JPH05218185A - ウェハキャリアボックス - Google Patents
ウェハキャリアボックスInfo
- Publication number
- JPH05218185A JPH05218185A JP5634292A JP5634292A JPH05218185A JP H05218185 A JPH05218185 A JP H05218185A JP 5634292 A JP5634292 A JP 5634292A JP 5634292 A JP5634292 A JP 5634292A JP H05218185 A JPH05218185 A JP H05218185A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- wafer
- wafer carrier
- box body
- carrier box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 帯電防止効果に優れ、収納したウェハを電気
的に有効に保護することができ、しかもウェハを収納し
た後に直ちに搬送することができるウェハキャリアボッ
クスを提供する。 【構成】 複数のウェハ１２を収納するボックス本体２
とこのボックス本体２の開口部を閉塞するカバー３とに
よってウェハキャリアボックス１の密閉箱体を構成し、
この箱体の各構成面の内部に高い導電性を有する線材７
を埋設して箱体全体に張りめぐらすと共に、ボックス本
体２の底部に突出部９を形成し、この突出部９に線材７
の外部接続用の露出部８を設ける。露出部８を介して線
材７が外部と電気的に接続され、ウェハキャリアボック
ス１が電気的にアースされて帯電が防止されるので、収
納されたウェハ１２が電気的に保護される。
的に有効に保護することができ、しかもウェハを収納し
た後に直ちに搬送することができるウェハキャリアボッ
クスを提供する。 【構成】 複数のウェハ１２を収納するボックス本体２
とこのボックス本体２の開口部を閉塞するカバー３とに
よってウェハキャリアボックス１の密閉箱体を構成し、
この箱体の各構成面の内部に高い導電性を有する線材７
を埋設して箱体全体に張りめぐらすと共に、ボックス本
体２の底部に突出部９を形成し、この突出部９に線材７
の外部接続用の露出部８を設ける。露出部８を介して線
材７が外部と電気的に接続され、ウェハキャリアボック
ス１が電気的にアースされて帯電が防止されるので、収
納されたウェハ１２が電気的に保護される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
においてウェハを搬送するために使用するウェハキャリ
アボックスに関する。
においてウェハを搬送するために使用するウェハキャリ
アボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造プロセスにおいてウェ
ハは多数の処理工程を経るが、従来、各工程間でウェハ
を搬送するために例えば図５に示したようなウェハキャ
リア１０を使用していた。このウェハキャリア１０に
は、テーパ溝状に形成された多数のガイド溝１１が列設
されていて、各ガイド溝１１に各ウェハ１２の外周エッ
ジが係止されて収納されるようになっている。そして、
かかるウェハキャリア１０を使用することにより、複数
（例えば２５枚程度）のウェハ単位で工程間を搬送させ
ることができる。
ハは多数の処理工程を経るが、従来、各工程間でウェハ
を搬送するために例えば図５に示したようなウェハキャ
リア１０を使用していた。このウェハキャリア１０に
は、テーパ溝状に形成された多数のガイド溝１１が列設
されていて、各ガイド溝１１に各ウェハ１２の外周エッ
ジが係止されて収納されるようになっている。そして、
かかるウェハキャリア１０を使用することにより、複数
（例えば２５枚程度）のウェハ単位で工程間を搬送させ
ることができる。
【０００３】ところで、ウェハキャリア１０を搬送する
に際し、特にクリーン度が低い場所や作業員が持ち運び
する場合には、ウェハキャリア１０に収納したウェハ１
２に対する防塵を図るため、図６に示したようなキャリ
アボックス２０を用いる場合がある。即ち図示したよう
に、ボックス本体２０ａ及びカバー２０ｂから成るキャ
リアボックス２０内にウェハキャリア１０を封入して、
かかるキャリアボックス２０によって搬送するというも
のである。
に際し、特にクリーン度が低い場所や作業員が持ち運び
する場合には、ウェハキャリア１０に収納したウェハ１
