KR100507952B1 - 수송 모듈 - Google Patents

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KR100507952B1
KR100507952B1 KR10-1998-0022242A KR19980022242A KR100507952B1 KR 100507952 B1 KR100507952 B1 KR 100507952B1 KR 19980022242 A KR19980022242 A KR 19980022242A KR 100507952 B1 KR100507952 B1 KR 100507952B1
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엘. 니세스 데이비드
제이. 크람포티치 데니스
엠. 얼시미드 토드
보어스 그레고리 더블류
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

개방가능하고 폐쇄가능한 도어가 있는 모듈이, 모듈의 밑바닥에 노출된 기계 접촉면을 포함하는 중심의 지지 구조물을 가지고 있으며 완전체의 웨이퍼 지주는 웨이퍼를 지지하기 위해 모듈 내에 상향으로 연장하고 있다. 본 발명의 장점과 특징은 접지에의 비중단의 경로가 각 웨이퍼 지지 선반으로부터 기계 접촉면에 연장하고 있다는 점이다. 게다가, 셸의 측벽들은 제거가능한 핸들들 상의 교합 부재들과 협력하는 교합 부재들이 있는 리세스 부를 가지고 있다. 핸들은 그런 핸들을 캐리어의 측벽 상의 위치에 회전가능하게 잠그는 멈춤쇠를 활용한다.

Description

수송 모듈
본 발명은 반도체 웨이퍼용 캐리어, 즉 웨이퍼 수송 모듈에 관한 것이다. 더 상세하게는, 본 발명은 웨이퍼를 저장하여 수송하기 위한 폐쇄 가능한 용기에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼 수송 모듈이라고 하는 시일 가능한 용기는 처리공정사이에 웨이퍼를 저장 및/또는 설비 사이에 웨이퍼를 운송하는 목적으로 오랜 기간에 걸쳐 반도체 처리산업에서 이용되어 지고 있다. 주지 하듯이, 반도체 웨이퍼는 입자등의 오염물질에 의해 손상을 입기 쉽다. 그래서 반도체 웨이퍼를 저장하거나 회로로 공정하거나 하는 클린룸(clean room)이나 이 기타의 환경에 있어서는 오염물질을 제거하기 위해 엄중한 대책이 시행되고 있다.
200mm 및 이 이하의 웨이퍼에 대해서는 SMIF(Standardizd mecharism interface) 포드(pod)로서 알려진 용기를 이용하여 깨끗하게 실(seal) 된 소형의 환경을 제공하고 있다. 그러한 포드의 예는 미국특허 제4,532,970호 및 동 제4,534,389호에 개시되어 있다. SMIF포트는 일반적으로 투명한 박스 상(牀)의 셸을 이용하고 있고, 이 셸은 개구 된 저부를 형성하는 하측 도어 플레임 혹은 플랜지와, 래치 가능한 도어를 가지고 있다. 도어프레임이 처리장치상에서 클램프(clamp)되어 처리장치의 도어와 SMIF포드의 개구 된 저부를 폐쇄하고 있는 측벽 도어가 셸로부터 동시에 상기 처리장치 중의 실 된 처리환경 중에서 아래쪽으로 내려간다. SMIF포드 도어 내부의 상면에 배치되어서 웨이퍼가 적재되어 있는 다른 H 바 캐리어가 포드도어와 함께 하강하여서 상기 웨이퍼로 엑세스하여 처리가 행해지도록 되어 있다. 그와 같은 포드에 있어서는 저장 및 수송시에 웨이퍼의 중량이 도어위에 직접 가해진다.
반도체처리산업은 크고 무거운 웨이퍼, 특히 300mm웨이퍼를 사용하는 방향으로 향하고 있다. 공업규격의 진전에 의해 이와 같은 와이퍼를 위한 수송모듈은 모듈로부터 아래쪽으로 낙하하는 저부 도어를 이용하지 않고 웨이퍼를 끼우거나 꺼내거나 하기 위해 전부의 개구도어를 이용할 것이다. 도어가 웨이퍼의 하중을 지지하지 않고 (폴리카본네이트 등의)투명한 플차스틱 재의 셸이나 (폴리에테르에테르케논 등의)입자를 발생하기 어려운 플라스틱으로 성형된 웨이퍼를 지지하기 위한 기타의 부재를 가지는 용기부분이 웨이퍼의 하중을 지지할 것이다. 그와 같은 용기 부분은 필연적으로 일체로 조립된 다수의 부재로 부터 성형 된다.
반도체 웨이퍼를 취급 처리할 때, 정전기는 끊임없는 관심의 대상이다. 정전기 방전은 반도체 웨이퍼에 손상을 야기하기도 하고 못쓰게 하기도 한다. 따라서, 정전기 방전이 발행할 가능성을 될수 있는 한 억제하는 수단을 필요로 한다.
지금까지, H바 캐리어는 카본이 충전된 폴리에테르에테르케톤(PEEK)이나 폴리카본네이트(PC)등의 통상의 정전기 소산성 재료로 제조되었다. 이와 같은 300mm모듈에 대하는 진전 중의 공업규격에서는 처리장치에 대하여 반복하여 정밀하게 위치 일치를 행하기 위해 모듈의 저부에 운동학적(kinematic)커플링 등의 장치인터페이스가 요구된다. 이에 의해, 로봇 처리수단이 모듈의 전면에시 도어와 계합하여 도어를 계합하여 도어를 개방하고 수평으로 배치되어 있는 특정의 웨이퍼를 필요한 정도로 파지하여 꺼내는 것이 가능하게 된다. 로봇에 의해 웨이퍼를 꺼내기도 하고 끼우기도 할 때에 웨이퍼가 움직이기도 하고 손상을 입기도 하는 일이 없도록 웨이퍼를 장치에 대하여 특정의 높이 및 방향으로 배치하는 것이 상당히 중요하다.
