KR930003300A - 다이아몬드가 피복된 캐리어 - Google Patents

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KR930003300A
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wafer carrier
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KR1019920012200A
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마이크 켈센 커크 제이
굿맨 존 비
Original Assignee
스탠 게이어
플루오로웨어, 아이엔시
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Abstract

내용 없음.

Description

다이아몬드가 피복된 캐리어
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 제1도의 캐리어와 같은 웨이퍼 캐리어를 매우 확대한 부분의 상세단면도,
제3도는 웨이퍼나 기판의 수송에 사용되는 캐리어를 부분적으로 절개하여 단면으로 보인, 정면도,
제4도는 웨이퍼와 기판을 수송하기 위한 상자형의 닫힌 수송 컨테이너 또는 캐리어의 정면도.

Claims (14)

  1. 다이아몬드 피복에 감싸인 캐리어 베이스 부로 이루어지는 웨이퍼 캐리어.
  2. 제1항에 있어서, 다이아몬드 피복 부가 베이스 부에 접착하는 웨이퍼 캐리어.
  3. 제1항에 있어서, 피복 부가 화학적 증착력에 의해 첨가되는 웨이퍼 캐리어.
  4. 제1항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 다이아몬드 피복부에 대해 다른 물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  5. 제1항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 상기 웨이퍼를 처리하는 동안 캐리어가 노출되는 온도 범위의 범위 내에서 치수상의 안정성을 가지는 물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  6. 제5항에 있어서,캐리어 베이스 부가 상기 웨이퍼를 처리하는 동안 캐리어 부가 노출되는 온도범위 내에서 최소의 팽창계수를 가진 고온물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  7. 제1항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 에테르케톤 족으로부터의 열가소성 물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  8. 제7항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 폴리에테르에테르케톤, 폴리아크릴에테르케톤, 폴리에테르케톤케톤 및 폴리에테르케톤으로 이루어지는 그룹으로 부터 선택되는 물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  9. 제1항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 열경화성 물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  10. 제1항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 강, 폴리 탄산 에세테르, PES, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 및 ABS로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 물질로 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  11. 제1항에 있어서, 다이아몬드 피복 부가 다이아몬드, 다결정 다이아몬드, 다이아몬드다운 탄소, 무정형 다이아몬드, 수소와 화합시킨 다이아몬드다운 탄소, 단석영 이형 에피탁시알 다이아몬드로 이루어지는 재료의 그룹으로부터 선택되는 피복물질로 이루어져 있는 웨이퍼 캐리어.
  12. 제4항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 일 물질 이상으로 이루어져 있는 웨이퍼 캐리어.
  13. 제12항에 있어서, 캐리어 베이스 부가 일 물질의 메트릭스와 그에 묻혀있는 또 다른 물질의 별개의 조각들로 이루어져 있는 웨이퍼 캐리어.
  14. 제12항에 있어서, 캐리어 베이스부가, 일 물질이고 또 다른 물질의 재킷 부 안에 재한된 삽입부로 이루어져 있는 웨이퍼 캐리어.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019920012200A 1991-07-23 1992-07-09 다이아몬드가 피복된 캐리어 KR930003300A (ko)

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GB2257986A (en) 1993-01-27
GB9214697D0 (en) 1992-08-19
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