KR19980703789A - 측면에 도어를 구비한 300㎜ 미세환경 포드 - Google Patents

측면에 도어를 구비한 300㎜ 미세환경 포드 Download PDF

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Abstract

환경공학 발생 컨테이너가 개시된다. 상기 컨테이너는 쉘 (10) 과, 도어 (90) 와, 서로 평행하게 이격한 실리콘 웨이퍼 (80) 등의 제품을 확실히 수용하는데 사용된 독특한 디자인을 갖는 복수의 지지부 (60) 를 포함한다. 상기 지지부는 이탈 가능하다. 전기통로는 지지부를 접지시키도록 제공된다. 예컨대, 도어를 웨이퍼 처리 공구의 포트와 적절하게 배열시키기 위하여, 컨테이너를 표면상에 위치시키도록 동역학적 커플링 구조 (44 ∼ 46) 가 또한 제공된다.

Description

측면에 도어를 구비한 300 ㎜ 미세환경 포드
수 세기 동안 한 장소에서 다른 장소로 제품을 운반하기 위하여 여러 가지의 컨테이너가 사용되어 왔다. 예컨대, 이런 컨테이너는 효과적인 저장을 위해 공간내에 제품을 수용하는 방식을 제공하는데 사용되어 왔다. 그리고 패키지와 컨테이너에 의해 제공된 또 다른 중요한 기능은 보호기능이다.
반도체 회로 제조에 사용된 기판, 강성 (rigid) 메모리 디스크, 포투마스크, 액정 디스플레이, 및 평면 패널 디스플레이는 극도로 민감할 수 있다. 이런 제품을 습기, 미진, 정전기 등등에 의한 손상으로부터 보호하여야 할 효과적인 조치가 취해져야만 한다. 또한, 패키지내의 진동과 충격에 기인한 손상으로부터 제품을 보호하는 조치가 취해져야 한다. 유사하게도, 패키지내에 저장된 제품이 패키지내의 여러 가지 표면과 긁히거나, 문질러지거나 또는 충돌한 경우에 발생하게 될 미진의 누출 및 발생을 예방하기 위하여 조치를 취해야만 한다.
이와 같은 문제의 조합이 적절한 패키지를 설계하는 것을 매우 어렵게 만든다. 이와 같은 문제점들은 패키지들이 전형적으로 사용되는 환경에 의하여 단지 복잡하게 된다.
웨이퍼, 메모리 디스크, 포토마스크, 액정 화면 패널 및 평면 패널 화면의 저장 및 운반과 연결하여 사용된 패키징은 매우 고가인 경향이 있다. 이와 같은 패키징은 재사용 가능하고 견고한 구조를 갖는 것이 매우 바람직하다. 끝으로, 패키지는 반도체 제조와 연결하여 사용되는 경우, 로봇 처리 및 자동 제조 장비로 사용하기에 매우 적합하여야 한다.
엠팍 (Empak) 인코포레이티드는 이와 같은 제품의 처리 및 운반시에 사용하기 위하여 과거에는 다수의 적절한 패키지를 제조하였다. 이와 같은 패키지의 예가 미국 특허 제 5,273,159 호 및 제 5,423,422 호에 도시되어 있다. 이와 같은 패키지 설계는 소형 제품과 연관하여 매우 효과적임이 증명되었지만, 여러 가지 이유 때문에, 그 설계는 300 mm 이상의 범위내의 외부 크기를 갖는 제품의 저장 및 운반에 대하여는 적절한 것이 되지 못한다.
본 발명은 일반적으로 제품용 패키지에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 본 발명은 전자 반도체 구성요소 및 회로 제조에 사용된 오염물질로부터 격리되도록 특별하게 설계된 패키지에 관한 것이다. 이와 같은 패키지는 기판, 웨이퍼, 메모리 디스크, 포토마스크, 평면 패널 디스플레이, 액정 디스플레이, 기타 등등에 특히 적합한 것이다.
