JP2816864B2 - 搬送用ウエーハバスケット及び収納ケース - Google Patents
搬送用ウエーハバスケット及び収納ケースInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はウエーハを取り扱う際に用いられる搬送用ウ
エーハバスケツト及び収納ケースに関する。更に詳しく
は、本発明は半導体ウエーハを汚染することなく安全に
搬送し、又収納することを目的とするウエーハバスケツ
ト及び収納ケースに関する。
エーハバスケツト及び収納ケースに関する。更に詳しく
は、本発明は半導体ウエーハを汚染することなく安全に
搬送し、又収納することを目的とするウエーハバスケツ
ト及び収納ケースに関する。
（従来の技術） 半導体製造工程ではウエーハは一般にウエーハバスケ
ツト又はケースに収納されて工程間を移動する、いわゆ
るカセツト・ツー・カセツト方式でウエーハを取り扱う
ことにより半導体の生産量は飛躍的に高められてきた。
しかもウエーハ製造プロセスは全て塵埃を少なくしたク
リーンルームの内部やクリーンベンチの内部で行われ、
半導体ウエーハの表面を常に清浄に保つている。特に半
導体装置を形成するパターン幅が広い時には塵埃の影響
は無視できたが、LSI、超LSIと高集積化が進みパターン
幅が狭くなると0.1μｍ程度の小さな塵埃でも悪影響を
及ぼすようになる。従つてこのウエーハ表面への塵埃付
着防止はますます重要になつてきている。
ツト又はケースに収納されて工程間を移動する、いわゆ
るカセツト・ツー・カセツト方式でウエーハを取り扱う
ことにより半導体の生産量は飛躍的に高められてきた。
しかもウエーハ製造プロセスは全て塵埃を少なくしたク
リーンルームの内部やクリーンベンチの内部で行われ、
半導体ウエーハの表面を常に清浄に保つている。特に半
導体装置を形成するパターン幅が広い時には塵埃の影響
は無視できたが、LSI、超LSIと高集積化が進みパターン
幅が狭くなると0.1μｍ程度の小さな塵埃でも悪影響を
及ぼすようになる。従つてこのウエーハ表面への塵埃付
着防止はますます重要になつてきている。
しかしながら、従来のウエーハバスケツトは両側及び
上部が開放になつており、搬送及び保管は多くの場合、
このウエーハバスケツトを密閉式のボツクスの中に収納
して行う。又、時にはウエーハバスケツトのままで搬送
が行われたりする。しかも従来のウエーハバスケツトは
合成樹脂成形物が主流であり絶縁体である。そのためウ
エーハバスケツトが帯電し塵埃を引きつけやすくウエー
ハへの塵埃の付着を促進し不良率を高くしているのが現
状である。
上部が開放になつており、搬送及び保管は多くの場合、
このウエーハバスケツトを密閉式のボツクスの中に収納
して行う。又、時にはウエーハバスケツトのままで搬送
が行われたりする。しかも従来のウエーハバスケツトは
合成樹脂成形物が主流であり絶縁体である。そのためウ
エーハバスケツトが帯電し塵埃を引きつけやすくウエー
ハへの塵埃の付着を促進し不良率を高くしているのが現
状である。
（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的はウエーハを移動又は保管する間にウエ
ーハへの塵埃及び異物を付着することを防止できるウエ
ーハバスケツト及び収納ケースを、特別な取り扱いを必
要とせず且つ低コストで提供することにある。
ーハへの塵埃及び異物を付着することを防止できるウエ
ーハバスケツト及び収納ケースを、特別な取り扱いを必
要とせず且つ低コストで提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明はウエーハを取り扱う際に用いられる搬送用バ
スケツト及び収納ケースにおいて、該搬送用バスケツト
及び収納ケースを形成する材料がポリプロピレンであ
り、ポリプロピレンに添加配合されている酸化防止剤又
は過酸化物分解剤が1000ppm以下、塩酸吸収剤が500ppm
以下であることを特徴とする搬送用ウエーハバスケツト
及び収納ケースに係る。
スケツト及び収納ケースにおいて、該搬送用バスケツト
及び収納ケースを形成する材料がポリプロピレンであ
り、ポリプロピレンに添加配合されている酸化防止剤又
は過酸化物分解剤が1000ppm以下、塩酸吸収剤が500ppm
以下であることを特徴とする搬送用ウエーハバスケツト
及び収納ケースに係る。
