JPH11513347A - 側部に開閉部を備える３００ｍｍ微小環境ポッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 微小環境を形成するための容器を開示する。容器は、シェル（１０）と、開閉部（９０）と、平行に離間した関係においてシリコンウエハ（８０）のような対象物を固定的に保持するために使用される独特の設計による複数の支持体（６０）とを備える。支持体は取り外し可能である。支持体を接地するために電気的な経路が設けられる。また、表面上に容器を配置するために、動的結合構造体（４４〜４６）が設けられ、これにより、例えば、ウエハ処理用具のポートに対して開閉部が適切に整列配置される。

Description

【発明の詳細な説明】 側部に開閉部を備える３００ｍｍ微小環境ポッド 発明の背景 Ｉ．発明の分野 本発明は、一般に、対象物のためのパッケージに関する。さらに詳しくは、本 発明は、電子半導体部品および回路の製造において使用される、汚染物質からの 隔離を行うように特に設計されたパッケージに関する。この種のパッケージは、 基板、ウエハ、記憶ディスク、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、液 晶ディスプレイ等のために特に良く適合するものである。 ＩＩ．従来技術の説明 １つの場所から他の場所へと対象物を輸送するために、種々の容器が数世紀に 渡って使用されてきた。この種の容器は、例えば、効率的な保存のために対象物 を所定の空間内に閉じ込める手段を提供すべく使用されている。また、この種の 容器によって、対象物を取り扱う容易な手段も提供される。パッケージおよび容 器によって提供される他の重要な機能は保護である。 半導体回路、剛性の記憶ディスク、フォトマスク、液晶ディスプレイ、および フラットパネルディスプレイの製造に使用される基板は、極めて感受性の高いも のであり得る。湿分、粒子、静電気等による損傷からこのような対象物を保護す るためには、有効な処置がとられなければならない。パッケージ内の振動および 衝撃により生ずる損傷から物品を保護するためにも、所定の処置をとらなければ ならない。同様に、パッケージ内に保存された対象物が、パッケージ内で種々の 表面に対して磨滅、摩耗、または衝突を受けた場合に生じ得るガス放出および微 粒子の生成を阻止するために、所定の処置がとられなければならない。 このような問題の組合せにより、適切なパッケージを設計することは極めて困 難となっている。このような問題は、この種のパッケージが典型的に使用される 環境によって一層悪化するばかりである。 ウエハ、記憶ディスク、フォトマスク、液晶ディスプレイパネル、およびフラ ットパネルディスプレイの保存および輸送に関連して使用するための適切なパッ ケージは、極めて高価となる傾向がある。この種のパッケージは、再使用が可能 であり、耐久性のある構成を有することが極めて望ましい。また、この種のパッ ケージは、容易かつ完全に浄化することができるものでなければならない。最後 に、半導体の製造に関連してパッケージを使用する場合は、ロボット化された取 扱いおよび自動化された製造設備を用いての使用に容易に適合するものでなけれ ばならない。 エムパック社（Empak，Inc．）は、過去において、この種の対象物の処理およ び輸送に使用するための適切なパッケージを多数作製してきた。この種のパッケ ージの例は、米国特許第5,273,159 号および第5,423,422 号に示されている。こ のようなパッケージの設計は、比較的小さい対象物に関しては極めて効果的であ ることが示されているが、この設計は、種々の理由のために、３００ｍｍ以上の 範囲の外側寸法を有する対象物の保存および輸送のためには適切ではない。 発明の要旨 ウエハ、フォトマスク、記憶ディスク、液晶ディスプレイパネル、およびフラ ットパネルディスプレイと共に使用するために適切な容器は、幾つかの重要な設 計評価基準に合致する必要がある。これらは、手動による取扱い手順およびロボ ット化された取扱い手順を容易にするために軽量でなければならない。保存スペ ースに対する要求を低減すると共に保存密度を上げるために、容器の内部容積は 最小とすべきである。容器の改良された積層を可能とするために、容器の高さを 最小にする必要がある。無機および有機汚染物質並びに重合体のガス放出による 否定的な影響を低減するために、輸送および保存の際に対象物を囲繞する重合体 表面領域の大きさは最小とすべきである。 