KR20020063155A - 래칭 도어를 가진 이송 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도어 수용 프레임과 이에 적절한 크기의 도어를 가진 웨이퍼 용기에 관한 것이다. 도어(94)는 도어로부터 래칭 부를 리프팅, 하강 및 수축하도록 연장되어 있으며 또한 도어 프레임의 래치 리셉터클(150)안 및 밖으로 연장한 래칭 링케이지(250, 252)를 포함한다. 각각의 래칭 메카니즘은 도어의 정면에 노출된 접속된 핸들(170, 172)을 갖는 슬라이딩판(210)을 활용한다. 이 슬라이딩판은 래칭 링케이지와 협동하는 리프팅 링케이지(220, 222)를 갖는다. 핸들의 이동은 래칭부를 래칭 리셉터클로 연장한다. 중첩한 링케이지상의 램프된 면(226)과 팔로워 면(277)에 의해, 래칭부분은 제 1방향에 직교하는 방향으로 이동하여 도어를 안쪽으로 밀어 도어를 용기에 시일한다. 슬라이딩판은 피니온(290)과 맞물린 랙부(224)을 포함한다. 피니온은 래치 키(300)에 의해 도어 정면부로부터 액세스 가능하다.

Description

래칭 도어를 가진 이송 모듈{TRANSPORT MODULE WITH LATCHING DOOR}

용기에 웨이퍼를 봉입하기 위해 여러 방법을 이용하고 있다. 이러한 보관과 샤핑(shopping)을 위해, 어느 용기는 웨이퍼를 수용하는 수직 슬롯과 가용성 스냅 온 커버(flexible snap-on cover)를 가진 강체 본체를 가진다. 이들 용기는 웨이퍼가 외부공기에 노출되지 않는 응용에 이용하는 것은 일반적으로 적절하지 않다. 도 1에 도시된 SMIF (표준화 기계적 인터페이스)포드(20)로 알려진 용기를 이용하면, 외부 공기에 웨이퍼를 노출하지 않고 처리장비에 웨이퍼를 이송할 수 있게 하는 청정 시일된 작은 환경을 제공한다. 이들 포드의 예는 미국특허 제 4,532,970호 및 제 4,534,398호에 나타나 있다. 이러한 SMIF포드는 개방 저부(52)을 형성하는 플랜지로 구성된 하부 도어 프레임 부(35)와 이 개방 저부를 폐쇄하는 래치 가능한 도어(36)를 가진 투명한 용기부(34)을 통상적으로 활용한다. 도어 클램프 부(35)는 처리장비와 하부 SMIF 포드 도어에 부착된 처리 장비상의 도어에 클램프 된다. 양 도어는 셸로부터 상기 처리 장비의 시일된 처리 환경으로 동시에 하강할 수 있다. SMIF포드 도어(36)의 상부 표면(40)위에 위치하고 그리고 웨이퍼가 적재되는 각각의 H바 캐리어(38)포드 도어와 합께 하강하여 상기 웨이퍼를 액세스하여 처리한다.

반도체 처리 산업은 대형 웨이퍼, 특히 300nm 웨이퍼의 활용으로 이동되고 있다. 산업표준을 개발하기 위해, 이러한 웨이퍼용 이송 모듈은 이 모듈로부터 아래쪽으로 하강하는 전방 개방 도어를 활용한다. 도 2를 참조하면, 이러한 전방 개방 엔클로저가 도시되어 있다. 이러한 엔클로저는 개별 제거 가능한 캐리어 없는 용기부(34)내에 유사한 부품을 갖는다.

도어 엔클로저와 밀봉 가능한 엔클로저용 래칭 메카니즘의 종래의 구성이 선행기술에 공지되어 있다. 일반적으로 이들 구성은 이들이 용이하게 분해 할 수 없고 수많은 이동 부품을 가지며 패스너를 포함하는 금속 부품을 갖는다는 단점을 지니고 있다. 문지르거나 스칠 때, 금속부품은 크게 손상하는 미립자를 발생시킨다. 패스너와 모듈과의 조립에 의해, 이러한 문지름이나 스침이 발생하게 된다. 따라서, 웨이퍼 엔클로저에서의 금속 패스너 또는 기타 금속 부품의 이용을 회피해야 한다.

