JP2014067744A - 搬送装置及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被搬送体を位置決めする第1の位置決め用ピンを有し、前記被搬送体に収納された被処理体を受け渡すための保持台と、前記被搬送体を前記保持台に載置するために、前記被搬送体を把持するアーム部と、前記保持台に載置された前記被搬送体を固定するための支持手段と、を有し、前記第1の位置決め用ピン、前記アーム部及び前記支持手段の少なくとも1つが、接地要素を有する、搬送装置。
【選択図】図1
Description
前記被搬送体を前記保持台に載置するために、前記被搬送体を把持するアーム部と、
前記保持台に載置された前記被搬送体を固定するための支持手段と、
を有し、
前記第1の位置決め用ピン、前記アーム部及び前記支持手段の少なくとも1つが、接地要素を有する、
搬送装置。
先ず、本実施形態に係る搬送装置及び該搬送装置を備える処理装置の構成例について説明する。図1に、本実施形態に係る搬送装置を用いた処理装置の概略図を示す。また、図2に、本実施形態に係る搬送装置の概略図を示す。
次に、密閉型収納容器20の構造について、図を用いて詳細に説明する。図4に、本実施形態に係る搬送装置7で搬送される密閉型収納装置の概略図を示す。また、図5に、図4の密閉型収容装置の底面の概略図を示す。以後、本明細書における左右とは、図4の水平方向のことを指し、上下(頂面及び底面)とは、図4の鉛直方向のことを指す。
第1の実施形態では、搬送装置7の位置決め用ピン8に接地要素Eを設置することによる、接地の効果を確認した実施形態について説明する。
(1)フランジ24、
(2)支持部27、
(3)その他の部分32(収納容器20の天井面における、フランジ24から蓋体22に対向する側)、
(4)その他の部分32(収納容器20の天井面における、フランジ24から蓋体24側)
の測定箇所で行った(図8の横軸参照)。
第2の実施形態では、搬送装置7の位置決め用ピン8に接地要素Eを設置することによる、ウエハWへのパーティクルの吸着が抑制できることを確認した実施形態について説明する。
2 壁体
3 密閉型収納容器(FOUP)
4 載置台
5 収納棚
6 保持台
7 搬送装置
8 位置決め用ピン
20 収納容器
21 開口部
22 蓋体
23 首部
24 フランジ
25 フランジ部
26 収納容器本体
27 支持部
28 接続部
29 係合溝
30 位置決め溝
40 固定機構
41 固定手段
E 接地要素
S1 ウエハ搬送領域
S2 収納容器搬送領域
W ウエハ
Claims (8)
- 被搬送体を位置決めする第1の位置決め用ピンを有し、前記被搬送体に収納された被処理体を受け渡すための保持台と、
前記被搬送体を前記保持台に載置するために、前記被搬送体を把持するアーム部と、
前記保持台に載置された前記被搬送体を固定するための支持手段と、
を有し、
前記第1の位置決め用ピン、前記アーム部及び前記支持手段の少なくとも1つが、接地要素を有する、
搬送装置。 - 前記第1の位置決め用ピンが接地要素を有し、
前記被搬送体は、前記位置決め用ピンに係合する位置決め溝を有する、
請求項1に記載の搬送装置。 - 前記被搬送体を位置決めする第2の位置決め用ピンを有し、前記被搬送体を搬出入する載置台と、
前記被搬送体を位置決めする第3の位置決め用ピンを有し、前記被搬送体を収納する収納棚と、
を更に有し、
前記第2の位置決め用ピン及び前記第3の位置決め用ピンの少なくとも一方は、接地要素を有する、
請求項1又は2に記載の搬送装置。 - 前記位置決め用ピンは3本のピンであり、
前記3本のピンのいずれか1つが接地要素を有する、
請求項2又は3に記載の搬送装置。 - 前記アーム部が接地要素を有し、
前記被搬送体は、前記アーム部が把時するフランジを有する、
請求項1に記載の搬送装置。 - 前記支持手段が接地要素を有し、
前記保持台は移動可能であり、
前記支持手段は、前記被搬送体の上面の少なくとも一部に係合することによって、移動可能な前記保持台に載置された前記被搬送体を固定する、
請求項1に記載の搬送装置。 - 前記被搬送体は、半導体ウエハを収納した密閉型カセットである、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の搬送装置。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の搬送装置と、
前記保持体で受け渡された前記被処理体を熱処理するための熱処理装置と、
を有する、処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012209825A JP2014067744A (ja) | 2012-09-24 | 2012-09-24 | 搬送装置及び処理装置 |
US14/028,640 US20140086712A1 (en) | 2012-09-24 | 2013-09-17 | Transportng apparatus and processing apparatus |
TW102133851A TW201432839A (zh) | 2012-09-24 | 2013-09-18 | 運送裝置及處理裝置 |
KR1020130112777A KR20140040652A (ko) | 2012-09-24 | 2013-09-23 | 반송 장치 및 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012209825A JP2014067744A (ja) | 2012-09-24 | 2012-09-24 | 搬送装置及び処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014067744A true JP2014067744A (ja) | 2014-04-17 |
JP2014067744A5 JP2014067744A5 (ja) | 2015-04-02 |
Family
ID=50339012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012209825A Pending JP2014067744A (ja) | 2012-09-24 | 2012-09-24 | 搬送装置及び処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140086712A1 (ja) |
JP (1) | JP2014067744A (ja) |
KR (1) | KR20140040652A (ja) |
TW (1) | TW201432839A (ja) |
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- 2013-09-18 TW TW102133851A patent/TW201432839A/zh unknown
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KR20140040652A (ko) | 2014-04-03 |
TW201432839A (zh) | 2014-08-16 |
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