本発明に従って構成される容器は、前記した設計評価基準に合致するものであ る。このような容器は、幾つかの他の独特な利点も提供する。第１に、対象物の 中心線に関して容器を配置することにより、許容量の重ね合わせが最小となり、 これにより、この種の容器に保存される対象物の位置的正確性が増加する。これ により、ロボット装置を使用して、容器に対して対象物を効果的に挿入し取り出 すことが促進される。第２に、この容器は、静電気によって生ずる損傷の危険性 を低減するものである。これは、１つの好適な態様では、静電気散逸性の内部対 象物支持体から、種々のものによる装置の上に容器を位置決めするために使用さ れる容器の外部動的結合板へと、接地を行うための導電性の経路を設けることに よって達成される。第３に、本発明の容器は、分解して、または分解を伴うこと なく湿式浄化されるように設計されている。第４に、本発明の容器は、別の運搬 体を必要としない一体化された設計を有し得ることから、この容器は、特定のロ ットの対象物に対して随伴した状態を維持することができる。これにより工場の 作業者がロットをより良好に追跡することが可能となり、したがって、処理エラ ーが生ずる機会が減少する。第５に、一体化された設計は、別のカセットに対す る必要性を除去したことにより、この種の部品が占有する在庫場やスペースに蓄 えておく必要のあるパッケージ部品の数を最小とするものである。第６に、一体 化された設計により、取り外し可能なカセットを容器内に正確に位置決めしてこ れを所定の場所にロックする必要性が除去される。最後に、一体化された設計は 、より少なくより小型の部品を使用して製造を行うことができ、これにより製造 コストが低減される。 したがって、本発明の目的は、粒子または湿分による汚染に対する保護を与え 得る隔離容器を提供することにある。 本発明の他の目的は、衝撃および振動による損傷から、および容器の種々の表 面に対して対象物が磨滅、摩耗、または衝突することによる損傷から、内部に保 存された対象物を保護する容器を提供することにある。 本発明の更なる目的は、再使用可能で容易に浄化されるような容器を提供する ことにある。 本発明のさらに他の目的は、パッケージの内容物を汚染し得る粒子の発生また は摩耗を受け難い内部構造を有するような容器を提供することにある。 本発明のさらに他の目的は、自動化された処理または取扱い装置と組み合わせ て使用する際に極めて有効であるような容器を提供することにある。 本発明のさらに他の目的は、人間によって容易に取り扱われ、操作され、持ち 運ばれることの可能な構造体を提供することにある。 これらの目的および他の目的は、本発明の容器を提供することによって達成さ れ、この容器は、対象物の挿入および取り出しのための開口部を備えるシェルと 、開口部を有効に封止するよう設計された開閉部と、対象物を固定的に維持する と共にこれらを互いに離間した関係で保持する、シェル内の複数の対象物保持構 造体と、工場内で対象物を処理するのに使用される装置のポートに対して容器を 整列させる際に助成を行う動的結合板（kinematic coupler plate ）と、手動に よりまたはロボット手段を介して有効に使用することのできる人間工学的に（er gonomically ）設計されたハンドルとを有する。容器の内部における粒子による 汚染を低減するために、対象物支持体は、高温抵抗性で導電性の材料により作製 される。また、対象物支持体は、後に詳細に説明するように、容器の外部に対し て接地されている。容器全体は、対象物に対して与えられる支持および保護を最 大とし、取扱いの容易性を最大とし、容器の高さおよび重量を可能な限り低減す るような構造とされている。 本発明のより良い理解は、図面と併せて以下に記載する好適な態様の説明を読 むことによって得られよう。説明および図面は、特にシリコンウエハのための微 小環境ポッド（pod ）に関するものであるが、記載する発明は、他の用途、例え ば、フォトマスク、剛性の記憶ディスク、液晶ディスプレイパネル、フラットパ ネルディスプレイ等の保存および輸送のためにも良好に適合するものである。 図面の簡単な説明 図１は、本発明に従って作製された容器シェルの斜視図である。 図２は、容器シェルの頂部平面図である。 図３は、図２の線Ａ−Ａによる容器の断面図である。 図４は、図２の線Ｂ−Ｂによる容器の断面図である。 図５は、本発明を組み込んだ容器の側面図である。 図６は、図５の線Ｃ−Ｃによる容器の断面図である。 図７は、開閉部とは反対側から見た容器を示す図である。 図８は、動的結合板を示す図である。 