상술되었듯이, 엔클러즈가 매우 청결한 환경에서 이용될 수 있을 지라도, 이러한 엔클러즈는 엔클러즈상의 오염물질을 엔클러즈에 축적할 수 있을 것이고 도어 엔클러즈의 안쪽에서 궁극적으로 세척이 요구된다. 이러한 오염물질은 상술한 바와 같은 도어 래칭 메카니즘의 작동과 같은 부품들의 스침, 웨이퍼 셸브에 적재되고 있고 적재되지 않은 웨이퍼 및 용기부분과 맞물려 있고 맞물리지 않은 도어에 의해 발생할 수 있다. 종래의 래칭 메카니즘에서의 다수의 부품, 도어의 분해의 난이상 및 금속 스패너의 이용에 의해 이러한 도어의 세척이 어렵다.

대형 웨이퍼 캐리어에 필요한 대형 도어는 래칭 메카니즘을 도어에 고정하는데 필

요한다. 이상적으로는, 이러한 메카니즘은 이동 부품이 적고 금속 부품이 없기 때문에 기계적으로 간단할 수 있다.

최근, 상기 요건을 만족할 수 있는 정면 개방 이송 모듈이 개발되어 오고 있다.

이는 Nyseth 와 Krampothic의 미국특허 제 5,915,562호를 참조하면 되며, 이 특허는 본 출원의 발명자에게 양도되었다. 또한, Eggum, Wiseman, Mikkelsen 및 Bores의 공개료 지불이 완료된 일련번호 08/904,660호를 참조하면 되며, 이 특허 또한 즉각 출원(instant application)의 발명의 소유자에게 양도되었다. '562특허와 허여된 08/904,660출원은 참고로 본 명세서에 포함되었다. 선행기술에 공지된 이들 래칭 메카니즘은 물론, 기타 웨이퍼 캐리어 래칭 메카니즘은 회전 가능한 클램프된 부재를 통상적으로 이용할 것이다. 이들 클램프된 부재는 캠면을 형성하는 신장된 리세스를 갖는 원형 플라스틱 판으로 형성되어 있다.

선행기술의 캐리어에 있어서, 이러한 래칭 메카니즘은 도어 엔클로저 내에 봉입되어 있다. 이러한 엔클로저는 래칭 메카니즘에 의해 발생된 어떤 입자발생을 차단하고 포함할 것이다. 이러한 입자는 축적될 수 있고 궁극적으로 제거와 세척을 필요로 한다. 통상적으로, 웨이퍼 용기를 포함하는 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 용액으로 세척되고 가압공기 나 가스로 건조된다. 이러한 세정은 생산량 증가를 유지하는데 중요하다. 세척을 효과적으로 성취하기 위해, 도어를 분해하거나 커버가 제거되어 래칭 메카니즘을 노출시킨다. 이 처리는 노동 집약적이고 싫증나는 것이다. 커버가 제거되지 않는 정도까지, 액세스와 내부의 세척은 어렵다. 래칭 메카니즘이 봉입되어 워싱(washing)이 성취되면, 봉입된 래칭 메카니즘의 드라잉이 문제가 된다.

회전가능하게 클램프된 부재가 300nm 캐리어 도어를 로버트 식으로 개방하기 위해 산업 표준에 순응하게 특히 이용 가능하다.(이는 California의 mountain View소재의 Semiconductor Equipment Manufacturers Institute로 부터 얻을 수 있으며 부록에 부착된 FIMS 도어용 임시 명세서를 참조). 이들 표준은 도어에 로벗식으로 끼워진 "래치 키(latch key)"라는 용어의 두개의 평행하게 공간을 둔 공구의 이용을 요구한다. 양 공구는 시계방향으로 동시에 회전하여 도어를 언 래채한다. 300nm웨이퍼용 종래의 정면 개방 이송 모듈 또는 시퍼(shipper)는 이들 규정에 일치하기 때문에 두개의 개별 래칭 메카니즘을 사용한다. 즉 도어의 각각의 측에 하나가 사용된다.

또한, 수동으로 개방할 수있는 이러한 메카니즘은 내부 클램프 부재를 회전하는 핸들을 활용한다. 이러한 수동 핸들을 필요로 하는 종래의 300nm 시퍼는 각각 회전할 각각의 이러한 두개의 핸들을 필요로 하고 도어가 수동 핸들 상에 끌어들임으로써 수동적으로 제거된다. 오퍼레이터의 각각의 손에 의한 개별 회전운동은 비대칭이고 성가시며 일반적으로 비직관적이다.

또한, 각각의 회전 핸들은 완전한 래칭 또는 언 래칭을 위해 완전 필요한 회전을 턴(turn)했는지를 확인하기 어렵다.

