JP4668133B2 - ウエハ容器の位置決め構造 - Google Patents

Description

本発明は、正確な位置決め精度を得られるウエハ容器の位置決め構造に関するものである。

従来からウエハ搬送容器の位置決め構造として、図２２，図２３に示すようなものが知られている（例えば、特許文献１，２等参照）。

このようなものでは、一側面に、ウエハとしての半導体ウエハＷを出し入れ可能な開口部１ａが形成された略ボックス状の容器本体１と、この容器本体１の開口部１ａを略密閉して開閉塞する蓋体等を有している。

この容器本体１内には、複数の整列リブ１ｃ，１ｃ…が形成されると共に、底面部１ｂには、径方向に平行となるように設けられた一対の位置決めリブ３，３が、開口部側の左，右及び反対側縁の中央に、合計３組、平面視略三角形の略頂点近傍に位置するように突設されている。

この位置決めリブ３，３の各下端縁には、傾斜面部３ａ，３ａが形成されている。

この傾斜面部３ａ，３ａは、内側に向けて対向するように形成されていて、ウエハ自動移載装置２に載置される際、装置２の載置面２ｂから突設される位置決めピンとしてのキネマティックカップリングピン２ａを当接させて位置決めが行われるように構成されている。

また、前記容器本体１の底面部１ｂには、この位置決めリブ３，３に、ガイド溝部４ａ，４ａを外嵌させて、着脱可能に装着されるガイド部材としてのボトムプレート４が設けられている。

このボトムプレート４のガイド溝部４ａ下側周縁には、前記傾斜面部３ａ，３ａと、傾斜角度が連続するように形成される傾斜面部４ｂ，４ｂが設けられている。

次に、この従来のウエハ搬送容器の位置決め構造の作用について説明する。

この従来のウエハ搬送容器の位置決め構造では、前記容器本体１の底面部１ｂに、前記ボトムプレート４を装着する際、底面部１ｂから突設された前記各位置決めリブ３，３…に、前記ボトムプレート４の各ガイド溝部４ａが外嵌される。

このボトムプレート４のガイド溝部４ａ下側周縁に形成される傾斜面部４ｂ，４ｂは、前記位置決めリブ３，３の傾斜面部３ａ，３ａと、傾斜角度が連続するように形成されている。

このため、図２３に示すように、装置２の上部に前記容器本体１を載置する際、前記傾斜面部４ｂ，４ｂによって、前記キネマティックカップリングピン２ａが円滑に誘導されて、前記傾斜面部３ａ，３ａ下方に前記キネマティックカップリングピン２ａを位置させることができる。

前記容器本体１が、装置２の正規の載置位置に存在する状態では、前記開口部１ａを介して、各半導体ウエハＷを、自動装置のロボットにより、ウエハを破損すること無く、正確に出し入れ出来る。

また、図２４に示すようなウエハ搬送容器の位置決め構造も知られている（例えば、特許文献３等参照）。

このようなものでは、ボトムプレート５に、ボス孔５ａ…が複数形成されていて、前記容器本体１の底面部１ｂに突設されたボス部に、各々嵌着されるように構成されている。

また、このボトムプレート５には、前記装置２のクランプ部と係合するリテイニングフィーチャー部５ｂが形成されている。

このリテイニングフィーチャー部５ｂは、前記容器本体１を前記装置２に装脱着する際に、前記装置２のクランプ部を係合させて、このリテイニングフィーチャー部５ｂで支持することにより、載置若しくは取り外しが行われるように構成されている。

なお、前記ガイド部材に相当する部分を、直接、容器本体１の底面部１ｂに、溶着若しくは、ネジ止め等によって一体とするウエハ搬送容器の位置決め構造も知られている（例えば、特許文献４等参照）。
特開平１１−１６８１３６号公報（００２８段落乃至００４５段落、図２，図４） 特許公開２００５−１６２２６３号公報（００１７段落乃至００５８段落、図１） 特許公表２００３−５２４５５０号公報（０００８段落乃至００１４段落、図１，図３） 特許公開２００２−３５３２９９号公報（００１６段落乃至００３６段落、図１）

しかしながら、図２２及び図２３に示すように構成された従来のウエハ搬送容器の位置決め構造では、前記位置決めリブ３，３の各下端縁に形成された傾斜面部３ａ，３ａに直接、前記キネマティックカップリングピン２ａが、当接して下方から、容器本体１の重量が支持されるように構成されている。