플라스틱 부재를 형성할 때의 불균일성이 플라스틱 부재를 조립할 때의 부재 사이의 간격의 불균일성에 관계하고, 각 부재의 공차가 적중되어 한계수지(critlcal dimnension)의 변동이 바람직하지 않은 정도로 되게 된다. 종래의 전면 개방식의 300mm투명 모듈은 장치 인터페이스와 웨이퍼 지지부재 사이에 다수의 부재를 포함한다. 따라서, 웨이퍼 면과 장치 인터페이스 사이의 공차가 허용 범위 내에 있는 것과 같은 모듈을 제조하는 것이 곤란하게 된다. 또한, 그와 같은 모듈은 금속재의 나사와 같은 부재를 개재하는 웨이퍼 선반(wafer shelve)으로부터 장치 인터페이스로의 어쓰 경로를 가지고 있다.
300mm의 웨이퍼 크기 및 중량에 있어서는 200mm의 웨이퍼보다도 상당히 크다. 따라서, 웨이퍼의 배치(batches)를 수송하기 위해 강고한 구조의 모듈이 필요하다. 일반적으로, 200mm의 SMIF포드에서는 모듈은 셸의 도어 플랜지와 도어의 연결부에서 하단을 파지함으로써 단순히 손으로 운반하였다. 저부 개방식의 포드에 대하여서는 셸부분의 상부에 핸들이 설치되어 있다. 크고 무겁고 보다 부피가 큰 300mm웨이퍼용 모듈을 지지하여 운반하는 데에는 사이드 핸들이 적합하다. 어떤 응용에서는 300mm모듈의 이동은 로봇에 의서만 행해진다. 따라서, 용기를 손으로 수송하기 위한 핸들이나 그 기타의 수단을 필요로 하지 않는다. 따라서 로봇에 의한 승강용 핸들을 제공하는 것이 필요하고, 또한 수동에 의한 승강용 핸들을 용이하게 떼어나게 할 필요가 있다.
또한, 웨이퍼가 입자, 온도, 혹은 그의 기타의 오염물질에 의해 상당히 오염되기 쉽기 때문에, 모듈 내부로의 유입 경로의 수를 가능한 억제하는 것이 이상적이다. 패스너 등과 같은 포드의 내부와 외부 사이의 플라스틱이나, 혹은 모듈의 각각의 부품의 연결부의 플라스틱 중의 경로, 즉 갈라진 부분은 막아야 한다. 필요한 경로는 적절히 실(seal)할 필요가 있다. 포드 등의 어떤 위치에 금속재 패스너 혹은 그의 기타의 금속부분을 사용하는 것은 반도체 웨이퍼의 캐리어 혹은 용기에 있어서는 상당히 바람지하지 않다. 금속부분은 문지르거나 마모 되면 상당히 유해한 입자를 발생한다. 모듈을 패스너로 조립하면, 이와 같은 문지르거나 마모가 생기게 된다. 따라서, 금속재의 패스너 혹은 그 기타의 금속부분을 필요로 하는 것과 같은 운송 모듈의 사용은 회피해야 한다.
상기 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 전면(front)개구식의 웨이퍼 수송모듈은 투명한 셸과 중앙지지구조를 구비한 용기부분을 지니고 있다. 중앙지지구조는 모듈의 저부에 있어서 노출하는 장치 인터페이스와, 일체 구조의 웨이퍼 지지 컬럼을 가지고 있다. 웨이퍼 지지 컬럼은 용기부분 내를 위쪽으로 연장하여 웨이퍼를 지지한다. 또한, 셀의 측벽은 홈 부분을 가지고 있다. 이 홈 부분은 떼어내기 가능한 핸들에 설치된 계합부재와 협동하는 계합부재를 가지고 있다. 핸들은 캐리어의 내측에 설치된 홈 내의 소정의 위치로 럭크하기 위해 디텐트(detent)를 이용한다. 측벽으로의 핸들의 장착은 모듈의 내부와 외부 사이에 틈(break)이 생기게 한다.
본 발명의 특징 및 이점은 장치 인터페이스의 높이나, 웨이퍼 선반 상의 웨이퍼 의 높이에 대하는 각 부재 사이의 공차 적중이 존재하기 않는다는 것이다. 다수의 부품에 의하여 장치 인터페이스의 높이나 웨이퍼의 높이가 결정되는 경우에는, 각각의 부품이 개별 제조 공차를 가지고 있기 때문에, 이들의 부품을 모듈에 조립할 때에 공차가 누적된다. 따라서, 개개의 부재가 불 합격률이 높게 되고, 또는 조립된 모듈의 불 합격률이 높게 된다. 본 발명은 장치 인터페이스와 웨이퍼 지지부재에 대해 단일의 일체화한 부품을 이용하고 있다. 본 발명의 다른 이점 및 장점은 웨이퍼 선반으로부터 장치 인터페이스까지 차단되지 않고 어쓰경로가 연장하는 것이다.
본 발명의 다른 목적 및 이점은 웨이퍼를 유지하는 중앙지지구조가 하측 개구부를 개재하여 셸내에 조립되며, 이 중앙지지구조를 셸에 대하여 회전시킴으로써 소정의 위치에 고정되는 것이다. 금속의 패스너는 사용되지 않는다. 또한, 중앙지지구조는 셸의 최상부에 설치된 개구부에 연장하는 컬러를 구비한 상부와, 중앙지지구조의 상부와 접동 계합(slidably engage)함에 의해 회전하지 않도록 지지구조를 셸에 럭크하는 로봇에 의한 승강용 플랜지에 의해 셸의 최상부와 계합하여 럭크(lock)된다. 이 경우에도 금속재의 패스너 혹은 부품은 사용되지 않는다.
본 발명의 다른 목적 및 이점은 모듈의 내부와 외부 사이의 갈라진 부분이나 개구부가 탄성 실 등으로 실 되어 있는 것이다. 전면 도어의 장소 외의 갈라진 부분 혹은 개구부는 원형 형상을 가지어, 0링 등으로 실 되어 있다. 본 발명의 다른 목적 및 이점은 금속재의 패스너나 이외의 별개의 패스너를 이용하지 않고 또한, 측벽에 틈이나 개구부를 설치하지 않고 핸들을 용이하게 모듈에 장착 하기도하고 떼어내기도 할 수 있다. 본 발명의 다른 목적 및 이점은 부품의 세정을 위한 분해 및/또는 메인티넌스을 위한 교환이 용이하게 행해진다는 것이다.
이하, 첨부도면에 기초하여 본 발명의 실시의 형태를 설명한다.