이러한 회전하는 클램프된 부재가 웨이퍼 캐리어 도어에서 기능할 지라도 이들은 여러 결점을 가지고 있다. 회전 가능한 클램프된 부재는 설계 및 제조하기가 곤란할 수 있고 이들은 타당한 기계적 장점을 위해 상당히 큰 원형의 캠부재를 일반적으로 요구한다. 이러한 캠 부재의 사이즈의 감소는 기계적인 장점을 감소시킨다. 더구나, 캠부재는 회전운동을 래칭 및 언 래칭 응용에서는 적절하지만 불규칙한 선형운동으로 변환할 경우 원만한 작동을 일반적으로 하지 않는다. 특히, 이러한 회전 캠 부재를 수동으로 회전시키는 경우에, 래치부가 완전히 연장되거나 수축되기 전에 오 정지가 발생할 수 있다.

더구나, 보조 비 회전 수동 포획 래칭/언 래칭 핸들을 제공하는데 불리하다. 회전 보조 수동 핸들을 제공하는 것이 공지되어 있다. 그러한 회전하는 핸들은 메우 불안정한 핸들링수단을 제공함으로써 수동배치와 엔클로저 부분의 도어 개방으로부터의 도어의 제거가 원활치 않게 방해를 받는다. 이러한 원활치 않은 작동은 도어 개구에서 도어와 엔클로저사이에 부주의한 접촉이 야기되어 입자 발생, 웨이퍼의 안착의 방해, 캐리어로부터 발생한 입자 또는 가타 바람직하지 않은 결과로 인해 스크래이핑을 야기한다. 래칭 메카니즘을 가진 웨이퍼 도어는 회전하지 않는 래칭 메카니즘을 수동으로 작동하는 포획 핸들을 가지는 것이 이상적일 수 있다.

원만하고, 용이하며 직관적으로 작동되며 간단한 기계적인 설계를 갖는 수동식 작동 도어가 필요하다. 이러한 도어는 도어의 로버트식 작동을 위해 산업 표준에 일치되어야 한다.

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 래칭 메카니즘을 가진 도어(door)를 가진 밀봉 가능한 웨이퍼 엔클로저(wafer enclosure)에 관한 것이다.

도 1은 선행기술의 SMIF 포드의 사시도.

도 2는 선행기술의 이송 모듈의 사시도.

도 3은 수동 작동용 핸들과 로벗 래치 키용 개방구를 갖는 선행기술의 이송 모듈의 사시도.

도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 용기의 사시도.

도 5는 본 발명에 의한 웨이퍼 용기의 도어의 부품의 정면측의 확대도.

도 6은 본 발명에 의한 래치 메카니즘의 확대된 배면도.

도 7은 본 발명에 의한 조립된 도의 정면의 단면도.

도 8은 본 발명에 의해 수축된 래칭부를 갖는 래칭 메카니즘의 단면도.

도 9는 본 발명에 의해 연장된 래칭 부분을 갖는 래칭 메카니즘의 단면도.

도 10a 및 도 10b는 본 발명에 의한 웨이퍼 캐리어의 도어 또는 정면 및 배면의 사시도.

웨이퍼 용기는 도어 수용 프레임에 의해 형성된 개방된 정면부와 도어 수용 프레임에 맞는 크기의 도어를 가지고 있다. 이 도어 수용 프레임은 대향측과 도어 상에 슬롯을 갖으며 도어의 각각의 대향측의 두개의 래칭 부를 연장, 리프팅 하강 및 수축하며 도어 수용 프레임상의 래치 리셉터클 안 및 밖으로 연장한 래칭 링케이지를 활용한다. 바람직한 실시예에서, 각각의 래칭 메카니즘은 이에 연결되어 도어의 정면에 노출된 핸들을 갖는 슬라이딩 판을 활용한다. 이 슬라이딩 판은 한 쌍의 래칭 링케이지 와 협동하는 한 쌍의 리프팅 링케이지를 갖는다. 핸들의 이동은 제 1방향의 래칭부를 래칭 리셉터클로 연장한 다음 중첩된 링케이지상의 램프된 캠면과 캠 팔로워면에 의해, 래칭부는 제 1 방향에 직교하는 제 2방향으로 이동하여 도어를 안쪽으로 끌어 당겨 그 도어를 용기부에 시일한다. 슬라이딩 판은 피니온과 맞물린 랙부를 포함한다. 피니온은 래치 키에 의해 도어의 정면으로부터 액세스 가능하여, 메카니즘은 로벗식으로 작동될 수 있다. 따라서, 래치 메카니즘에는 래치를 작동하는 제 2차수단을 제공하는 비 회전 죔 핸들이 마련되어 있다. 바람직한 실시예에서, 전체 래칭 메카니즘은 도어의 정면에서 노출되어 있다.