このため、前記キネマティックカップリングピン２ａの当接により、この位置決めリブ３，３が破損すると、容器本体１全体を交換しなければならないといった問題があった。

容器本体１は、半導体ウエハＷを収納するため、高純度の比較的高価な樹脂材料で、しかも帯電防止機能等が付加された構成を採用しているので、容器本体１全体を交換する場合には、高額の費用が必要とされる。

また、図２４に示すように、ボトムプレート５に形成されたボス孔５ａ…を、前記容器本体１の底面部１ｂに突設されたボス部に、各々嵌着させて、位置決め装着するものでは、嵌着時の嵌め合いをきつく設定することにより、底面部１ｂの面延設方向への位置精度を向上させて確実に固定することは出来るが、底面部１ｂへの装脱着時に、作業性が低下すると共に、許容される力を超えた場合に、ボトムプレート５を損傷させてしまう虞もあった。

更に、嵌め合い度合いを目視にて確認する方法では、底面部１ｂの面内，外方向（鉛直方向）への嵌め合いが確実に行われているか確認する作業が困難であるといった問題もあった。

そして、ネジ止め等によって、ガイド部材を一体とするウエハ搬送容器の位置決め構造では、ガイド部材に相当する部分が、前記キネマティックカップリングピン２ａの当接によって破損したり、或いは、リテイニングフィーチャー部５ｂが、容器本体１を、装置２に装脱着する際に、変形、摩耗若しくは破損すると、容器本体１全体を交換するか或いは、ネジ止めを取り外して、再度、新たなガイド部材を固定する必要があった。

このように新たなガイド部材を装着する場合では、正確に位置決め固定する必要があり、交換に必要とされる作業工程数が増大して、交換コストが増大してしまうといった問題があった。

そこで、この発明は、容易に正確な位置への装脱着が可能で、ガイド材のみを交換することにより、容器本体を安価に使用可能とするウエハ容器の位置決め構造を提供することを課題としている。

上記目的を達成するために、請求項１に記載された発明は、ウエハを内部に収容する容器本体と、該容器本体の底面部に着脱可能に装着されて、該容器本体が、載置面に載置される際、該載置面から突設される位置決めピンを係合して、該容器本体を正規の載置位置までガイドするガイド溝部が形成されたガイド部材とを有するウエハ容器の位置決め構造であって、前記ガイド部材には、中央から径方向へ放射状に延設される複数のアーム部を有し、該アーム部の先端部には、外嵌用ボス孔が形成されている部分から左，右外側に向けて延設されて、係止部としての係止爪を有する弾接片が一体に形成されると共に、該係止爪が係脱着可能となる係止孔が、前記枠体に設けられている前記容器本体の底面部周縁に下方に向けて突設される枠体の内側面に対して、内側から弾接して、該弾接片によって、該ガイド部材が、前記ウエハ容器から着脱可能となるように係止される係止部を設けたウエハ搬送容器の位置決め構造を特徴としている。

また、請求項２に記載されたものは、前記ガイド溝部には、前記容器本体の底面部中心から、径方向に沿って突設される一対の平行ガイド部材を係合する長孔部と、該長孔部の真下に連続するように凹設形成されて、前記位置決めピンを係合した状態で、該位置決めピンの先端部が、対向する前記平行ガイド部材の先端縁との間に、間隙が形成されるように、該位置決めピンの前記容器本体への近接距離を規制するガイド面部とを有する請求項１記載のウエハ搬送容器の位置決め構造を特徴としている。

更に、請求項３に記載されたものは、前記容器本体の底面部に突設形成されたボス部と、前記ガイド部材に設けられて、該ボス部に着脱自在に外嵌する外嵌用ボス孔とを有し、前記ボス部の外周縁には、前記外嵌用ボス孔の周縁部が、突き当てられる装着確認用リブ部が、前記底面部から一定の高さを有して、突設されている請求項１又は２記載のウエハ搬送容器の位置決め構造を特徴としている。

このように構成された請求項１記載のものは、前記ガイド部材を容器本体の底面部に装着する際、該ガイド部材に設けられた前記係止部によって、前記容器本体の底面部周縁に下方に向けて突設される枠体の内側面に対して、内側から弾接されて係止される。

