JPH05254582A - ウェハキャリア及びキャリアボックス - Google Patents
ウェハキャリア及びキャリアボックスInfo
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- JPH05254582A JPH05254582A JP8455992A JP8455992A JPH05254582A JP H05254582 A JPH05254582 A JP H05254582A JP 8455992 A JP8455992 A JP 8455992A JP 8455992 A JP8455992 A JP 8455992A JP H05254582 A JPH05254582 A JP H05254582A
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- box
- wafer carrier
- wafer
- wire
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 帯電防止効果に優れ、収納したウェハを電気
的に有効に保護することができるウェハキャリア及びキ
ャリアボックスを提供する。 【構成】 箱体内部に複数のウェハ１２を収納するウェ
ハキャリア１０において、箱体の各構成面の内部に高い
導電性を有する線材１３を埋設して箱体全体に張りめぐ
らすと共に、箱体の底部に突出部１５を形成し、この突
出部１５に線材１３の外部接続用の露出部１４を設け
る。露出部１４を介して線材１３が外部と電気的に接続
され、ウェハキャリア１０が電気的にアースされて帯電
が防止されるので、収納されたウェハ１２が電気的に保
護される。
的に有効に保護することができるウェハキャリア及びキ
ャリアボックスを提供する。 【構成】 箱体内部に複数のウェハ１２を収納するウェ
ハキャリア１０において、箱体の各構成面の内部に高い
導電性を有する線材１３を埋設して箱体全体に張りめぐ
らすと共に、箱体の底部に突出部１５を形成し、この突
出部１５に線材１３の外部接続用の露出部１４を設け
る。露出部１４を介して線材１３が外部と電気的に接続
され、ウェハキャリア１０が電気的にアースされて帯電
が防止されるので、収納されたウェハ１２が電気的に保
護される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
おいてウェハを搬送するために使用するウェハキャリア
及びこのウェハキャリアを収容するキャリアボックスに
関する。
おいてウェハを搬送するために使用するウェハキャリア
及びこのウェハキャリアを収容するキャリアボックスに
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造プロセスにおいてウェ
ハは多数の処理工程を経るが、従来、各工程間でウェハ
を搬送するために例えば図１０に示したようなウェハキ
ャリア１０を使用していた。このウェハキャリア１０に
は、テーパ溝状に形成された多数のガイド溝１１が列設
されていて、各ガイド溝１１に各ウェハ１２の外周エッ
ジが係止されて収納されるようになっている。そして、
かかるウェハキャリア１０を使用することにより、複数
（例えば２５枚程度）のウェハ単位で工程間を搬送させ
ることができる。
ハは多数の処理工程を経るが、従来、各工程間でウェハ
を搬送するために例えば図１０に示したようなウェハキ
ャリア１０を使用していた。このウェハキャリア１０に
は、テーパ溝状に形成された多数のガイド溝１１が列設
されていて、各ガイド溝１１に各ウェハ１２の外周エッ
ジが係止されて収納されるようになっている。そして、
かかるウェハキャリア１０を使用することにより、複数
（例えば２５枚程度）のウェハ単位で工程間を搬送させ
ることができる。
【０００３】ところで、ウェハキャリア１０を搬送する
に際し、特にクリーン度が低い場所や作業員が持ち運び
する場合には、ウェハキャリア１０に収納したウェハ１
２に対する防塵を図るため、図１１に示したようなキャ
リアボックス２０を用いる場合がある。即ち図示したよ
うに、ボックス本体２０ａ及びカバー２０ｂから成るキ
ャリアボックス２０内にウェハキャリア１０を封入し
て、かかるキャリアボックス２０によって搬送するとい
うものである。
に際し、特にクリーン度が低い場所や作業員が持ち運び
する場合には、ウェハキャリア１０に収納したウェハ１
２に対する防塵を図るため、図１１に示したようなキャ
リアボックス２０を用いる場合がある。即ち図示したよ