도 1, 2 및 3을 참조하면, 참조번호 20으로 전체가 표시되어 있는 웨이퍼 용의 컴퍼짓구조의 웨이퍼 수송 모듈은 주로 용기부분(22)과 도어(24)로 이루어져 있다. 용기부분(22)은 로봇에 의한 승강 용의 플랜지(26)와 수동에 의한 승강용 핸들(28)을 가지고 있다. 도어(24)는 수동식의 개발용 핸들(30)과 로봇에 의해 열리도록 하기 위한 키 슬롯(32)를 가지고 있다. 도 2는 유기부분(22)과, 그 개방된 내부(36)를 나타내며, 개방된 내부(36)에는 복수의 웨이퍼(38)가 축방향으로 배열되어 지지되어 있다. 도 3은 도어(24)의 내면(40)을 나타내고 있다. 도어(24)는 한 쌍의 웨이퍼 유지 부재(42)를 지니고 있다. 웨이퍼 유지 부재(42)는 도어(24)를 설치할 때에 웨이퍼와 계합하여 이들을 유지한다. 웨이퍼 유지 부재(42)는 탄력성을 가지는 성형 플라스틱으로 된 가요 성의 이빨(44)로 형성되어 있다. 도어(24)는 용기부분(22)에 설치된 도어 플랜지(46)의 내측에 계합되어 있다. 도어(24)는 도어 외 주부(50)로부터 나오기도 하고 들어가 기도하여 도어 플랜지(46)의 홈(54)과 계합하는 래치(48)를 가지고 있다. 도어(24)는 이 도어의 상부로부터 도어의 하부로 중앙으로 연장하여 한쌍의 래치 구조 중간에 배치된 상기 한 쌍의 내부 래치 구조를 가지고 있다. 이 내부 래지구조는 서로 독립적으로 그리고 수동식의 개방용 핸들(30) 또는 키 슬롯(32)을 개재하여 동작한다. 도 2는 또한, 웨이퍼 수송 모듈(20)에 대하는 인터페이스부(56)를 구비한 처리장치(55)의 일부도 나타내고 있다. 웨이퍼 수송 모듈(20)은 인터페이스 부(56) 위에 계합되어 있다.
도 4는 웨이퍼 수송 모듈(20)의 분해 사시도로서, 구조의 상세와 여러 구성부재를 나타내고 있다. 용기부분(22)은 주로 셸(58)과 중앙지지구조(60)로 이루어져 있다. 셀(58)은 개 구(66)를 구비한 최상부(64)와, 하측 개구부(70)를 구비한 저부(68)와, 개구된 전부(72)와, 좌측의 측벽(71)과. 우측의 측벽(76)을 가지고 있다. 측벽(74)과 (76)에서도, 내측으로 연장하는 홈(78)에 의해 형성된 핸들 수용부분을 가지고 있다. 이 홈(78)은 내측으로 향해 돌출하고 있지만, 용기 부분(22)의 좌측의 측벽(74)와 외부 사이에는 클랙(crdck), 금이 간 부분, 개구부 또는 구멍이 존재하지 않는 것에 유의해야 한다. 측벽은 연속적으로 형성되어 있고 고체이다. 핸들 수용부분은 측벽의 일부인 요 형상 평면부분(80)을 가지고 있다.
중앙지지부재(60)는 장치 인터페이스 부(86)를 구비한 저부룰 가지고 있다. 장치 인터페이스 부(86)는 운동학적 결합을 이루는 3개의 인터페이스 구조(88)를 구비한 플레이트(plate)로서 형성되어 있다. 장치 인터페이스 부(86)에는 한 쌍의 웨이퍼 지지 컬럼(92)이 일체화되어 있다. 웨이퍼 지지 컬럼(92)의 각각은 다수의 선반(94)를 지니고 있으며, 웨이퍼 수용 영역(95)을 형성하고 있다. 각 선반은 웨이퍼 계합부(96)를 가지고 있다. 웨이퍼 지지 컬럼(92)은 상부(100)와 일체화되어 있다. 상부(100)는 웨이퍼 지지 컬럼(92)의 최상부(98)의 사이를 연장하는 스판닝부재(101)를 가지고 있고 또한, 제 1의 연결부 재(104)도 가지고 있다.
중앙 지지구조(60)는 셸(58)의 하측 개구부(70)내에 위쪽으로 조립되어 있고 제 1의 연결부재(104)는 셸(58)의 최상부(64)에 설치된 개구(66)를 통하여 위쪽으로 돌출한다. 제 2의 연결부채(106)는 제 1의 연결부채(104)와 접동적으로 계합하여 중앙 지지구조(60)를 셸(58)내에 유지한다. 제 2의 연결부재(106)는 로봇에 의한 승강용 핸들(108)과 일체화한 플랜지로서 형성되어 있다. 셸(58)은 지지구조 계합 부분(113)의 일부로서 형성된 제 1의 계합부재(112)를 가지고 있다. 제 1의 계합부재(112)는 중앙지지구조(60)에 설치된 셸 계합부분(115)의 일부로서 형성된 제 2의 계합부재(114)와 계합하고 있다. 이들 협동하는 계합부재는 셸의 내부에서 중앙지지구조를 셸에 고정하고 있다. 제 1의 링(118)은 중앙지지구조의 상부(100)와 셸의 최상부(64)사이에 계합하여 그 근처에 시일을 형성한다. 마찬가지로, 제 2의 링(120)이 장치 인터페이스부(86)과 셸의 저부(68)사이에서 시일을 형성한다.
도 5를 참조하면, 웨이퍼 수송 모듈(20)이 도어(24)를 제거된 상태로 나타나고 있고, 개방된 내부(36)와 각종의 내부구조가 보이 도록 되어 있다. 이 실시의 형태에서는 가이드 인 구조(guide-in structure)(122)를 이용하고 있다. 가이드 인 구조(122)는 좌측의 측벽(74)과 우측의 측벽(76)의 내면(130)과 일체가 되어 있는 레일(124,126)과 계합한다. 도 6에 도시되어 있듯이, 각 가이드인 구조(122)는 레일(124, 126)에 끼워지는 세장한 계합부재(136)를 이용한다. 가이드 인 구조(122)는 이빨(138)을 가지고 있다. 이빨(138)은 슬롯(140)을 형성하고 있다. 슬롯(140)은 상기 웨이퍼 지지 컬럼(92)의 선반(94)에 의해 형성되어 있는 슬롯(142)의 각각과 평행하고 이들과 대응하고 있다. 일반의 가이드인 부재는 로봇에 의한 끼우는 것이 아니라 손으로 웨이퍼를 끼울 때에 사용되는 것을 의도하고 있다. 가이드 인 구조(122)를 확장하여 각 웨이퍼를 수송모듈에 대하여 출입할 때에 각 웨이퍼를 지지하도록 한 것으로도 할 수 있다.