도 1 은 본 발명에 따른 컨테이너 쉘을 도시하는 사시도이다.
도 2 는 컨테이너 쉘을 도시하는 평면도이다.
도 3 은 도 2 의 선 A - A 를 따라 컨테이너를 도시하는 단면도이다.
도 4 는 도 2 의 선 B - B 를 따라 컨테이너를 도시하는 단면도이다.
도 5 는 본 발명을 구체화하는 컨테이너의 측면도이다.
도 6 은 도 5 의 선 C - C 를 따라 컨테이너를 도시하는 단면도이다.
도 7 은 도어의 반대측면에서 컨테이너를 도시하는 도면이다.
도 8 은 동역학 커플러 프레이트를 도시하는 도면이다.
도 9 는 도 8 의 선 D - D 를 따라 동역학 커플러 프레이트를 도시하는 단면도이다.
도 10 은 도 8 의 선 E - E 를 따라 동역학 커플러 프레이트를 도시하는 단면도이다.
도 11 은 도 8 의 선 F - F 를 따라 동역학 커플러 프레이트를 도시하는 단면도이다.
도 12 는 설계에 사용된 하나의 인간환경공학 핸들 (ergonomic handle) 을 도시하는 사시도이다.
도 13 은 핸들의 측면도이다.
도 14 는 도 13 의 선 G - G 를 따라 핸들을 도시하는 단면도이다.
도 15 는 켄테이너 쉘에 대하여 폐쇄위치에서의 컨테이너의 도어를 도시하는 정면도이다.
도 16 은 저장 및 운반시에 적절한 위치에서 컨테이너에 저장된 제품을 지지하고 보유하는데 도움을 주도록 도어의 내면에 부착될 수 있는 쿠숀을 도시하는 사시도이다.
도 17 은 대향하는 두 디바이더와 웨이퍼를 도시하는 단면도이다.
웨이퍼, 포토마스크, 메모리 디스크, 액정화면패널 및 평면패널화면으로 사용하기 적합한 컨테이너는 여러 가지 중요한 설계 기준을 만족하여야 한다. 이러한 기준들은 수동 및 로봇 처리 업무를 용이하게 하려면 경하중이여야 한다. 컨테이너의 내적은 저장 공간 요건을 줄이고 저장 밀도를 증가시키려면 최소화되어야 한다. 컨테이너의 높이는 컨테이너의 패킹을 향상기키도록 허용하려면 최소화되어야 한다. 운반 및 저장시에 제품을 감싸는 폴리머 표면적의 크기는 무기 및 유기 오염물 뿐 아니라 폴리머 누출의 부정적 영향을 줄이도록 최소화되어야 한다.
본 발명에 따라 제조된 컨테이너는 상술한 설계기준을 만족한다. 이 컨테이너는 여러 가지 기타의 독특한 이점들을 또한 제공한다. 첫째, 제품 중심선에 대하여 컨테이너를 위치시켜서, 이 컨테이너에 저장된 용기의 위치 정밀성을 증가시킴으로써 공차 형성 (tolerance build-up) 이 최소화된다. 이러한 점이 로봇 장치를 사용하여 제품을 컨테이너로부터 효과적으로 삽입 및 제거하는 기능을 향상시킨다. 둘째, 컨테이너는 정전기에 의해 기인된 손상 이미지를 줄인다. 이러한 점이 바람직한 일실시예에서, 정적으로 분산된 (static dissipative) 내부 재품 지지부로부터 여러 가지 단편의 장비상에 위치시키도록 사용된 컨테이너의 외부 동역학 커플링 프레이트에 접지시키는 도전성 통로를 제공함으로써 달성된다. 셋째, 본 발명의 컨테이너는 분해하거나 또는 분해하지 않고서 웨트 세척 (wet-clean) 이 되도록 설계된다. 넷째, 본 발명의 컨테이너는 분리 캐리어를 요구하지 않는 일체적 설계를 가지기 때문에, 컨테이너는 특정한 다수의 제품과 결합될 수 있다. 이러한 결합이 공장내의 작업자가 트랙 (track) 을 더 많이 개선시키고, 따라서 처리 실수의 기회를 줄인다. 다섯째, 분리 카셋트의 필요성을 제거함으로써, 일체적 설계는 재고목록에 유지되는데 필요한 패키징 구성요소의 개수와 이들 구성요소가 차지하는 공간을 최소화한다. 여섯째, 일체적 설계는 이동식 카셋트를 컨테이너내에서 정확하게 위치시키고 이를 적소에 고정시킬 필요성을 제거한다. 끝으로, 일체적 설계는 보다 적은 부품을 이용하여 제조될 수 있기 때문에, 제조비용을 감소시킨다.
