JPS6349387A - レ−ザ−加工装置 - Google Patents
レ−ザ−加工装置Info
- Publication number
- JPS6349387A JPS6349387A JP61191212A JP19121286A JPS6349387A JP S6349387 A JPS6349387 A JP S6349387A JP 61191212 A JP61191212 A JP 61191212A JP 19121286 A JP19121286 A JP 19121286A JP S6349387 A JPS6349387 A JP S6349387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- workpiece
- laser beam
- torch
- condenser lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 17
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 239000010960 cold rolled steel Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は、圧延ロール等の被加工物表面にレーザービ
ームを照射して無数の凹凸を精確なパターンとして形成
するためのレーザー加工装置に関する。
ームを照射して無数の凹凸を精確なパターンとして形成
するためのレーザー加工装置に関する。
近年、圧延ロールの表面にレーザービームをパルス状に
照射してロール表面に無数の凹凸を形成し、冷延鋼板の
焼鈍後の調質圧延工程に際して上記凹凸を形成したロー
ルを使用することにより、鋼板表面にロール表面の凹凸
パターンを転写する方法が採られている。このレーザー
ビームを利用する方法は、従来の鋼球を吹付けるショツ
トブラスト法で形成される凹凸パターンとは異なり、そ
れぞれの凹凸の大きさがロール全面にわたって均一であ
り且つ隣接する凹凸のピッチが一定であることから、こ
の方法で処理した鋼板表面の塗装後の鮮映性が向上する
という特徴を有している。
照射してロール表面に無数の凹凸を形成し、冷延鋼板の
焼鈍後の調質圧延工程に際して上記凹凸を形成したロー
ルを使用することにより、鋼板表面にロール表面の凹凸
パターンを転写する方法が採られている。このレーザー
ビームを利用する方法は、従来の鋼球を吹付けるショツ
トブラスト法で形成される凹凸パターンとは異なり、そ
れぞれの凹凸の大きさがロール全面にわたって均一であ
り且つ隣接する凹凸のピッチが一定であることから、こ
の方法で処理した鋼板表面の塗装後の鮮映性が向上する
という特徴を有している。
このような、従来のレーザービームを使用した加工装置
の例を第２，３図について説明する。
の例を第２，３図について説明する。
図において、１は被加工物である圧延ロールであって、
支持台２，３によって回転可能に支持されている。４は
駆動部であって、動力伝達部５を介して支持台３に回転
力を与え、圧延ロール１を回転させる。６は上記諸部品
２〜５を設置した基台である。
支持台２，３によって回転可能に支持されている。４は
駆動部であって、動力伝達部５を介して支持台３に回転
力を与え、圧延ロール１を回転させる。６は上記諸部品
２〜５を設置した基台である。
７はレーザー発振器であって、基台８に設けられたレー
ル９上を移動可能な台車１０に取付けられている。レー
ル９は圧延ロール１の軸に平行に設けてあり、台車１０
がこの圧延ロール表面に対して平行移動できるようにな
っている。１１は伝送ダクトであって、レーザー発振器
７から発射されたレーザービームを集光レンズ１２へ導
く通路をなしており、該ダクトの屈曲部には内部に反射
鏡１３を設けてレーザービームを反射させ、集光レンズ
１２を通して圧延ロール１表面を照射するようになって
いる。
ル９上を移動可能な台車１０に取付けられている。レー
ル９は圧延ロール１の軸に平行に設けてあり、台車１０
がこの圧延ロール表面に対して平行移動できるようにな
っている。１１は伝送ダクトであって、レーザー発振器
７から発射されたレーザービームを集光レンズ１２へ導
く通路をなしており、該ダクトの屈曲部には内部に反射
鏡１３を設けてレーザービームを反射させ、集光レンズ
１２を通して圧延ロール１表面を照射するようになって
いる。
集光レンズ１２によって収束したレーザービームは、集
光レンズ１２を取付けたトーチ１６の先端に設けた通孔
（図示せず）からビームチョッパリング手段であるメカ
ニカルチョッパ１４を介して圧延ロール１上に焦点を結
ぶようになっている。
光レンズ１２を取付けたトーチ１６の先端に設けた通孔
（図示せず）からビームチョッパリング手段であるメカ
ニカルチョッパ１４を介して圧延ロール１上に焦点を結
ぶようになっている。
円板状のメカニカルチョッパ１４にはレーザービームが
通過できるスリットが円周状に配設されていて、この円
板を別途手段で高速回転させてレーザービームをパルス
化して圧延ロール１に照射することにより、該ロール表
面に無数の小さな凹部が一定ピッチで形成されるように
なっている。１５はアシストガス吹付は手段であるガス
ノズルであって、その先端はメカニカルチョッパ１４の
外周端部の直近に開口するごと（設けられ、ここからア