도 4, 도 5 및 도8에 매우 잘 나타나 있듯이, 중앙지지구조(60)의 하부는 장치 인터페이스 부(86)를 가지고 있다. 장치 인터페이이스 부(86)는 상측 평면(170)과, 하측 평면(176)까지 연장하는 단부(174)를 가지고 있다. 하측 평면(176)은 셸(58)의 저부(68)의 내측으로 연장하는 부분(180)과 대면하는 것에 유의해야 한다. 또한, 이 내측으로 연장하는 부분(180)은 하측의 원형의 개구부(70)를 가로지르는 일정의 현으로 형성되어 있기 때문이 아니라 다른 끼음 부분(184)에 의해 중앙지지구조(60)를 완전히 일치된 위치로부터 약간 회전방향으로 벗어난 위치로 설치되어서 제 2의 계합부재(114)를 선반에 설치된 제 1의 계합부재(112)의 사이에 끼울 수 있도록 되어 있다.
도 4, 도 8, 도 11 및 도 12를 참조하면, 중앙지기구조(60)의 상부(100)와 셸(58)사이의 연결부를 구성하는 부재 및 컴포넌트의 상세가 나타나 있다. 상부(100)는 도 11에서 가장 잘 나타나 있는 것과 같은 T형의 단면을 가지는 한 쌍의 연결부재(104)를 가지고 있다. 제 1의 연결부재(104)는 로봇에 의한 승강용 플랜지(108)의 일부인 제 2의 연결부재(106)에 설치된 것도 T자형의 단면을 가지는 슬롯(186)과 계합하여 끼워진다. 중앙지지구조(60)를 셸(58) 내로의 소정의 위치에 끼워서 적절한 위치에 일치할 때까지 회전하면, 상부(100)의 네크(neck) 즉, 컬러(188)가 개구(66)를 통하여 돌출하며, 이 개구(66)를 헝성하는 내측단부(190)와 대향 한다. 작은 쪽의 제 1의 O링(118)은 상기 컬러(188)에 설치된 0링 홈(194)에 계합하여 내측단부(190)에 있어서 셀(58)과 실을 형성한다. 도 11의 가상선은 셸(58)의 최상부(64)가 중앙지지구조(60)의 상부의 컬러(188)와 대항할 때의 최상부(64)의 관계를 나타내고 있다. 즉, 제 2의 연결부재(106)가 제 1의 연결부재(104)와 계합 할 때, 셸(58)의 최상부(64)는 제 1의 계합부재(106)와 중앙지지구조(60)의 상부(100)사이에서 끼워진다. 제 2의 연결부재(106)는 셸(58)의 최상부(64)의 상면(203)에 도 4에 나타나 있듯이, 적절히 위치되어 있는 디텐트, 즉 너브(nub)(202)에 의해 제 1의 연결부재(104)의 소정의 위치에 럭크된다. 이것과는 다르게 혹은 추가적으로 로봇에 의한 승강 용 플랜지(108)를 관통하여 제 2의 연결부재(106)를 통하여 제 1의 연결부재(106)의 나사 구멍(208)내로 연장하는 나사(206)를 이용하여도 좋다. 이 나사(206)는 금속재료는 아니고 나일론인 것이 적당하다.
도 4, 도 5 및 도 8에서 가장 잘 나타내어 있듯이, 장치 인터페이스부(86)는 장치 계합부분(88)에 의해 형성된 운동학적(kinematic)커플링(90)을 가지고 있다. 이 장치 계합 부분(88)의 1개의 단면도인 도 13을 참조하면 알 수 있듯이, 하면(220)은 한 쌍의 경사면(222, 224)을 지니고 있다. 이 경사면(222. 224)은 도시하지 않은 장치의 부분 구면과 계합하는 홈(225)을 형성하고 있다. 대안적으로, 중앙지지구조(60)의 인터페이스 부(86)에 상술한 3개의 부분 구면을 설치하고 이들과 협동하는 장치에 경사면에 의해 형성된 홈을 설치하도록 하여도 좋다. 또한, 대안적으로, 장치 인터페이스 부(86)에 협동하는 장치와 인터페이스 하는 다른 구조 및 특성을 지니게 하여도 좋다.
도 2, 도 14, 도 15, 도 16, 및 17 에서는 떼어내기 가능한 수동식의 승강용 핸들(28)의 구조 및 조립의 상세가 나타나 있다. 이 핸들(28)은 파지부(240)와 셸 계합부(242)를 가지고 있다. 제 2의 계합구조(242)는 디텐트(detent) (246)와 스톱(stop)(248)를 구비한 탄성부(244)를 이용하고 있다. 디텐트(246)는 웨지(wedge)부(250)를 가지고 있다. 웨지 부(250)는 홈(78)의 안으로의 핸들(28)의 설치와, 셸(58)의 제 1의 계합구조(254)의 하측에서의 회전을 용이하게 한다. 전술한 제 1의 계합구조(254)는 가이드 스트립(guide strip)(255)으로 형성된 내측으로 연장하는 한 쌍의 부재를 가지고 있다. 가이드 스트립(255)은 핸들(28)이 홈(78)에 대하는 럭크 위치에 있으면, 제 2의 계합구조(242)상의 연장부(258)에 합치한다. 이 럭크 위치에 있어서, 디텐트(246)와 스톱(248)은 가이드 스트립(255)의 양단에 위치한다. 홈(78)은 셸(58)과 일체가 된 링 부분(264)으로서 형성된 원주방향의 홈 벽과 일체화된 평탄 부(262)에 의해 형성되어 있다. 가이드 스트립(255)은 상기 링 부분(264)과 일체화가 되어 이로부터 연장한다, 이러한 구조에 의하면, 간단한 설치가 가능하다. 즉, 외측으로의 연장부(258)를 도 16에 도시된 가이드 스트립(255)사이에 위치시켜서 핸들(28)을 홈(78)내에 끼우고 다음에 핸들(28)을 시계방향으로 제 1의 계합구조, 즉 셸계합부(242)와 합계 회전시키면, 디텐트(246)를 구비한 연장 부(258)가 가이드 스트립(255)의 하측으로 회전하여 디텐트(246)가 이들의 시팅위치(269)에 있어서 스냅 맞물림 한다. 디텐트(246)가 시팅위치(296)에서 스냅 맞물리면, 스톱(248)은 대응하는 시팅위치(270)에 시팅한다.