본 발명의 바람직한 실시예의 목적 및 장점은 비 회전 수단이 래칭 메카니즘을 작동하도록 되어 있다는 것이다.

바람직한 실시에의 목적 및 장점은 래칭 메카니즘이 정면 도어의 앞에 노출되어 메카니즘의 세척 및 드라이닝을 용이하게 하여 적절한 동작을 보장하고 일반적으로 유지가 필요한 경우 메카니즘으로의 액세스의 용이함을 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예의 목적 및 장점은 도어 엔클러즈가 없다는 것이다. 이는 부품의 수를 최소로 하고 조립을 간단히 하면 비용을 절감한다.

본 발명의 바람직한 실시예의 목적 및 장점은 도어를 래치하는 수동 이동이 직관적이다. 즉 도어의 바깥 주위 쪽으로의 핸들의 이동은 래치부분을 연장한다는 것이다. 핸들의 이동은 래치부를 안쪽으로 수축시킨다.

본 발명의 바람직한 실시예의 또 다른 목적 및 장점은 도어의 수동 작동 래치 메카니즘이 로벗식으로 작동한 다는 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예의 특징 및 장점은 래칭 메카니즘이 회전 캠부재를 활용하는 메카니즘에 비해 특히 완활 하게 작동한다는 것이다.

본 발명의 장점 및 특징은 활용된 래칭 메카니즘이 효과적이고 믿을 만한 래칭 작용을 간단히 기계적으로 제공하는 최소 부품으로 구성된 다는 것이다.

본 발명의 또 다른 특성과 장점은 메카니즘이 도어의 내부에 위치함으로써 도어 메카니즘에 의한 입자의 발생 및 흩어짐을 최소화한다는 것이다.

본 명세서에서 "실질적으로"이라는 것은 양 또는 품질을 포함하거나 표시된 것과 같은 정확한 위치를 포함한다. "연결된" 및 이의 변형은 직접적인 접속 또는 접촉을 요구하지 않고 접속된 부품은 메카니즘 또는 커플링에 의해 링크될 수 있다.

선행기술의 도 1 및 도 2는 저부 개방 SMIF 포드(20)와 정면 개방 이송 모듈(30)을 도시한 것으로 이들 각각은 본 발명에 대하여 매우 적절하다. 각각의 밀봉 가능한 엔클로저는 용기부(34)와 협동 도어(36)를 갖는다. SMIF 포드(20)는 선행기술에 공지된 H바 캐리어인 개별 웨이퍼 캐리어(38)를 가지고 있으며 이 캐리어는 도어(36)의 상부 표면(40)에 안착되어 있다.

각각의 용기 부(34)와 각각의 엔클로저는 상부측(46), 정면측(48) 및 바닥측(50)을 가지고 있다. SMIF포드에서, 바닥측(50)은 웨이퍼 캐리어(38)와 도어(36)를 수용하기 위해 개방되어 있다.

도어는 안쪽으로 마주한 측(52), 바깥쪽으로 마주한 측(53) 을 가지고 있으며, 외면(55)은 래치 메카니즘(60)(도 1 및 도 2에 그의 부분이 도시됨)을 포함하는 개방 내부(58)를 갖는 엔클로저(56)를 포함한다. 래칭 메카니즘은 슬롯(66)밖으로 연장 가능한 래칭부(62)를 포함하는데 이 래칭부는 용기부(34)의 도어 프레임 부(74)에 위치한 래치 부분 수용부(68)에 맞물린다.

도 3을 참조하면, 선행기술의 웨이퍼 용기를 도시한 것으로, 핸들(80)이 바깥쪽으로 스윙함으로써 핸들의 회전을 용이하게 한다. 이러한 핸들은 각각의 도어 엔클로저에서 회전 가능한 캠 부재에 연결되어 있다.