따라서, 본 발명의 목적은 미진이나 습기에 의한 오염에 대하여 보호를 제공하는 분리 컨테이너를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 충격이나 진동에 기인한 손상과, 컨테이너의 여러 가지 표면에 긁거나, 문질르거나 또는 충격을 주는 제품에 기인한 손상으로부터 안에 저장된 제품을 보호하는 컨테이너를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 재사용 가능하고 용이하게 청소되는 이러한 컨테이너를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 패키지의 내용물에 오염을 주는 미진의 발생이나 또는 마모에 민감하지 않는 내부구조를 갖는 이러한 컨테이너를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 자동 처리나 취급 장비와 연결하여 사용될 때에 매우 효과적인 이러한 컨테이너를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 사람들이 용이하게 취급, 조작 및 운반할 수 있는 구조를 제공하는데 있다.
상기 및 기타 목적은 제품을 삽입 및 제거하기 위한 출입구를 갖는 쉘과, 효과적으로 출입구를 밀봉하는 쉘과, 쉘내에서 제품을 확고하게 고정하여 서로를 이격시키도록 보유되는 복수의 제품 수용 구조와, 공장내에서 제품을 처리하는데 사용된 장비의 포트와 컨테이너를 배열시키는데 보조하는 동역학적 커플링 프레이트와, 수동으로 또는 로봇 수단을 통하여 선택적으로 사용될 수 있는 인간공학적으로 설계된 핸들을 포함하는 컨테이너를 제공함으로써 달성된다. 컨테이너내의 미진에 의해 오염을 줄이기 위하여, 제품 지지부는 고온 저항이고, 전도성인 재료로 제조된다. 제품 지지부는 상세히 후술되는 바와 같이, 컨테이너의 외부에 또한 접지된다. 컨테이너 전체는 제품에 제공된 지지와 보호를 최대화하고, 처리를 가장 쉽게 하며, 컨테이너의 높이와 무게를 가능한 어느 정도까지 줄이도록 구성된다.
본 발명의 보다 나은 이해는 도면과 연결하여 후술된 바람직한 실시예의 설명으로부터 돌출될 것이다. 이러한 설명과 도면들은 실리콘 웨이퍼용 미세공학에 특히 관련된 것이지만, 기술된 본 발명은 또한 다른 사용, 예컨대 포토마스크, 강체 메모리 디스크, 액정화면패널, 평면패널화면 등의 저장 및 사용에도 특히 적절한 것이다.
도 1 에 도시된 바와 같이, 본 발명의 컨테이너는 외부쉘 (10) 을 갖는다. 외부쉘 (10) 은 육 면 (12, 14, 16, 18, 20 및 22) 을 갖는다.