うに、ボックス本体２０ａ及びカバー２０ｂから成るキ
ャリアボックス２０内にウェハキャリア１０を封入し
て、かかるキャリアボックス２０によって搬送するとい
うものである。
【０００４】なお、上記ウェハキャリア１０及びキャリ
アボックス２０は通常、耐熱性及び耐薬品性の合成樹脂
材料、例えばテフロン（但し商品名）等により形成され
ている。
アボックス２０は通常、耐熱性及び耐薬品性の合成樹脂
材料、例えばテフロン（但し商品名）等により形成され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０は上記の
ように合成樹脂材料により形成されていることから、各
種の電気的な機器装置が多い搬送ラインにおける搬送中
に帯電し易く、また、その搬送中に人体等が僅かに接触
しただけでも極めて帯電し易い。そして、これがウェハ
１２に形成される半導体チップ（図示せず）の回路破壊
の原因になるので問題になっていた。
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０は上記の
ように合成樹脂材料により形成されていることから、各
種の電気的な機器装置が多い搬送ラインにおける搬送中
に帯電し易く、また、その搬送中に人体等が僅かに接触
しただけでも極めて帯電し易い。そして、これがウェハ
１２に形成される半導体チップ（図示せず）の回路破壊
の原因になるので問題になっていた。
【０００６】本発明はかかる実情に鑑み、帯電防止効果
に優れ、収納したウェハを電気的に有効に保護すること
ができるウェハキャリア及びキャリアボックスを提供す
ることを目的とする。
に優れ、収納したウェハを電気的に有効に保護すること
ができるウェハキャリア及びキャリアボックスを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によるウェハキャ
リアは、箱体内部に複数のウェハを収納して搬送するよ
うになっているが、上記箱体の各構成面の内部に導電性
の線材を埋設して上記箱体全体に張りめぐらすと共に、
上記箱体の適所例えば底部の突出部に上記線材の外部接
続用の露出部が設けられている。
リアは、箱体内部に複数のウェハを収納して搬送するよ
うになっているが、上記箱体の各構成面の内部に導電性
の線材を埋設して上記箱体全体に張りめぐらすと共に、
上記箱体の適所例えば底部の突出部に上記線材の外部接
続用の露出部が設けられている。
【０００８】また、本発明によるキャリアボックスは、
ウェハキャリアを密封して収容するが、ボックスの各構
成面の内部に導電性の線材を埋設してボックス全体に張
りめぐらすと共に、上記ボックスの適所例えば底部の突
出部に上記線材の外部接続用の露出部が設けられてい
る。
ウェハキャリアを密封して収容するが、ボックスの各構
成面の内部に導電性の線材を埋設してボックス全体に張
りめぐらすと共に、上記ボックスの適所例えば底部の突
出部に上記線材の外部接続用の露出部が設けられてい
る。
【０００９】
【作用】本発明によれば、例えばウェハキャリアの箱体
の底部に突出部を形成した場合、ウェハキャリアの搬送
の前後或いは途中で、アースが取られているテーブル等
の上に載置することにより、突出部に設けられている露
出部を介して、ウェハキャリアの箱体内部に張りめぐら
されている線材が外部と電気的に接続される。そしてこ
れにより、ウェハキャリアの電気的アースが行われる。
このようにウェハキャリア搬送の適宜の段階で、アース
を取ることができるので、ウェハキャリアの帯電を防止
し、またはウェハキャリアが既に帯電している場合には
その静電気を瞬時にアースさせることができる。
の底部に突出部を形成した場合、ウェハキャリアの搬送
の前後或いは途中で、アースが取られているテーブル等
の上に載置することにより、突出部に設けられている露
出部を介して、ウェハキャリアの箱体内部に張りめぐら
されている線材が外部と電気的に接続される。そしてこ
れにより、ウェハキャリアの電気的アースが行われる。
このようにウェハキャリア搬送の適宜の段階で、アース
を取ることができるので、ウェハキャリアの帯電を防止
し、またはウェハキャリアが既に帯電している場合には
その静電気を瞬時にアースさせることができる。
【００１０】一方また、本発明によるキャリアボックス
の底部に突出部を形成した場合、上記と同様にアースが
取られているテーブル等の上に載置することにより、こ
の突出部に設けられている露出部を介して、適宜キャリ
アボックスのアースを取ることができる。これによりキ
ャリアボックス内に収容されたウェハキャリアに対する
