JP2007511097A - 基板コンテナ - Google Patents
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Abstract
Description
本願は米国特許法第§119(e)条の優先権を主張し、2003年11月7日出願の米国仮出願第60/518,188号を援用により組み込むものとする。
(発明の属する技術分野)
本発明は、輸送、保管および加工(processing)用にシリコンウエハ、メモリ・ディスクおよびその同種のものを閉じ込めるための装置に関する。詳細には、本発明は、静電気保護機能を備えた基板コンテナに関する。
うな環境上の影響を非常に受けやすいことはよく知られている。
を磨くかまたは擦ることにより生成され得る。それ故、キャリアの最も望ましい特性は、プラスチック成形材料が摩滅、摩擦または擦過した際の粒子生成に対する抵抗である。特許文献1はウエハ・キャリアのそのような材料の適性に関連するプラスチックの種々の特性について説明している。特許文献1は援用により本明細書に組み込まれる。
作、移動、輸送または保管中に、雰囲気中の塵粒子や化学汚染物質からウエハを保護するための保護エンクロージャを提供する。
去および挿入できるよう、ディスクは加工装置に対して正確に配置される必要がある。例えば多数の構成部品を利用するウエハ・キャリアのような先行技術のウエハ・キャリアでは、構成プラスチック部品のスタッキングまたは公差(tolerance)によって引き起こさ
れる、重要な寸法の不都合な変化がある場合がある。ウエハ面と外部加工装置インタフェースとの間に許容できる公差を有するウエハ・キャリアを製造する際のこのような問題を克服するために、従来より単一体(monolithic)のウエハ・キャリアが使用されている。
れた炭素充填PEEKのような静電気散逸材料(SDM)から成るオーバーモールドされた導電性の主要通路部分を有してもよい。図2に描かれているように、主要通路部分は上壁42を底部50および電気接地されたプレート55に接続する導電性の経路を形成する。図5に示した別の実施形態では、導電性主要通路は、導電性パッド135と電気的に結
合し得る。導電性パッド135は、負荷を分配するリフト・サドル27の側壁に対する取り付け箇所を形成する位置140,141で、側壁45,46内に成形されると共に側壁45,46から突出する。導電性経路は、シェルの透明材料によって分離された反復経路を有するグリッドを備え得る配列に配置される。導電性経路の分離は約1.27cm(約2分の1インチ)〜約3.83cm(約1.5インチ)であると考えられる。リフト・サドル27はロボット・フランジ115と連接されており、ロボット・フランジ115から側壁45,46へと負荷を分配する役目を果たす。リフト・サドルの導電性パッド135との相互連結は、動作中にロボット・フランジ115に蓄積し得る静電荷を接地する電気経路を有効に提供する。
ア(Ω/□)の表面抵抗を有する。材料が接地のための導電経路を提供するためには、これより小さい抵抗が適当であり得る。
ら取外し、第1の部分を第2の型の中に配置するという工程の必要性を無くすものである。
Claims (21)
- 基板コンテナであって、
ドアと、
コンテナ部分と、該コンテナ部分は一対の概ね向かい合う側壁を有し、前記側壁の各々は前記基板が前記コンテナ内にある場合に前記基板を見るべく露出された透明な部分を有することと、
背面壁と、
上壁と、
底部と、
一対の概ね向かい合う側柱と、前記側柱の一つが前記側壁の各々から内部に延び、前記側柱の各々が、前記基板を収容する棚と、前記基板を収容するスペースを区画形成する前記側壁、前記背面壁、および底部とを区画形成することと、
静電気を放散するための接地経路を提供する、前記透明な部分の外側に面する表面に延びる実質的に連続しかつ分離した導電性材料の反復配列と、
を備えた基板コンテナ。 - 反復配列がグリッドとして構成される請求項1に記載のコンテナ。
- 前記配列が前記棚と電気的に連絡している請求項1に記載のコンテナ。
- 前記配列が前記上壁にもさらに存在する、請求項3に記載のコンテナ。
- 前記配列前記底部にもさらに存在する、請求項4に記載のコンテナ。
- 前記上壁と前記底部を電気接続する、前記側壁に存在する導電性主要通路をさらに備えた、請求項1に記載のコンテナ。
- 前記棚は導電性である、請求項1に記載のコンテナ。
- 前記グリッドは概ね一様である、請求項2に記載のコンテナ。
- 前記グリッドは直線である、請求項2に記載のコンテナ。
- 前記コンテナは主にポリカーボネートで構成されている、請求項1に記載のコンテナ。
- 前記棚は導電性である、請求項1に記載のコンテナ。
- コンテナであって、
構造体を囲むスペースから該構造体の中に配置された基板を密封して分離する該構造体と、
前記構造体内に配置された前記基板を保持するための複数の棚と、
前記構造体に存在する静電気を放散する手段と、
を備えたコンテナ。 - 基板を提供するコンテナであって、
一対の概ね向かい合う側壁と、
前記側壁の各々に実質的に隣接している背面壁と、
前記側壁の各々および前記背面壁に実質的に隣接している底部と、
前記側壁の各々および前記背面壁に実質的に隣接している上壁と、
ドアを受け取る開放された正面部を区画形成するドアフレームと、
前記側壁の各々から延びる棚を有する柱と、
前記コンテナからの静電気を導くための接地経路を提供する、前記側壁に存在する概ね分離しかつ連続した導電性反復のグリッドと
を備えたコンテナ。 - 側壁の各々に実質的に透明な窓をさらに備えた、請求項13に記載のコンテナ。
- 基板を密封収容するコンテナから静電気の電荷を放散させる方法であって、該コンテナは、該コンテナに埋め込まれると共に前記静電気に対する接地経路を提供する概ね分離しかつ連続した導電性材料の網状構造を有し、前記方法は、前記コンテナから前記導電性材料の網状構造上を通って静電気を導くことから成る、方法。
- 前記放散手段は、導電性材料の概ね分離しかつ連続したグリッドを含み、前記コンテナから電荷を導くことは前記グリッドを介して前記電荷を導くことから成る、請求項15に記載の方法。
- 前記コンテナは向かい合う側壁、上壁、背面壁、および底部を有し、前記グリッドは前記側壁、前記上壁、前記背面壁、および前記底部に埋め込まれている、請求項16に記載の方法。
- 前記コンテナは前記側壁の各々の内部表面から延びる導電性リブ配列を備え、前記コンテナから前記電荷を導くことは前記リブ配列の各々を介して前記電荷を導くことから成る、請求項17に記載の方法。
- 基板を密封収容するコンテナを製造する方法であって、
透明な部分に隣接している分離し概ね連続した導電性材料の反復グリッドワークと共にコンテナの該透明な部分を成形すること、および
シェルの一部分を前記透明な部分にオーバーモールドすること、
から成る方法。 - 前記透明な部分の成形は射出成形を含む、請求項19に記載の方法。
- ポリカーボネートがオーバーモールドされる、請求項20に記載の方法。
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