２に対する防塵を図るため、図６に示したようなキャリ
アボックス２０を用いる場合がある。即ち図示したよう
に、ボックス本体２０ａ及びカバー２０ｂから成るキャ
リアボックス２０内にウェハキャリア１０を封入して、
かかるキャリアボックス２０によって搬送するというも
のである。
【０００４】なお、上記ウェハキャリア１０及びキャリ
アボックス２０は通常、耐熱性及び耐薬品性の合成樹脂
材料、例えばテフロン（但し商品名）等により形成され
ている。
アボックス２０は通常、耐熱性及び耐薬品性の合成樹脂
材料、例えばテフロン（但し商品名）等により形成され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０は上記の
ように合成樹脂材料により形成されていることから、各
種の電気的な機器装置が多い搬送ラインにおける搬送中
に帯電し易く、また、その搬送中に人体等が僅かに接触
しただけでも極めて帯電し易い。そして、これがウェハ
１２に形成される半導体チップ（図示せず）の回路破壊
の原因になるので問題になっていた。
ウェハキャリア１０及びキャリアボックス２０は上記の
ように合成樹脂材料により形成されていることから、各
種の電気的な機器装置が多い搬送ラインにおける搬送中
に帯電し易く、また、その搬送中に人体等が僅かに接触
しただけでも極めて帯電し易い。そして、これがウェハ
１２に形成される半導体チップ（図示せず）の回路破壊
の原因になるので問題になっていた。
【０００６】しかも、従来は、特にクリーン度が低い場
所や作業員が持ち運びする毎に、ウェハキャリア１０を
キャリアボックス２０に収納する必要があるので、搬送
の際に防塵のための準備作業が極めて煩わしいという問
題もあった。
所や作業員が持ち運びする毎に、ウェハキャリア１０を
キャリアボックス２０に収納する必要があるので、搬送
の際に防塵のための準備作業が極めて煩わしいという問
題もあった。
【０００７】本発明はかかる実情に鑑み、帯電防止効果
に優れ、収納したウェハを電気的に有効に保護すること
ができ、しかもウェハを収納した後に直ちに搬送するこ
とができるウェハキャリアボックスを提供することを目
的とする。
に優れ、収納したウェハを電気的に有効に保護すること
ができ、しかもウェハを収納した後に直ちに搬送するこ
とができるウェハキャリアボックスを提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によるウェハキャ
リアボックスは、ボックス本体とカバーとによって密封
箱体を構成し、この箱体内部に多数のウェハを収納し得
るようになっていて、上記箱体の各構成面の内部に導電
性の線材を埋設して上記箱体全体に張りめぐらすと共
に、上記箱体の適所例えばボックス本体の底部の突出部
に上記線材の外部接続用の露出部を設けたものである。
リアボックスは、ボックス本体とカバーとによって密封
箱体を構成し、この箱体内部に多数のウェハを収納し得
るようになっていて、上記箱体の各構成面の内部に導電
性の線材を埋設して上記箱体全体に張りめぐらすと共
に、上記箱体の適所例えばボックス本体の底部の突出部
に上記線材の外部接続用の露出部を設けたものである。
【０００９】
【作用】本発明によれば、例えばウェハキャリアボック
スの箱体の底部に突出部を形成した場合、このボックス
の搬送の前後或いは途中で、アースが取られているテー
ブル等の上に載置することにより、突出部に設けられて
いる露出部を介して、ウェハキャリアボックスの箱体内
部に張りめぐらされている線材が外部と電気的に接続さ
れる。そしてこれにより、ウェハキャリアボックスの電
気的アースが行われる。このようにウェハキャリアボッ
クスの搬送の適宜の段階で、アースを取ることができる
ので、ウェハキャリアボックスの帯電を防止し、または
ウェハキャリアボックスが既に帯電している場合にはそ
の静電気を瞬時にアースさせることができる。
スの箱体の底部に突出部を形成した場合、このボックス
の搬送の前後或いは途中で、アースが取られているテー
ブル等の上に載置することにより、突出部に設けられて
いる露出部を介して、ウェハキャリアボックスの箱体内
部に張りめぐらされている線材が外部と電気的に接続さ
れる。そしてこれにより、ウェハキャリアボックスの電
気的アースが行われる。このようにウェハキャリアボッ
クスの搬送の適宜の段階で、アースを取ることができる
ので、ウェハキャリアボックスの帯電を防止し、または
ウェハキャリアボックスが既に帯電している場合にはそ
の静電気を瞬時にアースさせることができる。