このため、前記ガイド部材が、容器本体の底面部に、正確に位置決め固定される。

また、該ガイド部材を取り外す際には、前記係止部による係止を解除することにより容易に容器本体から分離できる。

従って、該ガイド部材の交換作業性が良好である。そして、前記容器本体の略中央から径方向へ放射状に延設される複数のアーム部の先端部で、前記外嵌用ボス孔が形成されている位置の近傍に、前記係止爪を有する弾接片が一体に形成されている。
このため、該アーム部の外嵌用ボス孔を、前記容器本体のボス部に嵌着させる際、同時に、前記枠体に設けられている係止孔に前記弾接片の係止爪が、内側から弾設されながら、係止される。
また、該アーム部の外嵌用ボス孔を前記容器本体のボス部から取り外す際、同時に、前記弾接片の係止爪が、前記枠体に設けられている係止孔から外れて、係止が解除される。
しかも、前記ガイド部材のガイド溝部に沿って、前記係止爪が、枠体の内側面に弾接される反力で、該ガイド部材が、正確に位置決めされる。
従って、前記容器本体の底面部の面延設方向の何れの方向へも、正確な位置決めを行わせながら、該容器本体を前記ガイド溝部に沿わせて正規の載置位置まで、ガイドすることが出来るガイド部材を容易に、装脱着出来る。

また、請求項２に記載されたものは、前記ガイド部材が装着された容器本体を、装置に載置する際、まず、該ガイド部材に前記位置決めピンの先端部が当接する。

このため、該ガイド部材によって、前記容器本体の下面側が、前記位置決めピンの先端部から保護される。

そして、前記ガイド溝部に形成されたガイド面部によって、前記位置決めピンの先端部が、前記長孔部に係合される平行ガイド部材の真下に位置するようにガイドされる。

更に、該ガイド面部によって、該先端部が対向する前記平行ガイド部材の先端縁との間に、間隙が形成される。

このため、前記容器本体の重量が、前記位置決めピンによって真下から支持されながら、該位置決めピンの先端部が、前記容器本体の平行ガイド部材の先端縁に当接せず、該平行ガイド部材が破損する虞がない。

従って、前記底面部や、或いは、前記ガイド部材の撓み変形等も抑制されると共に、該ガイド部材が撓み変形等しても、変位の影響が殆ど無い。

このように、前記容器本体の装置への位置決め精度を良好なものとすることが出来ると共に、該ガイド部材が、変形、摩耗、若しくは破損した場合、該ガイド部材を交換することにより、容器本体全体を交換しないで済み、交換に必要とされるコストを減少させて、ランニングコストの増大を抑制できる。

更に、請求項３に記載されたものは、前記ボス部の外周縁に突設された前記装着確認用リブ部に、前記外嵌用ボス孔の周縁部が、突き当てられると、該突きあてられた部分が、前記底面部から一定の高さを有しているので、目視によって確認出来る。

また、該突き当てにより、前記底面部の面内，外方向への位置が規制されるので、更に、前記ガイド部材の装着位置精度を良好なものとすることができる。

次に、図１乃至図２１に基づいて、この発明を実施するための最良の実施の形態のウエハ容器の位置決め構造について説明する。

なお、前記従来例と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。

まず、ウエハ搬送容器の構成から説明すると、この実施の形態のウエハ搬送容器では、図１に示すように、一側面に、ウエハとしての半導体ウエハＷを出し入れ可能な開口部１１ａが形成された略ボックス状の容器本体１１を有している。

この容器本体１１内には、複数の整列リブ１１ｃ，１１ｃ…が、図示省略の半導体ウエハＷ…を水平に一定間隔を置いて積層収納するように、形成されている。

また、このウエハ搬送容器には、この容器本体１１内に収納されたウエハとしての半導体ウエハＷ…を押さえるウエハ押さえ部材１２と、この容器本体１１の開口部１１ａを略密閉して開閉塞する蓋体１４と、前記開口部１１ａ周縁部及び、この蓋体１４の周縁部間に挟持されて、シールを行うシール部材１３とが設けられている。

また、このウエハ搬送容器には、前記容器本体１１の底面部１１ｂに着脱可能に装着されて、この容器本体１１が、前記ウエハ自動移載装置２の載置面２ｂに載置される際、この載置面２ｂから突設される位置決めピン２ａ，２ａ…を各々係合して、この容器本体１１を正規の載置位置までガイドするガイド溝部１５ａ，１５ａ…が形成されたガイド部材としてのボトムプレート１５が設けられて、主に構成されている。

また、図２に示すように、底面部１１ｂには、径方向に平行となるように設けられた一対の平行ガイド部材としての位置決めリブ１６，１６が、開口部側の左，右及び反対側縁の中央に、合計３組、平面視略三角形の略頂点近傍に位置するように、底面部１１ｂの中央から放射状となるように、径方向に長手方向を沿わせて突設されている。