シストガス（例えば０２）をロール１上のレーザービー
ム焦点位置へ向けて吹付けることにより、穿設される微
小凹部の形状を均一に且つ必要な深さに形成する。
通過できるスリットが円周状に配設されていて、この円
板を別途手段で高速回転させてレーザービームをパルス
化して圧延ロール１に照射することにより、該ロール表
面に無数の小さな凹部が一定ピッチで形成されるように
なっている。１５はアシストガス吹付は手段であるガス
ノズルであって、その先端はメカニカルチョッパ１４の
外周端部の直近に開口するごと（設けられ、ここからア
シストガス（例えば０２）をロール１上のレーザービー
ム焦点位置へ向けて吹付けることにより、穿設される微
小凹部の形状を均一に且つ必要な深さに形成する。
〔発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このような従来の加工装置にあっては、
アシストガスを被加工物表面に対して垂直に吹付けるこ
とができず、且つガスノズル先端がメカニカルチョッパ
に近接した構成となっているため、（１）アシストガス
が斜め方向に吹付けられて、レーザーによって形成され
る穴形状が歪む、（２）チョッパの高速回転により生じ
る風圧によってアシストガスの流れが乱され、被加工物
表面に有効に作用しない、（３）チョッパとガスノズル
との相互位置関係がレーザーで形成される穴形状に大き
く影響するが、その調整は微妙でありかつ時間を要する
、といった種々の問題点があった。
アシストガスを被加工物表面に対して垂直に吹付けるこ
とができず、且つガスノズル先端がメカニカルチョッパ
に近接した構成となっているため、（１）アシストガス
が斜め方向に吹付けられて、レーザーによって形成され
る穴形状が歪む、（２）チョッパの高速回転により生じ
る風圧によってアシストガスの流れが乱され、被加工物
表面に有効に作用しない、（３）チョッパとガスノズル
との相互位置関係がレーザーで形成される穴形状に大き
く影響するが、その調整は微妙でありかつ時間を要する
、といった種々の問題点があった。
この発明は、このような従来の問題点にかんがみてなさ
れたものであって、ビームチョッパリング手段を集光レ
ンズに関して被加工物と反対の側に設ける等により、上
記問題点を解決することを目的としている。
れたものであって、ビームチョッパリング手段を集光レ
ンズに関して被加工物と反対の側に設ける等により、上
記問題点を解決することを目的としている。
この発明は、レーザービームを被加工物にパルス状に照
射して加工するために、トーチに設けた集光レンズとビ
ームチョッパリング手段とアシストガス吹付は手段を備
えたレーザー加工装置において、前記ビームチョッパリ
ング手段を前記集光レンズに関して被加工物と反対の側
に設けたことを特定発明とし、さらにアシストガス吹付
は手段を前記集光レンズの光軸に沿って被加工物に吹付
けるように設けたことを併合発明とするレーザー加工装
置としたものである。
射して加工するために、トーチに設けた集光レンズとビ
ームチョッパリング手段とアシストガス吹付は手段を備
えたレーザー加工装置において、前記ビームチョッパリ
ング手段を前記集光レンズに関して被加工物と反対の側
に設けたことを特定発明とし、さらにアシストガス吹付
は手段を前記集光レンズの光軸に沿って被加工物に吹付
けるように設けたことを併合発明とするレーザー加工装
置としたものである。
ビームチョッパリング手段は、トーチに設けた集光レン
ズに関して被加工物と反対の側に設けられているため、
レーザー発振器から発射されるレーザービームはトーチ
に設けた集光レンズに入射する前にパルス化され、トー
チを通って被加工物に照射される。また、アシストガス
は前記集光レンズの光軸に沿って被加工物表面に吹付け
られ、従ってアシストガスの吹付は方向とレーザービー
ムの照射方向とは同方向となるためと、前記チョッパリ
ング手段がアシストガス吹付は部と集光レンズを間に介
在させて離れているので、チョッパ円板の高速回転で生
じる風圧もガス吹付けに影響しないため、被加工物表面
に形成される穴形状は歪むことなく、精確な凹凸パター
ンとなる。
ズに関して被加工物と反対の側に設けられているため、
レーザー発振器から発射されるレーザービームはトーチ
に設けた集光レンズに入射する前にパルス化され、トー
チを通って被加工物に照射される。また、アシストガス
は前記集光レンズの光軸に沿って被加工物表面に吹付け
られ、従ってアシストガスの吹付は方向とレーザービー
ムの照射方向とは同方向となるためと、前記チョッパリ
ング手段がアシストガス吹付は部と集光レンズを間に介
在させて離れているので、チョッパ円板の高速回転で生
じる風圧もガス吹付けに影響しないため、被加工物表面
に形成される穴形状は歪むことなく、精確な凹凸パター
ンとなる。
以下、この発明を図面に基づいて説明する。第１図はこ
の発明の一実施例を示す図である。なお、第２図はレー
ザー加工装置の従来例の全体図であるが、第１図に示し
た部分以外については本実施例と同様である。
の発明の一実施例を示す図である。なお、第２図はレー
ザー加工装置の従来例の全体図であるが、第１図に示し
た部分以外については本実施例と同様である。
先ず第１図について実施例の構成を説明する。
３１は焦点距離１．である集光レンズで、レーザー発振
器７から発射され、反射鏡１３で９０度方向転換したレ