図９は、図８の線Ｄ−Ｄによる動的結合板の断面図である。 図１０は、図８の線Ｅ−Ｅによる動的結合板の断面図である。 図１１は、図８の線Ｆ−Ｆによる動的結合板の断面図である。 図１２は、この設計において使用される人間工学的に設計されたハンドルの１ つの斜視図である。 図１３は、ハンドルの端面図である。 図１４は、図１３の線Ｇ−Ｇによるハンドルの断面図である。 図１５は、容器のシェルに対して閉止した位置にある容器の開閉部の平面図で ある。 図１６は、保存および輸送の際に、支持を助成すると共に容器内に保存された 対象物を適切な位置に保持するために開閉部の内側表面に取り付けることのでき るクッションの斜視図である。 図１７は、２つの対向する仕切り板およびウエハを示す断面図である。 好適な態様の説明 図１に示すように、本発明の容器は外部シェル１０を有する。外部シェル１０ は、６つの側部１２、１４、１６、１８、２０、２２を有する。 側部１２は、一対の対向する端部部分７と一対の側部部分８とを有する開閉部 フレーム６を備える。外部シェル１０の側部１４、１６は、開閉部フレーム６の 対向する端部部分７から延在する直線的な壁部によって全体的に画成されている 。壁部１８は、壁部１４、１６の間に延在し、部分的に円筒形の形状である。壁 部１８の曲率半径は、一般に、容器内に保存されるウエハの曲率関係と同一であ る。頂部および底部壁部２０、２２によりシェルが完結する。壁部２０、２２は 、概して平坦な表面２４と、平坦な表面２４から外方に突出する強化部材２６と を有する。強化部材２６により、容器および特に壁部２０、２２の撓みが阻止さ れる。強化部材２６は、４つの脚部２８、３０、３２、３４を有する。２つの脚 部３０の間で壁部１８を横切って延在するのは、クロスブレース３１である。同 様の様式で、クロスブレース３３が２つの脚部３２の間に延在してる。クロスブ レース３１、３３を使用して、壁部１８が下になるように配置された場合に、外 部シェル１０を平坦な表面上に支持することができる。 図１には、動的結合板４０も示されている。図１乃至図５および図８乃至図１ １は、動的結合板の構造をさらに詳細に示すものである。この板は、複数の取付 ポスト４２によって壁部２０に固定されている（図５参照）。３つの別々の結合 溝部４４、４５、４６が、動的結合板４０に形成されている。これらの溝部は、 処理装置（図示せず）のポストと対合して、接近用開口部８と処理装置のポート とを整列させるように設計されている。図１０に最も良く示されているように、 溝部４４、４５、４６は、Ｙ字状の形状であり、狭くて比較的深い中心溝部４７ と、比較的広いがそれ程深くない上部溝部４８とを備え、これは、処理装置の整 列用ポストを捕獲して中心溝部４７へと指向させて適切な整列配置を達成するよ うに作用する。処理装置（図示せず）の３つの整列ポストが、溝部４４、４５、 ４６の中心溝部４７と対合した場合に、適切な整列配置に帰着する。 動的結合板４０は、導電性の材料により作製されている。また、一対のねじ受 容部材４９を備えるようにも設計されている。以下に説明するように、それぞれ の部材４９は、容器の内部に配置されたウエハ支持体６０に対して動的結合板４ ０を電気的に結合させるために使用されるねじを受容する。この電気的結合によ り、ウエハまたはウエハ支持体上のあらゆる電気的荷電を散逸させるためにウエ ハ支持体を接地することのできる経路が形成され、このようにして、静電気によ って生ずるウエハに対する損傷が阻止される。 また、図１には一対のハンドル５０も示されている。これらのハンドルは、容 器の重心に配置されている。これらのハンドルは、人間の手によって種々の角度 から容易に把持できるように人間工学的に設計されている。ハンドル５０のこの 設計により、これらをロボットによる取扱い装置によって効果的に把持すること が可能となる。 さらに詳しくは、それぞれのハンドル５０は、ハンドル５０とシェル１０とを 接合させる支持柱体５１と、比較的広いグリップ部材５２とを備える。グリップ 部材５２は、人間の手によって楽々と把持することが可能な外部形状を有する。 また、グリップ部材５２は、その端部に形成された凹部を有する溝部を有する。 溝部５３は、概して直線的であるが、切欠き５４を備えている。溝部５３および 切欠き５４は、ロボットアームのグリップ部材によって係合を行うために設けら れている。このように、容器は、人間またはロボットによる容易かつ効率的で安 全な取扱いのために設計されている。 図３、図４、および図６は、図１には示されていないシェル１０の幾つかの内 部構造を示す。