면 (12) 은 대향하는 한 쌍의 단부 (7) 와 한 쌍의 측부 (8) 를 갖는 도어 프레임 (6) 을 포함한다. 외부쉘 (10) 의 면 (14 및 16) 은 도어 프레임 (6) 의 대향하는 단부 (7) 에서 신장하는 직선 벽에 의해 일반적으로 한정된다. 벽 (18) 은 벽 (14 및 16) 사이로 신장하면서 부분적으로 원통형을 띤다. 벽 (18) 의 곡률반경은 컨테이너내에 저장될 웨이퍼의 곡률반경과 일반적으로 동일하다. 상부벽과 바닥벽 (20 및 22) 은 쉘을 완성한다. 벽 (20 및 22) 은 보통 평면 (24) 과, 이 평면 (24) 에서 외향으로 돌출하는 강화부재 (26) 를 일반적으로 갖는다. 강화부재 (26) 는 컨테이너와 특히 벽 (20 및 22) 의 와퍼즈 (warpage) 를 보호한다. 강화부재 (26) 는 4 개의 다리 (28, 30, 32 및 34) 를 갖는다. 유사한 형태로, 크로스 브레이스 (cross - brace) (33) 는 두 다리 (32) 사이에서 신장한다. 크로스 브레이스 (31 및 33) 는 벽 (18) 이 아래에 있도록 위치하는 경우 평면상에서 외부쉘 (10) 을 지지하도록 사용될 수 있다.
동역학 커플링 프레이트가 또한 도 1 에 도시되어 있다. 도 1 내지 도 5 및 도 8 내지 도 11 은 동역학 커플링 프레이트의 구조를 보다 상세히 도시하고 있다. 상기 프레이트는 복수의 마운팅 포스트 (42) (도 5 참조) 에 의해 벽 (20) 에 고정된다. 3 개의 독립 커플링 그루브 (groove) (44, 45 및 46) 가 동역학 커플링 프레이트 (40) 에 형성된다. 이들 그루브들은 처리장비 (도시되지 않음) 상의 포스트와 일치되도록 설계되어 출입구 (8) 를 처리장비상의 포트와 배열시킨다. 도 10 에 가장 잘 도시된 바와 같이, 그루브 (44, 45 및 46) 는 적절한 배열을 달성하기 위하여 처리방비의 배열포스트를 잡아서 센터채널 (47) 쪽으로 향하게 기능하는 좁고 깊은 센터채널 (47) 과, 넓고 덜 깊은 상부채널 (48) 을 포함하도록 Y 형이 된다. 처리장비 (도시되지 않음) 상의 세 개의 배열포스트는 그루브 (44, 45 및 46) 의 센터채널 (47) 과 합치할 때 적합한 배열이 된다.
동역학 커플링 프레이트 (40) 는 도전물질로 제조된다. 프레이트는 한 쌍의 나사수용부 (49) 를 포함하도록 또한 설계된다. 후술하는 바와 같이, 나사수용부 (49) 각각은 컨테이너 내부에 위치한 웨이퍼 지지부 (60) 에 동역학 커플링 프레이트 (40) 를 전기접속 시키도록 사용된 나사를 수용한다. 이런 전기접속이 통로를 만들어서 이 통로에 의해 웨이퍼 지지부가 웨이퍼 또는 웨이퍼 지지부상에 어떤 전기전하를 분산시키도록 접지될 수 있으며, 그 결과 정전기에 의해 발생된 웨이퍼에 대한 손상을 방지한다.
도 1 은 한 쌍의 핸들 (50) 을 또한 도시한다. 이 핸들들은 컨테이너의 중력 중심에 위치한다. 이들 핸들은 인간환경공학적으로 설계되어 이들이 사람 손에 의해 여러 가지 각도로 용이하게 잡히도록 한다. 핸들 (50) 의 설계는 핸들을 로봇 처리장비에 의해 효과적으로 잡히도록 허용한다.
보다 구체적으로는, 핸들 (50) 각각은 핸들 (50) 을 쉘 (10) 과 와이더 그립핑 부재 (52) 에 연결시키는 지지컬럼 (51) 을 포함한다. 그립핑 부재 (52) 는 사람 손으로 안락하게 잡힐 수 있도록 허용하는 외형을 가진다. 그립핑 부재 (52) 는 그 단부에 형성된 리세스 채널을 또한 갖는다. 채널 (53) 은 보통 직선이지만, 노치 (54) 를 포함한다. 채널 (53) 과 노치 (54) 는 로버트 팔의 그립핑 부재에 의해 맞물리도록 제공된다. 이와 같이 효과적이고 안정하게 사람 또는 로봇이 다루기 때문에, 컨테이너는 용이하게 설계된다.