この実施の形態の位置決めリブ１６，１６は、図１３に示すように、上端縁を水平とする側面視略台形を呈して、左，右両方向へ延設される２組の補強リブ１６ａ，１６ａが、一体となるように形成されている。

また、これらの補強リブ１６ａ，１６ａの上面部には、水平当接面部１６ｂ，１６ｂが各々形成されている。

そして、これらの位置決めリブ１６，１６間は、長手方向中央で、連結リブ部１６ｃによって、連結されて、離間及び近接方向への拡開及び内倒れが、抑制されるように構成されている。

この実施の形態の容器本体１１では、図８に示すように、各位置決めリブ１６…の仮想延長線Ｌ１〜Ｌ３が、底面部１１ｂの略中央に交点ｘを位置させると共に、各仮想延長線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の角度α１，α２，α３が、各々約１２０度となるように設定されている。

また、この底面部１１ｂには、複数のボス部１７…が、突設形成されている。

この実施の形態のボス部１７，１７は、前記ボトムプレート１５に複数形成された外嵌用ボス孔１５ｂ…が、嵌着される前記位置決めリブ１６の仮想延長線Ｌ１，Ｌ２上で、径方向の内，外に一対づつ設けられている。

そして、この実施の形態のボス部１７の略円筒状を呈するボス本体１７ａの外周縁には、図１４及び図１５に示すように、約９０度置きに、装着確認用大，小リブ部１７ｂ，１７ｃ…が、前記底面部１１ｂから一定の高さを有して、突設されている。

このうち、前記装着確認用大リブ部１７ｂには、溝部１７ｄが、凹設形成されていて、前記ボトムプレート１５に形成される外嵌用ボス孔１５ｂの周縁部が、この溝部１７ｄの底部１７ｅに突き当てられるように構成されている。

また、側面視略台形形状を呈する前記装着確認用小リブ部１７ｃには、前記ボトムプレート１５に形成される外嵌用ボス孔１５ｂの周縁部が、突き当てられる水平面部１７ｆが各々形成されている。

更に、この実施の形態の容器本体１１の底面部１１ｂ周縁には、下方に向けて、突設される枠体としての左，右枠体１８，１８及び平行リブ枠体１９，２０が突設されている。

このうち、左，右枠体１８，１８及び平行リブ枠体１９には、各内側面１８ａ，１８ａ及び１９ａに、正面視略長方形形状の係止孔１８ｂ，１８ｂ及び１９ｂが、開口形成されている。

次に、前記ボトムプレート１５の構成について、主に、図６及び図７を用いて説明する。

この実施の形態のボトムプレート１５は、ポリカーボネート樹脂にフッ素樹脂を混合した材料で成形され、中央基部１５ｄから、約１２０度毎に軸線を相違させて、径方向に放射状となるように延設される左，右アーム部１５ｅ，１５ｅ及び中央アーム部１５ｆを一体に設けることにより、平面視略Ｙ字状を呈するように主に構成されている。

このボトムプレート１５は、ポリカーボネート樹脂にフッ素樹脂を混合しているので、表面の滑り性が向上して、キネマティックカップリングピン２ａの位置決めが容易となる。

これらの左，右アーム部１５ｅ，１５ｅ及び中央基部１５ｄから延設される中央アーム部１５ｆには、前記ガイド溝部１５ａ，１５ａ…が、延設方向に沿って各々形成されている。

このガイド溝部１５ａは、図１６乃至図１８に示すように、周縁部１５ｃを前記補強リブ１６ａ，１６ａの水平当接面１６ｃ，１６ｃに当接させると共に、図１９に示すように、各々前記容器本体１１の底面部１１ｂ中心から、径方向に沿って突設される一対の前記位置決めリブ１６，１６が係合されて、長手方向に沿って正規位置までガイドする長孔部１５ｇを有している。

また、このガイド溝部１５ａは、図１９に示すように、前記キネマティックカップリングピン２ａを正規の位置まで誘導するガイド面部１５ｈを有していて、前記長孔部１５ｇと共に、幅方向断面形状を略漏斗状としている。

このガイド面部１５ｈは、前記長孔部１５ｇの真下に連続するように凹設形成されて、前記位置決めピンとしてのキネマティックカップリングピン２ａを係合した状態で、このキネマティックカップリングピン２ａの先端部を対向させる前記位置決めリブ１６，１６の先端縁との間に、間隙ｄが形成するように、このキネマティックカップリングピン２ａの前記容器本体１１への近接距離を規制するように構成されている。