도 4를 참조하면, 본 발명을 포함하는 웨이퍼 용기(90)가 도시되어 있으며, 이는 용기부(92)와 협동 도어(94)를 포함한다. 용기부는 실질적인 수평면에 웨이퍼(W)를 끼우고 제거하는 다수의 웨이퍼 슬롯(100)을 갖는다. 슬롯은 웨이퍼 지지 셸브(102)에 의해 형성된다. 용기부는 개방 정면부(106), 폐쇄 상부(108), 폐쇄 좌측부(110), 폐쇄 후측부(112), 폐쇄 우측부(114) 및 폐쇄 저부(116)를 일반적으로 가지고 있다. 용기는 일반적으로 폐쇄 저부의 외측상에 도시하지 않은 장비 인터패이스를 일반적으로 가질 수 있다.

도어(94)가 도어 수용 프레임(120)에 안착되어 맞물리는 이 프레임은 쉘(124)과 일체가 되거나 일체가 되지 않을 수 있다. 도어 프레임(120)은 두쌍의 대향하는 프레임 부재, 즉, 한 쌍의 수직 프레임 부재(130, 132)와 한 쌍의 수평 프레임 부재(136, 138)를 갖는다. 수직 프레임 부재는 한 쌍의 리시버(150)를 갖는데, 이 리시버는 도어를 용기부 맞물려서 래칭 하는데 사용하는 구멍 또는 슬롯으로 구성되어 있다. 도어는 미국 특허 제 5,915,562호(참고로 본 명세서에 포함됨)에 개재된 능동 웨이퍼 보관 수단 또는 선행기술에 공지된 수동수단을 갖을 수 있다.

도어는 참고로 본 명세서에 포함된 일련번호 08/904,660에 개재된 스프링 부재에 의해 적절히 고정된 패널으로 구성된 정면 커버(160)와 엔클로저(164)를 형성하는 하우징(162)을 활용할 수 있다. 수동 핸들(170, 172)로 구성된 두개의 작동부분은 정면 커버의 구멍(174, 176)을 통해 연장되어 있다. 래치 구멍 (180, 182)은 로벗 액세스를 키 리시버로 구성된 부가적인 작동 부에 제공한다. 래칭부(184, 185)는 도어 외부(188)의 구멍(186, 187)을 통해 연장하고 수축한다.

도 5, 6, 7, 8 및 9를 참조하면, 도어 엔클러즈(164)는 두개의 상이한 거울상 래치 메카니즘(200, 202)를 수용하는 두개의 격실(190, 192)를 가지고 있다. 본 실시예에서, 도어는 개별적인 메카니즘 커버(203, 204)를 가지고 있다. 제 1 또는 좌측 래치 메카니즘(202)은 제 2 또는 우측 래치 메카니즘(200)과 조립된 확대 도면이다. 도6은 확대된 좌측 래치 메카니즘 부품의 대향 또는 안쪽으로 마주하는 도면을 도시한다. 각각의 래치 메카니즘은 작동부(205), 이동 병진부(206) 및 래치부(207)를 갖는다.

예시된 특정 실시예에서, 각각의 메카니즘은 각각의 수동 핸드(170, 172)를 포함하는 슬리이딩 작동부(210), 접속부(218), 래크(224)로 구성된 한 쌍의 접속 링크 및 중앙 구멍(225)으로 구성되어 있다. 리프팅 링케이지는 래칭부(184, 185)와 이 링케이지로부터 연장한 안내 핀으로 구성된 안내 부재(258, 259)를 을 포함하는 래칭암(250, 252)과 협동한다. 안내핀이 올려져 측면 안내 슬롯(232, 234)에 의해 포획되어 있다. 또한, 래칭암은 이 래칭암의 정면(274)으로부터 연장한 넘(numb)으로 구성된 정지부재(286)를 갖는다. 래칭암의 후측은 래칭 부분의 안쪽-바깥쪽 이동을 제공하기 위해 제 2 리프팅 부분을 리프팅 링케이지에 맞물리는 램프 맞물림 면(277)과 함께 캠 팔로워로 구성된 제 1 리프팅부(276)를 가지고 있다. 커버 피이스(203, 204)는 적소에 부품을 유지하고 나사 구멍(282)의 본 발명의 비 금속 나사가 포스트(284)에 이상적으로 부착될 수 있다.