ーザービームを集光する。３２は焦点距離が１ｔである
拡散レンズで、集光レンズ３１と１． ＋１！の距離を
置いて同一光軸ｙとなるように配設されて□いる。集光
レンズ３１で集光されたレーザービームは拡散レンズ３
２で平行光線となり、トーチ２６に設けられた集光レン
ズ１２に入射して再び集光され、トーチ２６の先端の通
孔２６ａを通って被加工物である圧延ロール１表面に投
射される。
器７から発射され、反射鏡１３で９０度方向転換したレ
ーザービームを集光する。３２は焦点距離が１ｔである
拡散レンズで、集光レンズ３１と１． ＋１！の距離を
置いて同一光軸ｙとなるように配設されて□いる。集光
レンズ３１で集光されたレーザービームは拡散レンズ３
２で平行光線となり、トーチ２６に設けられた集光レン
ズ１２に入射して再び集光され、トーチ２６の先端の通
孔２６ａを通って被加工物である圧延ロール１表面に投
射される。
２４は従来例と同様なチョッパ円板であって、円周状に
複数のスリットが配設されており、モータＭによって高
速回転をする。このチョッパ円板２４は集光レンズ３１
と拡散レンズ３２とのほぼ中間の、ビームの最も収束す
る位置に設けられていて高速回転することにより、レー
ザービームの通過と遮断を極めて短いサイクルで繰返し
、レーザービームをパルス状にするようになっている。
複数のスリットが配設されており、モータＭによって高
速回転をする。このチョッパ円板２４は集光レンズ３１
と拡散レンズ３２とのほぼ中間の、ビームの最も収束す
る位置に設けられていて高速回転することにより、レー
ザービームの通過と遮断を極めて短いサイクルで繰返し
、レーザービームをパルス状にするようになっている。
２５はトーチ２６に設けられた０２等のアシストガス供
給口であって、トーチ２６内へ入ったガスは通孔２６ａ
からロール１表面へ噴射する。また集光レンズ３１，１
２．拡散レンズ３２のそれぞれの光軸ｙ及び通孔２６ａ
の中心は一直線上に在るように構成されている。
給口であって、トーチ２６内へ入ったガスは通孔２６ａ
からロール１表面へ噴射する。また集光レンズ３１，１
２．拡散レンズ３２のそれぞれの光軸ｙ及び通孔２６ａ
の中心は一直線上に在るように構成されている。
次に作用を説明する。
被加工物である圧延ロール１は従来例と同様に支持台２
，３に装着され且つ回転される。
，３に装着され且つ回転される。
次に、レーザー発振器７から発射されたレーザービーム
は伝送ダクト１１を通り、反射鏡１３によって屈曲され
て集光レンズ３１に入って集光され、集光されたビーム
は回転するチョッパ円板２４によってパルス状となり、
次いで拡散レンズ３２へ入って平行ビームとなってトー
チ２６に設けた集光レンズ１２に入り、このレンズで再
び集光されてトーチ２６の通孔２６ａを通り、圧延ロー
ル１表面上にほぼ焦点を結ぶごとく投射される。
は伝送ダクト１１を通り、反射鏡１３によって屈曲され
て集光レンズ３１に入って集光され、集光されたビーム
は回転するチョッパ円板２４によってパルス状となり、
次いで拡散レンズ３２へ入って平行ビームとなってトー
チ２６に設けた集光レンズ１２に入り、このレンズで再
び集光されてトーチ２６の通孔２６ａを通り、圧延ロー
ル１表面上にほぼ焦点を結ぶごとく投射される。
この投射されたパルス状ビームによってロール１表面上
には一定形状の微小凹穴が形成されるとともに、通孔２
６ａから集光レンズ１２の光軸に沿って吹き出すアシス
トガスによって、上記凹穴が適度な深さと均一な形状に
仕上るごとく補助される。
には一定形状の微小凹穴が形成されるとともに、通孔２
６ａから集光レンズ１２の光軸に沿って吹き出すアシス
トガスによって、上記凹穴が適度な深さと均一な形状に
仕上るごとく補助される。
また、レーザー発振器７を載置した台車１０は、圧延ロ
ール１の軸に対してレール９上を平行移動することによ
り、レーザービームはロール１表面に沿って平行移動し
、かつロールｌは一定速度で回転させられることによっ
て、ロール１表面には無数の凹穴が規則的に穿設され、
ロール１の全面にわたって精確なパターンを形成するこ
とができる。
ール１の軸に対してレール９上を平行移動することによ
り、レーザービームはロール１表面に沿って平行移動し
、かつロールｌは一定速度で回転させられることによっ
て、ロール１表面には無数の凹穴が規則的に穿設され、
ロール１の全面にわたって精確なパターンを形成するこ
とができる。
以上説明したように、本発明によれば以下の効果が得ら
れる。すなわち、（１）アシストガスの流れがチョッパ
円板の回転による影響を受けないので凹穴の形状が安定
し、特に加工能率を上げるためチョッパ円板を高速回転
することが可能。（２）アシストガスが集光レンズの光
軸に沿って吹付けられるので、被加工物表面に規則的に
形成される無数の凹穴の形状がそれぞれ歪むことなく均
一に形成される。（３）従来では、集光レンズの焦点位
置、チョッパ及びガスノズルの相互位置の調整が容易で
なく、多大の時間を要したが、本実施例では集光レンズ
の焦点位置のみの調整でよいため、作業性が大幅に向上
した。
れる。すなわち、（１）アシストガスの流れがチョッパ
円板の回転による影響を受けないので凹穴の形状が安定
し、特に加工能率を上げるためチョッパ円板を高速回転
することが可能。（２）アシストガスが集光レンズの光
軸に沿って吹付けられるので、被加工物表面に規則的に