중요한 것은 이 특정의 구조에 의하면, 세정이나 저장하기 위해, 혹은 로봇이 핸들(28)을 사용할 필요가 없을 때에는 핸들(28)을 용이하게 설치하거나 떼어낼 수 있다는 것이다. 또한, 웨이퍼 수송 모듈(20)의 내부와 외부 사이는 완전히 격리되어 있다. 다시 말하면, 핸들(28)을 셸(58)에 연결하기 위해, 측벽을 통해 갈라진 부분이나 개구부 및 패스너는 설치되지 않는다.
도 18을 참조하면, 다른 실시의 형태의 떼어낼 수 있는 핸들(28)을 가지는 계합구조(275)가 나타나 있다. 이 실시의 형태도, 측벽(74)내로 내측으로 연장하는 홈(78)을 이용하고 있고 홈(78)의 저부에는 평탄부(262)가 설치되어 있다. 경계부분, 즉 홈 벽(274)이 홈(78)의 주위에 배치되어 있어서 이 홈(78)을 한정하고 있다. 제 1의 계합부재(276)는 홈 벽(274)으로부터 내측으로 연장하는 4개의 태브로서 형성되어 있다. 수동식의 승강용 핸들(28)은 파지부(240)와 계합부분(254)를 가지고 있다. 계합부분(254)은 디텐트(284)를 구비한 굴곡 가능한 탄성 부(280)를 가지는 평면부분(277)를 가지는 평면 부분(277)을 가지고 있다. 수동식 핸들(28)을 홈(78)의 중간에 끼워서 탄성 부(280)를 제 의 계합구조(276), 즉 태브(tab)의 사이에 위치시켜서 다음에 핸들을 좌로 접동시키면, 디텐트(284)는 제 1의 계합부재(276)의 하측으로 연장하여 도 18에 나난 럭쳐위치(lock position)에 도달한다. 이 구조에 있어서도, 웨이퍼 수송 모듈(20)의 내부를 외부와 격리하는 측면의 완전성은 손상되지 않는다. 이 기타의 구조에서도 디텐트를 사용한 계합부재와 협동하는 핸들을 이용하기 위해 채용될 수 있다. 디텐트를 이용함에 의해 핸들의 설치나 떼어냄이 극히 융통성이 있기도 하고 예를 들면, 기타의 오퍼레이터를 위해 치수가 다른 핸들로 교환하는 것이 가능하다.
셸부분의 재료는 폴리카본네이트 혹은 폴리에테르이미드 로부터 사출 성형되는 것이 바람직하다. 중앙지지구조도 일체로 사출 성형 되는 것이 이상적이고 정전기 소산성을 부여하는 카본파이버가 충전된 PEEK 혹은 유사한 재료로 형성되는 것도 바람직하다. 핸들도 폴리카본네이트 혹은 폴리에테르미드로 형성되는 것이 가능하다. 로봇에 의한 승강 용의 핸들을 포함하는 상부의 제 2의 연결부재도 카본파이버가 충전된 PEEK, 혹은 기타의 정전기 소산성을 구비한 재료로부터 형성된다. 도어의 래칭에 이용되는 기구를 변경하는 것도 가능하고 예를들어, Anthony C. Borona 등의 미국특허 제4,995,430호에 개시되어 있는 것도 좋고 그 기타의 동일한 기구여도 좋다.
도 19 및 도 20은 도 18에 나타난 셸 및 핸들의 단면도이다. 디텐트(284)는 제 1의 계합구조(276)의 하측으로 끼우는 것을 돕기 위해 웨지부재(250)를 가지고 있다. 도 21, 도 22 , 도 23 및 도 24에서는 핸들 부재와, 이와 협동하는 셸의 계합부재와 다른 실시의 형태가 나타내고 있다. 이 실시의 형태에 있어서는 디텐트부재(300)는 홈을 가지는 평면부(304)로부터 직각으로, 따라서 셸의 측벽으로부터 직각으로 연장되어 있다. 디텐트부재(300)는 한 쌍의 경사부분. 즉 웨지부(308)를 가지고 있다.
이들 웨지부(308)의 수치는 원형홈(314)를 가지는 협동하는 제 2의 계합부재(312)에 계합하도록 설치되어 있다. 본 발명은 그 정신 혹은 본질로부터 이탈되지 않는 한 다른 형태에 의해서도 실현 가능하다. 따라서 상술 된 실시의 형태는 단순히 설명을 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명의 범위에 관해서는 상술 된 실시의 형태에 의해서도 특허청구범위를 참조해야 한다.
본 발명의 웨이퍼 수송 모듈은 장치 인터페이스 부의 높이나 웨이퍼 선반상의 웨이퍼의 높이에 대하는 각 부재사이의 공차 적중이 존재하지 않는다는 것이다.
또한, 본 발명은 웨이퍼 선반으로부터 장치 인터페이스 부까지 차단되기 않고 어쓰 경로를 연장하는 것이다.
더구나, 본 발명은 웨이퍼를 유지하는 중앙지지 구조가 하측 개구부를 개지하여 셀 내에 조립되며, 이 중앙지지구조를 셸에 대하여 회전함으로써 소정의 위치에 고정되는 것이다. 금속재의 패스너가 이용되지 않는다는 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 수송 모듈의 사시도.
도 2는 본 발명을 이용한 웨이퍼 수송 모듈의 용기부분의 사시도.
도 3은 웨이퍼 수송 모듈의 여러 컴포넌트 부분의 내측과 마주하는 외 측의 사시도,
도 4는 웨이퍼 수송 모듈의 여러 컴포넌트 부분을 도시한 확대도.
도 5는 웨이퍼 수송 모듈의 용기부분의 사시도.
도 6은 가이드 인 구조의 사시도.
도 7은 용기부분의 셸의 저면도.
도 8은 중앙지지구조의 상평면도
도 9는 도 8의 선(9-9)에서 본 단면도.
도 10은 도 7의 선(10-10)에서 본 단면도
도 11은 중앙지지구조의 상부의 정면도.
도 12는 로벗식 플랜지를 포함하는 제 2 연결부재의 정면도
도 13은 도 8의 선(13-13)에서 본 단면도.
도 14는 핸들의 정면도.
도 15는 핸들의 측면도.
도 16은 핸들용 홈을 나타내는 셸의 부분의 측면도
도 17은 도 16의 선(17-17)에서 본 단면도.
도 18은 핸들을 수용하는 홈과 핸들을 강조한 다른 실시 예의 도면.
도 19는 도 18의 선(19-19)에서 본 단면도.
도 20은 도 18의 선(20-20)에서 본 단면도.
도 21은 핸들의 도 다른 실시예를 나타내는 모듈의 부분의 측면도.
도 22는 핸들의 측면도.
도 23은 도 21의 선(23-23)에서 본 단면도.
도 24는 도 21의 선(24-24)에서 본 단면도.

Claims (36)

  1. 상부와, 저부와, 개구된 내부와, 웨이퍼를 끼우기도 하고 빼어내기도 하기 위한 개구된 전부를 가지는 웨이퍼용 운송 모듈로서,
    a)좌측의 측벽과, 우측의 측벽과, 개구된 전부(open front)와, 한 개 이상의 하측개구부를 가지는 저부를 지니는 셸과, 상기 셸의 측벽의 각각은 제 1의 계합구조를 갖으며;
    b) 웨이퍼를 축 방향으로 정렬한 상태로 지지하기 위한 웨이퍼 선반을 가지는 두개이상의 컬럼과, 상기 하측 개구부로부터 노출하는 일체화한 하측 장치 계합부를 가지고, 상기 웨이퍼 지지부재가 상기 셸의 개구된 내부에 배치되어 웨이퍼 수용영역을 형성하는 중앙 지지구조와,
    c) 상기 지지모듈의 개구된 전부를 닫기 위한 도어를 구비한 웨이퍼 수송 모듈.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 셸이 상부와 저부를 가지고, 이들의 상부와 저부의 한쪽이 상기 중앙지지구조를 받아들이는 크기의 개구부를 가지며, 상기 중앙지지구조가 상기 개구부를 통하여 해당 웨이퍼 운송 모듈 내에 조립되는 웨이퍼 수송 모듈.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 중앙 지지 구조를 받아들이는 상기 개구부가 상기 셸의 저부에 있고, 상기 셀이 제 1의 계합부재를 가지며, 상기 중앙지지구조가 상기 장치계합부을 포함하여 일체화한 장치 인터페이스를 지니고, 상기 장치 계합부가 상기 제 1의 계합부재와 협동하는 일체화한 제 2의 계합부재를 가지고 있고, 이에 의해 상기 중앙지지구조가 상기 셸내에 고정되도록 되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 중앙지지구조가 셸계합부분을 가지며, 상기 셸이 이와 합동하는 지지 구조 계합 부분을 가지고 있어서, 상기 셸계합부분 및 지지구조 계합부분이 회전에 의해 서로 맞물려서 잠겨져서 상기 중앙지지구조가 상기 셸로 고정되도록 되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 셸은 구멍을 지닌 상부를 가지며, 모듈로부터 위쪽으로 연장하여 중앙지지구조와 직접적으로 계합하는 로봇에 의한 승강 플랜지가 설치되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 중앙지지구조가 상기 셸과 최상부에 있어서 또는 상기 저부의 하측 개구부와 인접하는 부위에 있어서 계합하는 웨이퍼 수송 모듈.
  7. 제 1항에 있어서,
    한 쌍의 핸들이 상기 셸과 회전가능한 상태로 맞물림 또는 떼어내기가 가능하게 되어 있고 셸의 좌측 및 우측으로부터 연장되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  8. 제 7항에 있어서,
    핸들은 제 2의 계합구조를 가지며, 이 제 2의 계합구조는 럭크위치에서 가이드 스트립의 양단에 위치하는 디텐트와 스톱을 가지는 탄성부와, 럭크위치에서 상기 가이드 스트립과 합치하는 연장부를 지니며,
    셸의 측벽의 각각은 상기 제 1의 계합구조를 가지며, 이 계합구조는 가이드 스트립을 지니며 이 가이드 스트립은 제 1의 계합구조와 일체가 되어 내측으로 연장하여, 상기 연장 부가 상기 가이드 스트립의 하측으로 회전하여 상기 디텐트가 시팅위치에서 스냅 맞물림함으로써 한 쌍의 핸들은 제1의 계합구와 이제 1의 계합구조와 협동하는 제 2의 계합구조에 의해 셸과 계합하며 상기 제 1의 계합 구조에서는 상기 측벽을 통하는 개구부가 없는 웨이퍼 수송 모듈.
  9. 개구된 내부와, 웨이퍼를 끼우기도 하고 빼어내기도 하기 위한 개구된 전부를 지니는 웨이퍼 수송 모듈로서,
    a) 개구부를 구비한 상부와, 주변을 가지는 저부 개구를 구비한 저부와, 개구된 내부를 가지는 외측셸과;
    b) 상부와, 장치인터페이스를 구비한 저부를 가지는 일체 구조의 중앙 지지구조로서, 상기 개구부 및 저부 개구부에 있어서 셀과 계합하고 또는 하향의 장치 인터페이스를 가지는 중앙지지구조와;
    c) 상기 개구된 전부를 닫기 위한 도어를 가지는 웨이퍼 수송 모듈.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 상부의 개구부가 원형이며, 상기 웨이퍼 수송 모듈이 상기 셸과 상기 중앙지지구조의 상부 사이를 실하기 위해 상기 개구부 제 1의 탄성 실 가지고 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 저부 개구부가 원형이며, 상기 웨이퍼 수송 모듈이 상기 셸과 상기 중앙지지구조의 하부 사이를 실 하기 위해 상기 저부 개구부에 제 2의 탄성 실을 가지는 웨이퍼 수송 모듈.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 모듈의 내부에 한 쌍의 웨이퍼 지지컬럼을 가지고, 이들의 웨이퍼지지 컬럼이 상기 중앙지지구조와 일체가 되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  13. 제 9항에 있어서,
    제 1의 0링을 더 가지며, 상기 0링에 의해 상기 셸과 상기 상부가 시일되는 웨이퍼 수송 모듈.
