TWI634064B - 晶圓載具 - Google Patents

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Abstract

本發明係提供一種晶圓載具，其包含下側板、左側板、右側板、上側板、後側板、左滑軌組、右滑軌組、左止擋部件、右止擋部件以及控制閘門。左側板可連接下側板之左端。右側板可連接下側板之右端。上側板可連接左側板及右側板之上端。後側板可連接下側板、左側板及上側板之後端。左滑軌組可設置於左側板之內表面上。右滑軌組可設置於右側板之內表面上。左止擋部件可設置於左滑軌組上。右止擋部件可設置於右滑軌組上。控制閘門可包含前側板及鎖設部件，鎖設部件可將前側板固定於左側板、右側板、上側板及下側板前端。

Description

晶圓載具
本發明係關於一種晶圓載具，特別是一種以塑膠製成可減少微塵顆粒掉落於晶圓上之晶圓載具。
一般目前晶圓之先進製程，由於其精密性，因此對於微塵顆粒的容忍性越來越低，而由於現今部分之晶圓載具之部分構件可能由於形狀不匹配或是材料特性等，造成於運送過程中微塵顆粒，使得後續的製程將無法達到要求，因此需要一種晶圓載具以解決上述習知問題。
本發明係一種可利用塑膠射出方式形成之晶圓載具，可以利用塑膠之材料以及易加工之特性，有效的減少微塵顆粒的掉落機會。
基於上述目的，本發明係提供一種晶圓載具，其以塑膠射出方式形成，可包含下側板、左側板、右側板、上側板、後側板、左滑軌組、右滑軌組、左止擋部件、右止擋部件以及控制閘門。左側板可連接下側板之左端。右側板可連接下側板之右端。上側板可連接左側板及右側板之上端。後側板可連接下側板、左側板及上側板之後端。左滑軌組可設置於左側板之內表面上，並可包含複數個左滑軌。右滑軌組可設置於右側板之內表面上，並可包含複數個 右滑軌，複數個晶圓支架可滑移地設置於左滑軌組及右滑軌組上，且各複數個晶圓支架可乘載晶圓並具有圓弧外緣。左止擋部件可設置於左滑軌組上，並具有對應圓弧外緣之左導角表面，可止擋各複數個晶圓支架之滑移。右止擋部件可設置於右滑軌組上，並具有對應該圓弧外緣之右導角表面，可止擋各複數個晶圓支架之滑移。控制閘門可包含前側板及鎖設部件，鎖設部件可將前側板固定於左側板、右側板、上側板及下側板前端。
較佳地，左導角表面及右導角表面可具有對應圓弧外緣之形狀。
較佳地，左止擋部件及右止擋部件止檔各複數個晶圓支架時，圓弧外緣之一部分可撐抵於左導角表面及右導角表面上。
較佳地，左側板及右側板可鎖設於下側板上。
較佳地，上側板可鎖設於左側板及右側板之上端。
較佳地，後側板可鎖設於下側板、左側板及上側板之後端。
較佳地，本發明之晶圓載具更包含加固板及複數個提把。
較佳地，加固板可包含塑膠、金屬及碳纖維。
較佳地，加固板可鎖設於上側板之內表面，複數個提把可穿透上側板，鎖設於加固板上。
較佳地，下側板、左側板、右側板、上側板、後側板及控制閘門可包含透明塑膠。
10‧‧‧晶圓載具
100‧‧‧下側板
200‧‧‧左側板
201‧‧‧左滑軌組
2011‧‧‧左滑軌
202‧‧‧左止擋部件
2021‧‧‧左導角表面
300‧‧‧右側板
301‧‧‧右滑軌組
3011‧‧‧右滑軌
302‧‧‧右止擋部件
3021‧‧‧右導角表面
303‧‧‧側提把
400‧‧‧上側板
500‧‧‧後側板
600‧‧‧控制閘門
601‧‧‧前側板
602‧‧‧鎖設部件
700‧‧‧晶圓支架
701‧‧‧晶圓
800‧‧‧加固板
900‧‧‧提把
第1圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之元件分解示意圖。
第2圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之上視圖。
第3圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之下視圖。
第4圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之側視圖。
第5圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之實施示意圖。
為利 貴審查員瞭解本發明之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本發明配合附圖，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明之用，未必為本發明實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本發明於實際實施上的權利範圍，合先敘明。
現請參閱第1圖，第1圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之元件分解示意圖，本發明之晶圓載具，可以塑膠射出方式形成，可包含下側板100、左側板200、右側板300、上側板400、後側板500、左滑軌組201、右滑軌組301、左止擋部件202、右止擋部件302以及控制閘門600，由於本發明之各元件係以塑膠射出方式形成，因此可有效的減少可能會掉落在晶圓上的微塵顆粒，並減少整體結構的重量。
現請一併參閱第2圖至第4圖，其分別係為根據本發明之實施例之晶圓載具之上視圖、根據本發明之實施例之晶圓載具之下視圖以及根據本發明之實施例之晶圓載具之側視圖。本發明之左側板200可連接至下側板100之左端，而右側板300可連接至下側板100之右端，上側板400可連接左側板200及右側板300之上端，後側板500可連接下側板100、左側板200及上側板400之後端， 因此下側板100、左側板200、右側板300、上側板400、後側板500可構成一開放之盒狀空間，以容納晶圓。
而為了要順利的放置複數個晶圓701，將會使用複數個晶圓支架700，各複數個晶圓支架700可乘載一片晶圓701，因此為了順利的放置晶圓701及晶圓支架700，左滑軌組201可設置於左側板200之內表面上，右滑軌組301可設置於右側板300之內表面上，且左滑軌組201及右滑軌組301分別可包含複數個左滑軌2011及複數個右滑軌3011。因此，複數個晶圓支架700為可滑移地設置於左滑軌組201及右滑軌組301上。
現請參閱第5圖，並一併參閱第1圖至第4圖，第5圖係根據本發明之實施例之晶圓載具之實施示意圖。由於乘載晶圓701之各複數個晶圓支架700具有圓弧外緣，且晶圓支架700可包含金屬，例如不鏽鋼，且為可滑移地設置於左滑軌組201及右滑軌組301上，因此需要對複數個晶圓支架700止擋或限位，以防止晶圓支架700撞擊到後側板500，造成微塵顆粒的產生或其他元件的損壞。因此，本發明之左止擋部件202可設置於左滑軌組201上，並具有對應圓弧外緣之左導角表面2021，可止擋各複數個晶圓支架700之滑移，而右止擋部件302可設置於右滑軌組301上，並具有對應圓弧外緣之右導角表面3021，可止擋各複數個晶圓支架700之滑移。
進一步說明，本發明之左導角表面2021及右導角表面3021可具有對應圓弧外緣之形狀，因此當左止擋部件202及右止擋部件302止擋各複數個晶圓支架700時，圓弧外緣之一部分可撐抵於左導角表面2021及右導角表面3021 上，藉此不會因為晶圓支架700與左止擋部件202及右止擋部件302兩者形狀間的差異，而造成撞擊而產生微塵顆粒。
由於本發明之晶圓載具10，可以塑膠射出方式形成，因此可於左止擋部件202及右止擋部件302上設置對應於晶圓支架700圓弧外緣的左導角表面2021及右導角表面3021，利用左導角表面2021及右導角表面3021可以減少晶圓支架700撞擊或摩擦左止擋部件202及右止擋部件302可能會產生的微塵顆粒。
而本發明之控制閘門600可包含前側板601及鎖設部件602，鎖設部件602可將前側板601固定於左側板200、右側板300、上側板400及下側板100前端，因此可利用前側板601固定於左側板200、右側板300、上側板400、下側板100以及後側板500構成一封閉之盒狀空間，防止晶圓支架700及晶圓701的掉落。
在一實施例中，鎖設部件602可以手動或是器械的方式開啟，以確保晶圓701於輸送時不會掉落，最終造成破片，而鎖設部件602可以栓鎖方式、卡榫方式等使前側板601固定於左側板200、右側板300、上側板400及下側板100前端。
在一實施例中，左側板200可鎖設於下側板100上，右側板300可鎖設於下側板100上，上側板400可鎖設於左側板200及右側板300之上端，後側板500可鎖設於下側板100、左側板200及上側板400之後端，因此本發明之各部件可於塑膠射出形成後再行組裝。
在一實施例中，本發明可更包含加固板800及複數個提把900，加固板800可包含塑膠、金屬及碳纖維，因此除了具有一定的強度之外，亦可達成 整體結構輕量化的效果，而加固板800可鎖設於上側板400之內表面，複數個提把900可穿透上側板400，鎖設於加固板800上，因此本發明之晶圓載具10可以手提方式提取，而在其他實施例中，本發明之晶圓載具10亦可使用運輸裝置夾取或搬運，以利自動化生產流程的進行。
在一實施例中，本發明可更包含側提把303，側提把303可設置於右側板300之外表面上，以利本發明之晶圓載具10之搬運或是移位，可與提把900互相配合，並可因此而減少直接拿起晶圓載具10可能造成之掉落或是碰撞的機會。
而在另一實施例中，下側板100、左側板200、右側板300、上側板400、後側板500及控制閘門600可包含透明塑膠，因此可依據晶圓701的不同，適度的使用透明塑膠，而若是晶圓701為不適合照射某段波長的光，例如黃光、紫外光等，或是於晶圓701的輸送過程中需將不同的產品進行區隔時，例如前段製程、後段製程、測量等，可選用不同顏色之可透光塑膠，或是不可透光之塑膠，以使得本發明之晶圓載具10可具有多種變化，適應各種情況使用。
以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應包含於後附之申請專利範圍中。

Claims (8)

  1. 一種晶圓載具，係以塑膠射出方式形成，係包含：一下側板；一左側板，係連接該下側板之左端；一右側板，係連接該下側板之右端；一上側板，係連接該左側板及該右側板之上端；一後側板，係連接該下側板、該左側板及該上側板之後端；一左滑軌組，係設置於該左側板之內表面上，包含複數個左滑軌；一右滑軌組，係設置於該右側板之內表面上，包含複數個右滑軌，複數個晶圓支架係可滑移地設置於該左滑軌組及該右滑軌組上，且各該複數個晶圓支架係乘載一晶圓並具有一圓弧外緣；一左止擋部件，係設置於該左滑軌組上，並具有對應該圓弧外緣之一左導角表面，止擋各該複數個晶圓支架之滑移；一右止擋部件，係設置於該右滑軌組上，並具有對應該圓弧外緣之一右導角表面，止擋各該複數個晶圓支架之滑移；以及一控制閘門，係包含一前側板及一鎖設部件，該鎖設部件係將該前側板固定於該左側板、該右側板、該上側板及該下側板前端；其中，該左導角表面及該右導角表面係具有對應該圓弧外緣之形狀，該左止擋部件及該右止擋部件止擋各該複數個晶圓支架時，該圓弧外緣之一部分係撐抵於該左導角表面及該右導角表面上。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載具，其中該左側板及該右側板係鎖設於該下側板上。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載具，其中該上側板係鎖設於該左側板及該右側板之上端。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載具，其中該後側板係鎖設於該下側板、該左側板及該上側板之後端。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載具，更包含一加固板及複數個提把。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之晶圓載具，其中該加固板係包含塑膠、金屬及碳纖維。
  7. 如申請專利範圍第5項所述之晶圓載具，其中該加固板係鎖設於該上側板之內表面，該複數個提把係穿透該上側板，鎖設於該加固板上。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載具，其中該下側板、該左側板、該右側板、該上側板、該後側板及該控制閘門係包含透明塑膠。
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