例えば、図３および図４は、１３枚のウエハ８０を保持するため に共働するウエハ支持体６０、６２を示す。典型的には、１２枚のウエハ８０が 製品ウエハであり、１枚がテストウエハである。ウエハ支持体６０、６２は、全 て電気的に導電性で高温に対して抵抗性の材料により作製されている。図示する ように、ウエハ支持体６０、６２のそれぞれは、１４個のウエハ仕切り板６５を 有する。ウエハの縁部を受容する溝部６６が、それぞれの対の仕切り板６５の間 に形成されている。ウエハ支持体６０の溝部は、ウエハ支持体６２の溝部と共働 して、図３および４に示すように、平行で離間した構成においてウエハ８０を保 持する。当業者であれば、ウエハ支持体６０、６２は、本発明から逸脱すること なく、より多くのウエハ（例えば、２５枚）またはより少ないウエハ（例えば、 ７枚）を保持するように改変することができることが理解されよう。同様に、ウ エハ支持体６０、６２は、ウエハ以外のものを保持するように、または異なる大 きさのウエハを保持するような寸法とすることもできる。 図面に示す好適な態様では、それぞれの溝部６６は、特に３００ｍｍのウエハ を保持するように形成されている。それぞれの溝部の後側部は、円周方向（例え ば、ウエハ８０の円周の方向）および横断方向（例えば、ウエハ８０の厚さを横 切る方向）に湾曲している。それぞれの溝部６６の後側部の曲率は、円周方向お よび横断方向の両者において、３００ｍｍのウエハ８０の外側縁部と略同一の曲 率半径である。円周方向に沿う同一の曲率半径とすることにより、単なる点にお けるものとしてではなく、円弧に沿ったものとして、溝部の後側部とウエハ８０ の縁部との間の接触が与えられる。 ウエハ仕切り板６５を図１７に示すような形状とすることにより、有意義な利 点が与えられる。ウエハ仕切り板は、運搬体の中央においてウエハ８０を中心に 置くように重力によって助成されるように、連続的に変化するスロープを有する 。この様式のウエハ仕切り板６５を用いた場合、ウエハは、限定されたスロープ を有するウエハ仕切り板の一部の上に常に載置され、これにより縁部による接触 が保証される。さらに、何らかの理由により、ウエハが移動して死点から外れた 場合、一方の縁部が、他方の縁部が下降するより速く上昇する。よって、ウエハ が水平に輸送される運搬体に対しては、重力を使用して、この支持体によりウエ ハが中心に置かれるように助成することができる。一旦中心に置かれたならば、 ウエハの縦方向の配置が精密に特定される。運搬体が１つの位置から次へと移動 するにつれて、低レベルの振動により、運搬体においてウエハが中心に置かれる よう助成が行われ、これによりウエハの水平位置精度並びに垂直位置精度が改善 される。 このウエハの設計の更なる利点は、図１７に示すように、与えられた支持強度 について最も低い可能な断面が与えられることにある。仕切り板６５は、運搬体 に対して挿入および取り出しが行われる際に、ウエハ８０のために干渉領域を与 えるものである。ウエハ８０が、仕切り板と当接して粒子の発生を生ずる機会が 少ないことから、薄い仕切り板が好適である。一方、仕切り板６５は、ウエハ８ ０を支持し、容器の寿命に渡って歪みを回避するのに十分厚いものでなければな らない。これらの相容れない要件に照らして、仕切り板は、図１７に示すように 、連続的に変化する角度を有する設計とする。 好適な態様では、一対のねじ６４を設ける。ねじ６４の一方は、ウエハ支持体 ６０と導電性の動的結合板４０との間の導電性の経路を形成するために使用され る。ねじ６４の他方は、ウエハ支持体６２と動的結合板４０との間の導電性の経 路を設けるために使用する。この構成により、ねじ６４および動的結合板４０を 介して、ウエハ支持体６０、６２が接地されるという利点が与えられ、これによ り、ウエハ支持体６０、６２が電気的荷電を有することがなくなる。シェル１０ の壁部は接地されておらず、僅かに負の荷電を有しており、これにより容器内の 粒子が、これらがウエハに対して損傷を与え得ない容器の壁部へと移行して付着 する。ねじ６４が外部シェル１０を接地させることのないように、シェル１０内 に穴部を設け、これを介して絶縁性の材料によりねじ６４を通過させるようにす るのも望ましい。 シェル１０の接近用の開口部８を閉止するために、開閉部９０を設ける。開閉 部９０は、開閉をフレーム６内に嵌合するような形状および寸法とされている。 載置した場合に、開閉部は、開閉部フレーム６と係合して容器を封止する。