【００１０】しかも、密閉されるボックス本体そのもの
がウェハキャリアとなっているので、ウェハをボックス
本体内に収納した後、直ちに高い防塵機能を発揮させて
搬送することができる。
がウェハキャリアとなっているので、ウェハをボックス
本体内に収納した後、直ちに高い防塵機能を発揮させて
搬送することができる。
【００１１】
【実施例】以下、図１乃至図４に基づき本発明による帯
電防止型ウェハキャリアボックスの一実施例を説明す
る。
電防止型ウェハキャリアボックスの一実施例を説明す
る。
【００１２】先ず、図１及び図２に示されるように本発
明によるウェハキャリアボックス１では、ボックス本体
２とカバー３とにより箱体が構成され、この箱体内部に
多数のウェハ１２を収納し得るようになっている。そし
て、ボックス本体２には多数のガイド溝４が列設されて
いて、各ガイド溝４に各ウェハ１２の外周エッジが係止
されて収納される。また、カバー３の内面には、各ガイ
ド溝４に対応して各ウェハ１２を押えるための多数の押
え溝５が列設されている。ボックス本体２とカバー３と
は例えば図示したように、ヒンジ６を介して連結されて
いて、これによりカバー３はボックス本体２に対して自
由に開閉し得るようになっている。なお、ボックス本体
２に対してカバー３を着脱式にしてもよい。また、ボッ
クス本体２或いはカバー３に搬送のための把持部を適宜
設けてもよい。
明によるウェハキャリアボックス１では、ボックス本体
２とカバー３とにより箱体が構成され、この箱体内部に
多数のウェハ１２を収納し得るようになっている。そし
て、ボックス本体２には多数のガイド溝４が列設されて
いて、各ガイド溝４に各ウェハ１２の外周エッジが係止
されて収納される。また、カバー３の内面には、各ガイ
ド溝４に対応して各ウェハ１２を押えるための多数の押
え溝５が列設されている。ボックス本体２とカバー３と
は例えば図示したように、ヒンジ６を介して連結されて
いて、これによりカバー３はボックス本体２に対して自
由に開閉し得るようになっている。なお、ボックス本体
２に対してカバー３を着脱式にしてもよい。また、ボッ
クス本体２或いはカバー３に搬送のための把持部を適宜
設けてもよい。
【００１３】そして上記ボックス本体２及びカバー３に
より構成される箱体の各構成面の内部に、高い導電性を
有する線材７が埋設され、この箱体全体に金網状に張り
めぐらされている。線材７は、ウェハ１２に悪影響を与
えない材料、例えば導電性ポリマー等が用いられる。ボ
ックス本体２及びカバー３はテフロン等の合成樹脂材料
により形成されるが、その際に例えば線材７のインサー
ト成形を行うことにより、この線材７を埋設することが
できる。なお、各線材７の交差部分は互いに接続され、
ボックス本体２及びカバー３の双方の線材７は例えばヒ
ンジ６を利用して接続されるようになっている。
より構成される箱体の各構成面の内部に、高い導電性を
有する線材７が埋設され、この箱体全体に金網状に張り
めぐらされている。線材７は、ウェハ１２に悪影響を与
えない材料、例えば導電性ポリマー等が用いられる。ボ
ックス本体２及びカバー３はテフロン等の合成樹脂材料
により形成されるが、その際に例えば線材７のインサー
ト成形を行うことにより、この線材７を埋設することが
できる。なお、各線材７の交差部分は互いに接続され、
ボックス本体２及びカバー３の双方の線材７は例えばヒ
ンジ６を利用して接続されるようになっている。
【００１４】また、ウェハキャリアボックス１の適所、
例えば図２に示したようにボックス本体２の底部に、上
記線材７の外部接続用の露出部８を設けるために突出部
９が形成されている。突出部９はウェハキャリアボック
ス１の脚部となるものであり、例えば底面の各角部に４
か所程度形成されるが、各突出部９の表面において、上
記線材７と接続している露出部８が露出するようになっ
ている。また、各突出部９はボックス本体２の底面から
同一高さ突出し、従ってウェハキャリアボックス１をテ
ーブル（図示せず）等に載置した場合には全ての露出部
８が同時にこのテーブルの表面に接触するようになって
いる。
例えば図２に示したようにボックス本体２の底部に、上
記線材７の外部接続用の露出部８を設けるために突出部
９が形成されている。突出部９はウェハキャリアボック
ス１の脚部となるものであり、例えば底面の各角部に４
か所程度形成されるが、各突出部９の表面において、上
記線材７と接続している露出部８が露出するようになっ
ている。また、各突出部９はボックス本体２の底面から
同一高さ突出し、従ってウェハキャリアボックス１をテ
ーブル（図示せず）等に載置した場合には全ての露出部