도 3, 도 4 및 도 6 은 도 1 에 도시되지 않은 쉘 (10) 의 내부구조를 나타내고 있다. 예컨대, 도 3 과 도 4 는 13 개의 웨이퍼 (80) 를 지지하도록 협동하는 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 를 도시하고 있다. 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 는 모두 전기전도성이고 고온저항성인 재료로 제조된다. 도시된 바와 같이, 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 는 14 개의 웨이퍼 디바이더 (65) 를 각각 갖는다. 웨이퍼 단부 수용 채널 (66) 은 각각 한 쌍의 디바이더 (65) 사이에 형성된다. 웨이퍼 지지부 (60) 상의 채널은 도 3 및 도 4 에 도시된 바와 같이 웨이퍼 (80) 를 평행하게 이격하여 적재되도록 다른 웨이퍼 지지부 (62) 상의 채널과 협동한다. 당업자는 본 발명에 벗어나지 않고서 다수의 웨이퍼 (예컨대 25 개) 또는 소수의 웨이퍼 (예컨대 7 개) 를 수용하도록 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 가 개량될 수 있음을 이해하고 있다. 또한, 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 는 또한 웨이퍼와는 다른 것을 수용하거나 또는 크기가 서로 다른 웨이퍼를 수용하도록 크기를 가질 수 있다.
도면에 도시된 바람직한 실시예에 있어서, 채널 (66) 각각은 300 mm 웨이퍼를 수용하도록 특히 형성된다. 각 채널의 후면 (backside) 은 원주방향 (예컨대 웨이퍼 (80) 의 원주방향) 과 횡방향 (예컨대 웨이퍼 (80) 의 두께를 관통하는 방향) 으로 휜다. 채널 (66) 각각의 후면 곡률은 원주 및 횡방향으로 300 mm 웨이퍼 (80) 의 외측단으로서의 곡률반경과 거의 같다. 원주방향을 따라 동일한 곡률방경을 제공하려면 단지 한 지점 (point) 보다는 원호 (arc) 를 따라 채널의 후면과 웨이퍼 (80) 의 단부 사이에서 접촉을 발생하여야 한다.
웨이퍼 디바이더 (65) 를 도 17 에 도시된 바와 같은 형태로 하면 중요한 장점이 제공된다. 웨이퍼 디바이더는 중력이 캐리어 (carrier) 의 중간에서 웨이퍼 (80) 를 중심이 되도록 기여하기 위하여 연속적으로 변하는 경사를 갖는다. 이와 같은 형태의 웨이퍼 디바이더 (65) 를 구비하여, 웨이퍼는 단부 접촉이 보장되도록 한정된 경사를 갖는 웨이퍼 디바이더의 일부 위에 항상 놓인다. 또, 어떤 이유로 웨이퍼가 데드 센터 (dead center) 로부터 이탈하면, 타단이 낮아지는 것보다 더 빠르게 일단이 상승된다. 그래서, 웨이퍼가 수평운반되는 캐리어에 대하여, 중력이 사용되어 상기 지지부를 구비한 웨이퍼가 중심이 되도록 도와준다. 일단 중심이 이루어 지면, 웨이퍼의 수직위치는 정밀하게 제한된다. 캐리어가 한 지점에서 다음 지점으로 이동될 때, 약간의 진동수준도 캐리어내의 웨이퍼를 중심이 되도록 도와 줌으로써, 웨이퍼의 수평위치의 정밀성 뿐 아니라 수직위치 정밀성을 개선시킨다.