また、この実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造では、図７に示すように、左，右アーム部１５ｅ，１５ｅの前記ガイド溝部１５ａ，１５ａの径方向内，外に各々一対の前記外嵌用ボス孔１５ｂ，１５ｂが形成されている。

このうち、外側に位置する外嵌用ボス孔１５ｂ，１５ｂには、周縁部から確認リブ部１５ｉが突設されている。

そして、前記ボス部１７のボス本体１７ａに嵌着されて、周縁部上端縁を前記大，小装着確認用リブ部１７ｂ，１７ｃの底部１７ｅ，及び各水平面部１７ｆ…に当接して、正規の嵌着位置に到達すると、図１２に示すように、この確認用リブ部１５ｉが、前記大装着確認用リブ部１７ｂの上端縁１７ｇに当接されるように構成されている。

そして、図６，図７及び図１１に示すように、この左，右アーム部１５ｅ，１５ｅの先端部には、前記外側の外嵌用ボス孔１５ｂ，１５ｂが形成されている部分の近傍で、左，右外側に向けて延設されて、上方へ向けて屈曲される板状の弾接片１５ｊ，１５ｊが、各々一体に設けられている。

これらの弾接片１５ｊ，１５ｊは、弾性変形可能で、先端縁には、前記容器本体１１の 左，右枠体１８の内側面１８ａ，１８ａと対向すると共に、前記ボス部１７に、前記外嵌用ボス孔１５ｂが嵌合される方向に沿って、面延設方向を有する対向面部１５ｋ，１５ｋが設けられている。

そして、図４に示すように、この対向面部１５ｋ，１５ｋには、前記内側面１８ａ，１８ａに形成された係止孔１８ｂ，１８ｂに係止される係止部としての係止爪１５ｍ，１５ｍが各々形成されている。

また、前記中央基部１５ｄから延設される前記中央アーム部１５ｆの先端部には、板状で、断面形状略コ字状とすることにより弾性変形可能に構成される弾接片としてのコ字状弾接片１５ｎが一体に形成されている。

このコ字状弾接片１５ｎは、下方を開放すると共に、前記平行リブ枠体１９，２０間に介装された状態では、前記平行リブ枠体１９の内側面１９ａと対向すると共に、前記ボス部１７に、前記外嵌用ボス孔１５ｄが嵌合される方向に沿って、面延設方向を有する対向面部１５ｐが設けられている。

そして、この対向面部１５ｐには、前記内側面１９ａに形成された係止孔１９ｂに対して、係脱着可能となるように、係止爪としての係止爪部２１が突設形成されている。

この実施の形態の係止爪部２１は、図５に示すように、上下方向の抜け止めを行う上下係止爪２２と、この上下方向係止爪２２の左，右両側に設けられて、左，右方向の移動を規制する左，右係止爪２３，２３とを有して主に構成されている。

次に、この実施の形態の作用効果について説明する。

この実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造では、前記ボトムプレート１５を容器本体１１の底面部１１ｂに装着する際、ボトムプレート１５に設けられた前記外嵌用ボス孔１５ｂを各々前記底面部１１ｂのボス部１７…に嵌着させると共に、前記各ガイド溝部１５ａ…内に前記位置決めリブ１６，１６…を各々挿入させる。

そして、前記各左，右アーム部１５ｅ，１５ｅの先端に設けられた弾接片１５ｊ，１５ｊの係止爪１５ｍ，１５ｍが、前記容器本体１１の底面部１１ｂ周縁に下方に向けて突設される左，右枠体１８，１８の各内側面１８ａ，１８ａに対して、内側から弾接されながら、前記係止孔１８ｂ内に突入されて係止される。

このため、左，右方向では、前記ボトムプレート１５が、容器本体１１の底面部１１ｂ中央の正規の装着位置にセンタリングされる。

また、前記ボトムプレート１５の中央アーム部１５ｆの先端部に一体に形成されたコ字状弾接片１５ｎが、弾性変形しながら、前記平行リブ枠体１９，２０間に介装されると、前後方向でも、前記ボトムプレート１５が、容器本体１１の底面部１１ｂに対して位置決めされて、この底面部１１の面延設（前，後及び左，右）方向で正確に位置決め固定される。

更に、前記ボトムプレート１５の中央アーム部１５ｆの先端部に一体に形成されたコ字状弾接片１５ｎが、弾性変形しながら、前記平行リブ枠体１９，２０間に介装されると、前記平行リブ枠体１９の内側面１９ａと対向する対向面部１５ｐに突設形成された係止爪部２１が、この内側面１９ａに開口形成された係止孔１９ｂに、突入される。