８が同時にこのテーブルの表面に接触するようになって
いる。
【００１５】一方、カバー３の上部には、図２に示した
ように上記ボックス本体２の底面の各突出部９に対応し
て、それらとそれぞれ嵌合する凹嵌部１３が形成されて
いる。そして各凹嵌部１３内において、カバー３内に埋
設されている線材７と接続している露出部８′が前記ボ
ックス本体２の露出部８に対する接続部として露出する
ようになっている。
ように上記ボックス本体２の底面の各突出部９に対応し
て、それらとそれぞれ嵌合する凹嵌部１３が形成されて
いる。そして各凹嵌部１３内において、カバー３内に埋
設されている線材７と接続している露出部８′が前記ボ
ックス本体２の露出部８に対する接続部として露出する
ようになっている。
【００１６】本発明による帯電防止型ウェハキャリアボ
ックスは上記のように構成されており、次にその作用を
説明する。
ックスは上記のように構成されており、次にその作用を
説明する。
【００１７】図１及び図２に示したように、各ウェハ１
２がボックス本体２内に収納され、カバー３によりケー
ス本体２の開口部が閉塞されることによって、各ウェハ
１２がウェハキャリアボックス１内に密封される。多数
のウェハ１２を収納したウェハキャリアボックス１は、
ウェハ処理工程間の搬送途中で、または一連のウェハ処
理工程から別のウェハ処理工程へ移送する際に、自動搬
送台車や人手等によって運ばれる。そしてそのままで
は、ウェハキャリアボックス１は容易に帯電してしまう
が、このような搬送の前後或いは途中でウェハキャリア
ボックス１をアースが取られている例えばステンレス製
のテーブル等に適宜載置することにより、ボックス本体
２の底部に設けられている露出部８がテーブル表面と接
触する。これによりかかる露出部８を介して、ウェハキ
ャリアボックス１に張りめぐらされている線材７が外部
と電気的に接続され、即ちウェハキャリアボックス１が
電気的にアースされる。
２がボックス本体２内に収納され、カバー３によりケー
ス本体２の開口部が閉塞されることによって、各ウェハ
１２がウェハキャリアボックス１内に密封される。多数
のウェハ１２を収納したウェハキャリアボックス１は、
ウェハ処理工程間の搬送途中で、または一連のウェハ処
理工程から別のウェハ処理工程へ移送する際に、自動搬
送台車や人手等によって運ばれる。そしてそのままで
は、ウェハキャリアボックス１は容易に帯電してしまう
が、このような搬送の前後或いは途中でウェハキャリア
ボックス１をアースが取られている例えばステンレス製
のテーブル等に適宜載置することにより、ボックス本体
２の底部に設けられている露出部８がテーブル表面と接
触する。これによりかかる露出部８を介して、ウェハキ
ャリアボックス１に張りめぐらされている線材７が外部
と電気的に接続され、即ちウェハキャリアボックス１が
電気的にアースされる。
【００１８】このようにウェハキャリアボックス１を搬
送する際に適宜の段階で、ウェハキャリアボックス１の
アースを取ることができるので、ウェハキャリアボック
ス１の帯電を防止し、またはウェハキャリアボックス１
が既に帯電している場合にはその静電気を瞬時にアース
させることができる。これにより、収納されたウェハ１
２の電気的な保護を図ることができる。
送する際に適宜の段階で、ウェハキャリアボックス１の
アースを取ることができるので、ウェハキャリアボック
ス１の帯電を防止し、またはウェハキャリアボックス１
が既に帯電している場合にはその静電気を瞬時にアース
させることができる。これにより、収納されたウェハ１
２の電気的な保護を図ることができる。
【００１９】しかも、密封されるボックス本体２そのも
のがウェハキャリアとなっているので、各ウェハ１２を
ボックス本体２内に収納した後、直ちに高い防塵機能を
発揮させて搬送することができ、搬送の際に防塵のため
の煩わしい準備作業が全く不要となる。
のがウェハキャリアとなっているので、各ウェハ１２を
ボックス本体２内に収納した後、直ちに高い防塵機能を
発揮させて搬送することができ、搬送の際に防塵のため
の煩わしい準備作業が全く不要となる。
【００２０】さらに、図３は本発明によるウェハキャリ
アボックス１を相互に積み重ねて使用する場合の例を示
している。この例ではウェハキャリアボックス１を相互
に積み重ねることにより、上側のボックス本体２に形成
されている突出部９が、下側のカバー３に形成されてい
る凹嵌部１３と嵌合する。そしてこの嵌合により、図４
に示されるように突出部９の露出部８と凹嵌部１３の露