同様 に、開閉部フレーム６の外側縁部を使用して、開閉部フレーム６と半導体ウエハ ８０を処理するために使用される用具のポートとの間で、接近用開口部８の周り に封止体を形成することができる。開閉部９０が開放される前にこのような封止 体が形成されていれば、汚染の危険性が低減される。このような封止体が形成さ れた場合、開閉部９０を安全に開放することができ、これにより、汚染の危険性 を実質的に伴うことなく、ポートを介して処理のための用具へと、シェル１０か らウエハ８０を抜き取ることができる。典型的には、閉止位置において開閉部を 保持するために複数のラッチ（図示せず）を設ける。また、開閉部９０とフレー ム６との間に可撓性のガスケットまたはリングを設け、開閉部９０とフレーム６ との間の完全な封止を確実にすることができる。 開閉部９０には、ウエハクッション９２を設けることができる。図１６に示す ように、クッション９２は、一対の剛性のレール９３、９４と、複数の変形可能 なクロス部材９５とを有する。図１６には、１３個の変形可能なクロス部材９５ が示されている。それぞれのクロス部材９５は、一対の仕切り板９６を有する。 それぞれの仕切り板９６は、剛性のレール９３上の仕切り板９７および剛性のレ ール９４上の仕切り板９８に対して整列配置されている。よって、開閉部９０が 閉止される際に、ウエハ８０は、仕切り板９６、９７、９８によって形成される 溝部に係合する。また、クロス部材９５は、ウエハ８０の縁部が同様に剛性のレ ール９３、９４に係合するまで変形する。輸送の際にウエハ８０が衝撃を受けた としても、変形可能なクロス部材９５のために、クッション９２による接触およ び支持が失われることはない。 このようなウエハクッション９２を開閉部９０に組み込むことにより、ウエハ ８０のための３つの支持領域が形成され、これにより、輸送の際のウエハ８０の 移動および振動が低減される。ウエハ８０を３つの領域において支持することに より、容器内における表面に対する磨滅、摩耗、または衝突によるウエハへの損 傷が低減される。また、このような磨滅、摩耗、または衝突による粒子の生成も 制限される。最後に、開閉部９０を他の表面に対して動的に結合させるための手 段を、外側開閉部に設けることができる。これは、表面の突起と対合する動的結 合板４０において示したものと同様の一連の３つの溝部（図示せず）、または表 面の溝部と対合する開閉部９０上の３つの突起とすることができる。 好適な態様を参照して本発明を例示して説明したが、本発明は、液晶ディスプ レイ、フラットパネルディスプレイ、フォトマスク、剛性の記憶ディスク、基板 等の輸送および保存に関しても使用することができる。また、本発明の種々の構 成部材は、容器の寿命を延長させるために、取外し可能かつ取替え可能なように 構成することができる。このことは、容器内に保持されるべき他の対象物のため に、より理想的に適合した支持体またはクッションにより、取外しおよび取替え 可能とすることのできるウエハ支持体６０、６２およびウエハクッション９２に ついて特に当てはまる。したがって、ここに示した例示および説明は、限定され ることを意図するものではなく、この発明の範囲および記載する特許請求の範囲 内で様々な改変を行い得ることを理解すべきである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギャラガー、ガリー アメリカ合衆国、コロラド州 80906 コ ロラドスプリングス、オータム リッジ サークル 440エフ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．内部に保存された対象物を損傷から保護する微小環境を形成するための容 器であって、 （ａ）シェルに対して対象物を挿入し取り出すための開口部を有するシェルで あって、僅かに負の電気的荷電を固有に有する材料により作製された前記シェル と、 （ｂ）互いに平行に離間した位置で容器内に保存された複数の対象物を保持す るように共働する一対の支持体と、 （ｃ）前記シェルに保存された対象物の汚染を阻止するために前記シェルの前 記開口部を封止する開閉部と、 （ｄ）シェル内の粒子が、前記容器のシェルに向かって前記対象物および支持 体から吸引除去されるように、この種の支持体が接地される電気的な経路を形成 する手段と を備えることを特徴とする容器。 ２．請求項１記載の容器において、容器内に保存される前記対象物が半導体ウ エハであることを特徴とする容器。 ３．請求項１記載の容器において、容器の重心の対向側部に配置された一対の ハンドルをさらに備えることを特徴とする容器。 ４．