そして、前記係止孔１９ｂの下周縁部に、この係止爪部２１の上下係止爪２２が係止されて、上下方向の抜け止めが行われると共に、この上下方向係止爪２２の左，右両側に設けられた左，右係止爪２３，２３が、係止孔１９ｂの左，右周縁部に係止されて、中央アーム部１５ｆの端部でも左，右方向の移動が規制される。

このため、更に、前記ボトムプレート１５が、容器本体１１の底面部１１ｂに対して、この底面部１１ｂの面延設方向の何れの方向（前，後及び左，右）へも正確に位置決めされて、固定される。

また、このボトムプレート１５を、前記容器本体１１の底面部１１ｂから取り外す際には、前記これらの左，右の係止爪１５ｍ，１５ｍ及び上下係止爪２２による各係止孔１８ｂ，１９ｂへの係止を、前記弾接片１５ｊ，１５ｊ及びコ字状弾接片１５ｎを弾性変形させながら、解除することにより容易に容器本体１１から分離できる。

従って、従来のようにネジ止め等によって、ガイド部材を一体とする必要が無くなり、部品点数を減少させることが出来、しかも、このボトムプレート１５の交換作業性が良好である。

次に、前記ボトムプレート１５が装着された容器本体１１を、装置２の載置面２ｂに載置する際の作用効果について説明する。

前記容器本体１１を装置２の載置面２ｂに載置する際、まず、ボトムプレート１５に前記キネマティックカップリングピン２ａの先端部が当接する。

このため、直接、容器本体１１の底面部１１ｂに直接、キネマティックカップリングピン２ａの先端が当接することなく、ボトムプレート１５によって、前記容器本体１１の下面側が、前記キネマティックカップリングピン２ａの先端部から保護される。

そして、前記ガイド溝部１５ａに前記キネマティックカップリングピン２ａが挿入されると、このガイド溝部１５ａに形成されたガイド面部１５ｈによって、前記キネマティックカップリングピン２ａの先端部が、前記長孔部１５ｇに係合される位置決めリブ１６，１６の真下に位置するようにガイドされる。

この際、図１９に示されるように、前記長孔部１５ｇに係合される位置決めリブ１６，１６は、長孔部１５ｇの深さ方向寸法に比して、小さい寸法ｄ１で係合されている。

このため、前記ガイド面部１５ｈによって、キネマティックカップリングピン２ａの先端部と、このキネマティックカップリングピン２ａと対向する前記位置決めリブ１６の先端縁との間に、間隙ｄが形成される。

従って、前記容器本体１１の重量が、前記キネマティックカップリングピン２ａによって真下から支持されながら、キネマティックカップリングピン２ａの先端部が、前記容器本体１１の位置決めリブ１６，１６の先端縁に当接しないため、位置決めリブ１６，１６が破損する虞がない。

このように、前記底面部１１ｂや、或いは、前記ボトムプレート１５の撓み変形等も抑制されると共に、前記ボトムプレート１５が撓み変形等しても、キネマティックカップリングピン２ａが、前記位置決めリブ１６，１６の真下に位置しているので、変位の影響が殆ど無い。

よって、前記容器本体１１の装置２への位置決め精度を良好なものとすることが出来ると共に、ボトムプレート１５が、図９に示すように、中央基部１５ｄに設けられたリテイニングフィーチャー部５ｂを用いて、容器本体１を、装置２に対して装脱着される際等に変形、摩耗、若しくは破損した場合、このボトムプレート１５を交換することにより、容器本体１１全体を交換しないで済み、交換に必要とされるコストを減少させて、ランニングコストの増大を抑制できる。

更に、この実施の形態では、図１２に示すように、前記ボス部１７の外周縁に突設された前記大，小装着確認用リブ部１７ｂ，１７ｃに、前記外嵌用ボス孔１５ｂの周縁部が、突き当てられると、図１５に示すように、この突き当てられた部分である底部１７ｅ又は水平面部１７ｆが、前記底面部１１ｂから一定の高さを有しているので、すき間の有無を目視によって確認出来る。

また、この突き当てにより、前記底面部１１ｂの面内，外方向（上，下方向）へのボトムプレート１５の位置が規制されるので、更に、前記ボトムプレート１５の装着位置精度を、更に、良好なものとすることができる。

しかも、この実施の形態では、正規の嵌着位置に到達すると、図１２に示すように、この確認用リブ部１５ｉが、前記大装着確認用リブ部１７ｂの上端縁１７ｇに当接される。

このため、外方から目視で、ボトムプレート１５が、正規の位置まで嵌着されていることを確認できるので、更に、装着ミス等を減少させて、挿脱着の作業性を向上させることが出来る。