피니온으로 구성된 기어 부재(290)는 포스트(294)위에 회전 할 수 있게 안착되어 있다. 피니온이 회전할 때 기어부재는 랙을 접속부(218)에 맞물려 이를 수형으로 이동한다. 기어부재는 로버트식 래치키(300)을 수용하기 위해 래치키 슬롯(298)으로 구성된 키 리시버를 갖는다. 키 리시버는 제 1 작동부를 구성하고 수동 핸들은 제 2 작동부를 구성하며 이들 양자는 랙과 피니온 메카니즘으로 구성된 이동 병진부와 접속 링케이지를 작동한다. 대안적인 이동 병진 부분이 이용될 수 있있고 그리고 본 발명의 특정 태양의 범위내에 속한다. 회전 가능한 캠부재가 이용되지는 않지만, 래치 메카니즘은 미국 출원 일련 번호 08/891,645의 도 17, 18a, 19a, 19b, 20, 21의 래치 메카니즘과 유사하게 작동한다. 오히려, 상기 링케이지를 측면으로 이동시키기 위해 부착된 리프팅 링케이지를 가진 슬라이딩 핸들부를 이용할 수 있다. 이 경우에, 래칭암이 리프팅 링케이지에 의해 포획되고 상하 운동이 커버(203, 204)위의 구조의 구성에 의해 제어 및 제한된다.

도어 메카니즘(100)의 개별적인 부품은 카본 파이버 폴리카본네이트로 형성되는 것이 적절하여 정적 감쇠 특성을 제공한다. 정면 패널과 도어 엔클로저는 폴리가본네이트로 형성되어도 좋다. 래칭 부품은 나이론 또는 PEEK와 같은 적절한 플라스틱으로 형성되어도 좋다.

본 발명은 비회전 수단이 래칭 메카니즘을 자동하는 산업분야에 이용가능하다.

Claims (23)

1. a) 개방된 내부와, 도어 개방부를 형성하여 래치 리셉터클을 가지는 장방형 도어 프레임을 지니며, 웨이퍼를 유지하는 용기부와;

   b) 도어 개방부를 커버하도록 도어 프레임에 위치가능하며 정면부를 지니며, 장방형 도어프레임과 맞물리는 크기의 외부 시이팅부분을 포함하는 우에이퍼 용기에 있어서,

   도어의 정면에 바깥쪽으로 노출되어 있으며, 측면으로 이동 가능한 핸들과;

   래치 리셉터클로 연장 및 상기 리셉터클로부터 수축하는 래치부분과;

   래치부분과 핸들사이를 접속하며 핸들의 측면이동을 래치부분의 연장 및 수축으로 병진시키는 이동 병진 부분을 구비한 래칭메카니즘을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
2. 제 1항에 있어서,

   래칭 메카니즘은 도어 엔클로저 내에 있지 않은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
3. 제 1항에 있어서,

   이동 병진 부분은 랙과 피니온을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
4. 제 1항에 있어서,

   도어는 우측부와 좌측부를 가지며, 래치 메카니즘은 제 1래치 메카니즘이며, 웨이퍼 용기는 제 2래치 메카니즘을 더 포함하며, 제 1 래치 메카니즘은 도어의 좌측에 위치되어 있으며, 제 2 래치 메카니즘은 도어의 우측에 위치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
5. a) 개방된 내부와, 도어 개방부를 형성하며, 래칭 리셉터클을 가지는 장방형의 도어 프레임을 가지며, 웨이퍼를 유지하기 위한 용기부와,

   b) 도어 개방부를 커버하기 위해 도어 프레임에 위치가능하며, 장방형 도어 프레임과 맞물리는 크기를 한 정 면 및 외부 시이팅 부를 가지는 도어를 구비한 웨이퍼 용기에 있어서,

   래칭 메카니즘은

   래치 리셉터클과 맞물리는 래치부분과;

   수동 또는 로벗 작동을 수용하기 위한 제 1 작동부와;

   래치부분과 작동부분사이를 연결하며, 핸들의 작동을 래치부부과 래치 리셉터클의 맞물림으로 병진시키는 이동 병진부분을 구비하며, 도어의 정면위에 노출되어 상기 메카니즘으로의 액세스를 제공하는 래칭 메카니즘을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
6. 제 5항에 있어서,

   래칭 메카니즘은 제 2 작동부를 더 포함하며, 제 2 작동부는 회전 가능한 래치 키 리시버이며, 제 1 작동부는 수동으로 작동 가능한 핸들인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
7. 제 6항에 있어서,

   수동으로 작동 가능한

   핸들은 회전가능 하지 않은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
8. 제 5항에 있어서,

   이동 병진부는 랙과 피니온 메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
9. 제 5항에 있어서,