帯電防止を図ることができる。
の底部に突出部を形成した場合、上記と同様にアースが
取られているテーブル等の上に載置することにより、こ
の突出部に設けられている露出部を介して、適宜キャリ
アボックスのアースを取ることができる。これによりキ
ャリアボックス内に収容されたウェハキャリアに対する
帯電防止を図ることができる。
【００１１】ウェハキャリア及びキャリアボックスはそ
れぞれそれ単独で、上記のように帯電防止作用を発揮す
るが、さらに、本発明によるウェハキャリア及びキャリ
アボックスを併用して、即ちウェハキャリアをキャリア
ボックス内に収容して使用することにより、帯電防止作
用とウェハに対する防塵作用の双方を完全化することが
できる。
れぞれそれ単独で、上記のように帯電防止作用を発揮す
るが、さらに、本発明によるウェハキャリア及びキャリ
アボックスを併用して、即ちウェハキャリアをキャリア
ボックス内に収容して使用することにより、帯電防止作
用とウェハに対する防塵作用の双方を完全化することが
できる。
【００１２】
【実施例】以下、図１乃至図９に基づき本発明による帯
電防止型ウェハキャリア及びキャリアボックスの一実施
例を説明する。
電防止型ウェハキャリア及びキャリアボックスの一実施
例を説明する。
【００１３】先ず、図１に示されるように本発明による
ウェハキャリア１０は、多数のガイド溝１１が列設され
ていて、各ガイド溝１１に各ウェハ１２の外周エッジが
係止されて収納されるようになっているのは、従来例の
場合と基本的に同様な構成である。そして特に上記ウェ
ハキャリア１０を構成する箱体の各構成面の内部に、高
い導電性を有する線材１３が埋設され、この箱体全体に
金網状に張りめぐらされている。線材１３は、ウェハ１
２に悪影響を与えない材料、例えばアルミニウムや導電
性ポリマー等が用いられる。ウェハキャリア１０は前述
したようにテフロン等の合成樹脂材料により形成される
が、その際に例えば線材１３のインサート成形を行うこ
とにより、線材１３を埋設することができる。なお、各
線材１３の交差部分は互いに接続されている。
ウェハキャリア１０は、多数のガイド溝１１が列設され
ていて、各ガイド溝１１に各ウェハ１２の外周エッジが
係止されて収納されるようになっているのは、従来例の
場合と基本的に同様な構成である。そして特に上記ウェ
ハキャリア１０を構成する箱体の各構成面の内部に、高
い導電性を有する線材１３が埋設され、この箱体全体に
金網状に張りめぐらされている。線材１３は、ウェハ１
２に悪影響を与えない材料、例えばアルミニウムや導電
性ポリマー等が用いられる。ウェハキャリア１０は前述
したようにテフロン等の合成樹脂材料により形成される
が、その際に例えば線材１３のインサート成形を行うこ
とにより、線材１３を埋設することができる。なお、各
線材１３の交差部分は互いに接続されている。
【００１４】また、ウェハキャリア１０の箱体の適所、
例えば本実施例では図２に示したようにウェハキャリア
１０の箱体の底部に、上記線材１３の外部接続用の露出
部１４を設けるために突出部１５が形成されている。突
出部１５はウェハキャリア１０の脚部となるものであ
り、例えば底面の各角部に４か所程度形成されるが、各
突出部１５の表面において、上記線材１３と接続してい
る露出部１４が露出するようになっている。また、各突
出部１５はウェハキャリア１０の底面から同一高さ突出
し、従ってウェハキャリア１０をテーブル（図示せず）
等に載置した場合には全ての露出部１４が同時にこのテ
ーブルの表面に接触するようになっている。
例えば本実施例では図２に示したようにウェハキャリア
１０の箱体の底部に、上記線材１３の外部接続用の露出
部１４を設けるために突出部１５が形成されている。突
出部１５はウェハキャリア１０の脚部となるものであ
り、例えば底面の各角部に４か所程度形成されるが、各
突出部１５の表面において、上記線材１３と接続してい
る露出部１４が露出するようになっている。また、各突
出部１５はウェハキャリア１０の底面から同一高さ突出
し、従ってウェハキャリア１０をテーブル（図示せず）
等に載置した場合には全ての露出部１４が同時にこのテ
ーブルの表面に接触するようになっている。
【００１５】一方、図３及び図４は本発明による帯電防
止型キャリアボックスの構成例を示している。図示した
ようにキャリアボックス２０はボックス本体２０ａ及び
カバー２０ｂから構成されているが、前述と同様に、キ
ャリアボックス２０の各構成面の内部に、高い導電性を
有する線材２１が埋設され、このキャリアボックス２０
