NL1011828C2 - Transportmoduul voor wafels. - Google Patents

Description

Korte aanduiding: Transportmoduul voor wafels.

De uitvinding heeft betrekking op dragers voor halfgeleider wafels en meer in het bijzonder heeft hij betrekking op een 5 te sluiten houder voor het opslaan en transporteren van wafels.

Omsluitingen, die af te dichten zijn, algemeen aangeduid als transportmodules, zijn gedurende een aantal jaren in de halfgeleider bewerkingsindustrie gebruikt voor het opslaan en transporteren van wafels tussen bewerkingsstappen en/of tussen inrichtingen. 10 Halfgeleider wafels zijn zoals algemeen bekend kwetsbaar voor beschadiging door verontreinigingen, zoals deeltjes. Buitengewone maatregelen worden genomen om in schone ruimtes en andere omgevingen waar halfgeleider wafels worden opgeslagen of bewerkt in circuits verontreinigingen te elimineren.

15 Voor wafels in het gebied van 200 mm en kleiner zijn als SMIF omhulsels (gestandaardiseerd mechanisme tussenvlak) bekende houders gebruikt voor het verschaffen van een schone afgedichte mini-omgeving. Voorbeelden van deze omhulsels zijn weergegeven in U.S. octrooi nr. 4.532.970 en 4.534.389. Dergelijke SMIF omhulsels bestaan 20 gebruikelijk uit een transparante doosvormige mantel met een onderste deurframe of flens, welke een open onderzijde begrenst, en uit een vergrendel bare deur. Het deurframe klemt op de bewerkingsuitrusting en een deur op de bewerkingsuitrusting en de aan de onderzijde van het SMIF gelegen deur, die de open bodem afsluit, worden gelijktijdig naar 25 beneden omlaag bewogen vanaf de mantel in een afgedichte bewerkingsom-geving in de bewerkingsuitrusting. Een afzonderlijk H-staafdrager die is opgesteld op het bovenvlak binnen de deur van het SMIF omhulsel en die beladen is met de wafels, wordt met de deur van het omhulsel omlaag bewogen voor het verkrijgen van toegang tot de wafels voor het 30 bewerken daarvan. In dergelijke omhulsels zal het gewicht van de wafels rechtstreeks inwerken op de deur tijdens opslag en transport.

De industrie voor het verwerken van halfgeleiders beweegt naar het gebruiken van grotere en zwaardere wafels, in het bijzonder wafels van 300 mm. Transportmodules voor dergelijke wafels zullen, bij 35 het ontwikkelen van industriestandaards, gebruik maken van een aan de voorzijde gelegen deur voor het Insteken en verwijderen van de wafels 1 Ö 1 18 2 8 2 in tegenstelling met een deur aan de onderzijde welke vanaf de moduul naar beneden valt. De deur zal de belasting van de wafels niet ondersteunen maar veeleer zal een houdergedeelte, dat een mantel uit helder kunststof (zoals polycarbonaat) omvat en andere organen voor het 5 ondersteunen van de wafels, die zijn gevormd uit een kunststof, dat weinig losse deeltjes zal voortbrengen (zoals polyetheretherketon) de belasting van de wafels dragen. Dergelijke houdergedeelten worden noodzakelijkerwijs uit meerdere samen te bouwen onderdelen vervaardigd.

10 Bij het hanteren en verwerken van halfgeleider wafels is statische elektriciteit een doorlopend probleem. Elektrostatische ontladingen kunnen halfgeleider wafels beschadigen of ruïneren. Daarom moeten maatregelen worden genomen om iedere dergelijke opwekking van potentialen, die statische elektrische ontladingen kunnen veroorzaken, 15 minimaal te maken. H-staafdragers zijn vervaardigd met gebruikelijke statisch verspreidende materialen, zoals met koolstof gevuld polyetheretherketon (PEEK) en polycarbonaat (PC).

De zich ontwikkelende industriestandaards voor dergelijke 300 mm modules vereisen een machine-tussenvlak, zoals een kinematische 20 koppeling, aan de onderzijde van de moduul voor het herhaaldelijk en met nauwkeurigheid uitlijnen van de moduul ten opzichte van de verwer-kingsuitrusting. Dit maakt het mogelijk, dat door robots gevormde behandelingsmiddelen de deur aan de voorzijde van de moduul beetpakken, de deur openen en met de noodzakelijke mate van nauwkeurigheid 25 bepaalde horizontaal opgestelde wafels grijpen en verwijderen.