本発明の搬送用バスケツト及び収納ケースを製造する
には、各種樹脂を用いることができるが、特にポリプロ
ピレンに添加配合されている酸化防止剤又は過酸化物分
解剤が1000ppm以下、塩酸吸収剤が500ppm以下であるこ
とが必要である。
には、各種樹脂を用いることができるが、特にポリプロ
ピレンに添加配合されている酸化防止剤又は過酸化物分
解剤が1000ppm以下、塩酸吸収剤が500ppm以下であるこ
とが必要である。
本発明で用いられる酸化防止剤及び過酸化物分解剤と
しては、フエノール系として2,6−ジ−ｔ−ブチル−ｐ
−クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニソール（BH
A）、2,6−ジ−ｔ−ブチル−４−エチルフエノール、ス
テアリル−β−（3,5−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキ
シフエニル）プロピオネート、2,2′−メチレンビス
（４−メチル−６−ｔ−ブチルフエノール）、2,2′−
メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノー
ル）、4,4′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチル
フエノール）、4,4′−ブチリデンビス（３−メチル−
６−ｔ−ブチルフエノール）、1,1,3−トリス（２−メ
チル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフエニル）ブタ
ン、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス（3,5−ジ−ｔ
−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、テトラ
キス〔メチレン−３−（３′,5′−ジ−ｔ−ブチル−
４′−ヒドロキシフエニル）プロピオネート〕メタン、
ビス〔3,3′−ビス（４′−ヒドロキシ−３′−ｔ−ブ
チルフエニル）ブチリツクアシツド〕グリコールエステ
ル等を、硫黄系としてジラウリルチオジプロピオネー
ト、ジミリスチルチオジプロピオネート、ジステアリル
チオジプロピオネート等を、リン系としてトリフエニル
ホスフアイト、ジフエニルイソデシルホスフアイト、フ
エニルジイソデシルホスフアイト、4,4′−ブチリデン
ビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフエニル−ジ−トリ
デシル）ホスフアイト、サイクリツクネオペンタンテト
ライルビス（オクタデシルホスフアイト）、トリス（ノ
ニルフエニル）ホスフアイト、トリス（モノ及び／又は
ジノニルフエニル）ホスフアイト、ジイソデシルペンタ
エリスリトールジホスフアイト、9,10−ジヒドロ−９−
オキサ−10−ホスフアフエナンスレン−10−オキサイド
等を挙げることができる。
しては、フエノール系として2,6−ジ−ｔ−ブチル−ｐ
−クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニソール（BH
A）、2,6−ジ−ｔ−ブチル−４−エチルフエノール、ス
テアリル−β−（3,5−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキ
シフエニル）プロピオネート、2,2′−メチレンビス
（４−メチル−６−ｔ−ブチルフエノール）、2,2′−
メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノー
ル）、4,4′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチル
フエノール）、4,4′−ブチリデンビス（３−メチル−
６−ｔ−ブチルフエノール）、1,1,3−トリス（２−メ
チル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフエニル）ブタ
ン、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス（3,5−ジ−ｔ
−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、テトラ