도 17 에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 설계의 부가적 이점은 웨이퍼가 주어진 지지 강도에 대하여 최저 가능 단면을 나타낸다는 데 있다. 웨이퍼가 캐리어에 삽입되고 캐리어로부터 이탈할 때 디바이더 (65) 는 웨이퍼 (80) 에 대한 간섭 면적을 형성한다. 디바이더와 충돌하여 미진이 발생되는 웨이퍼 (80) 의 기회가 적기 때문에 얇은 디바이더가 바람직하다. 한편, 디바이더 (65) 는 웨이퍼 (80) 를 지지하고 컨테이너의 수명 동안의 변형을 회피할 만큼 충분히 두꺼워야 한다. 이와 같은 상충적인 요건에 비추어, 디바이더 설계는 도 17 에 도시된 바와 같이, 연속적으로 변하는 각도를 갖는다.
바람직한 실시예에 있어서, 한 쌍의 나사 (64) 가 제공되다. 나사 (64) 중 하나는 웨이퍼 지지부 (60) 와 도전성 동역학 커플링 프레이트 (40) 사이의 도전성 통로를 형성하도록 사용된다. 다른 하나의 나사 (64) 는 웨이퍼 지지부 (62) 와 동역학 커플링 프레이트 (40) 사이의 도전성 통로를 형성하도록 사용된다. 이와 같은 배열이 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 가 어떤 전하를 갖지 않도록 웨이퍼 지지부 (60) 를 나사 (64) 와 동역학 커플링 프레이트 (40) 를 통하여 접지하는 이점을 제공한다. 쉘 (10) 의 벽은 접지되지 않으면서, 미진들이 웨이퍼에 손상을 끼치지 않는 컨테이너의 벽에 대하여 이 미진들을 이동 및 부착시키도록 하는 약한 음전하를 갖는다. 나사 (64) 가 외부쉘 (10) 에 접지되지 않도록, 나사 (64) 가 쉘을 통하여 절연물로 통과하도록 보어를 쉘 (10) 내에 배열시키는 것이 바람직할 수 있다.
쉘 (10) 의 출입구 (8) 를 닫기 위하여, 도어 (90) 가 제공된다. 도어 (90) 는 도어 프레임 (6) 내에 설치되도록 형성되어 크기를 갖는다. 도어가 놓일 때에, 도어는 컨테이너를 밀봉하도록 도어 프레임 (6) 에 맞물린다. 또한, 도어 프레임 (6) 의 외단부는 반도체 웨이퍼 (80) 를 처리하도록 사용된 공구의 포트 (port) 와 도어 프레임 (6) 사이의 출입구 (8) 주위를 밀봉하기 위해 사용될 수 있다. 이와 같은 밀봉이 도어 (90) 가 개방되기 전에 발생된다면 오염의 위험은 줄어든다. 이와 같은 밀봉이 발생되면, 웨이퍼 (80) 가 쉘 (10) 에서 포트를 통해 실질적인 오염의 위험 없이 처리용 공구 쪽으로 후퇴될 수 있도록 도어 (90) 는 안전하게 개방될 수 있다. 전형적으로, 닫힌 위치에서 도어를 잡는 복수의 래치 (도시되지 않음) 가 제공될 것이다. 또, 가요성 가스켓이나 링이 도어 (90) 와 프레임 (6) 사이에 제공될 수 있어 도어 (90) 와 프레임 (6) 사이의 완벽한 밀봉을 보장하도록 제공될 수 있다.
도어 (90) 에는 웨이퍼 쿠숀 (92) 이 제공될 수 있다. 도 16 에 도시된 바와 같이, 쿠숀 (92) 은 한 쌍의 강체 레일 (93 및 94) 과 변형 가능한 복수의 횡부 (95) 를 갖는다. 13 개의 변형 가능한 횡부 (95) 는 도 16 에 도시되어 있다. 각각의 횡부 (95) 는 한 쌍의 디바이더 (96) 를 가진다. 각각의 디바이더 (96) 는 강체 레일 (93) 상의 디바이더 (97) 와, 강체 레일 (94) 상의 디바이더 (98) 와 배열된다. 따라서, 도어 (90) 가 닫히면, 웨이퍼 (80) 는 디바이더 (96, 97 및 98) 에 의해 형성된 채널과 맞물린다. 횡부 (95) 는 웨이퍼 (80) 의 단부가 강체 레일 (93 및 94) 과 또한 맞물릴 때까지 변형하게 된다. 웨이퍼 (80) 가 운반시 진동을 하더라도, 쿠숀 (92) 에 의한 접촉 및 지지는 변형 가능한 횡부 (95) 때문에 기능을 잃지 않는다.