更に、この実施の形態では、前記容器本体１１の中央基部１５ｄから径方向へ放射状に延設される複数の左，右アーム部１５ｅ，１５ｅのうち、前記外嵌用ボス孔１５ｂ，１５ｂが形成されている位置の近傍に、前記係止爪１５ｍ，１５ｍを各々有する弾接片１５ｊ，１５ｊが一体に形成されている。

このため、左，右アーム部１５ｅ，１５ｅの外嵌用ボス孔１５ｂ，１５ｂを、前記容器本体１１のボス部１７，１７に嵌着させる際、同時に、前記左，右枠体１８,１８に設けられている係止孔１８ｂ,１８ｂに前記弾接片１５ｊ,１５ｊの係止爪１５ｍ,１５ｍが、係止される。

また、左，右アーム部１５ｅ，１５ｅの外嵌用ボス孔１５ｂ，１５ｂが、前記容器本体１１のボス部１７，１７から取り外される際、同時に、前記弾接片１５ｊ，１５ｊの係止爪１５ｍ，１５ｍが、前記枠体１８,１８に設けられている係止孔１８ｂ,１８ｂから外れて、係止が解除される。

従って、前記ボトムプレート１５を前記容器本体１１の底面部１１ｂに装着して使用する際には、この底面部１１ｂからの不用意な脱落が防止されると共に、取り外し作業を行う際にも、治具等を必要とせず、更に容易に、前記容器本体１１の底面部１１ｂに対して、前記ボトムプレート１５を装脱着させることが出来る。

このため、前記ボトムプレート１５のみを交換することにより、前記容器本体１１の永年使用が可能となるウエハ容器の位置決め構造が提供される。

しかも、複雑な形状を有するボトムプレート１５のみを別体で構成することができるので、前記容器本体１１の形状を簡略化して、容器本体１１の成型時に用いる金型の構造を簡略化することができる。

また、ボトムプレート１５の素材重量は、前記容器本体１１に比して小さく、安価に製造できる。

このため、変形、摩耗若しくは破損により、このボトムプレートを交換しても、容器本体１１の交換にかかるコストによりも安価で、ランニングコストを減少させることができる。

図２０及び図２１は、この発明の実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器の位置決め構造を示すものである。

なお、前記実施の形態と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。

この実施例１のウエハ搬送容器の位置決め構造では、容器本体１１１の底面部１１１ｂに、径方向に平行となるように一対の平行ガイド部材としての位置決めリブ１１６，１１６が、突設されている。

この位置決めリブ１１６，１１６には、図２１に示すように、上端縁を略水平とする側面視略台形を呈して、左，右両方向へ延設される２組の補強リブ１１６ａ，１１６ａが、一体となるように形成されている。

そして、この補強リブ１１６ａ，１１６ａの上端縁には、前記ガイド溝部１５ａの周縁部１５ｃを係合して、長孔部１５ｇの拡径方向への変形を抑制する凹溝部１１６ｄ，１１６ｄが各々凹設形成されている。

次に、この実施例１のウエハ搬送容器の位置決め構造の作用効果について説明する。

このように構成された実施例１のウエハ搬送容器の位置決め構造では、前記実施の形態の作用効果に加えて、更に、前記補強リブ１１６ａ，１１６ａの上端縁に凹設形成された凹溝部１１６ｄ，１１６ｄが、前記ガイド溝部１５ａの周縁部１５ｃを係合して、長孔部１５ｇの拡径方向への変形が抑制される。

このため、前記ウエハ搬送容器の容器本体１１１内に半導体ウエハＷ等が収納されて、所定の重量を有していても、長孔部１５ｇが拡径方向へ変形することなく、更に、ガイド溝部１５ａの位置精度を良好なものとすることができる。

他の構成、及び作用効果については、前記実施の形態と同一乃至均等であるので、説明を省略する。

以上、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。

即ち、前記実施の形態では、ボトムプレート１５が、ポリカーボネート樹脂材料製であるが、特にこれに限らず、たとえば、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）や、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等の樹脂材料によって構成されていても良く、このボトムプレート１５と前記キネマティックカップリングピン２ａとの係合を容易なものとするため、摺動性を向上させる成分をこれらの材料若しくはこれらの材料の混合物に混ぜて使用してもよい。