キス〔メチレン−３−（３′,5′−ジ−ｔ−ブチル−
４′−ヒドロキシフエニル）プロピオネート〕メタン、
ビス〔3,3′−ビス（４′−ヒドロキシ−３′−ｔ−ブ
チルフエニル）ブチリツクアシツド〕グリコールエステ
ル等を、硫黄系としてジラウリルチオジプロピオネー
ト、ジミリスチルチオジプロピオネート、ジステアリル
チオジプロピオネート等を、リン系としてトリフエニル
ホスフアイト、ジフエニルイソデシルホスフアイト、フ
エニルジイソデシルホスフアイト、4,4′−ブチリデン
ビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフエニル−ジ−トリ
デシル）ホスフアイト、サイクリツクネオペンタンテト
ライルビス（オクタデシルホスフアイト）、トリス（ノ
ニルフエニル）ホスフアイト、トリス（モノ及び／又は
ジノニルフエニル）ホスフアイト、ジイソデシルペンタ
エリスリトールジホスフアイト、9,10−ジヒドロ−９−
オキサ−10−ホスフアフエナンスレン−10−オキサイド
等を挙げることができる。
本発明で使用される塩酸吸収剤としては例えばステア
リン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛等の脂肪酸金属
塩、エポキシ化大豆油、ハイドロタルサイト等が挙げら
れる。上記の酸化防止剤、過酸化物分解剤及び塩酸吸収
剤は単独使用又は併用使用することが可能である。
リン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛等の脂肪酸金属
塩、エポキシ化大豆油、ハイドロタルサイト等が挙げら
れる。上記の酸化防止剤、過酸化物分解剤及び塩酸吸収
剤は単独使用又は併用使用することが可能である。
搬送用ウエーハバスケツト及び収納ケースが絶縁性複
合材料より製造された場合、塵埃及び異物の付着は多
い。これはクリーンルーム内を流れる空気と絶縁体搬送
用ウエーハバスケツト又は収納ケースとの摩擦により帯
電し、最もゴミの発生源となる人間が近くにいるため舞
い上がつた塵埃が引きつけられウエーハを汚すことが多
分にある。又、長期にわたり収納ケースに収納されたウ
エーハの表面が曇る問題点も多発している。
合材料より製造された場合、塵埃及び異物の付着は多
い。これはクリーンルーム内を流れる空気と絶縁体搬送
用ウエーハバスケツト又は収納ケースとの摩擦により帯
電し、最もゴミの発生源となる人間が近くにいるため舞
い上がつた塵埃が引きつけられウエーハを汚すことが多
分にある。又、長期にわたり収納ケースに収納されたウ
エーハの表面が曇る問題点も多発している。
この問題点を回避するため鋭意研究の結果本発明の導
電性複合材料にて成形されたウエーハバスケツト及び収
納ケースには塵埃の付着が極めて少なく、ウエーハ表面
の曇り現象も解決することを見い出した。
電性複合材料にて成形されたウエーハバスケツト及び収
納ケースには塵埃の付着が極めて少なく、ウエーハ表面
の曇り現象も解決することを見い出した。
本発明の搬送用ウエーハバスケツト及び収納ケースを
製造するには各種の導電材料が使用できるが、導電性チ
タン酸カリウム繊維を導電材料の主要成分として用いる
ことが好ましい。
製造するには各種の導電材料が使用できるが、導電性チ
タン酸カリウム繊維を導電材料の主要成分として用いる
ことが好ましい。
導電性チタン酸カリウム繊維としては、 K2O・ｎ（TiO2−ｘ） （式中、ｎは８以下の実数、ｘは２未満の実数を意味す
る。）で表わされる単結晶繊維で、なかでも平均繊維径
0.01〜１μｍ、平均繊維長１〜100μｍ、平均繊維長／
平均繊維径比（アスペクト比）が10以上のものが特に好
ましい。
る。）で表わされる単結晶繊維で、なかでも平均繊維径
0.01〜１μｍ、平均繊維長１〜100μｍ、平均繊維長／
平均繊維径比（アスペクト比）が10以上のものが特に好
ましい。
又、その他の導電性チタン酸カリウム繊維も使用で
き、例えば無電解メツキ法、浸漬法もしくはスプレーコ
ート法等により、チタン酸カリウムウイスカーの表面に
金属、金属酸化物等の導電性又は半導電性の物質を付着
させ又は沈着させたものも使用できる。
き、例えば無電解メツキ法、浸漬法もしくはスプレーコ
ート法等により、チタン酸カリウムウイスカーの表面に
金属、金属酸化物等の導電性又は半導電性の物質を付着
させ又は沈着させたものも使用できる。
