止アームと実質的に同一の第2掛止アームを備えているウエハ・コンテナ。
- 請求項7記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止機構と実質的に同一の第2掛止機構を備えているウエハ・コンテナ。
- 少なくとも上面と、下面と、一対の対向側面と、背面と、開放前面と、前記開放前面を閉鎖する扉とを有するエンクロージャ部を含むウエハ・コンテナであって、前記扉が、
前記エンクロージャ部内に配置されたウエハ支持部と、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも第1掛止機構であって、
周囲を有する回転可能カム部材と、
前記カム部材の少なくとも一部を囲むように接触する関係にある少なくとも第1掛止アームであって、前記周囲と係合する手段を有する、第1掛止アームと、
を有する第1掛止機構と、
を備えているウエハ・コンテナ。 - 請求項10記載のコンテナにおいて、前記周囲と係合する前記手段は、前記第1掛止アーム上に分岐カム・フォロワを含むコンテナ。
- 請求項11記載のコンテナにおいて、前記回転可能カム部材は周囲を有し、該周囲には、隆起リップ部と、当該周囲の内側にある凹部とがあり、前記分岐カム・フォロワ部は、前記隆起リップ部と係合するように構成された第1分枝と、前記凹部と係合するように構成された第2分枝とを有するコンテナ。
- 請求項11記載のコンテナにおいて、前記回転可能カム部材は、1対の対向する隆起リップ部を備えた周囲を有し、前記分岐カム・フォロワ部は1対の分枝を有し、前記分岐カム・フォロワ部の各分岐が、前記1対の対向する隆起リップ部の別個の1つと係合するように構成されているコンテナ。
- 請求項10記載のコンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止アームと実質的に同一の第2掛止アームを備えているウエハ・コンテナ。
- 請求項10記載のウエハ・コンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止機構と実質的に同一の第2掛止機構を備えているウエハ・コンテナ。
- ウエハ・コンテナの製造方法であって、
少なくとも上面と、底面と、1対の対向する側面と、背面と、開放前面とを有するエンクロージャ部を成形するステップと、
前記エンクロージャ部内にウエハ支持部を配置するステップと、
前記開放前面を閉鎖するように構成された扉外枠を成形し、
周囲を有するカム部材を設け、
前記周囲と係合するように構成された分岐カム・フォロワ部を有する掛止アームを成形することによって、前記開放前面を閉鎖する掛止扉を設けるステップと、
前記分岐カム・フォロワ部を前記周囲と係合させ、前記掛止アームが前記カム部材の少なくとも一部を囲むように接触する関係となるようにするステップと、
前記カム部材および前記掛止アームを前記扉外枠に取り付け、前記扉外枠上に掛止機構を形成するステップと、
から成る方法。 - ウエハ・コンテナであって、
少なくとも上面と、下面と、一対の対向側面と、背面と、開放前面と、前記開放前面を閉鎖する扉とを有するエンクロージャ部を備え、前記扉が、
前記エンクロージャ部内に配置されたウエハ支持部と、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも第1掛止機構であって、
周囲を有する回転可能カム部材と、
少なくとも第1掛止アームであって、前記カム部材の周囲の少なくとも一部を囲むように連続的に係合する構成とした分岐カム・フォロワ部を有する、第1掛止アームと、
を備えているウエハ・コンテナ。 - 請求項17記載のコンテナにおいて、前記回転可能カム部材は、前記周囲にある隆起リップ部と、前記周囲の内側にある凹部とを有し、前記分岐カム・フォロワ部が、前記隆起リップ部と係合するように構成された第1分枝と、前記凹部と係合するように構成された第2分枝とを有するコンテナ。
- 請求項17記載のコンテナにおいて、前記回転可能カム部材は、前記周囲に1対の対向する隆起リップ部を有し、前記分岐カム・フォロワ部は1対の分枝を有し、前記分岐カム・フォロワ部の各分岐が、前記1対の対向する隆起リップ部の別個の1つと係合するように構成されているコンテナ。
- 請求項17記載のコンテナにおいて、前記回転可能カム部材は、前記周囲において隆起リップ部を有し、前記分岐カム・フォロワ部は1対の分枝を有し、前記分岐カム・フォロワ部の少なくとも1つの分枝が、前記隆起リップ部と係合するように構成されているコンテナ。
- 請求項17記載のコンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止アームと実質的に同一の第2掛止アームを備えているウエハ・コンテナ。
- 請求項17記載のコンテナにおいて、前記扉が、更に、前記第1掛止機構と実質的に同一の第2掛止機構を備えているウエハ・コンテナ。
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