   래칭 메카니즘은, 일단이 제 1 캠 가이드에 맞물린 캠 팔로워를 지니며, 타단은 외부 시이팅 부의 개방부에 연장한 래치부를 갖는 두개의 단을 지니며, 리프팅 링케이지는 두개의 단 중간에 위치한 제 1 리프팅부를 가지며, 제 1캠 가이드는 래치부분을 제 1방향으로 도어에 대하여 래치 리셉터클로 바깥쪽으로 연장하도록 구성되어 있으며;

   리프팅 링케이지는 슬라이딩 핸들부에 접속되어 이와 함께 측면으로 이동가능하며, 리프팅 링케이지는 상기 제 1 리프팅부와 맞물릴 수 있는 협동하는 제2리프팅 부분을 가지며, 제 1 리프팅부와 제 2 리프팅부는 중첩한 관계로 배열되어 있으며, 상기 제 1 리프팅부와 상기 제 2 리프잉부중 하나는 램프를 가지고 있으며, 상기 제 1 리프팅부와 상기 제 2 리프팅부중 나머지 하나는 램프 맞물림 면을 가지며, 제 2 캠 가이드는 래치 링케이지에 대하여 리프팅 링케이지를 이동하도록 구성됨으로써, 래칭부분이 래치 리셉터클에 있는 경우, 제 1 방향에 실질적으로 직교하는 제 2방향으로 래치 링케이지를 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
10. a) 개방된 내부와 도어 개방부를 형성하며 래치 리셉터클을 가지는 장방형의 도어 프레임을 가지며, 웨이퍼를 유지하는 용기부와;

    b) 도어 개방부를 커버하도록 도어 프레임에 위치가능 하며, 장방형의 도어 프레임과 맞물리는 크기로 된 외부 시이팅 부를 구비한 웨이퍼 용기에 있어서,

    래칭 메카니즘은,

    외부 작동을 수용하며 바깥쪽으로 액세스 및 회전 가능한 작동부와;

    래치 리셉터클과 맞물리는 래치부와;

    작동부에 연결된 피니온과;

    피니온과 맞물려 있으며 래치부에 연결하는 랙을 구비함으로써,

    작동부의 회전은 래치부를 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
11. 제 10항에 있어서,

    도어는 정면부를 지니며, 래치 메카니즘은 도어의 정면에 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
12. 제 10항에 있어서,

    작동부는 제 1 작동부이며, 래치 메카니즘은 랙에 연결된 제 2 작동부를 측면으로 이동시키도록 강요된 제 2 작동부를 더 포함 함으로써, 래치 메카니즘은 제 1 작동 메카니즘을 회전시키거나 제 2 작동 부재를 측면으로 이동시키므로써 작동하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
13. 제 12항에 있어서,

    도어는 정면부를 가지며, 래치 메카니즘은 정면부위에 노출된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
14. 제 10항에 있어서,

    도어는 정면부, 좌측부 및 우측부를 가지며, 래치 메카니즘은 제 1 래치 메카니즘이며, 웨이퍼 용기는 제 2 래치 메카니즘을 더 포함하며, 제 1 래치 메카니즘은 도어의 좌측에 위치되어 있으며, 제 2 래치 메카니즘은 도어의 우측에 위치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
15. a) 개방된 내부와, 앞쪽으로 마주한 도어 개방부를 형성하며 래치 리셉터클갖는 장방형의 도어 프레임을 지니며, 웨이퍼를 유지하는 용기부와;

    b) 장방형 도어 프레임과 맞물리는 크기를 한 정면 및 외부 시이팅부를 갖으로며, 도어 개방부를 커버하도록 도어 프레임에 위치 가능한 도어를 구비한 웨이퍼 용기에 있어서,

    래칭 메카니즘은,

    래치 리셉터클과 맞물리는 래치부와;

    키를 이용하여 로벗 작동을 수용 하는 제 1 회전 가능한 작동부와;

    수동 작동을 위한 제 2 측면으로 이동 가능한 작동부와;

    래치부와 제 1 로벗 작동부사이를 연결하고 또한 래치부와 제 2 측면으로 이동가능한 작동부사이를 연결하여 상기 작동부의 작동을 래치 리셉터클과의 래치부의 맞물림으로 병진시키는 이동 병진부를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
16. 제 15항에 있어서,

    이동 병진부는 랙과 피니온을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
17. 제 15항에 있어서,

    도어는 정면부를 갖으며, 래치 메카니즘은 상기 정면부에서 노출된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
18. 제 15항에 있어서,

    래칭 메카니즘은 제 1 래칭 메카니즘이고, 웨이퍼 캐리어는 제 1 래칭 메카니즘의 실질적인 거울상인 제 2 래칭 메카니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
19. 제 15항에 있어서,

    이동 병진부는 측면 바깥쪽으로의 이동을 래칭부에 제공하고 전진방향으로 이동을 제공하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
20. a) 개방 내부와, 도어 개방부를 형성하며 래치 리셉터클을 가지는 장방형의 도어 프레임을 갖으며, 웨이퍼를 유지하는 용기부와;

    b) 개방된 내부를 지니며 도어 개방부를 커버하도록 도어 프레임에 위치 가능하며,

    i) 도어가 도어 프레임에 위치하는 경우 래치 리셉터클에 대응하는 개방구를 갖으며, 장방형의 도어 프레임과 맞물리는 크기인 외부 시이팅부와;

    ii) 도어의 정면에 바깥쪽으로 노출된 핸들을 포함하며, 엔클로저내에 구속되어 내측으로 이동 가능한 슬라이딩 핸들부와;

    iii) 두개의 단을 지닌 래치 암과;

    상기 하나의 단은 제 1 캠 가이드에 맞물린 캠 팔로워을 가지며, 나머지 단은 외부 시이팅부의 개구부에 연장하는 래치부를 가지며, 리프팅 링케이지는 두개의 단 중간에 위치한 제 1 리프팅부를 가지며, 제 1 캠 가이드는 제 1 방향의 도어에 대하 래치 리셉터클로 바깥쪽으로 연장하도록 구성되어 있으며,

    iv) 또한, 슬라이딩 핸들부에 연결되어 이와 함께 양측으로 이동 가능한 리프팅 링케이지를 구비하며;

    리프팅 링케이지는 상기 제 1 리프팅부와 맞물릴 수 있는 협동하는 제 2 리프팅부를 가지며, 제 1 리프팅부와 제 2 리프팅부분은 중첩관계로 배열되어 있으며, 상기 제 1 리프팅부와 상기 제 2 리프잉부 중 하나는 램프를 가지며, 상기 제 1 리프팅부와 상기 제 2 리프팅부의 나머지는 램프 맞물림 면을 가지며, 제 2 캠 가이드는 래치 링케이지에 대해 리프팅 링케이지를 이동하도록 구성되어, 래칭부가 래치 리셉터클에 있는 경우, 램프 맞물림부가 램프 위에 걸쳐서 래치 링크를 제 1 방향에 실질적으로 직교하는 제 2방향으로 이동시키는 도어를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기.
21. 제 20항에 있어서,

    슬라이딩 핸들부에 연결된 랙과 피니온 기어 시스템을 더 포함하며, 피니온은 도의의 외부로부터 액세스 가능하여 도어가 상기 피니온과 맞물림으로써 로벗식으로 작동하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
22. a) 개방된 정면부와 이 개방된 정면부에 있어서의 용기부상의 래치 리셉터클을 지니며, 수평배열로 웨이퍼를 유지하는 용기부와;

    b) 개방된 정면부를 폐쇄하도록 위치 가능하며,

    i) 래치 리셉터클 쪽으로 제 1 방향으로 바깥쪽으로 연장 가능한 래칭부를 갖는 래칭 암과;

    ii) 래치 링케이지에 인접되어서 제 1방향에 실질적으로 평행한 방향으로 이동 가능하며, 하나이상의 리프팅 링케이지와 래칭암은 램프를 갖아, 나머지 리프팅 링케이지와 래팅부분이 램프에 대하여 이동하는 경우, 램프에 의해 래칭 링케이지가 제 1 방향에 실질적으로 직교하는 제 2 방향으로 이동하는 리프팅 링케이지와;

    iii) 엔클로저내에 구속되어 측면으로 이동 가능하며, 도어의 정면에 바깥쪽으로 노출되어 있는 핸들과 이 핸들을 리프팅 링케이지에 연결하는 접속부를 포함하여, 도어가 바깥쪽으로 노출된 핸들을 이동함으로써 작동하며, 또한 선형 기어를 더 포함하는 슬라이딩 핸들부와;

    iv) 선형기어와 맞물리는 도어 엔클로저내에 위치하며 도어의 정면 외부로부터 액세스가능하여 도어가 로버트식으로 작동하는 회전 가능한 기어를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
23. 제 3항에 있어서,

    슬리이딩 핸들부는 리프팅 링케이지와 일체가 되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.