全体に金網状に張りめぐらされている。なお、この線材
２１もまたインサート成形により埋設させることができ
る。
止型キャリアボックスの構成例を示している。図示した
ようにキャリアボックス２０はボックス本体２０ａ及び
カバー２０ｂから構成されているが、前述と同様に、キ
ャリアボックス２０の各構成面の内部に、高い導電性を
有する線材２１が埋設され、このキャリアボックス２０
全体に金網状に張りめぐらされている。なお、この線材
２１もまたインサート成形により埋設させることができ
る。
【００１６】また、例えば図３に示したようにキャリア
ボックス２０の底部には、上記線材２１の外部接続用の
露出部２２を設けるために突出部２３が形成されてい
る。この突出部２３はキャリアボックス２０の脚部とな
るものであり、上記ウェハキャリア１０の場合と同様
に、底面の各角部において同一高さになるように、４か
所程度形成されるが、各突出部２３の表面において露出
部２２が露出するようになっている。さらにここで、キ
ャリアボックス２０の内底面には、図４に示したように
前記ウェハキャリア１０の各突出部１５に対応して、そ
れらとそれぞれ嵌合する凹嵌部２４が形成されている。
そして各凹嵌部２４内において、上記線材２１と接続し
ている露出部２２′が前記ウェハキャリア１０の露出部
１４に対する接続部として露出するようになっている
（図５参照）。
ボックス２０の底部には、上記線材２１の外部接続用の
露出部２２を設けるために突出部２３が形成されてい
る。この突出部２３はキャリアボックス２０の脚部とな
るものであり、上記ウェハキャリア１０の場合と同様
に、底面の各角部において同一高さになるように、４か
所程度形成されるが、各突出部２３の表面において露出
部２２が露出するようになっている。さらにここで、キ
ャリアボックス２０の内底面には、図４に示したように
前記ウェハキャリア１０の各突出部１５に対応して、そ
れらとそれぞれ嵌合する凹嵌部２４が形成されている。
そして各凹嵌部２４内において、上記線材２１と接続し
ている露出部２２′が前記ウェハキャリア１０の露出部
１４に対する接続部として露出するようになっている
（図５参照）。
【００１７】なお、図３ではカバー２０ｂがボックス本
体２０ａに閉合した状態が示されているが、この場合例
えば図示したように、カバー２０ｂに設けた嵌合部２５
がボックス本体２０ａの上部内周に嵌着するようになっ
ている。そしてこのボックス本体２０ａ及びカバー２０
ｂの閉合状態で、それぞれに埋設されている線材２１が
相互に接続されるようになっている。
体２０ａに閉合した状態が示されているが、この場合例
えば図示したように、カバー２０ｂに設けた嵌合部２５
がボックス本体２０ａの上部内周に嵌着するようになっ
ている。そしてこのボックス本体２０ａ及びカバー２０
ｂの閉合状態で、それぞれに埋設されている線材２１が
相互に接続されるようになっている。
【００１８】本発明による帯電防止型ウェハキャリア及
びキャリアボックスは上記のように構成されており、次
にその作用を説明する。
びキャリアボックスは上記のように構成されており、次
にその作用を説明する。
【００１９】先ず例えば、多数のウェハ１２を収納した
ウェハキャリア１０は、ウェハ処理工程間の搬送途中
で、または一連のウェハ処理工程から別のウェハ処理工
程へ移送する際に、自動搬送台車や人手等によって運ば
れる。そしてそのままでは、ウェハキャリア１０は容易
に帯電してしまうが、このような搬送の前後或いは途中
でウェハキャリア１０をアースが取られている例えばス
テンレス製のテーブル等に適宜載置することにより、ウ
ェハキャリア１０の底部に設けられている露出部１４が
テーブル表面と接触する。これによりかかる露出部１４
を介して、ウェハキャリア１０に張りめぐらされている
線材１３が外部と電気的に接続され、即ちウェハキャリ
ア１０が電気的にアースされる。
ウェハキャリア１０は、ウェハ処理工程間の搬送途中
で、または一連のウェハ処理工程から別のウェハ処理工
程へ移送する際に、自動搬送台車や人手等によって運ば
れる。そしてそのままでは、ウェハキャリア１０は容易
に帯電してしまうが、このような搬送の前後或いは途中
でウェハキャリア１０をアースが取られている例えばス
テンレス製のテーブル等に適宜載置することにより、ウ
ェハキャリア１０の底部に設けられている露出部１４が
テーブル表面と接触する。これによりかかる露出部１４
を介して、ウェハキャリア１０に張りめぐらされている
線材１３が外部と電気的に接続され、即ちウェハキャリ
ア１０が電気的にアースされる。