  14. 상부와, 저부와, 도어 개구를 구비한 전부와, 좌측의 측벽과, 우측의 측벽과, 상기 도어 개구부를 폐쇄하는 크기를 가지는 도어와, 한 쌍의 핸들을 가지는 웨이퍼 수송 모듈로서,
    상기 좌측의 측벽과, 우측의 측벽의 각각이 제 1의 계합구조를 가지며, 상기 각 핸들이 상기 제 1의 계합구조의 한쪽과 접동 계합 가능하게 또는 떼어냄이 가능 한 제 2의 계합구조를 가지고 있어서, 상기 핸들의 각각이 상기 좌측 우측의 측벽에 개구부를 설치하지 않고 상기 모듈의 좌측 및 우측에 장착 및 떼어내기가 가능한 웨이퍼 수송 모듈.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 제 1의 계합구조의 각각과 상기 제 2의 계합 구조의 각각이 디텐트를 가지고 있어서, 상기 제 1의 계합구조와 제 2의 계합구조가 서로 접동 계합 가능하거나 럭크 가능한 웨이퍼 수송 모듈.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 제 2의 계합구조가 상기 제 1의 계합구조에 대하여 회전방향으로 접동 게합 가능한 웨이퍼 수송 모듈.
  17. 제 15항에 있어서,
    상기 제 2의 계합구조가 상기 제 1의 계합 구조에 대하여 직선적인 방향으로 요동 계합가능한 웨이퍼 수송 모듈.
  18. 제 14항에 있어서,
    상기 제 1의 계합구조의 각각이 내향의 홈을 상측 및 좌측의 측벽의 각각에 가지고 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  19. 상부와, 저부와, 개구된 내부로의 액세스를 제공하는 도어 개구부를 구비한 전부와, 개구된 좌측의 측벽과 폐쇄된 우측의 측벽을 가지는 셸과, 도어 개구부를 페쇄하는 크기를 가지는 도어와, 한 쌍의 핸들을 가지는 웨이퍼 수송 모듈로서,
    홈을 지니는 셸상의 좌측의 측벽과 우측의 측벽 각각이 제 1의 계합부재를 가지고 핸들이 상기 제 1의 계합구조와 협동하는 제 2의 계합구조를 가지며,
    상기 제 2의 계합구조는 럭크위치에서 가이드 스트립의 양단에 위치하는 디텐트와 스톱을 가지는 탄성부와, 럭크위치에서 상기 가이드 스트립과 합치하는 연장부를 지니며,
    상기 제 1의 계합구조는 가이드 스트립을 지니며, 이 가이드 스트립은 제 1의 계합구조와 일체가되어 내측으로 연장하여, 상기 연장부가 가이드 스트립의 하측으로 회전하여 상기 디텐트가 시팅위치에서 스냅 맞물림 함으로써 그 제 2의 계합구조가 홈에 있는 상기 제 1의 계합구조의 한쪽과 떼어내기 할 수 있게 계합할수 있고, 상기 핸들의 각각이 별개의 패스너를 사용하기 않고 우측 및 좌측의 측벽으로 장착 및 떼어내기 할 수 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  20. 웨이퍼 수송 모듈로서,
    a) 개구부를 구비한 상부와, 웨이퍼를 끼우기도 하고 빼어내기도 하려는 전면 개구를 구비한 전부와, 개구된 내부를 가지는 셀과,
    b) 상기 개구된 전부를 폐쇄하기 위한 도어와;
    c) 개구된 내부로 웨이퍼를 지지하기 위해 설치된 복수의 웨이퍼 지지컬럼과, 상기 상부의 개구부에 있어서 상기 셀과 계합하는 일체 구조의 상부를 가지는 중앙지지구조와,
    d) 상기 상부의 개구부에 있어서 그 상부로 고정되어 상기 셸의 위쪽으로 연장한 로봇에 의한 승강 핸들을 가지는 웨이퍼 수송 모듈.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 셸이 하측 개구부를 더 가지며, 상기 중앙지지구조가 상기 하측 개구부를 개재하여 아래쪽으로 노출하는 장치계합 부분을 가지는 웨이퍼 수송 모듈.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 셸이 상기 하측 개구부에 있어서 상기 중앙지지구조로 고정되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 장치계합부분이 상기 웨이퍼 지지 컬럼과 일체화되어 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  24. 개구된 내부와, 웨이퍼를 끼우기도 하고 빼어내기도 하기위한 개구된 전부와, 폐쇄된 좌측의 측벽과, 폐쇄된 우측의 측벽을 가지는 용기부분을 가지는 컴포짓 구조의 웨이퍼 수송 모듈로서,
    상기 용기부분이 하나이사상의 웨이퍼 지지컬럼과 일체화된 장치 인터페이스를 가지고 있고, 이 장치 인터페이스와 상기 웨이퍼 지지컬럼이 상기 좌측의 측벽과 우측의 측벽과 별체로 형성되어 있고, 상기 웨이퍼 수송 모듈은 더욱이 상기 개구된 전부를 폐쇄하기 위한 도어를 지니고 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  25. 제 24항에 있어서,
    상기 수용부분이 투명한 셸을 가지고, 이 셸이 하측 개구부를 구비한 저부를 가지고, 상기 장치 인터페이스가 상기 하측개구부에 있어서 상기 셸로 고정되는 웨이퍼 수송 모듈.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 셸의 상부가 개구부를 가지고, 이 웨이퍼 수송 모듈이 이 개구부분에 연장하여 웨이퍼 지지 컬럼과 일치화되어 있는 상부를 가지는 웨이퍼 수송 모듈.
  27. 제 26항에 있어서,
    상기 상부와, 이 상기 개구부에 있어서의 셸사이에 계할하는 탄성 실(seal)이 설치되어있는 웨이퍼 수송 모듈.
