JPH1191864A - ウェハー搬送モジュール - Google Patents
ウェハー搬送モジュールInfo
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- JPH1191864A JPH1191864A JP10196035A JP19603598A JPH1191864A JP H1191864 A JPH1191864 A JP H1191864A JP 10196035 A JP10196035 A JP 10196035A JP 19603598 A JP19603598 A JP 19603598A JP H1191864 A JPH1191864 A JP H1191864A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
Abstract
(57)【要約】
【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを
取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハ
ー搬送モジュールの提供。 【解決手段】ウェハー搬送モジュール２０のシェル５８
には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構
造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置５
５とのインターフェース部５６と、ウェハー３８を支持
するためにウェハー搬送モジュール２０内を上方に延び
る一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。ま
た、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能な
ハンドル２８に設けられた係合部材２４２と協動する係
合部材２５４を備えた溝７８を有している。ハンドル２
８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位
置へロックするための戻り止め２４６が設けられてい
る。
取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハ
ー搬送モジュールの提供。 【解決手段】ウェハー搬送モジュール２０のシェル５８
には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構
造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置５
５とのインターフェース部５６と、ウェハー３８を支持
するためにウェハー搬送モジュール２０内を上方に延び
る一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。ま
た、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能な
ハンドル２８に設けられた係合部材２４２と協動する係
合部材２５４を備えた溝７８を有している。ハンドル２
８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位
置へロックするための戻り止め２４６が設けられてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体ウェハー用
のキャリヤすなわちウェハー搬送モジュールに関する。
さらに詳しくは、この発明はウェハーを貯蔵し搬送する
ための閉鎖可能な容器に関する。
のキャリヤすなわちウェハー搬送モジュールに関する。
さらに詳しくは、この発明はウェハーを貯蔵し搬送する
ための閉鎖可能な容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にウェハー搬送モジュールと呼ばれ
るシール可能な容器は、処理工程の間にウェハーを貯蔵
し、かつ／もしくは設備の間でウェハーを搬送する目的
で長年にわたって半導体処理産業で用いられてきてい
る。周知のように、半導体ウェハーは粒子などの汚染物
質によって傷つきやすい。そこで半導体ウェハーを貯蔵
したり回路へと加工したりするクリーンルームやその他
の環境においては、汚染物質を無くすために厳重な対策
が施されている。
るシール可能な容器は、処理工程の間にウェハーを貯蔵
し、かつ／もしくは設備の間でウェハーを搬送する目的
で長年にわたって半導体処理産業で用いられてきてい
る。周知のように、半導体ウェハーは粒子などの汚染物
質によって傷つきやすい。そこで半導体ウェハーを貯蔵
したり回路へと加工したりするクリーンルームやその他
の環境においては、汚染物質を無くすために厳重な対策
が施されている。
【０００３】200mm 及びそれ以下のウェハーについて
は、ＳＭＩＦ(Standardized mechanism interface ) ポ
ッドとして知られる容器を利用することによってクリー
ンなシールされた小型の環境を提供している。こうした
ポッドの例は、米国特許第4,532,970 号及び同第4,534,
389 号に開示されている。ＳＭＩＦポッドは一般に透明
なボックス形状のシェルを利用しており、このシェルは
開口した底部を形成する下側ドアフレームあるいはフラ
ンジと、ラッチ可能なドアとを有している。ドアフレー
ムが処理装置の上にクランプされて、処理装置のドア
と、ＳＭＩＦポッドの開口した底部を閉じている下側ド
アとが、シェルから同時に前記処理装置の中のシールさ
れた処理環境の中へ下方に降ろされる。ＳＭＩＦポッド
ドア内部の上面のに配置されていてウェハーが搭載され
ている別のＨバーキャリヤがポッドドアといっしょに降
ろされて、前記ウェハーへアクセスして処理が行われる
ようになっている。こうしたポッドにおいては、貯蔵及
び搬送のときにウェハーの重量がドアの上に直接加わ
る。
は、ＳＭＩＦ(Standardized mechanism interface ) ポ
ッドとして知られる容器を利用することによってクリー
ンなシールされた小型の環境を提供している。こうした
ポッドの例は、米国特許第4,532,970 号及び同第4,534,
389 号に開示されている。ＳＭＩＦポッドは一般に透明
なボックス形状のシェルを利用しており、このシェルは
開口した底部を形成する下側ドアフレームあるいはフラ
ンジと、ラッチ可能なドアとを有している。ドアフレー
ムが処理装置の上にクランプされて、処理装置のドア
と、ＳＭＩＦポッドの開口した底部を閉じている下側ド
アとが、シェルから同時に前記処理装置の中のシールさ
れた処理環境の中へ下方に降ろされる。ＳＭＩＦポッド
ドア内部の上面のに配置されていてウェハーが搭載され
ている別のＨバーキャリヤがポッドドアといっしょに降
ろされて、前記ウェハーへアクセスして処理が行われる
ようになっている。こうしたポッドにおいては、貯蔵及
び搬送のときにウェハーの重量がドアの上に直接加わ
る。
【０００４】半導体処理産業は、大きくて重いウェハ
ー、特に300mm ウェハーを使用する方向に向かってい
る。工業規格の進展によって、そうしたウェハーのため
の搬送モジュールは、モジュールから下方へ落下する底
部ドアではなくてウェハーを挿入したり取り出したりす
るために前部の開口ドアを利用することになろう。ドア
がウェハーの荷重を支えるのではなくて、（ポリカーボ
ネートなどの）透明なプラスチック製のシェルや（ポリ
エーテルエーテルケトンなどの）粒子を発生しにくいプ
ラスチックから形成されたウェハーを支えるための他の
部材を有する容器部分がウェハーの荷重を支えることに
なろう。こうした容器部分は、必然的に、一体に組み付
けられた多数の部材から形成される。
ー、特に300mm ウェハーを使用する方向に向かってい
る。工業規格の進展によって、そうしたウェハーのため
の搬送モジュールは、モジュールから下方へ落下する底
部ドアではなくてウェハーを挿入したり取り出したりす
るために前部の開口ドアを利用することになろう。ドア
がウェハーの荷重を支えるのではなくて、（ポリカーボ
ネートなどの）透明なプラスチック製のシェルや（ポリ