本発明の実施の形態のウエハ容器の位置決め構造の構成を説明し、全体の構成を説明するウエハ容器の分解斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造で、容器本体の底面部の構成を説明する斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造で、ボトムプレートが装着された状態を示す容器本体の底面部の斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造で、片持ち弾接片近傍の要部の拡大分解斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造で、コ字状弾接片近傍の要部の拡大分解斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられるボトムプレートを下面側から見た斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられるボトムプレートを上面側から見た斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部の構成を説明する平面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に、ボトムプレートを装着した構成を説明する平面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に、ボトムプレートを装着した構成を説明する側面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部にボトムプレートを装着する際、係止爪を係止孔に係止する様子を説明する要部の拡大斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部にボトムプレートを装着して、係止爪が係止孔に係止された様子を説明する要部の拡大斜視図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる位置決めリブの三面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられるボス部の平面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられるボス部で、図１４中Ｇ−Ｇ線に沿った位置での断面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に、ボトムプレートを装着した構成を説明し、図３中Ｃ−Ｃ線に沿った位置での断面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に、ボトムプレートを装着した構成を説明し、図３中Ｄ−Ｄ線に沿った位置での断面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に、ボトムプレートを装着した構成を説明し、図３中Ｅ−Ｅ線に沿った位置での断面図である。 実施の形態のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に、ボトムプレートを装着した構成を説明し、図３中Ｆ−Ｆ線に沿った位置での断面図である。 実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部に装着されたボトムプレートに、キネマティックカップリングピンをガイドさせた様子を説明し、図２１中Ｇ−Ｇ線に沿った位置での断面図である。 実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられる容器本体の底面部にボトムプレートを装着した様子を説明する要部の縦断面図である。 一従来例のウエハ搬送容器の位置決め構造を示し、容器本体の底面部を下方から見た斜視図である。 一従来例のウエハ搬送容器の位置決め構造を示し、図２２中Ｈ−Ｈ線に沿った位置での断面図である。 他の従来例のウエハ搬送容器の位置決め構造に用いられるボトムプレートの構成を説明する斜視図である。

符号の説明

２ 装置
２ａ キネマティックカップリングピン
１１,１１１ 容器本体
１１ａ 開口部
１１ｂ,１１１ｂ 底面部
１５ ボトムプレート（ガイド部材）
１５ａ ガイド溝部
１５ｂ 外嵌用ボス孔
１５ｃ 周縁部
１５ｅ，１５ｅ 左，右アーム部
１５ｆ 中央アーム部
１５ｍ 係止爪
１５ｉ 確認リブ部
１６，１１６ 位置決めリブ（平行ガイド部材）
１７ ボス部
１８，１８ 左，右枠体（枠体）
１９ 平行リブ枠体（枠体）
１８ｂ，１９ｂ 係止孔

Claims (3)

1. ウエハを内部に収容する容器本体と、該容器本体の底面部に着脱可能に装着されて、該容器本体が、載置面に載置される際、該載置面から突設される位置決めピンを係合して、該容器本体を正規の載置位置までガイドするガイド溝部が形成されたガイド部材とを有するウエハ容器の位置決め構造であって、
   前記ガイド部材には、中央から径方向へ放射状に延設される複数のアーム部を有し、該アーム部の先端部には、外嵌用ボス孔が形成されている部分から左，右外側に向けて延設されて、係止部としての係止爪を有する弾接片が一体に形成されると共に、該係止爪が係脱着可能となる係止孔が、前記枠体に設けられている前記容器本体の底面部周縁に下方に向けて突設される枠体の内側面に対して、内側から弾接して、該弾接片によって、該ガイド部材が、前記ウエハ容器から着脱可能となるように係止される係止部を設けたことを特徴とするウエハ搬送容器の位置決め構造。
2. 前記ガイド溝部には、前記容器本体の底面部中心から、径方向に沿って突設される一対の平行ガイド部材を係合する長孔部と、該長孔部の真下に連続するように凹設形成されて、前記位置決めピンを係合した状態で、該位置決めピンの先端部が、対向する前記平行ガイド部材の先端縁との間に、間隙が形成されるように、該位置決めピンの前記容器本体への近接距離を規制するガイド面部とを有することを特徴とする請求項１記載のウエハ搬送容器の位置決め構造。
3. 前記容器本体の底面部に突設形成されたボス部と、前記ガイド部材に設けられて、該ボス部に着脱自在に外嵌する外嵌用ボス孔とを有し、前記ボス部の外周縁には、前記外嵌用ボス孔の周縁部が、突き当てられる装着確認用リブ部が、前記底面部から一定の高さを有して、突設されていることを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ搬送容器の位置決め構造。

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