形成される無数の凹穴の形状がそれぞれ歪むことなく均
一に形成される。（３）従来では、集光レンズの焦点位
置、チョッパ及びガスノズルの相互位置の調整が容易で
なく、多大の時間を要したが、本実施例では集光レンズ
の焦点位置のみの調整でよいため、作業性が大幅に向上
した。
第１図は本発明に係る実施例の要部説明図、第２図はレ
ーザー加工装置の全体図であって従来例を示すが、第１
図に示した部分を除いては実施例と同様な構成の上面図
、第３図は従来例における要部説明図である。 １・・・・・・被加工物（圧延ロール）、１２・・・・
・・集光レンズ、１４．２４・・・・・・メカニカルチ
ョッパ（ビ−ムチョフパリング手段）、１５・・・・・
・ガスノズル、１６．２６・旧・・トーチ、ガス供給口
２５、ｙ・・・・・・光軸。
ーザー加工装置の全体図であって従来例を示すが、第１
図に示した部分を除いては実施例と同様な構成の上面図
、第３図は従来例における要部説明図である。 １・・・・・・被加工物（圧延ロール）、１２・・・・
・・集光レンズ、１４．２４・・・・・・メカニカルチ
ョッパ（ビ−ムチョフパリング手段）、１５・・・・・
・ガスノズル、１６．２６・旧・・トーチ、ガス供給口
２５、ｙ・・・・・・光軸。
Claims (2)
- （１）レーザービームを被加工物にパルス状に照射して
加工するために、トーチに設けた集光レンズとビームチ
ョッパリング手段とアシストガス吹付け手段を備えたレ
ーザー加工装置において、前記ビームチョッパリング手
段を前記集光レンズに関して被加工物と反対の側に設け
たことを特徴とするレーザー加工装置。 - （２）レーザービームを被加工物にパルス状に照射して
加工するために、トーチに設けた集光レンズとビームチ
ョッパリング手段とアシストガス吹付け手段を備えたレ
ーザー加工装置において、前記ビームチョッパリング手
段を前記集光レンズに関して被加工物と反対の側に設け
、さらにアシストガス吹付け手段を前記集光レンズの光
軸に沿って被加工物に吹付けるように設けたことを特徴
とするレーザー加工装置。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191212A JPS6349387A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | レ−ザ−加工装置 |
| US07/084,283 US4806724A (en) | 1986-08-15 | 1987-08-11 | Laser beam machining device |
| AU76843/87A AU607707B2 (en) | 1986-08-15 | 1987-08-13 | Laser beam machining device |
| EP87111775A EP0257477A1 (en) | 1986-08-15 | 1987-08-13 | Laser beam machining device |
| CA000544606A CA1280470C (en) | 1986-08-15 | 1987-08-14 | Laser beam machining device |
| KR1019870008952A KR880002613A (ko) | 1986-08-15 | 1987-08-14 | 레이저 가공 장치 |
| ZA876029A ZA876029B (en) | 1986-08-15 | 1987-08-14 | Laser beam machining device |
| BR8704229A BR8704229A (pt) | 1986-08-15 | 1987-08-14 | Aparelho de usinagem a raio laser |
| CN198787105626A CN87105626A (zh) | 1986-08-15 | 1987-08-15 | 激光束机械加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191212A JPS6349387A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | レ−ザ−加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349387A true JPS6349387A (ja) | 1988-03-02 |
| JPH0453631B2 JPH0453631B2 (ja) | 1992-08-27 |
Family
ID=16270770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61191212A Granted JPS6349387A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | レ−ザ−加工装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349387A (ja) |