エーテルエーテルケトンなどの）粒子を発生しにくいプ
ラスチックから形成されたウェハーを支えるための他の
部材を有する容器部分がウェハーの荷重を支えることに
なろう。こうした容器部分は、必然的に、一体に組み付
けられた多数の部材から形成される。
【０００５】半導体ウェハーを取扱処理するときに、静
電気は絶えず関心の的になる。静電気放電は半導体ウェ
ハーに損傷を与えたり、ダメにしたりする。従って、静
電気放電を生じる可能性をできる限り抑える手段をとる
ことが必要である。これまで、Ｈバーキャリヤはカーボ
ンが充填されたポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）やポリカーボネート（ＰＣ）などの通常の静電気消
散性材料から製造されてきた。このような300mm モジュ
ールに対する進展中の工業規格では、処理装置に対して
繰り返し精度よく位置合わせを行うために、モジュール
の底部に運動学的(kinematic) カップリングなどの装置
インターフェースが要求される。これによって、ロボッ
ト処理手段がモジュールの前面でドアと係合してドアを
開け、水平に配置されている特定のウェハーを必要な精
度で把持して取り出すことが可能になる。ロボットによ
ってウェハーを取り出したり挿入したりするときにウェ
ハーが動いたり損傷を受けたりすることがないように、
ウェハーを装置に対して特定の高さ及び方向に配置する
ことが非常に重要である。
電気は絶えず関心の的になる。静電気放電は半導体ウェ
ハーに損傷を与えたり、ダメにしたりする。従って、静
電気放電を生じる可能性をできる限り抑える手段をとる
ことが必要である。これまで、Ｈバーキャリヤはカーボ
ンが充填されたポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）やポリカーボネート（ＰＣ）などの通常の静電気消
散性材料から製造されてきた。このような300mm モジュ
ールに対する進展中の工業規格では、処理装置に対して
繰り返し精度よく位置合わせを行うために、モジュール
の底部に運動学的(kinematic) カップリングなどの装置
インターフェースが要求される。これによって、ロボッ
ト処理手段がモジュールの前面でドアと係合してドアを
開け、水平に配置されている特定のウェハーを必要な精
度で把持して取り出すことが可能になる。ロボットによ
ってウェハーを取り出したり挿入したりするときにウェ
ハーが動いたり損傷を受けたりすることがないように、
ウェハーを装置に対して特定の高さ及び方向に配置する
ことが非常に重要である。
【０００６】プラスチック部材を成形するときの不均一
性が、プラスチック部材を組み付けたときの部材間の隙
間の不均一性につながり、各部材の公差が積み重なって
限界寸法(critical dimension)の変動が望ましくない程
度にまでなる。従来の前面開放式の300mm 透明モジュー
ルは、装置インターフェースとウェハー支持部材との間
の多数の部材を含む、多くの部材を利用している。従っ
て、ウェハー面と装置インターフェースとの間の公差が
許容範囲内であるようなモジュールを製造することが困
難になる。また、こうしたモジュールは、金属製のネジ
などのいくつかの部材を介するウェハー棚から装置イン
ターフェースへのアース経路を有する。
性が、プラスチック部材を組み付けたときの部材間の隙
間の不均一性につながり、各部材の公差が積み重なって
限界寸法(critical dimension)の変動が望ましくない程
度にまでなる。従来の前面開放式の300mm 透明モジュー
ルは、装置インターフェースとウェハー支持部材との間
の多数の部材を含む、多くの部材を利用している。従っ
て、ウェハー面と装置インターフェースとの間の公差が
許容範囲内であるようなモジュールを製造することが困
難になる。また、こうしたモジュールは、金属製のネジ
などのいくつかの部材を介するウェハー棚から装置イン
ターフェースへのアース経路を有する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】300mm のウェハーは寸
法及び重量において200mm のウェハーよりもかなり大き
い。従って、ウェハーのバッチを搬送するために強固な
構造のモジュールが必要である。一般に200mm のＳＭＩ
Ｆポッドでは、モジュールは、シェルのドアフランジと
ドアとの連結部で下端を把持することで単純に手で持ち
運んでいた。底部開放式のポッドに対しては、シェル部
分の上部にハンドルが設けられている。300mm ウェハー
用のモジュール大きくて重く、よりかさばるモジュール
を持ち運ぶには、サイドハンドルが適している。ある用
途では、300mm モジュールの移動はロボットによって専
ら行われる。従って、容器を手で搬送するためのハンド
ルや、その他の手段を必要としない。従って、ロボット
による持ち上げ用ハンドルを提供する必要があり、また
手による持ち上げ用ハンドルを容易に取り外せる必要が
ある。
法及び重量において200mm のウェハーよりもかなり大き
い。従って、ウェハーのバッチを搬送するために強固な
構造のモジュールが必要である。一般に200mm のＳＭＩ
Ｆポッドでは、モジュールは、シェルのドアフランジと
ドアとの連結部で下端を把持することで単純に手で持ち
運んでいた。底部開放式のポッドに対しては、シェル部
分の上部にハンドルが設けられている。300mm ウェハー
用のモジュール大きくて重く、よりかさばるモジュール
を持ち運ぶには、サイドハンドルが適している。ある用
途では、300mm モジュールの移動はロボットによって専
ら行われる。従って、容器を手で搬送するためのハンド
ルや、その他の手段を必要としない。従って、ロボット
による持ち上げ用ハンドルを提供する必要があり、また
手による持ち上げ用ハンドルを容易に取り外せる必要が
ある。
【０００８】また、ウェハーが粒子、湿気、あるいはそ
の他の汚染物質によって非常に汚染されやすいために、
モジュール内部への流入経路の数を最小限に抑えること
が理想的である。留め具などポッドの内部と外部との間
のプラスチックや、あるいはモジュールの個々の部品の
連結部のプラスチック中の経路すなわち裂け目は避けな
ければならない。必要な経路は適切にシールする必要が
ある。また、ポッドのどこかの箇所に金属製留め具ある
いはその他の金属部分を使用することは、半導体ウェハ
ーのキャリヤあるいは容器においては非常に望ましくな
い。金属部分は、擦ったり削られたりすると、非常に有
害な粒子を発生する。モジュールを留め具で組み付ける
と、このような擦れや削れが生じる。従って、金属製の
留め具あるいはその他の金属部分を必要とするような搬
送モジュールの使用は避けなければならない。
の他の汚染物質によって非常に汚染されやすいために、
モジュール内部への流入経路の数を最小限に抑えること
が理想的である。留め具などポッドの内部と外部との間
のプラスチックや、あるいはモジュールの個々の部品の
連結部のプラスチック中の経路すなわち裂け目は避けな
ければならない。必要な経路は適切にシールする必要が
ある。また、ポッドのどこかの箇所に金属製留め具ある
いはその他の金属部分を使用することは、半導体ウェハ
ーのキャリヤあるいは容器においては非常に望ましくな
い。金属部分は、擦ったり削られたりすると、非常に有
害な粒子を発生する。モジュールを留め具で組み付ける
と、このような擦れや削れが生じる。従って、金属製の
留め具あるいはその他の金属部分を必要とするような搬
送モジュールの使用は避けなければならない。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のフロント開口式のウェハー搬送モジュール
は、透明なシェルと中央支持構造を備えた容器部分を有
している。中央支持構造は、モジュールの底部において
露出する装置インターフェースと、一体構造のウェハー
支持コラムとを有している。ウェハー支持コラムは容器
部分内を上方へ延びてウェハーを支持する。また、シェ
ルの側壁は溝部分を有している。この溝部分は、取り外
し可能なハンドルに設けられた係合部材と協働する係合
部材を有する。ハンドルは、キャリヤの側壁に設けられ
た溝内の所定の位置へロックするために戻り止めを利用