Het is bijzonder kritisch de wafels opgesteld te hebben op een bepaalde hoogte en met een bepaalde oriëntatie ten opzichte van het tussenvlak van de uitrustingmachine zodanig dat de wafels niet verkeerd zullen worden geplaatst en/of beschadigd tijdens het terug-30 trekken en insteken van de wafels met behulp van een robot of dergelijke.

Tengevolge van de inconsistenties in het gieten leiden samenstellen van kunststof delen tot inconsistenties, zoals open spleten tussen delen en leidt opeenhopen van de toleranties van de 35 afzonderlijke delen tot ongewenste variaties in kritische afmetingen.

Ί u i i 8 2 8 3

Bekende 300 mm transportmodules, die aan de voorzijde open zijn, maken gebruik van meerdere samenstellende delen waaronder meerdere onderdelen tussen het tussenvlak van de uitrusting en de wafel steunen. Dit kan leiden tot moeilijkheden in het vervaardigen van 5 modules met acceptabele toleranties tussen de wafelvlakken en het tussenvlak van de uitrusting. Aanvullend hebben dergelijke modules een baan naar aarde vanaf de uitstekende randen voor ondersteunen van de wafels naar het tussenvlak van de uitrusting via meerdere verschillende onderdelen waaronder metalen schroeven.

10 Wafels van 300 mm zijn aanzienlijk groter in afmeting en gewicht dan de 200 mm wafels. Een constructief sterkere moduul voor het transporteren van wafelladingen wordt dan ook vereist. Gebruikelijk werd de moduul met het 200 mm SMIF omhulsel eenvoudig met de hand gedragen door de onderranden te grijpen bij de aansluiting van de 15 manteldeurflens en de deur. Handgrepen zijn aangebracht op de bovenzijde van het mantelgedeelte voor aan de onderzijde openende omhulsels. Om de grotere, zwaardere en omvangrijkere modules voor wafels van 300 mm te dragen zijn aan de zijkanten aangebrachte handgrepen geschikt. Voor bepaalde toepassingen kan de beweging van een moduul 20 voor wafels van 300 mm uitsluitend plaatsvinden door middel van robotorganen waarbij geen handgrepen of andere middelen worden vereist voor het met de hand transporteren van de houder. Een hefhandgreep voor een robotorgaan zal dan zijn aangebracht en eventueel handgrepen voor het met de hand optillen zullen gemakkelijk verwijderbaar zijn.

25 Tengevolge van de grote gevoeligheid van wafels voor verontreiniging door deeltjes, vocht of andere verontreinigingen is het verder ideaal een minimaal aantal potentiële intredebanen naar het inwendige van de moduul te hebben.

Banen of breuken in de kunststof tussen het inwendige en 30 uitwendige van het omhulsel, zoals bij bevestigingsorganen of bij de aansluiting van afzonderlijke samenstellende delen van de moduul moeten worden vermeden. Iedere dergelijke vereiste baan moet geschikt afgedicht zijn.

Aanvullend is het gebruik van metalen bevestigingsorganen 35 of andere metalen delen op enige plaats in het omhulsel bijzonder ongewenst bij dragers of houders voor halfgeleider wafels. Metalen : ,, ; 1 8 2 8 4 delen kunnen bijzonder schadelijke deeltjes voortbrengen indien er langs wordt gewreven of geschraapt. Samenbouw van een moduul met bevestigingsorganen veroorzaakt dergelijk wrijven en schrapen. Het gebruik van transportmodules, waarbij metalen bevestigingsorganen of 5 andere metalen delen noodzakelijk zijn moet dus worden vermeden.

Volgens de uitvinding heeft een transportmoduul voor wafels een mantel waarvan de zijwanden zijn voorzien van uitgespaarde gedeelten met aangrijpingsorganen, die samenwerken met aangrijpings-organen op verwijderbare handgrepen. De handgrepen zijn voorzien van 10 pallen voor vergrendeling in uitsparingen op de zijwanden van de drager. Bevestiging van de handgrepen aan de zijwanden wordt bewerkstelligd zonder onderbrekingen tussen het inwendige en uitwendige van de moduul.

Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat de 15 centrale steunconstructie, welke de wafels vasthoudt, in de mantel wordt ingebouwd via een nabij de onderzijde gelegen opening en op zijn plaats wordt bevestigd door draaiing van de centrale steunconstructie ten opzichte van de mantel. Er worden geen metalen bevestigingsorganen gebruikt.