導電性樹脂複合材料を用いて本発明の搬送用ウエーハ
バスケツト及び収納ケースを製造するに当つては、樹脂
に導電性チタン酸カリウム繊維を単独系で使用すること
も、或いは更に導電性カーボンブラツク、導電性グラフ
アイト、カーボンウイスカー、チタン酸カリウム繊維、
カーボン繊維、金属繊維、ガラス繊維、無機充填剤、難
燃材、誘電材料、磁性材料、顔料、その他の既存の材料
を使用することもできる。導電性チタン酸カリウム繊維
を配合する最大の目的は前記したミクロな繊維形状を有
しているためにウエーハバスケツト及び収納ケース全体
に均一分散しミクロの各部分を均質な導電値にコントロ
ールすることができるばかりでなく、均質な機械物性を
付与することができるからである。
バスケツト及び収納ケースを製造するに当つては、樹脂
に導電性チタン酸カリウム繊維を単独系で使用すること
も、或いは更に導電性カーボンブラツク、導電性グラフ
アイト、カーボンウイスカー、チタン酸カリウム繊維、
カーボン繊維、金属繊維、ガラス繊維、無機充填剤、難
燃材、誘電材料、磁性材料、顔料、その他の既存の材料
を使用することもできる。導電性チタン酸カリウム繊維
を配合する最大の目的は前記したミクロな繊維形状を有
しているためにウエーハバスケツト及び収納ケース全体
に均一分散しミクロの各部分を均質な導電値にコントロ
ールすることができるばかりでなく、均質な機械物性を
付与することができるからである。
本発明の搬送用ウエーハバスケツト及び収納ケースは
上記材料を用いる以外は通常公知の方法により製造する
ことができる。
上記材料を用いる以外は通常公知の方法により製造する
ことができる。
（実 施 例） 以下に実施例を挙げて説明する。
実施例１及び比較例１〜２ 第１表に記載の配合組成物を二軸押出混練機を用いて
押出ペレツト化を行つた。これを射出成形機にて成形
し、第１図及び第２図に示す搬送用バスケツト、第３図
に示す収納ケースを作成した。第４図は搬送用バスケツ
トが収納ケースに納まつた状態の略図である。
押出ペレツト化を行つた。これを射出成形機にて成形
し、第１図及び第２図に示す搬送用バスケツト、第３図
に示す収納ケースを作成した。第４図は搬送用バスケツ
トが収納ケースに納まつた状態の略図である。
ウエーハの汚染状況は３ケ月間ウエーハをバスケツト
に納めた状態でクリーンルーム内に放置し、ウエーハの
曇りを目視で判定した。表面抵抗値はJIS K6911に準ず
る方法にて測定した。帯電防止維持性については30分間
水浴中に浸漬した後３時間室温にて放置する工程を５回
繰り返し、表面抵抗値を測定し、耐久性を判定した。
に納めた状態でクリーンルーム内に放置し、ウエーハの
曇りを目視で判定した。表面抵抗値はJIS K6911に準ず
る方法にて測定した。帯電防止維持性については30分間
水浴中に浸漬した後３時間室温にて放置する工程を５回
繰り返し、表面抵抗値を測定し、耐久性を判定した。
（注）ポリプロピレン（１）は酸化防止剤及び過酸化物
分解剤としてテトラキス〔メチレン−３−（３′,5′−
ジ−ｔ−ブチル−４′−ヒドロキシフエニル）プロピオ
ネート〕メタン300ppm、トリス（ジノニルフエニル）ホ
スフアイト500ppm、塩酸吸収剤としてステアリン酸カル
シウム400ppmを含むものである。
分解剤としてテトラキス〔メチレン−３−（３′,5′−
ジ−ｔ−ブチル−４′−ヒドロキシフエニル）プロピオ
ネート〕メタン300ppm、トリス（ジノニルフエニル）ホ
スフアイト500ppm、塩酸吸収剤としてステアリン酸カル
シウム400ppmを含むものである。
ポリプロピレン（２）は酸化防止剤及び過酸化物分解
剤としてテトラキス〔メチレン−３−（３′,5′−ジ−
ｔ−ブチル−４′−ヒドロキシフエニル）プロピオネー
ト〕メタン1000ppm、トリス（ジノニルフエニル）ホス
フアイト1000ppm、塩酸吸収剤としてステアリン酸カル
シウム1000ppmを含むものである。
剤としてテトラキス〔メチレン−３−（３′,5′−ジ−
ｔ−ブチル−４′−ヒドロキシフエニル）プロピオネー
ト〕メタン1000ppm、トリス（ジノニルフエニル）ホス
フアイト1000ppm、塩酸吸収剤としてステアリン酸カル
シウム1000ppmを含むものである。
ポリプロピレン（３）は酸化防止剤及び過酸化物分解
剤としてテトラキス〔メチレン−３−（３′,5′−ジ−
