CN109524337B - 晶圆载具 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种晶圆载具，其包含下侧板、左侧板、右侧板、上侧板、后侧板、左滑轨组、右滑轨组、左止挡部件、右止挡部件以及控制闸门。左侧板可连接于下侧板的左端。右侧板可连接于下侧板的右端。上侧板可连接于左侧板及右侧板的上端。后侧板可连接于下侧板、左侧板及上侧板的后端。左滑轨组可设置于左侧板的内表面上。右滑轨组可设置于右侧板的内表面上。左止挡部件可设置于左滑轨组上。右止挡部件可设置于右滑轨组上。控制闸门可包含前侧板及锁设部件，锁设部件可将前侧板固定于左侧板、右侧板、上侧板及下侧板的前端。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶圆载具，特别涉及一种以塑料制成的可减少微尘颗粒掉落于晶圆上的晶圆载具。
背景技术
一般目前晶圆的先进制程，由于其精密性，对于微尘颗粒的容忍性越来越低，而由于现今部分的晶圆载具的部分构件可能由于形状不匹配或是材料特性等原因，造成在运送过程中的微尘颗粒，使得后续的制程将无法达到要求，因此需要一种晶圆载具以解决上述现有问题。
发明内容
本发明提供了一种可利用塑料射出方式形成的晶圆载具，可以利用塑料的材料以及易加工的特性，有效的减少微尘颗粒的掉落机会。
基于上述目的，本发明提供一种晶圆载具，其以塑料射出方式形成，可包含下侧板、左侧板、右侧板、上侧板、后侧板、左滑轨组、右滑轨组、左止挡部件、右止挡部件以及控制闸门。左侧板可连接于下侧板的左端。右侧板可连接于下侧板的右端。上侧板可连接于左侧板及右侧板的上端。后侧板可连接于下侧板、左侧板及上侧板的后端。左滑轨组可设置于左侧板的内表面上，并可包含多个左滑轨。右滑轨组可设置于右侧板的内表面上，并可包含多个右滑轨，多个晶圆支架可滑移地设置于左滑轨组及右滑轨组上，且各个晶圆支架可乘载晶圆并具有圆弧外缘。左止挡部件可设置于左滑轨组上，并具有对应圆弧外缘的左导角表面，可止挡各个晶圆支架的滑移。右止挡部件可设置于右滑轨组上，并具有对应圆弧外缘的右导角表面，可止挡各个晶圆支架的滑移。控制闸门可包含前侧板及锁设部件，锁设部件可将前侧板固定于左侧板、右侧板、上侧板及下侧板的前端。
优选地，左导角表面及右导角表面可具有对应圆弧外缘的形状。
优选地，左止挡部件及右止挡部件止档各个晶圆支架时，圆弧外缘的一部分可撑抵于左导角表面及右导角表面上。
优选地，左侧板及右侧板可锁设于下侧板上。
优选地，上侧板可锁设于左侧板及右侧板的上端。
优选地，后侧板可锁设于下侧板、左侧板及上侧板的后端。
优选地，本发明的晶圆载具还包含加固板及多个提把。
优选地，加固板可包含塑料、金属及碳纤维。
优选地，加固板可锁设于上侧板的内表面，多个提把可穿透上侧板，锁设于加固板上。
优选地，下侧板、左侧板、右侧板、上侧板、后侧板及控制闸门可包含透明塑料。
附图说明
图1为根据本发明实施例的晶圆载具的组件分解示意图；
图2为根据本发明实施例的晶圆载具从斜上方观察的立体透视图；
图3为根据本发明实施例的晶圆载具的俯视图；
图4为根据本发明实施例的晶圆载具的后视图；
图5为根据本发明实施例的晶圆载具的实施示意图。
符号说明
10、晶圆载具
100、下侧板
200、左侧板
201、左滑轨组
2011、左滑轨
202、左止挡部件
2021、左导角表面
300、右侧板
301、右滑轨组
3011、右滑轨
302、右止挡部件
3021、右导角表面
303、侧提把
400、上侧板
500、后侧板
600、控制闸门
601、前侧板
602、锁设部件
700、晶圆支架
701、晶圆
800、加固板
900、提把
具体实施方式
为了解释本发明之技术特征、内容与优点及其所能达成的功效，兹将本发明配合附图，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的附图，其主旨仅为示意及辅助说明之用，未必为本发明实施后的真实比例与精准配置，故不应就附图的比例与配置关系解读、局限本发明在实际实施上的权利范围，在此事先说明。
现请见图1所述，图1为根据本发明实施例的晶圆载具的组件分解示意图。本发明的晶圆载具10，可以塑料射出方式形成，可包含下侧板100、左侧板200、右侧板300、上侧板400、后侧板500(图1未示出)、左滑轨组201(图1未示出)、右滑轨组301(图1未示出)、左止挡部件202、右止挡部件302以及控制闸门600(图1未示出)，由于本发明的各组件以塑料射出方式形成，因此可有效的减少可能会掉落在晶圆上的微尘颗粒，并减少整体结构的重量。
现请一并参阅图2至图4，其分别为根据本发明实施例的晶圆载具从斜上方观察的立体透视图、根据本发明实施例的晶圆载具的俯视图以及根据本发明实施例的晶圆载具的后视图。本发明的左侧板200可连接至下侧板100的左端，而右侧板300可连接至下侧板100的右端，上侧板400可连接左侧板200及右侧板300的上端，后侧板500可连接下侧板100、左侧板200及上侧板400的后端，因此下侧板100、左侧板200、右侧板300、上侧板400、后侧板500可构成一开放的盒状空间，以容纳晶圆。
而为了要顺利的放置多个晶圆701，将会使用多个晶圆支架700，每个晶圆支架700可乘载一片晶圆701，因此为了顺利的放置晶圆701及晶圆支架700，左滑轨组201可设置于左侧板200的内表面上，右滑轨组301可设置于右侧板300的内表面上，且左滑轨组201及右滑轨组301分别可包含多个左滑轨2011及多个右滑轨3011。因此，多个晶圆支架700可滑移地设置于左滑轨组201及右滑轨组301上。
现请参阅图5，并一并参阅图1至图4，图5为根据本发明实施例的晶圆载具的实施示意图。由于乘载晶圆701的各个晶圆支架700具有圆弧外缘，且晶圆支架700可包含金属，例如不锈钢，且为可滑移地设置于左滑轨组201及右滑轨组301上，因此需要对多个晶圆支架700止挡或限位，以防止晶圆支架700撞击到后侧板500，造成微尘颗粒的产生或其他组件的损坏。因此，本发明的左止挡部件202可设置于左滑轨组201上，并具有对应圆弧外缘的左导角表面2021，可止挡各个晶圆支架700的滑移，而右止挡部件302可设置于右滑轨组301上，并具有对应圆弧外缘的右导角表面3021，可止挡各个晶圆支架700的滑移。
进一步说明，本发明中的左导角表面2021及右导角表面3021可具有对应圆弧外缘的形状，因此当左止挡部件202及右止挡部件302止挡各个晶圆支架700时，圆弧外缘的一部分可撑抵于左导角表面2021及右导角表面3021上，藉此不会因为晶圆支架700与左止挡部件202及右止挡部件302形状间的差异，而造成撞击产生微尘颗粒。
由于本发明的晶圆载具10，可以塑料射出方式形成，因此可在左止挡部件202及右止挡部件302上设置对应于晶圆支架700圆弧外缘的左导角表面2021及右导角表面3021，利用左导角表面2021及右导角表面3021可以减少晶圆支架700撞击或摩擦左止挡部件202及右止挡部件302可能会产生的微尘颗粒。
而本发明中的控制闸门600可包含前侧板601及锁设部件602，锁设部件602可将前侧板601固定于左侧板200、右侧板300、上侧板400及下侧板100前端，因此可利用前侧板601固定于左侧板200、右侧板300、上侧板400、下侧板100以及后侧板500构成一封闭的盒状空间，防止晶圆支架700及晶圆701的掉落。
在一实施例中，锁设部件602可以手动或是器械的方式开启，以确保晶圆701在输送时不会掉落，最终造成破片，而锁设部件602可以栓锁方式、卡榫方式等使前侧板601固定于左侧板200、右侧板300、上侧板400及下侧板100前端。
在一实施例中，左侧板200可锁设于下侧板100上，右侧板300可锁设于下侧板100上，上侧板400可锁设于左侧板200及右侧板300的上端，后侧板500可锁设于下侧板100、左侧板200及上侧板400的后端，因此本发明的各部件可在塑料射出形成后再行组装。
在一实施例中，本发明还可包含加固板800及多个提把900，加固板800可包含塑料、金属及碳纤维，因此除了具有一定的强度之外，亦可达成整体结构轻量化的效果，而加固板800可锁设于上侧板400的内表面，多个提把900可穿透上侧板400，锁设于加固板800上，因此本发明的晶圆载具10可以手提方式提取，而在其他实施例中，本发明的晶圆载具10亦可使用运输装置夹取或搬运，以利于自动化生产流程的进行。
在一实施例中，本发明还可包含侧提把303，侧提把303可设置于右侧板300的外表面上，以利于本发明的晶圆载具10的搬运或是移位，可与提把900互相配合，并可因此而减少直接拿起晶圆载具10可能造成的掉落或是碰撞的机会。
而在另一实施例中，下侧板100、左侧板200、右侧板300、上侧板400、后侧板500及控制闸门600可包含透明塑料，因此可依据晶圆701的不同，适度的使用透明塑料，而若是晶圆701为不适合照射某段波长的光，例如黄光、紫外光等，或是在晶圆701的输送过程中需将不同的产品进行区隔时，例如前段制程、后段制程、测量等，可选用不同颜色的可透光塑料，或是不可透光塑料，以使得本发明的晶圆载具10可具有多种变化，适应各种情况使用。
以上所述仅为举例性，而非为限制性说明。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含在本发明保护的范围之内。
Claims (8)
1.一种晶圆载具，其以塑料射出方式形成，其特征在于：其包含：
下侧板；
左侧板，连接于所述下侧板的左端；
右侧板，连接于所述下侧板的右端；
上侧板，连接于所述左侧板及所述右侧板的上端；
后侧板，连接于所述下侧板、所述左侧板及所述上侧板的后端；
左滑轨组，设置于所述左侧板的内表面上，包含多个左滑轨；
右滑轨组，设置于所述右侧板的内表面上，包含多个右滑轨，多个晶圆支架可滑移地设置于所述左滑轨组及所述右滑轨组上，且每个晶圆支架乘载晶圆并具有圆弧外缘；左止挡部件，设置于所述左滑轨组上，并具有对应所述圆弧外缘的左导角表面，以止挡各个晶圆支架的滑移；
右止挡部件，设置于所述右滑轨组上，并具有对应所述圆弧外缘的右导角表面，以止挡各个晶圆支架的滑移；以及
控制闸门，包含前侧板及锁设部件，所述锁设部件将所述前侧板固定于所述左侧板、所述右侧板、所述上侧板及所述下侧板的前端；
所述左导角表面及所述右导角表面具有对应所述圆弧外缘的形状；
所述左止挡部件及所述右止挡部件止挡各个所述多个晶圆支架时，所述圆弧外缘的一部分撑抵于所述左导角表面及所述右导角表面上。
2.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于：所述左侧板及所述右侧板锁设于所述下侧板上。
3.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于：所述上侧板锁设于所述左侧板及所述右侧板的上端。
4.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于：所述后侧板锁设于所述下侧板、所述左侧板及所述上侧板的后端。
5.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于：还包含一加固板及多个提把。
6.根据权利要求5所述的晶圆载具，其特征在于：所述加固板包含塑料、金属及碳纤维。
7.根据权利要求5所述的晶圆载具，其特征在于：所述加固板锁设于所述上侧板的内表面；所述多个提把穿透所述上侧板，并锁设于所述加固板上。
8.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于：所述下侧板、所述左侧板、所述右侧板、所述上侧板、所述后侧板及所述控制闸门包含透明塑料。
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