20 Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat de onderbrekingen of openingen in de module tussen het inwendige en uitwendige zijn afgedicht zoals door elastomeren afdichtingen. De onderbrekingen of openingen anders dan bij de voordeur zijn cirkel vormig in vorm en worden afgedicht met bijvoorbeeld O-ringen.

25 Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat handgrepen gemakkelijk kunnen worden aangebracht op en verwijderd van de moduul zonder het gebruik maken van metalen bevestigingsorganen of andere afzonderlijke bevestigingsorganen en zonder onderbrekingen of openingen in de massieve zijwanden.

30 Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat de samenstellende delen gemakkelijk kunnen worden gedemonteerd voor reinigen en/of vervangen met het oog op onderhoud of dergelijke.

De uitvinding zal hieronder nader worden uiteengezet aan de hand van bijgaande tekeningen.

35 Figuur 1 toont een perspectivisch aanzicht van een trans portmoduul volgens de uitvinding.

1 0 1 ·; 8 2 8 5

Figuur 2 toont een perspectivisch aanzicht van het houder-gedeelte van een de uitvinding belichamende transportmoduul.

Figuur 3 toont een perspectivisch aanzicht van de inwendige afdekking van de deur voor de de uitvinding belichamende transport-5 moduul.

Figuur 4 toont een geëxplodeerd aanzicht dat de verschillende samenstellende delen van een transportmoduul toont.

Figuur 5 toont een perspectivisch aanzicht van een houder-gedeelte van de transportmoduul.

10 Figuur 6 toont een perspectivisch aanzicht van een gelei- dingsconstructie.

Figuur 7 toont een onderaanzicht van de mantel van het houdergedeelte.

Figuur 8 toont een bovenaanzicht van de centrale steuncon- 15 structie.

Figuur 9 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 9-9 in figuur 8.

Figuur 10 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 10-10 in figuur 7.

20 Figuur 11 toont een vooraanzicht van het bovenste gedeelte van de centrale steunconstructie.

Figuur 12 toont een vooraanzicht van een tweede verbin- dingsorgaan voorzien van een door een robot te bedienen flens.

Figuur 13 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 13-13 in 25 figuur 8.

Figuur 14 toont een vooraanzicht van een handgreep.

Figuur 15 toont een zijaanzicht van de handgreep.

Figuur 16 toont een zijaanzicht van een gedeelte van de mantel onder het weergeven van een uitsparing voor de handgreep.

30 Figuur 17 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 17-17 in figuur 16.

Figuur 18 toont een aanzicht van een alternatieve uitvoeringsvorm van de uitvinding gericht op de handgreep en uitsparing voor het opnemen van de handgreep.

35 Figuur 19 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 19-19 in figuur 18.

·. ' · n 2 8 6

Figuur 20 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 20-20 in figuur 18.

Figuur 21 toont een zijaanzicht van een gedeelte van de moduul onder het weergegeven van een alternatieve uitvoeringsvorm van 5 een handgreep.

Figuur 22 toont een zijaanzicht van de handgreep.

Figuur 23 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 23-23 in figuur 21.

Figuur 24 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 24-24 in 10 figuur 21.

Zoals weergegeven in figuren 1, 2 en 3 omvat een samenge stelde transportmoduul 20 voor wafels een houdergedeelte 22 en een deur 24. Het houdergedeel te omvat een flens 26 voor het opti 11 en van de houder met behulp van een robot of dergelijke evenals handgrepen 28 15 voor het met de hand optillen van het houdergedeelte.

De deur 24 heeft met de hand te bedienen openingshandgrepen 30 en een slot 32 welke zodanig is uitgevoerd, dat deze met behulp van een robotorgaan kan worden geopend.