している。側壁へのハンドルの取り付けは、モジュール
の内部と外部との間に裂け目を設けずに行われている。
め、本発明のフロント開口式のウェハー搬送モジュール
は、透明なシェルと中央支持構造を備えた容器部分を有
している。中央支持構造は、モジュールの底部において
露出する装置インターフェースと、一体構造のウェハー
支持コラムとを有している。ウェハー支持コラムは容器
部分内を上方へ延びてウェハーを支持する。また、シェ
ルの側壁は溝部分を有している。この溝部分は、取り外
し可能なハンドルに設けられた係合部材と協働する係合
部材を有する。ハンドルは、キャリヤの側壁に設けられ
た溝内の所定の位置へロックするために戻り止めを利用
している。側壁へのハンドルの取り付けは、モジュール
の内部と外部との間に裂け目を設けずに行われている。
【００１０】この発明の特徴及び利点は、装置インター
フェースの高さや、ウェハー棚上のウェハーの高さに対
する各部材間の公差の積み重ねが存在しないことであ
る。多数の部品によって装置インターフェースの高さや
ウェハーの高さが決まる場合には、各々の部品が個別の
製造公差を有していることから、これらの部品をモジュ
ールに組み付けたときに公差が累積される。従って、個
々の部材が不合格率が高くなり、及び／もしくは組み付
けたモジュールの不合格率が高くなる。この発明は、装
置インターフェースとウェハー支持部材のために、単一
の一体化された部品を利用している。この発明の別の利
点及び特徴は、ウェハー支持棚から装置インターフェー
スまで、遮られることのなくアース経路が延びているこ
とである。
フェースの高さや、ウェハー棚上のウェハーの高さに対
する各部材間の公差の積み重ねが存在しないことであ
る。多数の部品によって装置インターフェースの高さや
ウェハーの高さが決まる場合には、各々の部品が個別の
製造公差を有していることから、これらの部品をモジュ
ールに組み付けたときに公差が累積される。従って、個
々の部材が不合格率が高くなり、及び／もしくは組み付
けたモジュールの不合格率が高くなる。この発明は、装
置インターフェースとウェハー支持部材のために、単一
の一体化された部品を利用している。この発明の別の利
点及び特徴は、ウェハー支持棚から装置インターフェー
スまで、遮られることのなくアース経路が延びているこ
とである。
【００１１】この発明の別の目的及び利点は、ウェハー
を保持する中央支持構造が下側開口部を介してシェル内
に組み付けられ、この中央支持構造をシェルに対して回
転させることによって所定の位置に固定されることであ
る。金属製の留め具は使用されていない。また、中央支
持構造は、シェルの最上部に設けられた開口部に延びる
カラーを備えた上部と、中央支持構造の上部と摺動係合
しそうすることによって回転しないように支持構造をシ
ェルへロックするロボット持ち上げ用フランジとによっ
て、シェルの最上部と係合しそこにロックされる。この
場合にも、金属製の留め具あるいは部品は使用されてい
ない。
を保持する中央支持構造が下側開口部を介してシェル内
に組み付けられ、この中央支持構造をシェルに対して回
転させることによって所定の位置に固定されることであ
る。金属製の留め具は使用されていない。また、中央支
持構造は、シェルの最上部に設けられた開口部に延びる
カラーを備えた上部と、中央支持構造の上部と摺動係合
しそうすることによって回転しないように支持構造をシ
ェルへロックするロボット持ち上げ用フランジとによっ
て、シェルの最上部と係合しそこにロックされる。この
場合にも、金属製の留め具あるいは部品は使用されてい
ない。
【００１２】この発明の別の目的及び利点は、モジュー
ルの内部と外部との間の裂け目や開口部がエラストマシ
ールなどでシールされていることである。フロントドア
のところ以外の裂け目あるいは開口部は円形形状を有
し、Ｏリングなどでシールされている。この発明の別の
目的及び利点は、金属製の留め具やそれ以外の別個の留
め具を用いずに、また側壁に裂け目や開口部を設けるこ
となく、ハンドルを容易にモジュールへ取り付けたり取
り外したりできることである。この発明の別の目的及び
利点は、部品の洗浄のための分解及び／もしくはメイン
テナンスのための交換が容易に行えることである。
ルの内部と外部との間の裂け目や開口部がエラストマシ
ールなどでシールされていることである。フロントドア
のところ以外の裂け目あるいは開口部は円形形状を有
し、Ｏリングなどでシールされている。この発明の別の
目的及び利点は、金属製の留め具やそれ以外の別個の留
め具を用いずに、また側壁に裂け目や開口部を設けるこ
となく、ハンドルを容易にモジュールへ取り付けたり取
り外したりできることである。この発明の別の目的及び
利点は、部品の洗浄のための分解及び／もしくはメイン
テナンスのための交換が容易に行えることである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいてこの発
明の実施の形態を説明する。図１、図２、図３を参照す
ると、番号２０で全体が示されているウェハー用のコン
ポジット構造のウェハー搬送モジュールは、主として容
器部分２２とドア２４とから成っている。容器部分２２
はロボットによる持ち上げ用のフランジ２６と手動によ
る持ち上げ用ハンドル２８とを有している。ドア２４は
手動式の開放用ハンドル３０と、ロボットによって開け
られるようにするためのキー穴と３２を有している。図
２は、容器部分２２と、その開放した内部３６を示して
おり、内部３６には複数のウェハー３８が軸方向に配列
されて支持されている。図３はドア２４の内面４０を示
している。ドア２４は一対のウェハー保持部材４２を有
している。ウェハー保持部材４２は、ドア２４を設置し
たときにウェハーと係合して、これらを保持する。ウェ
ハー保持部材４２は、弾力性を有する成形プラスチック
から成る可撓性の歯４４から形成されている。ドア２４
は容器部分２２に設けられたドアフランジ４６の内側に
係合される。ドア２４は、ドア外周部５０から出たり引
っ込んだりしてドアフランジ４６の溝５４と係合するラ
ッチ４８を有している。ドア２４は、この図には示され
ていない一対の内部ラッチ機構を有している。この内部
ラッチ機構は、互いに独立に、そして手動式ドアハンド
ル３０あるいはキー穴３２を介して動作する。図２はま
た、ウェハー搬送モジュール２０に対するインターフェ
ース部５６を備えた処理装置５５の一部も示している。
ウェハー搬送モジュール２０はインターフェース部５６
上に係合している。
明の実施の形態を説明する。図１、図２、図３を参照す
ると、番号２０で全体が示されているウェハー用のコン
ポジット構造のウェハー搬送モジュールは、主として容
器部分２２とドア２４とから成っている。容器部分２２
はロボットによる持ち上げ用のフランジ２６と手動によ
る持ち上げ用ハンドル２８とを有している。ドア２４は
手動式の開放用ハンドル３０と、ロボットによって開け
られるようにするためのキー穴と３２を有している。図
２は、容器部分２２と、その開放した内部３６を示して
おり、内部３６には複数のウェハー３８が軸方向に配列
されて支持されている。図３はドア２４の内面４０を示
している。ドア２４は一対のウェハー保持部材４２を有
している。ウェハー保持部材４２は、ドア２４を設置し
たときにウェハーと係合して、これらを保持する。ウェ
ハー保持部材４２は、弾力性を有する成形プラスチック
から成る可撓性の歯４４から形成されている。ドア２４
は容器部分２２に設けられたドアフランジ４６の内側に
係合される。ドア２４は、ドア外周部５０から出たり引
っ込んだりしてドアフランジ４６の溝５４と係合するラ
ッチ４８を有している。ドア２４は、この図には示され
ていない一対の内部ラッチ機構を有している。この内部
ラッチ機構は、互いに独立に、そして手動式ドアハンド
ル３０あるいはキー穴３２を介して動作する。図２はま
た、ウェハー搬送モジュール２０に対するインターフェ
ース部５６を備えた処理装置５５の一部も示している。
ウェハー搬送モジュール２０はインターフェース部５６
上に係合している。
【００１４】図４はウェハー搬送モジュール２０の分解
斜視図であり、構造の詳細と、種々の構成部材を示して