出部８′とが接触し、上下のウェハキャリアボックス１
の線材７が互いに接続されるから、上下双方のウェハキ
ャリアボックス１を同時にアースさせることができる。
なお、このように相互に積み重ねられるウェハキャリア
ボックス１は２個の場合に限らず、３個以上を積み重ね
て行うことができるのは勿論である。
アボックス１を相互に積み重ねて使用する場合の例を示
している。この例ではウェハキャリアボックス１を相互
に積み重ねることにより、上側のボックス本体２に形成
されている突出部９が、下側のカバー３に形成されてい
る凹嵌部１３と嵌合する。そしてこの嵌合により、図４
に示されるように突出部９の露出部８と凹嵌部１３の露
出部８′とが接触し、上下のウェハキャリアボックス１
の線材７が互いに接続されるから、上下双方のウェハキ
ャリアボックス１を同時にアースさせることができる。
なお、このように相互に積み重ねられるウェハキャリア
ボックス１は２個の場合に限らず、３個以上を積み重ね
て行うことができるのは勿論である。
【００２１】上記実施例においては、ウェハキャリアボ
ックス１の底部に露出部８を設ける例を示したが、この
場合の他に、ウェハキャリアボックス１の側部適所に１
個または複数個の露出部を設けてもよく、このようにウ
ェハキャリアボックス１の側部においてアースを取るよ
うにした場合にも上記実施例と同様な作用効果を得るこ
とができる。また、ウェハキャリアボックス１の側部に
設ける露出部と上部に設けた露出部８′とを適宜組合わ
せて併用することも勿論可能である。
ックス１の底部に露出部８を設ける例を示したが、この
場合の他に、ウェハキャリアボックス１の側部適所に１
個または複数個の露出部を設けてもよく、このようにウ
ェハキャリアボックス１の側部においてアースを取るよ
うにした場合にも上記実施例と同様な作用効果を得るこ
とができる。また、ウェハキャリアボックス１の側部に
設ける露出部と上部に設けた露出部８′とを適宜組合わ
せて併用することも勿論可能である。
【００２２】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、ウェハ
キャリアボックスを搬送過程の適宜の段階でアースさせ
ることができるので、ウェハの帯電を効果的に防止する
ことができ、ウェハの電気的な有効保護に優れている等
の利点がある。そして、この種の半導体装置の製造プロ
セスを円滑に行わせることができる。
キャリアボックスを搬送過程の適宜の段階でアースさせ
ることができるので、ウェハの帯電を効果的に防止する
ことができ、ウェハの電気的な有効保護に優れている等
の利点がある。そして、この種の半導体装置の製造プロ
セスを円滑に行わせることができる。
【００２３】しかも、密封されるボックス本体そのもの
がウェハキャリアとなっているので、ウェハをボックス
本体内に収納した後、直ちに高い防塵機能を発揮させて
搬送することができる。従って、搬送の際に防塵のため
の煩わしい準備作業が全く不要であり、搬送を極めて効
率よく行うことができる。
がウェハキャリアとなっているので、ウェハをボックス
本体内に収納した後、直ちに高い防塵機能を発揮させて
搬送することができる。従って、搬送の際に防塵のため
の煩わしい準備作業が全く不要であり、搬送を極めて効
率よく行うことができる。
【図１】本発明による帯電防止型ウェハキャリアボック
スの一実施例における斜視図である。
スの一実施例における斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の帯電防止型ウェハキャリアボックスの
使用例を示す正面図である。
使用例を示す正面図である。
【図４】図３のＢ部拡大断面図である。
【図５】従来のウェハキャリアの斜視図である。
【図６】従来のウェハキャリア及びキャリアボックスの
使用例を示す斜視図である。
使用例を示す斜視図である。
１ ウェハキャリアボックス ２ ボックス本体 ３ カバー ４ ガイド溝 ５ 押え溝 ６ ヒンジ ７ 線材 ８ 露出部 ８′ 露出部 ９ 突出部 １２ ウェハ １３ 凹嵌部
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のウェハを収納するボックス本体と
このボックス本体の開口部を閉塞するカバーとによって
密封箱体を構成し、この箱体の各構成面の内部に導電性
の線材を埋設して上記箱体全体に張りめぐらすと共に、
上記箱体の適所に上記線材の外部接続用の露出部を設け
たことを特徴とするウェハキャリアボックス。 - 【請求項２】 上記箱体のボックス本体の底部に突出部