【００２０】このようにウェハキャリア１０を搬送する
際に適宜の段階で、ウェハキャリア１０のアースを取る
ことができるので、ウェハキャリア１０の帯電を防止
し、またはウェハキャリア１０が既に帯電している場合
にはその静電気を瞬時にアースさせることができる。こ
れにより、収納されたウェハ１２の電気的な保護を図る
ことができる。
際に適宜の段階で、ウェハキャリア１０のアースを取る
ことができるので、ウェハキャリア１０の帯電を防止
し、またはウェハキャリア１０が既に帯電している場合
にはその静電気を瞬時にアースさせることができる。こ
れにより、収納されたウェハ１２の電気的な保護を図る
ことができる。
【００２１】一方、キャリアボックス２０の搬送前後或
いは途中で、上記ウェハキャリア１０の場合と同様に、
アースが取られているテーブル等に適宜載置することに
より、キャリアボックス２０の底部に設けられている露
出部２２がテーブル表面と接触し、かかる露出部２２を
介してキャリアボックス２０をアースさせることができ
る。この場合、キャリアボックス２０には、本発明に係
るウェハキャリア１０を収納してもよく、また従来例で
説明した構成の一般的なウェハキャリア（図１０参照）
を収納してもよい。いずれの場合でもキャリアボックス
２０自体が帯電防止型であるから、収納されたウェハ１
２を有効に保護し得ることができる。
いは途中で、上記ウェハキャリア１０の場合と同様に、
アースが取られているテーブル等に適宜載置することに
より、キャリアボックス２０の底部に設けられている露
出部２２がテーブル表面と接触し、かかる露出部２２を
介してキャリアボックス２０をアースさせることができ
る。この場合、キャリアボックス２０には、本発明に係
るウェハキャリア１０を収納してもよく、また従来例で
説明した構成の一般的なウェハキャリア（図１０参照）
を収納してもよい。いずれの場合でもキャリアボックス
２０自体が帯電防止型であるから、収納されたウェハ１
２を有効に保護し得ることができる。
【００２２】上記のようにウェハキャリア１０及びキャ
リアボックス２０はそれぞれそれ単独で用いた場合でも
帯電防止作用を発揮するが、ここで図６は本発明による
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０を併用し
た場合を示している。即ちウェハキャリア１０をキャリ
アボックス２０内に収納して使用するが、この場合、ウ
ェハキャリア１０の各突出部１５がキャリアボックス２
０の内底面に形成されている凹嵌部２４とそれぞれ嵌合
し（図７）、これによりウェハキャリア１０に張りめぐ
らされている線材１３の露出部１４とキャリアボックス
２０に張りめぐらされている線材２１の露出部２２′と
が接触する。かかる露出部１４及び露出部２２′の相互
接触により線材１３と線材２１が接続され、これにより
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０双方に対
するアースを前記露出部２２を介して同時に取ることが
できる。この場合、特にウェハキャリア１０がキャリア
ボックス２０内に密閉して収納されているため、ウェハ
キャリア１０に装着されたウェハ１２に対する防塵効果
に優れている。
リアボックス２０はそれぞれそれ単独で用いた場合でも
帯電防止作用を発揮するが、ここで図６は本発明による
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０を併用し
た場合を示している。即ちウェハキャリア１０をキャリ
アボックス２０内に収納して使用するが、この場合、ウ
ェハキャリア１０の各突出部１５がキャリアボックス２
０の内底面に形成されている凹嵌部２４とそれぞれ嵌合
し（図７）、これによりウェハキャリア１０に張りめぐ
らされている線材１３の露出部１４とキャリアボックス
２０に張りめぐらされている線材２１の露出部２２′と
が接触する。かかる露出部１４及び露出部２２′の相互
接触により線材１３と線材２１が接続され、これにより
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０双方に対
するアースを前記露出部２２を介して同時に取ることが
できる。この場合、特にウェハキャリア１０がキャリア
ボックス２０内に密閉して収納されているため、ウェハ
キャリア１０に装着されたウェハ１２に対する防塵効果
に優れている。
【００２３】さらに、図８は本発明によるキャリアボッ
クス２０を相互に積み重ねて使用する場合の例を示して
いる。この例では特にキャリアボックス２０のカバー２