いる。容器部分２２は主としてシェル５８と中央支持構
造６０から成っている。シェル５８は、開口６６を備え
た最上部６４と、下側開口部７０を備えた底部６８と、
開口した前部７２と、左側の側壁７４と、右側の側壁７
６とを有している。側壁７４、７６は両方とも、内側に
延びる溝７８により形成されたハンドル受容部分を有し
ている。これらの溝７８は内側に向けて突出している
が、容器部分２２の内部７４と外部との間にはクラック
や裂け目、開口部、あるいは穴は存在しないことに留意
すべきである。側壁は連続的に形成されており、中実で
ある。ハンドル受容部分は、側壁の一部である凹状平面
部分８０を有している。
斜視図であり、構造の詳細と、種々の構成部材を示して
いる。容器部分２２は主としてシェル５８と中央支持構
造６０から成っている。シェル５８は、開口６６を備え
た最上部６４と、下側開口部７０を備えた底部６８と、
開口した前部７２と、左側の側壁７４と、右側の側壁７
６とを有している。側壁７４、７６は両方とも、内側に
延びる溝７８により形成されたハンドル受容部分を有し
ている。これらの溝７８は内側に向けて突出している
が、容器部分２２の内部７４と外部との間にはクラック
や裂け目、開口部、あるいは穴は存在しないことに留意
すべきである。側壁は連続的に形成されており、中実で
ある。ハンドル受容部分は、側壁の一部である凹状平面
部分８０を有している。
【００１５】中央支持構造６０は装置インターフェース
部８６を備えた底部を有している。装置インターフェー
ス８６は、運動学的結合を成す三つのインターフェース
構造８８を備えたプレートとして形成されている。装置
インターフェース部８６には一対のウェハー支持コラム
９２が一体化されている。ウェハー支持コラム９２の各
々は多数の棚９４を有しており、ウェハー受容領域９５
を形成している。各棚はウェハー係合部９６を有してい
る。ウェハー支持コラム９２は上部１００と一体化され
ている。上部１００はウェハー支持コラム９２の最上部
９８の間を延びる掛け渡し部材１０１を有しており、ま
た第１の連結部材１０４も有している。
部８６を備えた底部を有している。装置インターフェー
ス８６は、運動学的結合を成す三つのインターフェース
構造８８を備えたプレートとして形成されている。装置
インターフェース部８６には一対のウェハー支持コラム
９２が一体化されている。ウェハー支持コラム９２の各
々は多数の棚９４を有しており、ウェハー受容領域９５
を形成している。各棚はウェハー係合部９６を有してい
る。ウェハー支持コラム９２は上部１００と一体化され
ている。上部１００はウェハー支持コラム９２の最上部
９８の間を延びる掛け渡し部材１０１を有しており、ま
た第１の連結部材１０４も有している。
【００１６】中央支持構造６０はシェル５８の下側開口
部７０内に上向きに組み付けられ、第１の連結部材１０
４はシェル５８の最上部６４に設けられた開口６６を通
って上方へ突出する。第２の連結部材１０６は第１の連
結部材１０４と摺動的に係合して、中央支持構造６０を
シェル５８内に保持する。第２の連結部材１０６はロボ
ットによる持ち上げ用ハンドル１０８と一体化されたフ
ランジとして形成されている。シェル５８は支持構造係
合部分１１３の一部として形成された第１の係合部材１
１２も有している。第１の係合部材１１２は、中央支持
構造６０に設けられたシェル係合部分１１５の一部とし
て形成された第２の係合部材１１４と係合する。これら
協働する係合部材は、シェルの内部で中央支持構造をシ
ェルへ固定している。第１のＯリング１１８は、中央支
持構造の上部１００とシェルの最上部６４との間に係合
されて、そのまわりにシールを形成する。同様に、第２
のＯリング１２０が装置インターフェース部８６とシェ
ルの底部６８との間でシールを形成する。図５を参照す
ると、ウェハー搬送モジュール２０がドア２４を取り除
いた状態で示されており、開放した内部３６と、種々の
内部構造が見えるようになっている。この実施の形態で
は、ガイドイン構造１２２を利用している。ガイドイン
構造１２２は側壁７４、７６の内面１３０と一体化され
ているレール１２４、１２６と係合する。図６に示され
ているように、各ガイドイン構造１２２は、レール１２
４、１２６に嵌合する細長い係合部材１３６を利用して
いる。ガイドイン構造１２２は歯１３８を有している。
歯１３８はスロット１４０を形成している。スロット１
４０は、上記ウェハー支持コラム９２の棚９４によって
形成されているスロット１４２の各々とほぼ平行であ
り、これと対応している。一般のガイドイン部材はロボ
ットによる挿入ではなくて、手でウェハーを挿入すると
きに使用されることを意図している。ガイドイン構造１
２２を拡張して、各ウェハーを搬送モジュールに対して
出し入れするときに各ウェハーを支持するようなものに
もできる。
部７０内に上向きに組み付けられ、第１の連結部材１０
４はシェル５８の最上部６４に設けられた開口６６を通
って上方へ突出する。第２の連結部材１０６は第１の連
結部材１０４と摺動的に係合して、中央支持構造６０を
シェル５８内に保持する。第２の連結部材１０６はロボ
ットによる持ち上げ用ハンドル１０８と一体化されたフ
ランジとして形成されている。シェル５８は支持構造係
合部分１１３の一部として形成された第１の係合部材１
１２も有している。第１の係合部材１１２は、中央支持
構造６０に設けられたシェル係合部分１１５の一部とし
て形成された第２の係合部材１１４と係合する。これら
協働する係合部材は、シェルの内部で中央支持構造をシ
ェルへ固定している。第１のＯリング１１８は、中央支
持構造の上部１００とシェルの最上部６４との間に係合
されて、そのまわりにシールを形成する。同様に、第２
のＯリング１２０が装置インターフェース部８６とシェ
ルの底部６８との間でシールを形成する。図５を参照す
ると、ウェハー搬送モジュール２０がドア２４を取り除
いた状態で示されており、開放した内部３６と、種々の
内部構造が見えるようになっている。この実施の形態で
は、ガイドイン構造１２２を利用している。ガイドイン
構造１２２は側壁７４、７６の内面１３０と一体化され
ているレール１２４、１２６と係合する。図６に示され
ているように、各ガイドイン構造１２２は、レール１２
４、１２６に嵌合する細長い係合部材１３６を利用して
いる。ガイドイン構造１２２は歯１３８を有している。
歯１３８はスロット１４０を形成している。スロット１
４０は、上記ウェハー支持コラム９２の棚９４によって
形成されているスロット１４２の各々とほぼ平行であ
り、これと対応している。一般のガイドイン部材はロボ
ットによる挿入ではなくて、手でウェハーを挿入すると
きに使用されることを意図している。ガイドイン構造１
２２を拡張して、各ウェハーを搬送モジュールに対して
出し入れするときに各ウェハーを支持するようなものに
もできる。
【００１７】図４、図５、図８に最もよく示されている
ように、中央支持構造６０の下部は装置インターフェー
ス部８６を有している。装置インターフェース部８６
は、上側平面１７０と、下側平面１７６まで延びる段部
１７４とを有している。下側平面１７６は、シェル５８
の底部６８の内側へ延びる部分１８０と対面することに
留意すべきである。また、この内側へ延びる部分１８０
は下側のほぼ円形の開口部７０を横切る一定の弦として
形成されているのではなく、別の挿入部分１８４によっ
て、中央支持構造６０を完全に揃った位置から若干回転
方向にずれた位置へ設置して第２の係合部材１１４を棚
に設けられた第１の係合部材１１２の間に挿入できるよ
うになっている。次に、中央支持構造６０を少し回転さ
せることで、図５に示した組み付け位置とすることがで
きる。
ように、中央支持構造６０の下部は装置インターフェー
ス部８６を有している。装置インターフェース部８６
は、上側平面１７０と、下側平面１７６まで延びる段部
１７４とを有している。下側平面１７６は、シェル５８
の底部６８の内側へ延びる部分１８０と対面することに
留意すべきである。また、この内側へ延びる部分１８０
は下側のほぼ円形の開口部７０を横切る一定の弦として
形成されているのではなく、別の挿入部分１８４によっ
て、中央支持構造６０を完全に揃った位置から若干回転