請求項３記載の容器において、前記ハンドルのそれぞれが、ロボットによ ってハンドルが確実に把持され得るように、整列用の切欠きを備える溝部を有す ることを特徴とする容器。 ５．請求項１記載の容器において、複数のポストによって前記シェルの外側に 固定された動的結合板をさらに備え、前記動的結合板は、３つの整列用溝部を有 し、前記整列用溝部のそれぞれは、概してＹ字状の形状の断面を有することを特 徴とする容器。 ６．請求項５記載の容器において、前記動的結合板の前記整列用溝部は、半導 体ウエハを処理するために使用される用具のポートに対して容器開閉部を整列配 置するために使用され、これにより、容器の開閉部が開放され、ウエハが処理の ために用具へとポートを介してシェルから抜き取られる前に、シェルの開口部お よび用具のポートの周りに封止体が形成されることを特徴とする容器。 ７．請求項１記載の容器において、シェルの外側に固定された動的結合板をさ らに備え、前記動的結合板は、電気的に導電性の材料により作製されていること を特徴とする容器。 ８．請求項７記載の容器において、支持体が接地される電気的経路を形成する ための前記手段が、前記支持体のそれぞれと前記動的結合板との間の電気的に導 電性の接続体を備えることを特徴とする容器。 ９．請求項１記載の容器において、前記開閉部が、その外側表面において前記 開閉部を他の表面に結合させるための手段を備えることを特徴とする容器。 １０．請求項１記載の容器において、前記支持体のそれぞれは、シェルに対し て離脱可能に固定されており、これにより、浄化または取り替えのためにこの種 の支持体を取り外すことができることを特徴とする容器。 １１．請求項２記載の容器において、前記支持体が複数の溝部を有し、前記溝 部のそれぞれが、円周方向に湾曲した後側部を有することを特徴とする容器。 １２．請求項１１記載の容器において、円周方向における前記溝部の後側部の 曲率半径が、前記ウエハの円周方向における曲率半径と同一であることを特徴と する容器。 １３．請求項２記載の容器において、前記それぞれの対の支持体が、複数のウ エハ仕切り板を備え、前記ウエハ仕切り板のそれぞれが、前記半導体ウエハの１ つの支持を助成する、連続的に変化するスロープを有することを特徴とする容器 。 １４．内部に保存された対象物を損傷から保護する微小環境を形成するための 容器であって、 （ａ）前記シェルに対して対象物を挿入し取り出すための開口部を有するシェ ルと、 （ｂ）互いに平行に離間して容器内に保存された複数の対象物を保持するよう に共働する一対の支持体であって、前記支持体のそれぞれが複数の溝部を有し、 前記溝部のそれぞれが後側部を有し、少なくともその一部分が円周方向に湾曲し た一対の支持体と、 （ｃ）前記シェルに保存された対象物の汚染を阻止するために前記シェルの前 記開口部を封止する開閉部と を有することを特徴とする容器。 １５．請求項１４記載の容器において、それぞれの溝部の後側部の湾曲した部 分が、保存される対象物の円周方向における曲率半径と概して同一である、円周 方向の曲率半径を有することを特徴とする容器。 １６．請求項１４記載の容器において、前記支持体が、前記シェルに離脱可能 に固定されていることを特徴とする容器。 １７．請求項１４記載の容器において、前記支持体が電気的に接地される電気 的経路を設けるための手段をさらに備え、これによりシェル内の粒子が、前記容 器のシェルに向かって前記対象物および支持体から吸引除去されることを特徴と する容器。 １８．請求項１４記載の容器において、前記容器を他の表面に動的に結合させ るための手段をさらに備えることを特徴とする容器。 １９．請求項１８記載の容器において、前記容器を前記表面に動的に結合させ るための手段が、それぞれが前記表面上の別々の突起に対合する、前記容器上の 少なくとも３つの溝部を備えることを特徴とする容器。 ２０．請求項１８記載の容器において、前記容器を前記表面に動的に結合させ るための手段が、それぞれが表面上の別々の溝部に対合する、前記容器上の少な くとも３つの突起を備えることを特徴とする容器。 ２１．請求項１４記載の容器において、前記開閉部が、前記一対の支持体が輸 送の際に容器に保存された対象物の移動および振動を低減させるように助成する 、その内側表面上のクッションを有することを特徴とする容器。 ２２．請求項１４記載の容器において、前記一対の支持体のそれぞれが複数の 仕切り板を有し、それぞれの仕切り板は、ウエハの支持を助成するように連続的 に変化するスロープを有する形状であることを特徴とする容器。