도어 (90) 상에 이와 같은 웨이퍼 쿠숀 (92) 의 함유는 웨이퍼 (80) 에 대하여 세 개의 지지 영역을 만들기 때문에, 운반시 웨이퍼 (80) 의 이동과 진동을 줄이도록 한다. 세 영역에서의 웨이퍼 (80) 지지가 컨테이너내의 긁힘, 문질러짐 또는 충격 표면에 기인한 웨이퍼의 손상을 줄인다. 이런 지지는 이와 같은 긁힘, 문질러짐 또는 충격에 기인한 미진의 발생을 또한 제한한다. 끝으로, 또 다른 표면에 도어 (90) 를 동역학적으로 연결시키기 위하여, 외부 도어상에 수단이 제공될 수 있다. 이 수단은 표면상의 돌출부와 합치하는 동역학적 커플링 프레이트 (40) 또는 표면상의 그루브와 합치하는 도어 (90) 상의 세 돌출부에 도시된 것과 유사한 일련의 세 그루브 (도시되지 않음) 일 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 본 발명을 설명하고 기술하였지만, 본 발명은 액정화면, 평면 패널 화면, 포토마스크, 강체 메모리 디스크, 기판 등등의 운반 및 저장과 연관하여 또한 사용될 수 있다. 또한, 본 발명의 여러 가지 구성요소는 이 구성요소들이 컨테이너의 수명을 초과하여 제거 및 교체 가능하도록 구성될 수 있다. 이러한 구성은 컨테이너에 포함된 기타 제품에 이상적으로 적절한 지지부 또는 쿠숀으로 제거되어 교체될 수 있는 웨이퍼 지지부 (60 및 62) 와 웨이퍼 쿠숀 (92) 과 거의 같다. 그러므로, 여기에 제공된 기술 및 내용은 제한되도록 의도한 것이 아니며 여러 가지 정정이 본 발명의 범위와 이하 후술되는 청구항의 범위내에서 행해질 수 있음은 당연하다.

Claims (22)

  1. 안에 저장된 제품이 손상되지 않도록 방지하는 미세환경 발생 컨테이너에 있어서, 상기 컨테이너는,
    (a) 제품을 삽입 및 제거하기 위한 출입구를 가지면서, 약한 음전하를 고유적으로 소유하는 재료로 제조된 쉘과,
    (b) 서로가 평행하게 이격한 위치에서 컨테이너내에 저장된 복수의 제품을 수용하도록 협동하는 한 쌍의 지지부와,
    (c) 상기 쉘에 저장된 상기 제품의 오염을 방지하도록 상기 쉘의 상기 출입구를 밀봉하는 도어와,
    (d) 상기 쉘내의 미진들이 상기 제품과 지지부로부터 상기 컨테이너의 상기 쉘 쪽으로 추출되도록 상기 지지부가 전기통로를 통하여 접지되는 전기통로 발생 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 컨테이너에 저장된 상기 제품은 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 컨테이너의 중력중심의 반대측면에 위치한 한 쌍의 핸들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 핸들 각각은 핸들이 로봇에 의해 확고하게 잡힐 수 있도록 배열 노치를 포함한 그루브를 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  5. 제 1 항에 있어서, 복수의 포스트에 의해 상기 쉘의 외부에 고정되며, 보통 Y 형상의 단면을 갖는 상기 배열 그루브들 중에서 세 개의 배열 그루브를 구비한 동역학 커플링 프레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 컨테이너의 도어가 개방되어 웨이퍼가 상기 쉘에서 포트를 통해 처리용 공구 쪽으로 후퇴하기 전에 쉘의 출입구와 공구의 포트 주위에 밀봉이 발생되도록 반도체 웨이퍼를 처리하는데 사용된 공구의 포트와, 컨테이너 도어를 배열하기 위해 상기 동역학 커플링 프레이트의 상기 배열 그루브가 사용되는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  7. 