方向にずれた位置へ設置して第２の係合部材１１４を棚
に設けられた第１の係合部材１１２の間に挿入できるよ
うになっている。次に、中央支持構造６０を少し回転さ
せることで、図５に示した組み付け位置とすることがで
きる。
【００１８】図４、図８、図１１、図１２には、中央支
持構造６０の上部１００とシェル５８との間の連結部を
構成する部材及びコンポーネントの詳細が示されてい
る。上部１００は、図１１に最もよく示されているよう
なほぼＴ字形の断面を有する一対の第１の連結部材１０
４を有している。第１の連結部材１０４は、ロボットに
よる持ち上げ用フランジ１０８の一部である第２の連結
部材１０６に設けられたこれもＴ字形の断面を有するス
ロット１８６と係合して嵌合する。中央支持構造６０を
シェル５８の中の所定の位置へ挿入し、適切な位置に揃
うまで回転すると、上部１００のネックすなわちカラー
１８８が開口６６を貫いて突き出し、この開口６６を形
成する内側端部１９０と対向する。小さい方のＯリング
１１８は上記カラー１８８に設けられたＯリング溝１９
４に係合して、内側端部１９０においてシェル５８との
シールを形成する。図１１の想像線は、シェル５８の最
上部６４が中央支持構造６０の上部のカラー１８８と対
向したときの最上部６４の関係を示している。つまり、
第２の連結部材１０６が第１の連結部材１０４と係合し
たとき、シェル５８の最上部６４は第１の係合部材１０
６と中央支持構造６０の上部１００との間に挟まれる。
第２の連結部材１０６は、シェル５８の最上部６４の上
面２０３に図４に示されているように適切に配置されて
いる戻り止めすなわちナブ２０２によって、第１の連結
部材１０４の所定の位置にロックされる。これとは違っ
て、あるいは追加的に、ロボットの持ち上げ用フランジ
１０８を貫通して、第２の連結部材１０６通り、第１の
連結部材１０６のネジ穴２０８の中へ延びるネジ２０６
を利用してもよい。このネジ２０６は金属材料ではなく
ナイロンであることが適当である。
持構造６０の上部１００とシェル５８との間の連結部を
構成する部材及びコンポーネントの詳細が示されてい
る。上部１００は、図１１に最もよく示されているよう
なほぼＴ字形の断面を有する一対の第１の連結部材１０
４を有している。第１の連結部材１０４は、ロボットに
よる持ち上げ用フランジ１０８の一部である第２の連結
部材１０６に設けられたこれもＴ字形の断面を有するス
ロット１８６と係合して嵌合する。中央支持構造６０を
シェル５８の中の所定の位置へ挿入し、適切な位置に揃
うまで回転すると、上部１００のネックすなわちカラー
１８８が開口６６を貫いて突き出し、この開口６６を形
成する内側端部１９０と対向する。小さい方のＯリング
１１８は上記カラー１８８に設けられたＯリング溝１９
４に係合して、内側端部１９０においてシェル５８との
シールを形成する。図１１の想像線は、シェル５８の最
上部６４が中央支持構造６０の上部のカラー１８８と対
向したときの最上部６４の関係を示している。つまり、
第２の連結部材１０６が第１の連結部材１０４と係合し
たとき、シェル５８の最上部６４は第１の係合部材１０
６と中央支持構造６０の上部１００との間に挟まれる。
第２の連結部材１０６は、シェル５８の最上部６４の上
面２０３に図４に示されているように適切に配置されて
いる戻り止めすなわちナブ２０２によって、第１の連結
部材１０４の所定の位置にロックされる。これとは違っ
て、あるいは追加的に、ロボットの持ち上げ用フランジ
１０８を貫通して、第２の連結部材１０６通り、第１の
連結部材１０６のネジ穴２０８の中へ延びるネジ２０６
を利用してもよい。このネジ２０６は金属材料ではなく
ナイロンであることが適当である。
【００１９】図４、図５、図８に最もよく示されている
ように、装置インターフェース部８６は装置係合部分８
８によって形成されている運動学的(kinematic) カップ
リング９０を有している。この装置係合部分８８の一つ
の断面図である図１３を参照するとわかるように、下面
２２０は一対の斜面２２２，２２４を有している。斜面
２２２，２２４は、図示しない装置の部分球面と係合す
る溝２２５を形成している。これに代えて、中央支持構
造６０のインターフェース部８６に前述した三つの部分
球を設け、これと協動する装置に斜面によって形成され
る溝を設けるようにしてもよい。さらにそれに代えて、
装置インターフェース部８６に、協動する装置とインタ
ーフェースする他の構造及び特徴を持たせてもよい。
ように、装置インターフェース部８６は装置係合部分８
８によって形成されている運動学的(kinematic) カップ
リング９０を有している。この装置係合部分８８の一つ
の断面図である図１３を参照するとわかるように、下面
２２０は一対の斜面２２２，２２４を有している。斜面
２２２，２２４は、図示しない装置の部分球面と係合す
る溝２２５を形成している。これに代えて、中央支持構
造６０のインターフェース部８６に前述した三つの部分
球を設け、これと協動する装置に斜面によって形成され
る溝を設けるようにしてもよい。さらにそれに代えて、
装置インターフェース部８６に、協動する装置とインタ
ーフェースする他の構造及び特徴を持たせてもよい。
【００２０】図２、図１４、図１５、図１６、図１７に
は、取り外し可能な手動式の持ち上げ用ハンドル２８の
構造及び組み付けの詳細が示されている。このハンドル
２８は把持部２４０とシェル係合部２４２とを有してい
る。シェル係合部２４２は、戻り止め２４６とストップ
２４８を備えた弾性部２４４を利用している。戻り止め
２４６はくさび部分２５０を有している。くさび部分２
５０は溝７８の中へのハンドル２８の設置と、シェル５
８の第２の係合構造２５４の下側での回転を容易にす
る。前述した第２の係合構造２５４は、ガイドストリッ
プ２５５として形成された内側へ延びる一対の部材を有
する。ガイドストリップ２５５は、ハンドル２８が溝７
８に対するロック位置にくると、ハンドル係合部分２４
２上の延長部２５８に合致する。このロック位置におい
て、戻り止め２４６とストップ２４８はガイドストリッ
プ２５５の両端に位置する。溝７８は、シェル５８と一
体化されたリング部分２６４として形成された円周方向
の溝壁と一体化された平坦部２６２によって形成されて
いる。ガイドストリップ２５５は上記リング部分２６４
と一体化されていて、そこから延びている。こうした構
造によれば、簡単な設置が可能となる。すなわち、外側
への延長部２５８を図１６に示したガイドストリップ２
５５の間に位置させてハンドル２８を溝７８内に挿入
し、次にハンドル２８を時計方向へ第１の係合構造すな
わちシェル係合部２４２とともに回転させれば、戻り止
め２４６を備えた延長部２５８がガイドストリップ２５
５の下側で回転して、戻り止め２４６がそれらの着座位
置２６９においてスナップ係合される。戻り止め２４６
が着座位置２６９においてスナップ係合すると、ストッ
プ２４８は対応する着座位置２７０に着座する。
は、取り外し可能な手動式の持ち上げ用ハンドル２８の
構造及び組み付けの詳細が示されている。このハンドル
２８は把持部２４０とシェル係合部２４２とを有してい
る。シェル係合部２４２は、戻り止め２４６とストップ
２４８を備えた弾性部２４４を利用している。戻り止め
２４６はくさび部分２５０を有している。くさび部分２
５０は溝７８の中へのハンドル２８の設置と、シェル５
８の第２の係合構造２５４の下側での回転を容易にす
る。前述した第２の係合構造２５４は、ガイドストリッ
プ２５５として形成された内側へ延びる一対の部材を有
する。ガイドストリップ２５５は、ハンドル２８が溝７
８に対するロック位置にくると、ハンドル係合部分２４
２上の延長部２５８に合致する。このロック位置におい
て、戻り止め２４６とストップ２４８はガイドストリッ
プ２５５の両端に位置する。溝７８は、シェル５８と一
体化されたリング部分２６４として形成された円周方向
の溝壁と一体化された平坦部２６２によって形成されて
いる。ガイドストリップ２５５は上記リング部分２６４
と一体化されていて、そこから延びている。こうした構
造によれば、簡単な設置が可能となる。すなわち、外側
への延長部２５８を図１６に示したガイドストリップ２
５５の間に位置させてハンドル２８を溝７８内に挿入