ｔ−ブチル−４′−ヒドロキシフエニル）プロピオネー
ト〕メタン500ppm、2,6−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾ
ール600ppm、ジミリスチルチオジプロピオネート900pp
m、塩酸吸収剤としてステアリン酸カルシウム1000ppmを
含むものである。
剤としてテトラキス〔メチレン−３−（３′,5′−ジ−
ｔ−ブチル−４′−ヒドロキシフエニル）プロピオネー
ト〕メタン500ppm、2,6−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾ
ール600ppm、ジミリスチルチオジプロピオネート900pp
m、塩酸吸収剤としてステアリン酸カルシウム1000ppmを
含むものである。
実施例２〜７及び比較例３ 第２表に記載の配合組成物を実施例１と同様の工程
で、同じウエーハバスケツト及び収納ケース金型を使用
して成形し、表面抵抗値と塵埃の付着について評価し
た。
で、同じウエーハバスケツト及び収納ケース金型を使用
して成形し、表面抵抗値と塵埃の付着について評価し
た。
（発明の効果） 本発明はウエーハを取り扱う際に用いられる搬送用バ
スケツト及び収納ケースにおいて、半導体ウエーハを汚
染することなく安全に搬送し、又、保管するのに効果を
発揮するものである。
スケツト及び収納ケースにおいて、半導体ウエーハを汚
染することなく安全に搬送し、又、保管するのに効果を
発揮するものである。
第１図は搬送用ウエーハバスケツトの平面図、第２図は
その側面図、第３図は収納ケース、第４図は搬送用ウエ
ーハバスケツトが収納ケースに納まつた状態の略図を示
す。１……バスケツト、２……収納ケース、３……ウエ
ーハ。
その側面図、第３図は収納ケース、第４図は搬送用ウエ
ーハバスケツトが収納ケースに納まつた状態の略図を示
す。１……バスケツト、２……収納ケース、３……ウエ
ーハ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−12099（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−207465（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−86205（ＪＰ，Ａ) プラスチックおよびゴム用添加剤実用 便覧 第160〜161頁、表２・８〜表２・ 10（株式会社化学工業社、昭和47年10月 １日発行) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/30,85/38 C08L 23/00 - 23/36
Claims (3)
- 【請求項１】ウエーハを取り扱う際に用いられる搬送用
バスケツト及び収納ケースにおいて、該搬送用バスケツ
ト及び収納ケースを形成する材料がポリプロピレンであ
り、ポリプロピレンに添加配合されている酸化防止剤又
は過酸化物分解剤が1000ppm以下、塩酸吸収剤が500ppm
以下であることを特徴とする搬送用ウエーハバスケツト
及び収納ケース。 - 【請求項２】搬送用バスケツト及び収納ケースを形成す
る材料が導電性複合材料である請求項１記載の搬送用ウ
エーハバスケツト及び収納ケース。 - 【請求項３】導電性複合材料を構成する導電材料の主要
成分が導電性チタン酸カリウム繊維である請求項２記載
の搬送用ウエーハバスケツト及び収納ケース。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176795A JP2816864B2 (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 搬送用ウエーハバスケット及び収納ケース |
| PCT/JP1990/000863 WO1991001044A1 (en) | 1989-07-07 | 1990-07-04 | Molded article for holding wafer |
| EP90910186A EP0436030B1 (en) | 1989-07-07 | 1990-07-04 | Molded article for holding wafer |
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