０ｂの上面には、図９に示したように積み重ねられたキ
ャリアボックス２０のボックス本体２０ａの底部に形成
されている各突出部２３に対応して、それらとそれぞれ
嵌合する凹嵌部２７が形成されている。そして各凹嵌部
２７内において、線材２１と接続している露出部２２″
が露出するようになっている。
クス２０を相互に積み重ねて使用する場合の例を示して
いる。この例では特にキャリアボックス２０のカバー２
０ｂの上面には、図９に示したように積み重ねられたキ
ャリアボックス２０のボックス本体２０ａの底部に形成
されている各突出部２３に対応して、それらとそれぞれ
嵌合する凹嵌部２７が形成されている。そして各凹嵌部
２７内において、線材２１と接続している露出部２２″
が露出するようになっている。
【００２４】そしてこの場合には、キャリアボックス２
０を相互に積み重ねることにより、突出部２３と凹嵌部
２７が嵌合して、一方のキャリアボックス２０の線材２
１と他方のキャリアボックス２０の線材２１とが露出部
２２、２２″を介して接続されるから、上下双方のキャ
リアボックス２０を同時にアースさせることができる。
なお、このように相互に積み重ねられるキャリアボック
ス２０は２個の場合に限らず、３個以上を積み重ねて行
うことができるのは勿論である。
０を相互に積み重ねることにより、突出部２３と凹嵌部
２７が嵌合して、一方のキャリアボックス２０の線材２
１と他方のキャリアボックス２０の線材２１とが露出部
２２、２２″を介して接続されるから、上下双方のキャ
リアボックス２０を同時にアースさせることができる。
なお、このように相互に積み重ねられるキャリアボック
ス２０は２個の場合に限らず、３個以上を積み重ねて行
うことができるのは勿論である。
【００２５】上記実施例においては、ウェハキャリア１
０及びキャリアボックス２０の底部に露出部１４又は露
出部２２を設ける例を示したが、これらの場合の他に、
ウェハキャリア１０又はキャリアボックス２０の側部適
所に１個または複数個の露出部を設けてもよく、このよ
うにウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０の側
部においてアースを取るようにした場合にも上記実施例
と同様な作用効果を得ることができる。
０及びキャリアボックス２０の底部に露出部１４又は露
出部２２を設ける例を示したが、これらの場合の他に、
ウェハキャリア１０又はキャリアボックス２０の側部適
所に１個または複数個の露出部を設けてもよく、このよ
うにウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０の側
部においてアースを取るようにした場合にも上記実施例
と同様な作用効果を得ることができる。
【００２６】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、ウェハ
キャリア又はキャリアボックス或いはウェハキャリアと
キャリアボックスの双方を搬送過程の適宜の段階でアー
スさせることができるので、ウェハの帯電を効果的に防
止することができ、ウェハの電気的な有効保護に優れて
いる等の利点がある。そして、この種の半導体装置の製
造プロセスを円滑に行わせることができる。
キャリア又はキャリアボックス或いはウェハキャリアと
キャリアボックスの双方を搬送過程の適宜の段階でアー
スさせることができるので、ウェハの帯電を効果的に防
止することができ、ウェハの電気的な有効保護に優れて
いる等の利点がある。そして、この種の半導体装置の製
造プロセスを円滑に行わせることができる。
【図１】本発明による帯電防止型ウェハキャリアの一実
施例の斜視図である。
施例の斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明による帯電防止型キャリアボックスの一
実施例の一部破断正面図である。
実施例の一部破断正面図である。
【図４】本発明による上記キャリアボックスのボックス
本体の平面図である。
本体の平面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線に沿う拡大断面図である。
【図６】本発明による帯電防止型ウェハキャリア及びキ
ャリアボックスの併用使用例を示す正面図である。
ャリアボックスの併用使用例を示す正面図である。
【図７】図６のＣ部拡大断面図である。
【図８】本発明による上記キャリアボックスの他の使用
例を示す正面図である。
例を示す正面図である。
【図９】図８のＤ部拡大断面図である。