Figuur 2 toont het houdergedeelte en zijn open inwendige 20 ruimte 36 met een aantal wafels 38, die in de inwendige ruimte 36 zijn ondersteund en in deze ruimte axiaal zijn opgesteld. Figuur 3 toont het binnenvlak 40 van de deur. De deur is voorzien van een paar tegenhoudorganen 42 voor wafels, die aangrijpen op de wafels en deze vasthouden indien de deur op zijn plaats is. Deze tegenhoud- of 25 vasthoudorganen voor de wafels zijn uitgevoerd als flexibele tanden 44, die zijn vervaardigd uit gegoten veerkrachtige kunststof. De deur 24 past binnen een deurflens 46 op het houdergedeel te 22 en is voorzien van grendels 48, welke kunnen worden uitgestoken en teruggetrokken ten opzichte van de deuromsluiting 50 om in resp. uit ingrijping 30 te worden gebracht met uitsparingen 54 in de deurflens. De deur heeft een paar in dit aanzicht niet weergegeven inwendige grendelmechanismes die onafhankelijk van elkaar in werking kunnen worden gesteld met behulp van de met de hand bedienbare handgrepen 30 of sleutel sleuven 32. Figuur 3 toont ook een deel van bewerkingsuitrusting 55 met een 35 moduul-tussenvlakgedeelte 56 waarop de transportmoduul 20 in ingrijping is gebracht.

·, c ; 'i 8 2 8 7

Figuur 4 toont een geëxplodeerd perspectivisch aanzicht van een transportmoduul, waarbij details van de constructie en de verschillende samenstellende delen zijn afgebeeld. Het houdergedeelte 22 bestaat in hoofdzaak uit een mantel 58 en een centrale steunconstruc-5 tie 60.

De mantel 58 heeft een bovenzijde 64 met een opening 66, een onderzijde 68 met een onderste opening 70, een open voorzijde 72, een linker zijwand 74 en een rechter zijwand 76, die beide zijn voorzien van naar binnen uitstekende uitsparingen 78, die bestemd zijn 10 als opneemgedeelten voor handgrepen.

De uitsparingen steken uit in het inwendige maar bezitten geen scheuren, onderbrekingen, openingen of gaten tussen het inwendige 74 en het uitwendige van de houder. De zijwanden zijn doorlopend en massief. De handgreep opnemende gedeelten omvatten een uitgespaard 15 vlak gedeelte 80, dat een deel is van de zijwanden.

De centrale steunconstructie 60 omvat een bodemgedeelte met een uitrusting-tussenvlak 86, dat gevormd is als een plaat met drie tussenvlakstructuren 88, welke een kinematische koppeling vormen. Integraal met het machine-tussenvlakgedeelte 86 zijn een paar steun-20 kolommen 92 voor de wafels, die ieder een aantal uitstekende randen 94 bezitten en samen een wafel opnemend gebied 95 begrenzen. Iedere uitstekende rand 94 heeft wafel grijpende delen 96. De steunkolommen 92 voor de wafels zijn integraal met een bovenste gedeelte 100, dat een overspanningsorgaan 101 omvat, dat zich uitstrekt tussen de 25 boveneinden 98 van de steunkol ommen 92 en verder is voorzien van een eerste verbindingsorgaan 104.

De centrale steunconstructie 60 is voor samenbouw opwaarts in te steken in de onderste opening 70 van de mantel 58 waarbij het eerste verbindingsorgaan zich omhoog uitstrekt door de opening 66 aan 30 de bovenzijde 64 van de mantel 58. Het tweede verbindingsorgaan 106 kan dan schuivend in ingrijping worden gebracht op het eerste verbindingsorgaan 104 om de centrale steunconstructie in de mantel vast te houden. Dit tweede verbindingsorgaan 106 vormt een geheel met een met behulp van een robot te hanteren hefhandgreep 108, die is uitgevoerd 35 als een flens. De mantel omvat ook eerste ingrijpingsorganen 112 als deel van een ingrijpingsgedeelte 113 van de steunconstructie, welke 1011828 8 ingrijpingsorganen 112 in ingrijping kunnen worden gebracht met tweede ingrijpingsorganen 114 die deel uitmaken van een op de mantel aangrijpend gedeelte 115 op de centrale steunconstructie. Deze met elkaar samenwerkende ingrijpingsorganen bevestigen de centrale steunconstruc-5 tie eveneens aan de mantel indien deze binnen de mantel is gelegen.

Een eerste 0-ring 118 komt te liggen tussen het bovenste gedeelte 100 van de centrale steunconstructie en de bovenzijde 64 van de mantel voor het tot stand brengen van een afdichting daar omheen. Op soortgelijke wijze vormt een tweede 0-ring 120 een afdichting tussen het 10 gedeelte 86 van het machine-tussenvlak en de onderzijde 68 van de mantel.

Verwijzend naar figuur 5 waarin de transportmoduul 20 zonder de deur 24 is weergegeven zijn de open binnenzijde 36 en de verschillende inwendige structuren afgebeeld.

15 In deze uitvoeringsvorm is gebruik gemaakt van een gelei- dingsstructuur 122, die in ingrijping is met op de binnenvlakken 130 van de zijwanden 74, 76 aangebrachte uit een stuk daarmede bestaande rails 124, 126. Zoals in figuur 6 weergegeven omvat iedere geleidings-structuur 122 1anggestrekte ingrijpingsorganen 136, die in de rails 20 124, 126 passen. Verder omvat de geleidingsstructuur 122 tanden 138, die sleuven 140 begrenzen, die in hoofdzaak evenwijdig zijn en samenhangen met ieder van de sleuven 142, die worden begrensd door de uitstekende randen 94 van de steunkolommen 92 voor de wafels. Gebruikelijk zijn de geleidingsorganen 122 bestemd om te worden gebruikt 25 indien de wafels met de hand worden ingestoken in tegenstelling tot het insteken met behulp van een robot. De geleidingsstructuren 122 kunnen ook zodanig zijn uitgevoerd, dat zij iedere wafel gedurende een meer of minder groot deel van zijn beweging ondersteunen tijdens insteken van de wafel in resp. uithalen van de wafel uit de transport-30 moduul.

Zoals het beste weergegeven in figuren 4, 5 en 8 omvat het onderste gedeelte van de centrale steunconstructie een machine-tussen-vlakplaat 86, welke een vlak bovenvlak 170 heeft en een borst 174, welke een overgang vormt naar een lager gelegen vlak oppervlak 176. 35 Dit lager gelegen vlakke oppervlak ligt tegenover het zich naar binnen uitstrekkende gedeelte 180 van de onderzijde 68 van de mantel 58.

1 0 1 1 8 2 8 9

Zoals uit de figuren duidelijk zal zijn verloopt dit zich naar binnen uitstrekkende gedeelte 180 niet gelijkmatig als een koorde over de onderste algemeen cirkelvormige opening 70, maar veeleer maakt een verder inspringend gedeelte 184 het mogelijk, dat de centrale steun-5 constructie 60 op zijn plaats wordt gebracht terwijl het een weinig uit de geheel in lijn liggende stand is gedraaid om te voorzien in het insteken van de tweede ingrijpingsorganen in een stand tussen het eerste ingrijpingsorgaan 112 op de uitstekende rand. De centrale steunconstructie 60 kan dan enigszins worden gedraaid naar de in 10 figuur 5 weergegeven samengebouwde stand.

In figuren 4, 8, 11 en 12 zijn details weergegeven van elementen en onderdelen, die deel uitmaken van de verbinding tussen het bovenste gedeelte 100 van de centrale steunconstructie 60 en de mantel 58. Het bovenste gedeelte 100 heeft een paar eerste verbin-15 dingsorganen 104 welke, zoals in het bijzonder weergegeven in figuur 11 een algemeen T-vormige dwarsdoorsnede hebben. De eerste verbin-dingsorganen 104 grijpen aan op en passen in eveneens een T-vormige dwarsdoorsnede bezittende sleuven 186 in het tweede verbindingsorgaan 106, dat deel uitmaakt van de met een robot te bedienen hefflens 108. 20 Nadat de centrale steunconstructie 60 op zijn plaats is ingestoken in de mantel 58 en in de juiste uitlijnstand is gedraaid zal de kraag of nek 188 van het bovenste gedeelte 100 zich uitstrekken door de opening 66 en tegenover de de opening begrenzende binnenrand 190 zijn gelegen. De kleinere 0-ring 118 past in de desbetreffende groef 194 voor de 0-25 ring op de nek 188 en brengt bij de binnenrand 190 een afdichting met de mantel tot stand. De stippellijn van figuur 11 toont de verhouding van de bovenzijde 64 van de mantel 58 indien hij tegenover de nek 188 van het bovenste gedeelte van de centrale steunconstructie 60 is gelegen. Indien het tweede verbindingsorgaan 106 dus in ingrijping is 30 met de eerste verbindingsorganen 104 is het boveneinde 64 van de mantel 58 opgesloten tussen het eerste ingrijpingsorgaan 106 en het bovenste gedeelte 100 van de centrale steunconstructie. Het tweede verbindingsorgaan 106 kan op zijn plaats op de eerste verbindings-organen 104 worden vergrendeld door middel van een geschikt opgestelde 35 pal of knop 202 op het bovenvlak 203 van het boveneinde van de mantel 58, zoals weergegeven in figuur 4.

1 0 i 1 8 2 8 10

Alternatief of aanvullend kunnen schroeven 206 worden gebruikt, welke zich zullen uitstrekken door de opneemflens 108, door het tweede verbindingsorgaan 106 en in de van schroefdraad voorziene gaten 208 in de eerste verbindingsorganen 106. De schroeven zijn 5 geschikt vervaardigd uit nylon in plaats van uit een metalen materiaal .

Het uitrusting-tussenvlak 86 omvat, zoals het beste weergegeven in figuren 4, 5 en 8, een kinematische koppeling 90, die gevormd is met behulp van het uitrusting grijpende gedeelte 88. Zoals 10 nader weergegeven in figuur 13 waarin een dwarsdoorsnede door een dergelijke structuur is weergegeven, omvat het onderste oppervlak 220 een paar onder een hoek verlopende vlakken 222, 224, die een groef 225 begrenzen welke zal aangrijpen op niet-weergegeven gedeeltelijk bolvormige oppervlakken op de uitrusting. Alternatief kan het tussen-15 vlakgedeelte van de centrale steunconstructie 60 genoemde drie gedeeltelijk bol vormige delen omvatten terwijl de samenwerkende uitrusting de door de onder een hoek verlopende vlakken gevormde groeven bezit.

Alternatief kan het uitrusting-tussenvlak 86 andere vormgevingen en kenmerken bezitten voor samenvoeging met de bijbeho-20 rende uitrusting.

In figuren 2, 14, 15, 16 en 17 zijn verdere details van de constructie en samenbouw van de verwijderbare handgrepen 28 voor het met de hand optillen afgebeeld. De handgreep omvat een grijpgedeelte 240 en een op de mantel aangrijpend gedeelte 242. Het op de mantel 25 aangrijpende gedeelte is voorzien van veerkrachtige delen 244 met pallen 246 en aanslagen 248. De pallen 246 hebben een wiggedeelte 250, welke aanbrengen van de handgrepen in de uitsparingen 78 en draaiing onder de tweede ingrijpingsstructuren 254 op de mantel 58 vergemakkelijken. Deze tweede ingrijpingsstructuren 254 zijn voorzien van een 30 paar zich naar binnen uitstrekkende delen 255, die zijn uitgevoerd als geleidingsstrippen, die overeenkomen met het uitstekende gedeelte 258 op het ingrijpingsgedeelte 242 van de handgreep indien de handgreep in de uitsparing 78 in een vergrendelde stand is. In een dergelijke vergrendelde stand zijn de pallen 246 en de aanslagen 248 bij tegen-35 overliggende einden van de geleidingsstrippen 255. De uitsparing 78 wordt begrensd door middel van een vlak gedeelte 262, dat integraal is 1011328 11 met een omtrekswand van de uitsparing, die gevormd is als een ringvormig gedeelte 264, dat integraal is met de mantel. De geleidingsorganen 255 zijn integraal met en strekken zich uit vanaf het ringgedeelte 264.

5 Deze vormgeving maakt gemakkelijke installatie mogelijk door eenvoudig de handgrepen 28 in de uitsparingen 78 (figuur 16) te plaatsen met de zich naar buiten uitstrekkende gedeelten opgesteld tussen de geleidingsorganen 255 om dan de handgrepen met de eerste ingrijpingsstructuren in de richting van de wijzers van de klok te 10 draaien waardoor de pallen 246 omvattende uitstekende gedeelten 258 onder de geleidingsorganen 255 draaien totdat de pallen 246 bij hun zittinggedeelten 269 op hun plaats snappen op welk tijdstip de aanslagen 248 in hun desbetreffende zittinggedeelten 270 zijn.

Van belang is dat deze speciale vormgeving makkelijk 15 aanbrengen en verwijderen van de handgreep mogelijk maakt, zoals voor reinigen of opslag. Bij toepassing van een robot wordt het gebruik van de handgrepen niet vereist.

Verder wordt de integriteit van de scheiding tussen het inwendige van de transportmoduul en het uitwendige niet nadelig 20 beïnvloed. Met andere woorden zijn er geen onderbrekingen, openingen of bevestigingsorganen door de zijwand voor het bewerkstelligen van de verbinding van een handgreep aan de mantel.

Verwijzend naar figuur 18 omvat ingrijpingsstuctuur 275 een alternatieve uitvoeringsvorm van de verwijderbare handgreep 28. Deze 25 uitvoeringsvorm maakt weer gebruik van een zich in de zijwand 74 naar binnen uitstrekkende uitsparing 78 met een vlak gedeelte 262 bij de bodem van de uitsparing. Een uitsparingswand of randgedeelte 274 strekt zich rondom uit en begrenst de uitsparing en is integraal met het vlakke gedeelte 262 en de zijwand 74. Eerste ingrijpingsorgaan 30 276, omvat een viertal zich vanaf de uitsparingswand 274 naar binnen uitstrekkende oren. De handgreep 28 voor het met de hand optillen is voorzien van een grijpgedeelte 240 en een ingrijpingsgedeelte 254, dat een vlak gedeelte 277 met veerkrachtig flexibele gedeelten met pallen 284 omvat. De handgreep 28 wordt zodanig in de uitsparing 78 ingesto-35 ken, dat de veerkrachtige gedeelten 280 tussen de oren 276 worden geplaatst en de handgreep wordt dan zodanig naar links geschoven, dat ‘i 0 1 18 2 8 12 de pallen zich uitstrekken onder de oren en verschuiven totdat zij hun in figuur 18 weergegeven grendel stand bereiken. Deze vormgeving doorbreekt weer de het inwendige van het transportmoduul van de omgeving scheidende zijwand niet. Andere vormgevingen zijn ook denk-5 baar voor gebruik van de handgreep met daarmee samenwerkende van pallen voorziene ingrijpingsorganen. Het gebruik van de pallen verschaft een hoog niveau van flexibiliteit in het plaatsen en verwijderen van de handgrepen en maakt uitwisseling mogelijk van handgrepen van verschillende afmetingen voor bijvoorbeeld verschillende bedie-10 ners.

Het mantel gedeelte is bij voorkeur uit een geschikt spuitgietmateriaal, bijvoorbeeld polycarbonaat of polyetherimide of dergelijke. De centrale steunconstructie is ook ideaal integraal door spuitgieten vervaardigd en kan zijn gevormd uit met koolstofvezels 15 gevuld PEEK of soortgelijke materialen die ideaal voorzien in een statisch spreidende eigenschap. De handgrepen kunnen door spuitgieten worden vervaardigd uit polycarbonaat of polyetherimide. Het tweede bovenste verbindingsorgaan dat de met een robot te grijpen hefhand-greep omvat kan ook zijn gevormd uit met koolstofvezels gevuld PEEK of 20 andere spuitgietmaterialen, die statische elektriciteit verspreiden.

Het mechanisme, dat wordt gebruikt voor het vergrendelen van de deuren kan op verschillende manieren zijn uitgevoerd en bijvoorbeeld zijn vervaardigd zoals weergegeven in het Amerikaanse octrooi 4.995.430, maar ook andere soortgelijke mechanismes zijn 25 toepasbaar.

In figuren 19 en 20 zijn nog dwarsdoorsnede-aanzichten weergegeven over delen van de in figuur 18 weergegeven mantel en handgreeporgaan. Zoals uit deze figuren blijkt omvat de pal 284 een wigvormig gedeelten 250 om insteken onder het ingrijpingsorgaan 276 te 30 vergemakkelijken.

In figuren 21, 22, 23 en 24 zijn verschillende aanzichten weergegeven van een verdere uitvoeringsvorm van het handgreeporgaan en de samenwerkende ingrijpingsstructuur van de mantel. In deze uitvoeringsvorm strekken de palorganen 300 zich loodrecht uit vanaf het 35 inspringende vlakke gedeelte 304 en dus loodrecht vanaf de zijwand van de mantel. De palorganen zijn voorzien van een paar onder een hoek

'i Π ’ < o ‘} Q

i U . i G C. U

13 verlopende of wigvormige gedeelten 308, die bemeten zijn om te passen in een samenwerkend tweede ingrijpingsorgaan 312 dat voorzien is van een cirkelvormige opening 314.

De huidige uitvinding kan binnen de geest en beschermings-5 omvang van de uitvinding in andere specifieke vormen worden belichaamd en het is dan ook beoogd, dat de hierboven beschreven uitvoeringsvormen in het bijzonder worden beschouwd als illustratief en niet-beperkend.