  28. 제 26항에 있어서,
    상기 상부에 연결된 로봇에 의한 승강용 플랜지를 더 가지며, 이 로봇에 의한 승강용 플랜지가 상기 셸의 위쪽으로 연장하여 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  29. 제 25항에 있어서,
    상기 셸이 상기 하측 개구부의 주변에 제1의 계합부를 가지며, 상기 중앙지지구조가 상기 제 1의 계합부와 협동하는 제 2의 계합부를 가지고, 상기 제 1의 계합부가 제 2의 계합부와 회전가능하게 계합하여 상기 중앙지지구조가 상기 셸로 고정된 웨이퍼 수송 모듈.
  30. 제 29항에 있어서,
    상기 하측개구부의 주변에 원형의 탄성 실이 설치되어서 상기 중앙지지구조를 상기 셸내에 실하여 있는 웨이퍼 수송 모듈
  31. 제 25항에 있어서,
    상기 웨이퍼 지지 컬럼이 상기 하측 개구부에 있어서, 셸내로 조립된 웨이퍼 수송 모듈.
  32. 컴퍼짓 구조의 웨이퍼 수송 모듈로서,
    a) 상부와, 웨이퍼를 끼우기도 하고 빼어내기도 하기 위한 전면 개구를 구비한 전부와, 개구된 내부를 지니는 셀과;
    b) 상기 개구된 전부를 폐쇄하기 위한 도어와;
    c) 중앙지지구조를 지니며, 상기 중앙지지구조가 개구된 내부 중에 웨이퍼를 지지하기 위해 설치된 복수의 웨이퍼 지지 컬럼과, 외부 인터페이스를 계합하기 위한 하향 또는 일체화된 하측의 장치 인터페이스를 지니며 더욱이 상기 중앙지지구조가 정전기 소산성재료로 형성되어서, 상기 웨이퍼 지지 컬럼이 상기 장치 인터페이스로의 직접적인 도전성 경로를 가지고 있는 웨이퍼 수송 모듈.
  33. 다수의 웨이퍼를 수평으로 유지하는 실(seal)가능한 엔클러저에 있어서,
    개방된 전면과, 개방된 내부 및 한 쌍의 측면을 지니는 용기부분과;
    상기 용기 부분의 각각의 측에 배치된 플라스틱으로 형성되어 상기 내부에 축방향으로 배열된 웨이퍼를 지지하는 다수의 선반 부분과,
    개방된 전면을 밀봉할 수 있게 폐쇄하는 것으로서, 한 쌀의 내부 래칭 메카니즘과, 이 한 쌍의 래칭 메카니즘을 동작하기 위한 한 쌍의 키 슬롯을 지니는 외측 전면 부분과, 도어의 상부로부터 도어의 저부까지 중앙으로 연장하여 한쌍의 래칭 메카니즘 중간에 배치된 홈을 지닌 내측면과, 상기 홈의 상기 내면상에 배치한 웨이퍼 홈을 지니는 도어를 구비한 실 가능한 엔클로저.
  34. 개방된 전면, 및 웨이퍼를 수평으로 유지하는 다수의 셸과, 폐쇄된 좌측 측벽과 폐쇄된 우측 측벽과, 상기 개방된 전면을 폐쇄 할 수 있는 크기의 도어와, 한 쌍의 플라스틱 핸들을 구비한 용기 부분을 포함하는 웨이퍼를 유지하는 실(seal)가능한 엔클러저에 있어서,
    상기 좌측의 측벽과 상기 우측의 측벽 각각은 상기 측벽들과 일체가된 제 1 계합 구조를 지니며,
    상기 플라스틱 핸들은 상기 핸들과 일체가 된 플라스틱 디텐트를 갖는 협동하는 제 2 계합구조를 가지며,
    상기 제 2의 계합구조는 럭크위치에서 가이드 스크립의 양단에 위치하는 디텐트와 스톱을 가지는 탄성부와, 럭크위치에서 상기 가이드 스크립과 합치하는 장부를 지니며,
    장부를 지니며 ,
    상기 제 1의 계합구조는 가이드 스트립을 지니며. 이 가이드 스트립은 제1의 계합구조와 일체가되어 내측으로 연장하여, 상기 연장부가 가이드 스트립의 하측으로 회전하여 상기 디텐트가 시팅위치에서 스냅 맞물림 함으로써 그 제 2의 계합구조가 홈에 있는 상기 제 1의 계합구조의 한쪽과 떼어내기 할 수 있게 계합할수 있고, 상기 핸들의 각각이 핸들을 좌측의 측벽과 우측의 측변에 고정하는 패스너를 사용하지 않고 우측의 측벽 및 좌측의 측벽으로 장착 및 떼어내기 할 수 있는 실가능한 엔클러저.
  35. 다수의 웨이퍼를 수평으로 유지하는 실 가능한 엔클러저에 있어서,
    개방된 전면과, 개방된 내부 및 한 쌍의 측민을 가지는 용기 부분과, 이 용기 부분의 각각의 측에 배치된 플라스틱으로 형성되어 상기 내부 축방향으로 배열된 웨이퍼를 유지하는 다수의 선반과, 3개의 홈을 갖는 플라스틱으로 형성되어 있으며, 용기 부분의 내측의 각각의 측에 있어서 플라스틱으로 형성된 다수의 셸에 대한 일체적으로 연결하는 운동학적 커플링을 갖는 장치 인터페이스와, 개방된 전면을 밀봉되게 폐쇄하는 것으로, 연장 및 회수 가능한 다수의 래치를 갖는 도어를 구비한 엔클로저.
  36. 다수의 웨이퍼를 수평으로 유지하는 실가능한 엔클로저에 있어서,
    개방된 전면, 개방된 내부 및 한 쌍의 측을 가기는 용기부분과,
    이 용기 부분의 각측에 배치되어 상기 내부에 측방향으로 배열된 웨이피를 유지하는 다수의 선반과, 용기 부분의 상기 각각의 측에 부착된 한 쌍의 핸들과;
    상기 개방된 전면을 실링(sealing) 할 수 있게 폐쇄하는 도어와;
    도어의 상부로부터 도어의 저부로 중앙으로 연장한 홈를 갖는 내부면과;
    도어의 내측의 홈에 배치되어 웨이퍼를 맞물리는 웨이퍼 홈을 구비한 실가능한 엔클러저.
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