제 1 항에 있어서, 전기 전도성 재료로 제조되며, 상기 쉘의 외부에 고정된 동역학 커플링 프레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 지지부가 접지되는 상기 전기통로 발생 수단은 각각의 상기 지지부와 상기 동역학 커플링 프레이트 사이에서 전기 전도성 접속부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 도어는 그 외부상에서 상기 도어를 또 다른 표면에 연결시키는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 지지부 각각은 청소 또는 교환하기 위해 제거될 수 있도록 상기 쉘에 이탈 가능하게 고정되는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  11. 제 2 항에 있어서, 상기 지지부는 복수의 채널을 가지며, 채널 각각은 원주방향으로 휜 후면을 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  12. 제 11 항에 있어서, 원주방향으로의 상기 채널의 후면의 곡률반경은 상기 웨이퍼의 원주방향에 있어서의 곡률반경과 일반적으로 동일한 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  13. 제 2 항에 있어서, 상기 한 쌍의 지지부 각각은 웨이퍼 디바이더를 포함하고, 상기 웨이퍼 디바이더 각각은 지지부들이 상기 반도체 웨이퍼 중 하나를 돕도록 연속적으로 변하는 경사를 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  14. 안에 저장된 제품이 손상되지 않도록 방지하는 미세환경 발생 컨테이너에 있어서, 상기 컨테이너는,
    (a) 제품을 삽입 및 제거하기 위한 출입구를 갖는 쉘과,
    (b) 서로가 평행하게 이격한 위치에서 컨테이너내에 저장된 복수의 제품을 수용하도록 협동하고, 또한 적어도 일부가 원주방향으로 휜 후면을 각각 갖는 복수의 채널을 각각 구비한 한 쌍의 지지부와,
    (c) 상기 쉘에 저장된 상기 제품의 오염을 방지하도록 상기 쉘의 상기 출입구를 밀봉하는 도어를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 채널 각각의 후면의 휜 부위는 저장된 제품의 원주방향에 있어서의 곡률반경과 일반적으로 동일한 원주방향에 있어서의 곡률반경을 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 지지부는 상게 쉘에 이탈 가능하게 고정되는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  17. 제 14 항에 있어서, 상기 쉘내의 미진이 상기 제품과 상기 지지부로부터 상기 컨테이너의 상기 쉘 쪽으로 추출되도록 상기 지지부가 전기통로를 통하여 전기접속되는 전기통로를 제공하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  18. 제 14 항에 있어서, 상기 컨테이너를 또 다른 표면과 동역학적으로 연결시키기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 컨테이너를 상기 표면에 동역학적으로 연결시키기 위한 상기 수단은 상기 표면상의 분리한 돌출부와 각각 합치되는 상기 컨테이너상에 세 개 이상의 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  20. 제 18 항에 있어서, 상기 컨테이너를 상기 표면에 동역학적으로 연결시키기 위한 상기 수단은 상기 표면상의 분리한 돌출부와 각각 합치하는 상기 컨테이너상에 세 개 이상의 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  21. 제 14 항에 있어서, 상기 도어는 그 내면상에서, 운반시 컨테이너내에 저장된 제품의 이동과 진동을 감소시키도록 상기 한 쌍의 지지부를 보조하는 쿠숀을 갖는 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
  22. 제 14 항에 있어서, 상기 한 쌍의 지지부 각각은 복수의 디바이더를 가지며, 각각의 디바이더는 지지부 웨이퍼를 돕도록 연속적으로 변하는 경사를 구비한 형상인 것을 특징으로 하는 미세환경 발생 용기.
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