10 118 2 8

Claims (12)

1. Transportmoduul voor wafels, welke een houdergedeelte en een deur omvat, waarbij het houdergedeelte is voorzien van een boven- 5 zijde, van een onderzijde, van een voorzijde met een deuropening, van een linker zijwand, van een rechter zijwand, van een voor het sluiten van de deuropening bemeten deur, van een aantal binnen het houder gedeelte bevestigde wafel steunen en van een paar op de linker zijwand en de rechter zijwand aangebrachte handgrepen, met het kenmerk, dat de 10 linker zijwand en de rechter zijwand ieder een eerste ingrijpings- structuur daarop hebben en iedere handgreep een daarmee samenwerkende tweede ingrijpingsstructuur heeft die in ingrijping te brengen is met resp. los te koppelen van de eerste ingrijpingsstructuur, waarbij ieder van de handgrepen op een desbetreffende rechter of linker 15 zijwand te plaatsen resp. te verwijderen is zonder gebruik maken van enige opening in de rechter en linker zijwanden.

2. Transportmoduul volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de eerste ingrijpingsstructuur en iedere desbetreffende daarmee samenwerkende tweede ingrijpingsstructuur is voorzien van een pal 20 waardoor de eerste ingrijpingsstructuur en de tweede ingrijpingsstructuur schuifbaar in ingrijping met elkaar te brengen zijn en met elkaar te vergrendelen zijn.

3. Transportmoduul volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat tweede ingrijpingsstructuur schuifbaar in ingrijping te brengen is 25 in een draairichting ten opzichte van de eerste ingrijpingsstructuur.

4. Transportmoduul volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de tweede ingrijpingsstructuur schuivend in een in hoofdzaak lineaire richting in ingrijping te brengen is met de eerste ingrijpingsstructuur.

5. Transportmoduul volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat ieder van de eerste ingrijpingsstructuren is voorzien van een zich naar binnen uitstrekkende uitsparing in ieder van de desbetreffende linker en rechter zijwanden.

6. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met 35 het kenmerk, dat geen aanvullende onderdelen of bevestigingsorganen 1 0 1 'i S 2 8 worden gebruikt om de handgrepen aan de linker en rechter zijwanden te bevestigen.

7. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat in het houdergedeelte een centrale steunconstructie 5 is aangebracht, welke een aantal kolommen wafel steunen omvat voor het ondersteunen van wafels in het open inwendige en een integraal bovendeel .

8. Transportmoduul voor wafels voorzien van een bovenzijde, van een onderzijde, van een voorzijde met een toegang tot een open 10 inwendige ruimte verschaffende deuropening, van een mantel met een gesloten linker zijwand en een gesloten rechter zijwand, van een voor het sluiten van de deuropening bemeten deur en van een paar handgrepen, met het kenmerk, dat aan de buitenzijde de linker zijwand en de rechter zijwand ieder een eerste ingrijpingsstructuur daarop hebben 15 en ieder handgreep een daarmee samenwerkende tweede ingrijpings- structuur heeft voorzien van een pal, waarbij de tweede ingrijpingsstructuur losmaakbaar in ingrijping te brengen is met een eerste ingrijpingsstructuur, zodanig, dat ieder van de handgrepen aan een desbetreffende rechter resp. linker zijwand te bevestigen is zonder 20 gebruik maken van afzonderlijke bevestigingsorganen.

9. Transportmoduul volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat binnen de mantel een integrale centrale steunconstructie is aangebracht, die is uitgerust met een bovenste gedeelte en onderste gedeelte met een naar beneden gericht machine-tussenvlak, dat uitsteekt 25 door een opening in de mantel bij de onderzijde van de transport moduul .

10. Transportmoduul volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de opening bij de onderzijde in hoofdzaak cirkelvormig is en de transportmoduul verder is voorzien van een elastomere afdichting bij 30 deze opening voor afdichting tussen de mantel en het onderste gedeelte van de centrale steunconstructie.

11. Transportmoduul volgens een van de conclusies 8-10, met het kenmerk, dat de moduul is voorzien van een paar steunkolommen voor wafels in het inwendige van de moduul waarbij de steunkolommen inte- 35 graal zijn met de centrale steunconstructie. .. .·, / .·* r. O Q t U i t o t~ ^

12. Transportmoduul volgens een van de conclusies 9-11, met het kenmerk, dat het onderste gedeelte van de centrale steunconstructie en de mantel draaibaar aan elkaar zijn bevestigd. 5 1. i i a 18