【図１０】従来のウェハキャリアの斜視図である。
【図１１】従来のウェハキャリア及びキャリアボックス
の使用例を示す斜視図である。
の使用例を示す斜視図である。
１０ ウェハキャリア １１ ガイド溝 １２ ウェハ １３ 線材 １４ 露出部 １５ 突出部 ２０ キャリアボックス ２１ 線材 ２２ 露出部 ２２′ 露出部 ２２″ 露出部 ２３ 突出部 ２４ 凹嵌部 ２７ 凹嵌部
Claims (5)
- 【請求項１】 箱体内部に複数のウェハを収納して搬送
するためのウェハキャリアにおいて、上記箱体の各構成
面の内部に導電性の線材を埋設して上記箱体全体に張り
めぐらすと共に、上記箱体の適所に上記線材の外部接続
用の露出部を設けたことを特徴とするウェハキャリア。 - 【請求項２】 上記箱体の底部に突出部を形成し、この
突出部に上記露出部を設けたことを特徴とする請求項１
に記載のウェハキャリア。 - 【請求項３】 ウェハキャリアを密封して収容するキャ
リアボックスにおいて、ボックスの各構成面の内部に導
電性の線材を埋設してボックス全体に張りめぐらすと共
に、上記ボックスの適所に上記線材の外部接続用の露出
部を設けたことを特徴とするキャリアボックス。 - 【請求項４】 上記ボックスの底部に突出部を形成し、
この突出部に上記露出部を設けたことを特徴とする請求
項３に記載のキャリアボックス。 - 【請求項５】 請求項１に記載のウェハキャリアを密封
して収容するキャリアボックスであって、ボックスの各
構成面の内部に導電性の線材を埋設してボックス全体に
張りめぐらすと共に、上記ボックスの適所に上記線材の
外部接続用の露出部と上記ウェハキャリアの露出部に対
する接続部とを設けたことを特徴とするキャリアボック
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8455992A JPH05254582A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | ウェハキャリア及びキャリアボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8455992A JPH05254582A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | ウェハキャリア及びキャリアボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05254582A true JPH05254582A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=13834006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8455992A Withdrawn JPH05254582A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | ウェハキャリア及びキャリアボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05254582A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007511097A (ja) * | 2003-11-07 | 2007-04-26 | インテグリス・インコーポレーテッド | 基板コンテナ |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP8455992A patent/JPH05254582A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| US8276759B2 (en) | 2001-11-27 | 2012-10-02 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| JP2007511097A (ja) * | 2003-11-07 | 2007-04-26 | インテグリス・インコーポレーテッド | 基板コンテナ |
| JP4927554B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2012-05-09 | インテグリス・インコーポレーテッド | 基板コンテナおよび基板コンテナを製造する方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |