JP2015520946A - ウェーハを支える交換可能なバックストップ - Google Patents

Abstract

ウェーハ容器であって、上壁、底壁、一対の側壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた収容部があって、このドア枠で前面開口が形成されており、２つの側面ウェーハ支持部材を備えたウェーハ支持構造体があって、各側面ウェーハ支持部材が着脱式バックストップを備えている。本発明には、着脱式バックストップを交換することによってウェーハ容器の手入れをすることが含まれる。本発明には、大径ウェーハを鉛直状態で輸送する輸送用容器を、ウェーハを処理中にロボットで掴めるよう水平状態で格納するための製造設備用容器に転換することが含まれる。

Description

本願は、２０１２年５月４日に出願した米国仮出願第６１６４３０９１号の優先権を主張する。その出願とそれに含めた付属書類は本明細書に参照援用する。

本発明は半導体ウェーハ等の繊細な基板のための容器、特にそのような容器のウェーハ支持構造に関するものである。

コンピュータチップなどの集積回路は半導体ウェーハから製造される。このウェーハは、集積回路を製造する過程で多くの工程を経る。これは一般的に、特殊な装置で処理するため複数枚のウェーハをひとつの作業場から別の作業場に搬送することが伴う。処理手順の一部として、ウェーハは容器に入れて一時的に保管したり、別の工場やエンドユーザに輸送することもある。このような施設内、施設間の移動があると、ウェーハをだめにする可能性のある汚染物質が生じたり、そのような汚染物質にウェーハがさらされたりすることがある。この汚染物質がウェーハに与える悪影響を低減するため、汚染物質の生成をできるだけ抑えるとともにウェーハを外部の汚染物質から隔離できる特殊な容器が開発されてきた。こうした容器に共通する主な特徴は、ウェーハを支える支持構造が内部に設けられているという点である。

プラスチック製容器は、処理工程の間に、ウェーハを搬送・保管するための数十年間使用されてきた。このような容器は、処理設備だけでなく、容器を搬送する設備・ロボットとの接触部の許容範囲が高度に制御されている。ネジ等の金属製の固定具は取り付け、取り外し時に粒子生成を引き起こす可能性があるため、こうしたプラスチック容器には金属製の固定具を使わずに着脱できるような部品を使用するのが望ましい。

他にも半導体ウェーハを搬送・保管する容器に必要となる望ましい特性としては、軽量、剛性、清潔で、ガスの排出量が限られており、製造の費用効果が高いことがある。容器が閉じている時は、ウェーハが気密状態、あるいは気密に近い状態に隔離される。簡単に言えば、こういった容器はウェーハを清浄でかつ汚染や損傷のない状態に維持できる必要がある。さらに搬送容器は、容器の上部に来たロボットフランジによって搬送容器を持ち上げられるなど、ロボットによる過酷な取り扱いの間もその機能を維持できる必要がある。さらに搬送容器は輸送中あらゆる方向から衝撃を受けるのみならず、輸送中に向きを何度も変えられることもある。

前面開口ウェーハ容器は、大径３００ｍｍのウェーハを搬送・保管する場合の業界標準となっている。このような容器では、前面のドアが収容部のドア枠の内側にラッチし、ウェーハがロボットで挿入されたり取り出されたりする際に通る前面の出し入れ用開口を閉じることができるようになっている。ウェーハが容器に完全に格納されたら、ドアを収容部のドア枠に嵌め込みそこにラッチさせる。収容部は一般に、上壁、底壁、側壁、後壁、そして前面開口を形成するドア枠を備えたものである。

半導体産業は現在、さらに大きな直径４５０ｍｍのウェーハを使用する傾向にある。大径のウェーハは費用効果が大きいが、同時にもろさが増加し重さが大きくなり、プラスチック製の容器内で大径ウェーハを取り扱ったり保管したりすることに伴う未発見の問題もある。上面、下面、側面、前面、背面のプラスチックの面積が広がるのに伴い、たわみやこれに関連する問題は悪化してくる。搬送容器のドアがこれを受ける搬送容器シェルの枠内に据え付けられると、ドアクッションによってウェーハが搬送容器シェルの後部付近にある剛性面（バックストップ）に押さえ付けられる。ＦＡＢ施設内でウェーハを搬送するのに使用されるＦＯＵＰなどの搬送容器においてバックストップを用いて整列させる理由の一つは、ウェーハを径方向について正確な位置に合わせることである。これには懸念すべきことがいくつかある。まず、ドアクッションによって加わるウェーハの保持力が大きい場合、ウェーハとバックストップとの間の接触応力でバックストップの表面が永久変形する可能性がある。二つ目に、ウェーハのバックストップは時間がたつと搬送容器の搬送中にウェーハと接触して摩耗する。この摩耗は通常の搬送動作によっても過度の搬送振動の条件によっても発生する可能性がある。三つ目に、これら二つの問題を抑制すべくバックストップをウェーハ支持部材とは異なる材料で製造する必要がある。バックストップを着脱可能とする設計は存在するが、その場合バックストップの部品が搬送容器シェルの後部の内壁に取り付けられるため、この構造ではウェーハの中心軸に対するウェーハバックストップの接触面の位置に起因して、ウェーハの位置が不正確になってしまう傾向がある。

ＦＯＳＢやＭＡＣなど、ウェーハの輸送に使用されるウェーハ搬送容器は、概して、ウェーハ輸送時にウェーハを持ち上げ、ウェーハ支持部材が含まれている。ウェーハ輸送容器次いでＦＡＢで使用する目的に転用した場合、ウェーハが高い位置に格納されるのはもはや望ましくない。

これらの問題に関連して、従来のウェーハ取り扱い装置やウェーハ容器にはいくつかの欠点が伴う。従来の手法ではウェーハバックストップがウェーハ支持部材と一体化されている。したがってバックストップはウェーハ支持部材と同じ材料から作られる。そしてウェーハ支持部材は摩耗性の低い剛性のある材料から作られる。ウェーハ支持体はウェーハを保持することで生じる接触応力に耐えられるように設計されてはいるものの、バックストップは時間が経てば搬送中に通常発生する力が原因となって磨耗する。

別の従来技術の手法では、ウェーハのバックストップはウェーハ支持部材の上にオーバーモールドされ、ウェーハ支持部材とは異なる材料となっている。オーバーモールドされる材料は耐摩耗性が高く、剛性がある。ウェーハを支えるバックストップはウェーハを保持することで生じる接触応力に耐えられるように設計されてはいるものの、やはりバックストップは時間が経てば搬送中に通常発生する力によって磨耗する。

したがって業界ではこれらの問題のひとつ以上を対処したウェーハ容器が必要がある。この必要性は特に直径４５０ｍｍ以上のウェーハ容器に存在する。

本発明の実施例は、ウェーハ容器の搬送時に誘発される容器壁の過度の摩耗や変形にまつわる問題のひとつ以上を軽減あるいは緩和するウェーハ容器が業界で必要性に応えるものである。特にこのような問題は直径４５０ｍｍ以上の大径ウェーハ用の容器で起きる。

ウェーハ容器の収容部には、上壁と、底壁と、一対の側壁と、後壁と、後壁と反対側のドア枠とがあって、このドア枠が前面開口を形成しており、さらに２つの側面ウェーハ支持部材５を備えたウェーハ支持構造体があって、この側面ウェーハ支持部材がそれぞれ着脱式バックストップを備えている。本発明では、着脱式バックストップを交換することによってウェーハ容器の手入れをする。また本発明では、大径ウェーハを縦向きの状態で輸送する輸送用容器を、処理の際にロボットが掴み取れるようウェーハを水平に格納する製造設備用容器へと転用する。

ひとつの実施例として、大径ウェーハに適した前面開口ウェーハ容器は、交換可能でかつウェーハ支持シェルを形成する材料とは異なる弾性率を有する材料で形成されたウェーハバックストップを使用する。ウェーハバックストップは、ウェーハ支持部材の材料よりも高い耐摩耗性を有する材料で形成される。本発明のバックストップは、交換可能であり、ウェーハ容器のシェル内のバックストップの取り外し、交換、組み付けを容易にするスナップ嵌合式のばね部を含む。

本発明の実施例では、着脱式バックストップは後部中央から左右それぞれ約４０度から約５０度の位置でウェーハを受ける。その特徴と利点は、ロボットによる取り出しのためウェーハを中央に寄せることのできる理想的な位置だということである。

本発明のひとつの実施例として、ウェーハを輸送できるように構成された搬送容器は、例えば両側の側面ウェーハ支持部材のそれぞれにバックストップを追加することによってＦＡＢ内での搬送や保管ができるように構成することもできる。実施例によっては、このような構成において、容器内にある輸送だけを目的としたウェーハクッションを取り外すこともできる。このウェーハクッションは、例えば、収容部の背面に設けられる着脱式クッションや、左右のウェーハ支持部材の前側にある左右前方の領域に設けられる着脱式クッションである。

本発明の利点と特徴のひとつは、磨耗したバックストップが現場で簡単に取り替えできることである。

本発明の利点と特徴は、バックストップが交換可能であるため運用コストが下がることである。ウェーハ支持部材や搬送容器の全体を取り替えるのではなくバックストップのみを取り替えればよい。現状は、一体型バックストップが摩耗してウェーハ支持部材全体を取り替える場合、搬送容器に関連するウェーハの平面を確認し直す必要がある。

本発明の別の利点は、本発明にしたがってウェーハバックストップを取り替えることによってウェーハの径方向の位置を新たな位置に移動させることができるということである。

本発明の実施例の特に４５０ｍｍの場合の利点と特徴は、交換可能な後部バックストップが中央にある場合と比べると本発明のバックストップの位置はウェーハ支持体上にあるため、ウェーハを径方向についてより正確な位置にもってくることができることである。組み付け公差が同等であると仮定すれば、幾何学的関係から、後部にバックストップを配置するとｙ方向（前後）についてはウェーハの位置が正確になる一方、ｘ方向（左右）についてはウェーハの位置の精度が低くなると言える。本発明のウェーハ支持バックストップの位置は、搬送容器の後部と側面との間でバランスがとれた位置となっており最適である。

本発明の実施例の利点と特徴のひとつは、ウェーハ保持力が加わったたときにウェーハを支えているウェーハバックストップが永久変形することである。ウェーハバックストップを交換可能とした場合、ウェーハ支持部材と異なる材料を用いて製造することもできる。ウェーハ支持部材を低弾性率材料で形成した場合、交換可能なバックストップはそれより降伏強度の高い高弾性率材料で形成することもできる。

本発明の実施例の特徴と利点のひとつは、バックストップのウェーハ接触面が複数の位置決め当接面とロック部に近接しており、バックストップを取り替えるときのウェーハの位置決め再現性が得られることである。近接させることにより、成型のばらつきやわずかな不整合などに起因する誤差を最小限に抑えられる。実施例によっては、ウェーハ接触面は位置決め当接面から１．５ｃｍ以内とする。実施例によっては１ｃｍ以内とする。また実施例によっては２ｃｍ以内とする。

実施例の特徴と利点のひとつは、バックストップの位置が、これに代わる従来の大きな広い精度の悪いシェル部ではなく、ウェーハ支持部材という小さい部品から離されていることである。側面ウェーハ支持部材は、ロボットのウェーハピックアップの要件があるため、高い精度で正確な位置に置く必要が既にある。シェルの後側には従来のウェーハストップが配置されることがあるが、この部位には正確な位置決めの要件がなく、壁には広大な面積の樹脂があるため、それを基準とするストップの位置決め精度は悪くなる。

ウェーハ保持力が加わるのに伴う接触応力が材料の降伏強度よりも小さいと仮定すれば、本発明のバックストップに永久変形は発生しない。

添付の図面と関連する以下の様々な実施例についての詳細な説明を検討すれば本発明の実施例をより完全に理解できるであろう。
図１は本発明のひとつの実施例である前面開口ウェーハ容器の分解正面斜視図である。 図２は図１の容器に用いるウェーハ支持アセンブリのひとつの実施例の分解斜視図である。 図３は図１の容器に用いる図２のウェーハ支持アセンブリの実施例の組立斜視図である。 図４は本発明の別の実施例である図１の容器に用いる図２のウェーハ支持アセンブリの実施例の組立斜視図である。 図５は本発明のひとつの実施例であるウェーハ収納容器の正面図である。 図６は図５の６−６切断線での図５のウェーハ容器の断面図である。 図７は本発明のひとつの実施例であるウェーハ収納容器の正面図である。 図８は図７の８−８切断線での断面図である。 図９は本発明のひとつの実施例であるウェーハ収納容器の正面図である。 図１０は図９の１０−１０切断線での断面図である。 図１１は本発明のひとつの実施例であるウェーハ収納容器の正面図である。 図１２は図１１の１２−１２切断線での断面図である。 図１３は本発明のひとつの実施例であるウェーハ収納容器の正面図である。 図１４は側面ウェーハ支持部材の協働する取り付け部、具体的には突出片を受け入れるための挿入部の断面詳細図である。 図１５はスプリングキャッチを備えたバックストップを側面ウェーハ支持部材に取り付けた図１４の断面図である。

本発明は様々な修正および代替形態が可能であるが、その詳細は図面に例として示したほか、以下で詳細に説明する。その意図は本発明をここに説明する特定の実施例に限定するものではないばかりか、本発明の趣旨および範囲に含まれるすべての修正、均等物、代替物を包含させるものと理解すべきである。

詳細な説明
本出願の目的では相対的な方向を「ｘ」「ｙ」「ｚ」を用いて説明することがあるが、容器の各部品に対するこれらの呼称は図１の一部に示した方向指示と一致させているつもりである。

図１を参照すると、前面開口ウェーハ容器２０は概して収容部２２と前面ドア２４から構成される。収容部２２は概して上壁２６、底壁２７、側壁２８、３０、後壁３２、そして前面開口３６を形成するドア枠３４を備えている。また、ドア枠３４の上面４２と底面４６のそれぞれにラッチボルト用凹部５６が形成されている。ラッチボルト用凹部５６はそれぞれ隆起部５８に囲まれている。ドア枠３４の内縁５７には外側に面するロック溝５５が形成されている。収容部２２の中には、複数の挿入部６２にウェーハを受け入れることのできるウェーハ支持構造体６０を設けてもよい。当技術分野で知られているように、収容部２２の上部と底部の外側の面にはそれぞれロボットで持ち上げるためのフランジ６４とキネマティックカップリング６６を設けてもよい。

前面ドア２４は概して裏側７０、表側７２、外周上面７４、外周側面７６、７８、外周底面８０のある本体部６８を備えている。表側７２には一対のラッチ凹部（図示せず）が形成されており、前面パネル８２によって覆われている。ラッチ凹部はそれぞれキーで操作可能なラッチ機構（図示せず）を受け入れるようになっており、キーを前面パネル８２の鍵穴８４に挿入し随意にラッチボルト８６を前進させたり後退させたりすることで、収容部２２のラッチボルト用凹部５６に係合させ、前面ドア２４をドア枠３４に固定できるようになっている。このラッチ機構は概して米国特許第４９９５４３０号、第７１８２２０３号、第７１６８５８７号のいずれかに開示されている通りに構成することができる。これらの特許はすべて本出願の所有者が所有するものであり、すべて本明細書に参照援用する。

図２、図３、図４、図１４、図１５を参照すると、ウェーハ支持構造体６０は、概して、互いにほぼ鏡像関係にある２つの側面ウェーハ支持部材１００で構成される。本発明では、側面ウェーハ支持部材１００に着脱式バックストップ１０２が付属する。

着脱式バックストップ１０２は、ウェーハ当接部１０４と取り付け部ないし結合部１０６とを含む。ウェーハ当接部には、縦に並んだ複数のウェーハ当接面１０８、縦方向の後縁部１１０、上端部１１２、下端部１１４がある。ウェーハ当接面１０８はそれぞれ対応する挿入部６２および対応するウェーハ棚１１７の上面１１５と一直線上に並んでいる。

結合部１０６には概して位置決め部１１６とスナップ部１１８があり、これらはすべて水平に突き出た突出片として形成される。位置決め部１１６は、開口１２０と本体１２４から延びる周辺の隆起部１２２とを備えたものとしてもよい。スナップ部１１８は端部１２６と中央の撓み部１２８を備えたものとしてもよい。中央の撓み部１２８は、外向きに突出したフック部１３１として形成されるスプリングキャッチないしスナップキャッチ１３０を備えたものとしてもよい。

ウェーハ支持構造６０は受け部となる協働する取り付け部１３２を備えたものとなっており、この取り付け部１３２は突出片として形成された結合部１０６を受け入れることのできる挿入部１３３として、相補的に形成される。この結合の受け部１３２は、位置決め部の受け入れ部１３４と、ばね部の受け部１３６と、キャッチ面１３７を備えたものとする。結合部１３２はウェーハ当接面１０８とほぼ径方向に並んだバックストップのウェーハ当接部を当て止めする当接面１３９を有している。

位置決め部受け入れ部１３４とスナップ部受け入れ部１３６はいずれも挿入部が形成されているが、これらの挿入部は後壁１４０に背後を支えられ前壁１４２を境とする隔壁１３８によって分け隔てられている。

図６、図８、図１０、図１２を参照すると、側面ウェーハ支持部材１００と着脱式バックストップ１０２が収容部２２に置かれた状態が断面図で示されている。

図１３を参照すると、側面ウェーハ支持部材１００と着脱式バックストップ１０２が組み立て（取り付け）前の位置と組み立て（取り付け）後の位置で示されている。

使用時には、位置決め部１１６とスナップ部ないしばね部１１８をそれぞれ位置決め部受け部１３４とスナップ部ないしばね部受け部１３６に挿入する。こうするとウェーハ支持斜面が挿入部６２と一直線上に並び、挿入部６２に挿入されたウェーハがｘ方向とｙ方向の両方向に動かないよう支えられる。このように、ウェーハは輸送中に発生しうる衝撃から保護されるだけでなく、径方向について正確な位置に来る。時間が経ってウェーハ支持部１０４が磨耗した場合には、現場であっても着脱式バックストップ１０２を側面ウェーハ支持部材１００から引っ張ってばね部材ないしスナップ部材を外すことによってバックストップを簡単に取り外すことができ、また新しい着脱式バックストップ１０２を付けることができる。国際出願ＰＣＴ／ＵＳ２０１１／０５６９４４号と米国特許第２２６７２４５号には本発明の多くの一般的な特徴を有するウェーハ容器が説明されているため、これらの参考文献はその全体を本明細書に参照援用する。

上記の説明と付属書類には、本発明の各種実施例の完全な理解を与えるために多数の具体的な細部を示している。当業者には明らかなことであるが、本明細書に開示した各種実施例はそういった具体的な細部の一部あるいは全部がなくとも実施することができる。他の例として、当業者に知られているような構成部材は、本発明を不必要に不明瞭にするのを避けるため、本明細書では詳細に記載していない。以上の説明には各種実施例の構造と機能の詳細とあわせて各種実施例の多くの特徴および利点を示したものの、この内容は例示に過ぎないと理解されたい。これ以外の実施例であっても本発明の原理と精神を採用するものを構成することができる。このため本出願は本発明をいかように改造ないし変形したものをも含んでいるものとの意図がある。

本発明の特許請求の範囲を解釈する目的において、特許請求の範囲に「〜する手段」「〜する過程」という特定の用語が記載されていない限り、３５ＵＳＣ第１１２条第６項の規定を呼び起こすべきではないとの明示的な意図がある。

以上本願のすべての項目における参考文献は、その全文をあらゆる目的のために本明細書に参照援用する。

本明細書（参照援用した参照文献と、添付の特許請求の範囲、要約書、図面を含む）に開示した全ての特徴や開示した任意の方法ないし工程の全ての段階は、このような特徴や手順の少なくともいくつかが互いに排他的な組み合わせである場合を除いて、任意の組み合わせでも組み合わされ得る。

本明細書（参照援用した参照文献と、添付の特許請求の範囲、要約書、図面を含む）に開示した各特徴は、そうでないと明示されていない限り、同一、均等、類似の目的を果たす代替の特徴によって置き換えることもできる。故に、そうでないと明示されていない限り、開示した各特徴は、包括的な均等ないし類似の一連の特徴の一例にすぎない。

本発明は前述の（複数の）実施例の詳細に限定しない。本発明は本明細書（参照援用した参照文献と、添付の特許請求の範囲、要約書、図面を含む）に開示されている特徴の任意の新たなもの若しくは任意の新たな組み合わせに、又は開示される任意の方法ないし工程の手順の、任意の新たなもの若しくは任意の新たな組み合わせにも及ぶ。以上、本出願の全ての部分における参照は、あらゆる目的のためにその全文をここに参照援用する。

本明細書では各種の具体例を図示し説明しているが、図示した具体例に代えて同じ目的を達成可能であると評価できる任意の構成を用いることができることは当業者であれば明らかであろう。本出願は対象物を作り変えたり変形したりしたものを含むことを意図する。したがって、添付の特許請求の範囲とその法的な均等物のみならず、続く例示の態様によっても発明の範囲を定めることもできるとの意図がある。本発明の上述の態様の実施例はその原理を単に説明するものであり、限定するものとしてみなされるべきではない。本明細書に開示した発明は当業者によってさらに変更を行う場合があり、このような変更の全ては本発明の範囲内であるとみなす。

Claims (26)

1. 大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、
   上壁、キネマティックカップリングが設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた収容部があって、ドア枠で前面開口が形成されており、
   ２つの側面ウェーハ支持部材を備えたウェーハ支持構造があって、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えており、一方の側面ウェーハ支持部材が左壁に、他方が右壁に配置されており、各側面ウェーハ支持部材の後側にバックストップを受け入れるための取り付け構造が設けられており、
   一対のウェーハバックストップがあって、この各ウェーハバックストップが各ウェーハ支持構造の後側の取り付け構造へ取り付けるための協働する取り付け構造を備えており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えていることを特徴とする前面開口容器。
2. 請求項１の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップと一対のウェーハ支持部材のうち、一方に横向きの突出片が複数あり、他方にその突出片を受け入れるように構成した横向きの挿入部が複数あることを特徴とする前面開口容器。
3. 請求項２の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、横向きに延びる複数の突出片に、一対のバックストップを一対のウェーハ支持部材に解除可能にロックできる複数のスプリングキャッチが設けられていることを特徴とする前面開口容器。
4. 請求項１の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、縦に並んだ複数のウェーハ当接面が、収容部に収められたウェーハの軸心から後方にまっすぐ延びる鉛直な平面に対し軸心から見て４０度から５０度の位置にあることを特徴とする前面開口容器。
5. 請求項１の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップにそれぞれ複数の鉛直ウェーハ当接面が設けられ、これらが複数のウェーハ棚の上面と一直線上に並んでいるとともにその上面を横切る向きになっており、複数枚のウェーハをロボットで掴めるようウェーハ棚上で中央に寄せることができる位置に配置されていることを特徴とする前面開口容器。
6. 請求項５の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、ウェーハ支持部材が鉛直方向に配列された複数のストップ面を備え、ウェーハバックストップの各ウェーハ当接面と実質径方向に一直線上に並んでおり、一対のウェーハバックストップのそれぞれがウェーハ支持部材の複数のストップ面のところで対応するウェーハ支持部材に係合することを特徴とする前面開口容器。
7. 上記請求項のいずれか一項の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、複数のウェーハ棚に複数枚の４５０ｍｍ径ウェーハを乗せたもの。
8. 複数の大径半導体ウェーハを収容するための前面開口容器であって、
   ロボットフランジを受け入れられるようになっている上壁、キネマティックカップリングの設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた開口した内部のある収容部があって、ドア枠が前面開口を形成しており、
   収容部の中に２つの側面ウェーハ支持部材が設けられ、その一方が左壁側に、他方が右壁側にあり、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えて大径半導体ウェーハの挿入部が形成されており、一方の側面ウェーハ支持部材が左壁に、他方が右壁に配置されており、各側面ウェーハ支持部材が前部と後部を備えており、
   一対のウェーハバックストップが２つの各ウェーハ支持構造の後部の端に着脱可能に取り付けられており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えており、
   ラッチ機構を備え開口した前面を密閉するように構成されたドアが設けられており、このドアに複数枚の大径ウェーハを受けるためのウェーハクッションが設けられていることを特徴とする。
9. 請求項８の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップと一対のウェーハ支持部材のうち、一方に横向きの突出片が複数あり、他方にその突出片を受け入れるように構成した横向きの挿入部が複数あることを特徴とする前面開口容器。
10. 請求項８の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、横向きに延びる複数の突出片に、一対のバックストップを一対のウェーハ支持部材に解除可能にロックできる複数のスプリングキャッチが設けられていることを特徴とする前面開口容器。
11. 請求項８の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップが一対のウェーハ支持部材とは異なる材料で形成されていることを特徴とする前面開口容器。
12. 請求項８の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップにそれぞれ複数の鉛直ウェーハ当接面が設けられ、これらが複数のウェーハ棚の上面と一直線上に並んでいるとともにその上面を横切る向きになっており、複数枚のウェーハをロボットで掴めるようウェーハ棚上で中央に寄せることができる位置に配置されていることを特徴とする前面開口容器。
13. 請求項８の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、ウェーハ支持部材が鉛直方向に配列された複数のストップ面を備え、ウェーハバックストップの各ウェーハ当接面と実質径方向に一直線上に並んでおり、一対のウェーハバックストップのそれぞれがウェーハ支持部材の複数のストップ面のところで対応するウェーハ支持部材に係合することを特徴とする前面開口容器。
14. 請求項８から請求項１３のいずれかの大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、複数の挿入部に複数枚の４５０ｍｍ径ウェーハが入ったもの。
15. 前面開口のある収容部があり、その内部に複数の棚を備えた一対のウェーハ支持部材があって４５０ｍｍのウェーハ挿入部ができるよう約４５０ｍｍ隔てられており、ドアを受けるための前面開口とドアとを備えた大径ウェーハ容器の手入れをする方法であって、
    ウェーハ支持部材の少なくとも一つの取り付け部と協働する少なくとも一つの取り付け部のある鉛直方向に細長い部材からなる一対のバックストップをウェーハ支持部材から取り外し、
    ウェーハ支持部材の取り付け部に一対の新たなバックストップを組み付けることを特徴とする方法。
16. 請求項１５の方法であって、バックストップを取り外す際、各バックストップの複数のスプリングキャッチをそのバックストップと一体となったまま解除することを特徴とする方法。
17. 請求項１５の方法であって、一対の新しいバックストップを組み付ける際、各バックストップの複数のスプリングキャッチを撓ませてウェーハ支持部材にラッチさせることを特徴とする方法。
18. 請求項１５の方法であって、一対のバックストップを取り外す際、複数の挿入部に嵌合した複数の突出片を引き抜くことを特徴とする。
19. 前面開口ウェーハ容器内の一対のウェーハ支持体に一対のバックストップを組み付ける方法であって、各バックストップに一体化している複数のスプリングキャッチと同じ方向に各バックストップを内側に押さえながら、スプリングキャッチを一対の側面ウェーハ支持部材の協働する部分との係合状態から解除することを特徴とする方法。
20. 前面開口ウェーハ容器内で鉛直方向に軸をもつ複数枚の大径ウェーハを中央に寄せる方法であって、容器の側壁に対し実質垂直に左から右へ向かう水平方向をｘ軸、鉛直方向をｙ軸、まっすぐ後方に向かう水平方向をｚ軸とするｘｙｚ座標系をとったとき、一対の側面ウェーハ支持部材のそれぞれに取り付けられた着脱式バックストップを用い、鉛直方向の軸から見てｚｙ平面である鉛直平面からその各側で約４０度から約５０度のところでウェーハと接するようその着脱式バックストップを配置することを特徴とする方法。
21. 収容部とドアの付いた前面開口とを有する大径ウェーハ容器を、輸送形態から工程の合間に製造施設でウェーハを水平状態で格納する格納形態に転換する方法であって、
    ウェーハをウェーハ棚間の中央に寄せるための複数のＶ字溝が配置されたウェーハ当接部材を収容部内から取り外し、
    鉛直方向のウェーハ係合当接部を有する後方ウェーハ当接部材を収容部内に取り付け、複数のウェーハ棚に乗ったウェーハをロボットが掴めるように収容部内で中央に寄せることのできるような位置に配置することを特徴とする方法。
22. 請求項２１の方法であって、後方ウェーハ当接部材は、複数のウェーハ棚を複数含む側面ウェーハ支持部材に着脱可能なバックストップとして構成されていることを特徴とする方法。
23. 請求項２１の方法であって、バックストップと一体とバックストップを所定の位置にロックされる受け部スプリングキャッチ協働する複数のスプリングキャッチを複数取り付けている弾性スプリングキャッチ複数の屈曲含むことを特徴とする方法。
24. 請求項２１の方法であって、Ｖ字状溝を有するウェーハ当接部材を収納部内から取り外す際、収容部の後壁からウェーハ当接部材が取り外されることを特徴とする方法。
25. 請求項２１の方法であって、Ｖ字状溝を有するウェーハ当接部材を収納部内から取り外す際、側面ウェーハ支持部材からウェーハ当接部材が取り外されることを特徴とする方法。
26. ウェーハバックストップであって、長手方向に複数のウェーハ端部当接面が配列された細長いウェーハ当接部があり、このウェーハ当接部から複数の位置決め用突出片が突き出しており、引っ掛かり部を有するスプリングキャッチとして形成された複数の突出片を備えて、ウェーハ支持構造体に係合して解除可能にロックできるようになっていることを特徴とするウェーハバックストップ。
    

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