し、次にハンドル２８を時計方向へ第１の係合構造すな
わちシェル係合部２４２とともに回転させれば、戻り止
め２４６を備えた延長部２５８がガイドストリップ２５
５の下側で回転して、戻り止め２４６がそれらの着座位
置２６９においてスナップ係合される。戻り止め２４６
が着座位置２６９においてスナップ係合すると、ストッ
プ２４８は対応する着座位置２７０に着座する。
【００２１】重要なことは、この特定の構造によれば、
洗浄や貯蔵のために、あるいはロボットがハンドル２８
を使用する必要のないときなどには、ハンドル２８を容
易に設置したり、取り外したりできることである。ま
た、ウェハー搬送モジュール２０の内部と外部との間は
完全に隔てられている。換言すれば、ハンドル２８をシ
ェル５８へ連結するために、側壁を貫く裂け目や開口
部、ファスナは設けられていない。図１８を参照する
と、別の実施形態の取り外し可能なハンドル２８を有す
る係合構造２７５が示されている。この実施の形態も側
壁７４内へ内側に延びる溝７８を利用しており、溝７８
の底部には平坦部２６２が設けられている。境界部分す
なわち溝壁２７４が溝７８の周囲に配置されていて、こ
の溝７８を限定している。第１の係合部材２７６は、溝
壁２７４から内側へ延びる四つのタブとして形成されて
いる。手動式の持ち上げ用ハンドル２８は、把持部２４
０と係合部分２５４を有している。係合部分２５４は、
戻り止め２８４を備えた屈曲可能な弾性部２８０を有す
る平面部２７７を有している。手動式ハンドル２８を溝
７８の中に挿入して弾性部２８０を第１の係合部材２７
６すなわちタブの間に位置させ、次にハンドルを左へ摺
動させると、戻り止め２８４は第１の係合部材２７６の
下側に延びて、図１８に示されているロック位置に達す
る。この構造においても、ウェハー搬送モジュール２０
の内部を外部と隔てる側壁の完全性は損なわれていな
い。その他の構造も戻り止めを用いた係合部材と協働す
るハンドルを利用するために採用できる。戻り止めを利
用することによってハンドルの設置や取り外しが極めて
融通性のあるものになり、たとえば他のオペレータのた
めに寸法の違うハンドルに交換することが可能である。
洗浄や貯蔵のために、あるいはロボットがハンドル２８
を使用する必要のないときなどには、ハンドル２８を容
易に設置したり、取り外したりできることである。ま
た、ウェハー搬送モジュール２０の内部と外部との間は
完全に隔てられている。換言すれば、ハンドル２８をシ
ェル５８へ連結するために、側壁を貫く裂け目や開口
部、ファスナは設けられていない。図１８を参照する
と、別の実施形態の取り外し可能なハンドル２８を有す
る係合構造２７５が示されている。この実施の形態も側
壁７４内へ内側に延びる溝７８を利用しており、溝７８
の底部には平坦部２６２が設けられている。境界部分す
なわち溝壁２７４が溝７８の周囲に配置されていて、こ
の溝７８を限定している。第１の係合部材２７６は、溝
壁２７４から内側へ延びる四つのタブとして形成されて
いる。手動式の持ち上げ用ハンドル２８は、把持部２４
０と係合部分２５４を有している。係合部分２５４は、
戻り止め２８４を備えた屈曲可能な弾性部２８０を有す
る平面部２７７を有している。手動式ハンドル２８を溝
７８の中に挿入して弾性部２８０を第１の係合部材２７
６すなわちタブの間に位置させ、次にハンドルを左へ摺
動させると、戻り止め２８４は第１の係合部材２７６の
下側に延びて、図１８に示されているロック位置に達す
る。この構造においても、ウェハー搬送モジュール２０
の内部を外部と隔てる側壁の完全性は損なわれていな
い。その他の構造も戻り止めを用いた係合部材と協働す
るハンドルを利用するために採用できる。戻り止めを利
用することによってハンドルの設置や取り外しが極めて
融通性のあるものになり、たとえば他のオペレータのた
めに寸法の違うハンドルに交換することが可能である。
【００２２】シェル部分の材料はポリカーボネートある
いはポリエーテルイミドなどから射出成形されることが
好ましい。中央支持構造も一体に射出成形されることが
理想的であり、静電気消散性を付与するカーボンフィラ
ーが充填されたＰＥＥＫあるいは類似の材料から形成し
てもよい。ハンドルもポリカーボネートあるいはポリエ
ーテルイミドから形成することができる。ロボットによ
る持ち上げ用ハンドルを含む上部の第２の連結部材もカ
ーボンファイバが充填されたＰＥＥＫあるいは他の静電
気消散性を備えた材料から形成される。ドアのラッチン
グに利用される機構を変更することも可能であり、例え
ばアンソニ・シー・ボローナ他(Anthony C. Borona et
al) の米国特許第4,995,430 号に開示されているような
ものでもよいし、その他の同様な機構でもよい。
いはポリエーテルイミドなどから射出成形されることが
好ましい。中央支持構造も一体に射出成形されることが
理想的であり、静電気消散性を付与するカーボンフィラ
ーが充填されたＰＥＥＫあるいは類似の材料から形成し
てもよい。ハンドルもポリカーボネートあるいはポリエ
ーテルイミドから形成することができる。ロボットによ
る持ち上げ用ハンドルを含む上部の第２の連結部材もカ
ーボンファイバが充填されたＰＥＥＫあるいは他の静電
気消散性を備えた材料から形成される。ドアのラッチン
グに利用される機構を変更することも可能であり、例え
ばアンソニ・シー・ボローナ他(Anthony C. Borona et
al) の米国特許第4,995,430 号に開示されているような
ものでもよいし、その他の同様な機構でもよい。
【００２３】図１９及び図２０は図１８に示したシェル
及びハンドルの断面図である。戻り止め２８４は係合部
材２７６の下側への挿入を助けるためにくさび部材２５
０を有している。図２１、図２２、図２３、図２４に
は、ハンドル部材と、これと協動するシェルの係合部材
との別の実施の形態が示されている。この実施の形態に
おいては、戻り止め部材３００は溝を有する平面部３０
４から直角に、従ってシェルの側壁から直角に延びてい
る。戻り止め部材３００は一対のほぼ斜めの部分すなわ
ちくさび部分３０８を有している。これらのくさび部分
３０８の寸法は、円形溝３１４を有する協動する第２の
係合部材３１２に係合するように設定されている。この
発明は、その精神もしくは本質から逸脱しない限り他の
形態によっても実現が可能である。従って、上述した実
施の形態は単に説明のためのものであり、発明を限定す
るものはない。この発明の範囲に関しては、上述した実
施の形態よりも特許請求の範囲を参照すべきである。
及びハンドルの断面図である。戻り止め２８４は係合部
材２７６の下側への挿入を助けるためにくさび部材２５
０を有している。図２１、図２２、図２３、図２４に
は、ハンドル部材と、これと協動するシェルの係合部材
との別の実施の形態が示されている。この実施の形態に
おいては、戻り止め部材３００は溝を有する平面部３０
４から直角に、従ってシェルの側壁から直角に延びてい
る。戻り止め部材３００は一対のほぼ斜めの部分すなわ
ちくさび部分３０８を有している。これらのくさび部分
３０８の寸法は、円形溝３１４を有する協動する第２の
係合部材３１２に係合するように設定されている。この
発明は、その精神もしくは本質から逸脱しない限り他の
形態によっても実現が可能である。従って、上述した実
施の形態は単に説明のためのものであり、発明を限定す
るものはない。この発明の範囲に関しては、上述した実
施の形態よりも特許請求の範囲を参照すべきである。
【図１】この発明の実施形態によるウェハー搬送モジュ
ールの斜視図である。
ールの斜視図である。
【図２】この発明の実施形態によるウェハー搬送モジュ
ールの容器部分の斜視図である。
ールの容器部分の斜視図である。
【図３】この発明の実施形態によるウェハー搬送モジュ
ールのドアの内向きカバーの斜視図である。
ールのドアの内向きカバーの斜視図である。
【図４】ウェハー搬送モジュールの種々のコンポーネン
ト部材を示す分解図である。
ト部材を示す分解図である。
【図５】ウェハー搬送モジュールの容器部分の斜視図で
ある。
ある。
【図６】ガイドイン構造の斜視図である。
【図７】容器部分のシェルの底面図である。
【図８】中央支持構造の平面図である。
【図９】図８の９−９線断面図である。
【図１０】図７の１０−１０線断面図である。
【図１１】中央支持構造の上部の正面図である。
【図１２】ロボットフランジを含む第２の連結部材の正
面図である。
面図である。
【図１３】図８の１３−１３線断面図である。
【図１４】ハンドルの正面図である。
【図１５】ハンドルの側面図である。
【図１６】ハンドルのための溝を示す、シェルの一部の
側面図である。
側面図である。
【図１７】図１６の１７−１７線断面図である。
【図１８】ハンドルと、ハンドルを受容するための溝を
示す、この発明の別の実施の形態の正面図である。
示す、この発明の別の実施の形態の正面図である。
【図１９】図１８の１９−１９線断面図である。
【図２０】図１８の２０−２０線断面図である。
【図２１】ハンドルの別の実施の形態を示す、ウェハー
搬送モジュールの一部の側面図である。
搬送モジュールの一部の側面図である。
【図２２】ハンドルの側面図である。
【図２３】図２１の２３−２３線断面図である。
【図２４】図２１の２４−２４線断面図である。
２０ ウェハー搬送モジュール ２２ 容器部分 ２４ ドア ２６ フランジ ２８ ハンドル ３０ ハンドル ３６ 内部 ３８ ウェハー ５５ 処理装置 ５６ インターフェース部 ５８ シェル ６０ 中央支持構造 ６４ 最上部 ６６ 開口部 ６８ 底部 ７０ 下側開口部 ７２ フロント ７４、７６ 側壁 ７８ 溝 ８０ 平面部分 ８６ 装置インターフェース部 ８８ インターフェース構造 ９２ ウェハー支持コラム ９４ 棚 ９８ 最上部 １００ 上部 １０８ 持ち上げ用ハンドル １１２ 係合部材 １１３ 支持構造係合部分 １１４ 係合部材 １１５ シェル係合部 １１８、１２０ Ｏリング １２２ ガイドイン構造 ２４０ 把持部 ２４２ シェル係合部 ２４６ 戻り止め ２５０ くさび部材 ２５４ 係合構造 ２７５ 係合構造 ２７６ 係合部材 ２８４ 戻り止め ３００ 戻り止め部材 ３０８ くさび部材 ３１２ 係合部材 ３１４ 開口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デニス・ジェイ・クランポティッチ アメリカ合衆国 55379 ミネソタ、シャ コピー、ゴールデンロッド・レーン 979 (72)発明者 トッド・エム・アルシュミット アメリカ合衆国 55372 ミネソタ、プラ イアー・レーク、ダンカーク・アベニュー 16582 (72)発明者 グレゴリー・ダブリュー・ボアーズ アメリカ合衆国 55372 ミネソタ、プラ イアー・レーク、ライアンズ・アベニュ ー・サウスイースト 16611
Claims (33)
- 【請求項１】 上部と、底部と、開口した内部と、ウェ
ハーを挿入したり取り出したりするための開口した前部
とを有するウェハー用の搬送モジュールであって、 ａ）左側の側壁と、右側の側壁と、開口した前部と、少
なくとも一つの下側開口部を有する底部とを有するシェ
ルと、 ｂ）ウェハーを軸方向に整列した状態で支持するための
ウェハー支持棚を有する少なくとも二つのコラムと、前
記下側開口部から露出する一体化された下側装置係合部
とを有し、前記ウェハー支持部材が前記シェルの開口し
た内部に配置されてウェハー受容領域を形成する中央支
持構造と、 ｃ）当該搬送モジュールの開口した前部を閉じるための
ドアと、を有するウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２】 前記シェルが上部と底部を有し、これら
の上部と底部の一方が前記中央支持構造を受け入れる寸
法の開口部を有し、前記中央支持構造が前記開口部を通
じて当該ウェハー搬送モジュール内に組み付けられる請
求項１記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項３】 前記中央支持構造を受け入れる前記開口
部が前記シェルの底部にあり、前記シェルが第１の係合
部材を有し、前記中央支持構造が前記装置係合部を含ん
で一体化された装置インターフェースを有し、前記装置
係合部が前記第１の係合部材と協動する一体化された第
２の係合部材を有しており、それによって、前記中央支
持構造が前記シェル内に固定されるようになっている請
求項２記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項４】 前記中央支持構造がシェル係合部分を有
し、前記シェルがこれと協動する支持構造係合部分を有
していて、前記シェル係合部分及び支持構造係合部分が
回転によって互いに係合ロックされて、前記中央支持構
造が前記シェルへ固定されるようになっている請求項１
記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項５】 モジュールから上方へ延びていて中央支
持構造と直接に係合するロボットによる持ち上げ用フラ
ンジが設けられている請求項１記載のウェハー搬送モジ
ュール。 - 【請求項６】 前記中央支持構造が前記シェルと最上部
において、また前記底部の下側開口部と隣接する部位に
おいて係合している請求項１記載のウェハー搬送モジュ
ール。 - 【請求項７】 一対のハンドルが前記シェルと回転可能
な状態で取り付け及び取り外しが可能となっており、シ
ェルの右側及び左側から延出している請求項１記載のウ
ェハー搬送モジュール。 - 【請求項８】 前記一対のハンドルが、前記側壁に開口
部を設けることなく、前記シェルと係合している請求項
７記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項９】 開口した内部と、ウェハーを挿入したり
取り出したりするための開口した前部とを有するウェハ
ー搬送モジュールであって、 ａ）開口部を備えた上部と、周辺を有する底部開口を備
えた底部と、開口した内部とを有する外側シェルと、 ｂ）上部と、装置インターフェースを備えた底部とを有
する一体構造の中央支持構造であって、前記開口部及び
底部開口においてシェルと係合し、かつ下向きの装置イ
ンターフェースを有する中央支持構造と、 ｃ）前記開口した前部を閉じるためのドアと、を有する
ウェハー搬送モジュール。 - 【請求項１０】 前記上部の開口部がほぼ円形であり、
当該ウェハー搬送モジュールが、前記シェルと前記中央
支持構造の上部との間をシールするために前記開口部に
第１のエラストマシールを有している請求項９記載のウ
ェハー搬送モジュール。 - 【請求項１１】 前記底部開口部がほぼ円形であり、当
該ウェハー搬送モジュールが、前記シェルと前記中央支
持構造の下部との間をシールするために前記底部開口部
に第２のエラストマシールを有している請求項１０記載
のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項１２】 前記モジュールの内部に一対のウェハ
ー支持コラムを有し、これらのウェハー支持コラムが前
記中央支持構造と一体化されている請求項９記載のウェ
ハー搬送モジュール。 - 【請求項１３】 第１のＯリングをさらに有しており、
該第１のＯリングによって前記シェルと前記上部とがシ
ールされている請求項９記載のウェハー搬送モジュー
ル。 - 【請求項１４】 前記中央支持構造の前記下部と前記シ
ェルとが互いに回転可能に固定されている請求項９記載
のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項１５】 上部と、底部と、ドア開口部を備えた
前部と、左側の側壁と、右側の側壁と、前記ドア開口部
を閉じる寸法を有するドアと、一対のハンドルとを有す
るウェハー搬送モジュールであって、 前記左側の側壁と右側の側壁の各々が第１の係合構造を
有し、前記各ハンドルが、前記第１の係合構造の一方と
摺動係合可能でかつ取り外し可能な第２の係合構造を有
していて、前記ハンドルの各々が、前記右側及び左側の
側壁に開口部を設けることなく前記モジュールの右側及
び左側に取り付け及び取り外しが可能であるウェハー搬
送モジュール。 - 【請求項１６】 前記第１の係合構造の各々と第２の係
合構造の各々が戻り止めを有していて、前記第１の係合
構造と第２の係合構造が互いに摺動係合可能かつロック
可能である請求項１５記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項１７】 前記第２の係合構造が前記第１の係合
構造に対して回転方向に摺動係合可能である請求項１６
記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項１８】 前記第２の係合構造が前記第１の係合
構造に対してほぼ直線的な方向に摺動係合可能である請
求項１６記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項１９】 前記第１の係合構造の各々が、内向き
の溝を右側及び左側の側壁の各々に有している請求項１
５記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２０】 上部と、底部と、開口した内部へのア
クセスを提供するドア開口部を備えた前部と、閉じた左
側の側壁と閉じた右側の側壁を有するシェルと、ドア開
口部を閉じる寸法を有するドアと、一対のハンドルとを
有するウェハー搬送モジュールであって、 左側の側壁と右側の側壁の各々が第１の係合構造を有
し、各ハンドルが戻り止めを備えた、前記第１の係合構
造と協働する第２の係合構造を有し、該第２の係合構造
が前記第１の係合構造の一方と取り外し可能に係合可能
であり、前記ハンドルの各々が、別個の留め具を利用す
ることなく、右側及び左側の側壁へ取り付け及び取り外
しが可能であるウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２１】 ウェハー搬送モジュールであって、 ａ）開口部を備えた上部と、ウェハーを挿入したり取り
出したりするためのフロント開口を備えた前部と、開口
した内部とを有するシェルと、 ｂ）前記開口した前部を閉じるためのドアと、 ｃ）開口した内部の中でウェハーを支持するために設け
られた複数のウェハー支持コラムと、前記上部の開口部
において前記シェルと係合する一体構造の上部とを有す
る中央支持構造と、 ｄ）前記上部の開口部において該上部へ固定されており
前記シェルの上方に延びるロボットによる持ち上げ用ハ
ンドルと、を有するウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２２】 前記シェルがさらに下側開口部を有
し、前記中央支持構造が前記下側開口部を介して下方へ
露出する装置係合部分を有する請求項２１記載のウェハ
ー搬送モジュール。 - 【請求項２３】 前記シェルが前記下側開口部において
前記中央支持構造へ固定されている請求項２２記載のウ
ェハー搬送モジュール。 - 【請求項２４】 前記装置係合部分が前記ウェハー支持
コラムと一体化されている請求項２３記載のウェハー搬
送モジュール。 - 【請求項２５】 開口した内部と、ウェハーを挿入した
り取り出したりするための開口した前部と、閉じた左側
の側壁と、閉じた右側の側壁とを有する容器部分を有す
るコンポジット構造のウェハー搬送モジュールであっ
て、 前記容器部分が、少なくとも一つのウェハー支持コラム
と一体化された装置インターフェースを有し、この装置
インターフェースと前記ウェハー支持コラムが前記左側
の側壁及び右側の側壁と別体で成形されており、当該ウ
ェハー搬送モジュールはさらに前記開口した前部を閉じ
るためのドアを有している、 ウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２６】 前記容器部分が透明なシェルを有し、
このシェルが下側開口部を備えた底部を有し、前記装置
インターフェースが前記下側開口部において前記シェル
へ固定されている請求項２５記載のウェハー搬送モジュ
ール。 - 【請求項２７】 前記シェルの上部が開口部を有し、当
該ウェハー搬送モジュールが、この開口部内に延びてウ
ェハー支持コラムと一体化されている上部を有する請求
項２６記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２８】 前記上部と、その前記開口部における
シェルとの間に係合するエラストマシールが設けられて
いる請求項２７記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項２９】 前記上部に連結されたロボットによる
持ち上げ用フランジをさらに有しており、この持ち上げ
用フランジが前記シェルの上方に延びている請求項２７
記載のウェハー搬送モジュール。 - 【請求項３０】 前記シェルが前記下側開口部の周辺に
第１の係合部を有し、前記中央支持構造が前記第１の係
合部と協動する第２の係合部を有し、前記第１の係合部
が第２の係合部と回転可能に係合して、前記中央支持構
造が前記シェルへ固定される請求項２６記載のウェハー
搬送モジュール。 - 【請求項３１】 前記下側開口部の周囲に円形のエラス
トマシールが設けられていて、前記中央支持構造を前記
シェルへシールしている請求項３０記載のウェハー搬送
モジュール。 - 【請求項３２】 前記ウェハー支持コラムと前記装置イ
ンターフェースとが前記下側開口部においてシェル内へ
組み付けられる請求項２６記載のウェハー搬送モジュー
ル。 - 【請求項３３】 コンポジット構造のウェハー搬送モジ
ュールであって、 ａ）上部と、ウェハーを挿入したり取り出したりするた
めのフロント開口部を備えた前部と、開口した内部とを
有するシェルと、 ｂ）前記開口した前部を閉じるためのドアと、 ｃ）中央支持構造と、を有し、前記中央支持構造が、開
口した内部の中でウェハーを支持するために設けられた
複数のウェハー支持コラムと、外部インターフェースと
係合するための下向きかつ一体化された下側の装置イン
ターフェースとを有し、さらに前記中央支持構造が静電
気消散性材料で成形されていて、前記ウェハー支持コラ
ムが前記装置インターフェースへの直接的な導電性経路
を有しているウェハー搬送モジュール。
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|---|---|---|---|
| US08/891,644 US6010008A (en) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | Transport module |
| US08/891644 | 1997-07-11 |
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| JP2005296445A Division JP4324585B2 (ja) | 1997-07-11 | 2005-10-11 | ウエハー搬送モジュール |
| JP2005296446A Division JP4324586B2 (ja) | 1997-07-11 | 2005-10-11 | ウエハー搬送モジュール |
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|---|---|
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Family Applications After (3)
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|---|---|---|---|
| JP2005207380A Pending JP2005320071A (ja) | 1997-07-11 | 2005-07-15 | ウエハー搬送モジュール |
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| JP2005296446A Expired - Lifetime JP4324586B2 (ja) | 1997-07-11 | 2005-10-11 | ウエハー搬送モジュール |
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| SG (1) | SG72840A1 (ja) |
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