を形成し、この突出部に上記露出部を設けたことを特徴
とする請求項１に記載のウェハキャリアボックス。 - 【請求項３】 上記箱体のカバーの上部に上記ボックス
本体の突出部が嵌合し得る凹嵌部を形成し、この凹嵌部
に上記露出部に対する接続部を設けたことを特徴とする
請求項２に記載のウェハキャリアボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5634292A JPH05218185A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | ウェハキャリアボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5634292A JPH05218185A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | ウェハキャリアボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05218185A true JPH05218185A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=13024557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5634292A Withdrawn JPH05218185A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | ウェハキャリアボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05218185A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432975B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-10-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 반도체웨이퍼의수납·인출장치및이것에이용되는반도체웨이퍼의운반용기 |
| JP2006182362A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | 搬送トレー |
| EP1679997A2 (en) * | 2003-11-07 | 2006-07-19 | Entegris, Inc. | Substrate container |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| JP6151467B1 (ja) * | 2017-01-24 | 2017-06-21 | 實 北野 | 半導体ウェーハ用キャリーボックス及び半導体ウェーハ運搬方法 |
-
1992
- 1992-02-06 JP JP5634292A patent/JPH05218185A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432975B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-10-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 반도체웨이퍼의수납·인출장치및이것에이용되는반도체웨이퍼의운반용기 |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| US8276759B2 (en) | 2001-11-27 | 2012-10-02 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| EP1679997A2 (en) * | 2003-11-07 | 2006-07-19 | Entegris, Inc. | Substrate container |
| JP2007511097A (ja) * | 2003-11-07 | 2007-04-26 | インテグリス・インコーポレーテッド | 基板コンテナ |
| EP1679997A4 (en) * | 2003-11-07 | 2008-10-01 | Entegris Inc | SUBSTRATE CONTAINER |
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