| ZA (1) | ZA876029B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38221E1 (en) | 1995-10-13 | 2003-08-19 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101718102B1 (ko) * | 2014-12-12 | 2017-04-04 | 최상준 | 새로운 반사방지막(Bottom anti-reflective coating)용 고분자 및 이를 이용한 조성물 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129293A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-17 | Inoue Japax Res Inc | レーザ加工装置 |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP61191212A patent/JPS6349387A/ja active Granted
-
1987
- 1987-08-14 ZA ZA876029A patent/ZA876029B/xx unknown
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129293A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-17 | Inoue Japax Res Inc | レーザ加工装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38221E1 (en) | 1995-10-13 | 2003-08-19 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| USRE41231E1 (en) | 1995-10-13 | 2010-04-20 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0453631B2 (ja) | 1992-08-27 |
| ZA876029B (en) | 1988-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4322600A (en) | Method and apparatus for forming microcavities on the surface of a rolling mill roll | |
| US5120926A (en) | Method and apparatus for high speed laser cutting | |
| US4662708A (en) | Optical scanning system for laser treatment of electrical steel and the like | |
| CN104907704B (zh) | 一种变焦距激光精密加工深槽深孔装置 | |
| CA1265209A (en) | Process to remove contaminants, particularly rust/from metallic surfaces | |
| CN108971775B (zh) | 一种用于金属的激光打孔方法及设备 | |
| CN109593919A (zh) | 基于分布式三维光束扫描的轴承表面激光淬火装置及方法 | |
| CN87105626A (zh) | 激光束机械加工装置 | |
| JPH06285662A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JPS6349387A (ja) | レ−ザ−加工装置 | |
| JPS63115688A (ja) | レ−ザ−加工装置 | |
| JPH02504238A (ja) | レーザー光線により皮膜を除去する方法及び装置 | |
| CN114799572A (zh) | 一种基于扫描路径控制能量分布的激光切割加工方法 | |
| CN113210850B (zh) | 一种倾斜孔激光切割方法及切割装置 | |
| JP2011067856A (ja) | レーザ加工方法 | |
| JPH01133693A (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP2581574B2 (ja) | レ−ザ加工方法およびその装置 | |
| GB2043517A (en) | An apparatus for use in the production of cans | |
| JPS6363597A (ja) | レ−ザ−加工方法 | |
| JPS6160757B2 (ja) | ||
| JPH04143092A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0790358A (ja) | レーザ焼入れ装置 | |
| JP4243894B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0639575A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH04356380A (ja) | レーザマーキング方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |