JP2003524550A - 低公差蓄積を有するウェハーキャリア - Google Patents

低公差蓄積を有するウェハーキャリア

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JP2003524550A
JP2003524550A JP2000559578A JP2000559578A JP2003524550A JP 2003524550 A JP2003524550 A JP 2003524550A JP 2000559578 A JP2000559578 A JP 2000559578A JP 2000559578 A JP2000559578 A JP 2000559578A JP 2003524550 A JP2003524550 A JP 2003524550A
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carrier
interface
wafer
fastener
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ダブリュー ボアーズ，グレゴリー
シー ザブカ，マイケル
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フルオロウェア・インコーポレーテッド
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    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped

Abstract

(57)【要約】 半導体ウェハーを支持し、処理装置と連係させるための低公差蓄積ウェハーキャリア及びその組立方法である。圧力嵌めファスナーが、複合キャリアを組み立てるため及び装置インターフェース部をキャリアに取り付けるために用いられる。各圧力嵌めキャリアは、第１の要素と一体化された第１のファスナー部及び第２の要素と一体化された第２のファスナー部を有する。第１及び第２のファスナー部は、互いに押圧された時に干渉的に係合し、それによって、第１及び第２の要素が重大な公差蓄積無しに接続される。本発明の更なる実施例は、処理装置から、ガイドプレートあるいは運動結合部を介してキャリア接触部を受け入れる位置に配置されるインターフェース接触部を有するウェハーキャリアを提供することである。インターフェース接触部は、キャリアを整列させ、ガイドプレートのたわみによる公差蓄積を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路を製造する際に使用される、半導体ウェハーディスクを支
持し、締め付け、蓄積し、そして正確に位置決めするように設計さっるウェハー
キャリア及びそれを組み立てる方法に関する。より詳しくは、本発明は、キャリ
ア構成要素を接続するための圧力嵌めファスナー(press-fit fastener）を用い
る低公差蓄積ウェハーキャリア(low tolerance build-up wafer carrier)に
関する。
【０００２】
【発明の背景】
ウェハーディスクを集積回路に変換する際には、しばしば、ディスクを繰返し
処理し、蓄積し、そして輸送する複数のステップが存在する。ディスクの繊細な
特性やその膨大な量のため、この工程中に汚染物からディスクを適切に保護する
必要がある。ウェハーキャリアの一つの目的は、ディスクを汚染物から保護する
ことである。 一般的に、ウェハーディスクの処理は自動化されているため、使用される処理
装置の仕様に応じて、キャリアをウエハーディスクに正確に整列させる必要があ
る。一般的に、キャリアに有効な公差は、非常に厳密であり、処理装置とウェハ
ーディスクとの間で適切な相互作用を得るためには約０．２インチである。ウェ
ハーキャリア製造産業は、より正確なキャリア装置整列(carrier-equipment al
ignment)を補償するために、改善された公差をを有するキャリアを設計する努力
をしている。
【０００３】 複数の部品を組み立てる時に、しばしば、公差の蓄積あるいは積重ね(toleran
ce build-up or stacking)が生じる。発生するギャップ、グリップ(grip)あ
るいは干渉は、個々の部品の寸法及び公差に関係する。個々の部品の公差が大き
いほど、ギャップあるいは干渉が発生する可能性が高くなる。したがって、ギャ
ップ及び干渉の公差の蓄積あるいは積重ねを最小にするために、使用する構成要
素の数を最小にする必要がある。 キャリアは、単一モールドデザイン(single mold design)あるいは複数の小
さな個々のモールドされた部品からなる複合デザイン(composite design)によ
り構成される。公差蓄積の問題は、明らかに、複数の部品による複合キャリアの
場合に存在する。加えて、複合キャリアは、より多くの部品、したがって更に増
加する公差蓄積を引き起こす構成要素を接続するファスナー(fastener)（止め具
）を必要とする。したがって、公差蓄積を引き起こさない複合ウェハーキャリア
を組み立てるためのファスナーが要望される。
【０００４】 複合ウェハーキャリアを組み立てるためにネジ(screw)を用いることが知られ
ている。これらのファスナーを使用する際に問題が生じる。第一に、スクリュー
を締め付ける時にキャリアがねじれ、それによって公差蓄積が増大する。第二に
、構成要素とスクリューを結ぶ時間が必要である。したがって、ねじれを発生さ
せず、キャリアの構成要素同士を迅速に結ぶことができるファスナーが要望され
る。 複合キャリアは、単一モールドキャリアよりも公差蓄積しやすいが、単一モー
ルドキャリアにも問題はある。単一モールドキャリアは、より大きいモールドの
ために、複合キャリアよりもねじれやすい。単一モールドキャリアのねじれの制
御及びねじれによる製品への影響の程度を予測するのが困難であるため、しばし
ば、より予測しやすい複合キャリアデザインの使用が望まれる。単一モールドキ
ャリアをより小さい、個々のモールド要素に分割することによって、ねじれは減
少し、厳密な仕様をより確実に得ることができる。
【０００５】 一般的に、ウェハーキャリアは、ガイドプレート(guide plate)あるいは運動
結合部(kinematic coupling)等の装置インターフェース部(equipment interfa
ce portion)を有している。この装置インターフェース部により、処理装置によ
って提供されるキャリアインターフェース部(carrier interface portion)に
対してキャリアは適切な方向に向けられる。ガイドプレートは、しばしば、単一
モールドキャリア内に一体的に設けられる。これらの装置インターフェースをキ
ャリアデザインの残りの部分から分離させることによって、モールド部分の大き
さ、したがって、たわみの可能性を減少させることができる。したがって、公差
蓄積のない臨界のキャリア仕様を容易に得ることができ、単一モールドキャリア
に取り付けられる、分離した装置インターフェースを用いる必要がある。 運動結合部等の装置インターフェースは、単一モールドキャリアデザインのね
じれを増加させる傾向の他に、キャリアの重量を運ぶ際にたわみやすい。このた
わみによりキャリアが好ましくない位置にシフトされ、それによって、公差蓄積
が発生し、またキャリア装置(carrier-equipment)のミスマッチの可能性が増大
する。したがって、処理装置とインターフェース（連係）可能であり、取り付け
られた運動結合部のたわみが発生しにくいキャリアが必要である。
【０００６】 本発明は、前記した要求を満足させる、ウェハーキャリア及びそれを組み立て
る方法を提供する。 本発明の一つの目的は、キャリア関連要素(carrier-related component)と圧
力嵌めファスナーを接続することによって公差蓄積を減少させることである。 本発明の他の目的は、より正確なキャリア装置整列(carrier-equipment alig
nment)のために、キャリアインターフェース部を直接に接触させる、キャリア上
のインターフェース接触部（carrier interface portion）を提供することで
ある。 本発明のさらに他の目的は、キャリアの重量によるガイドプレートのたわみに
関連する配列問題を回避するように設計されたキャリアを提供することである。 本発明の他の目的は、公差蓄積を減少させるために、ガイドプレートを圧力嵌
めファスナーを有するキャリアに取り付けることである。 本発明のさらに他の目的は、組立コストが低い複合ウェハーキャリアを提供す
ることである。 本発明の他の目的は、圧力嵌めファスナーを有する複合ウェハーキャリアを組
み立てる方法を提供することである。 本発明のさらに他の目的は、キャリア構成要素同士を迅速に取り付けるファス
ナーを提供することである。
【０００７】
【発明の開示】
ウェハーキャリアは、処理装置あるいは、処理装置上の対応する協同マシンイ
ンターフェース部(cooperating machine interface portion)と対向する装置
インターフェースと同等のものと連係する。好ましい実施例では、協同マシンイ
ンターフェース部は、キャリアのインターフェース側部に位置するインターフェ
ース接触部対に誘導される。 他の好ましい実施例では、第１の要素と一体である第１の部分及び第２の要素
と一体である第２の部分を有するファスナーが、公差蓄積無しに、第１及び第２
の要素を取り付けるために用いられる。これらのファスナーは、複合ウェハーキ
ャリアを組み立てるため、また装置インターフェースをキャリアに取り付けるた
めに用いられる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
符号１０で示されている、処理装置と係合し、低公差蓄積を有するウェハーキ
ャリアあるいはポッド(pod)は、図１及び図２に示されている。ウェハーキャリ
あるいはポッド１４は、底部２６を有する外わくあるいはハウジング部１６と、
開口２３を有する前面側２２と、開口２３と反対側の後側２４を有している。キ
ャリア１４は、ウエハーディスク１２を水平位置に支持するための一対の側壁１
０４を有している。ディスク１２が汚染されるのを防止するために、開口２３を
閉じ、そして外わく１６をシール(密封)するドア２０が設けられている。
【０００９】 図１及び図４を参照すると、装置インターフェース部４０は、底部２６のイン
ターフェース側部１８に一体化されている。インターフェース部４０は、図５に
示されているように、対応するガイドプレートあるいは運動結合部１２０と相互
作用する位置に配置される、リブのようなインターフェース接触部４２の対を有
している。一般的に、インターフェース部４２は、正三角形のコーナー部に配置
される。雌ファスナー部１６６は、図４に示されている。これらは、図１及び図
５に示されているように、ガイドプレートをインターフェース側部１８に取り付
けるのを容易にするために、ガイドプレート１２０からの対応する雄ファスナー
部２００を受け取る。 インターフェース部４２や、連係される装置に依存する圧力嵌めファスナー部
１６６の異なる配置が可能である。これらの異なる形態では、インターフェース
部４２や圧力嵌めファスナー部１６６の対より多いあるいはより少ない対を含ん
でいる。加えて、雄ファスナー部２００及び雌ファスナー部１６６は、本発明の
全ての実施例において交換可能である。
【００１０】 図３及び図４を参照すると、ガイドプレート１２０は、キャリア側部１３４、
装置側部１３６、キャリア前部２２に対応する表部１３８、及びキャリア後部２
４に対応する後部１４０を有している。ガイドプレート１２０は、ガイドアーム
１２６、センサーパッド１２８、圧力嵌めファスナー部２００、ガイド部(guide
-in portion)１２２及び開口１２４を有するガイド面１３０を有している。ガ
イドアーム１２６は、通常は、調節アーム間の１２０度の角度を残して、正三角
形の中心から三角形のポイントまで延びている。この配列は、当業者の間で一般
的に用いられている。 ガイドプレートあるいは運動結合部１２０の目的は、図６に示されているよう
に、キャリアインターフェース部６６をガイド面１３０に沿って開口１２４まで
誘導し、インターフェース接触部４４の場所でインターフェース接触部４２と係
合する。キャリアインターフェース部６６は、処理装置６４に対して固定されて
いるため、ガイドプレート１２０は、キャリア１４を処理装置６４に対して適切
に整列させる。インターフェース部４２とキャリアインターフェース部６６が直
接に接触しているため、ガイドアーム１２６がたわんでも、公差蓄積は増大しな
い。
【００１１】 図７ａ〜図７ｃは、インターフェース部４２の異なる実施例を示している。図
７ａは、インターフェース部４２としてリブを使用することを示している。この
形態では、リブの比較的小さな寸法により、重大なねじれが発生しにくいため、
好ましい。インターフェース部４２の他の実施例が、図７ｂ及び図７ｃに示され
ている。これらは、必要な接触点４４を形成するために、門(arch)あるいは丘(h
ump)を用いる。
【００１２】 図８に、複合ウェハーキャリア１５が示されている。複合ウェハーキャリア１
５は、前端部材８０を有するキャリアフレーム７８、後端部材８２、対向する側
壁支持部材８４、側壁１０４、及び着脱可能な装置インターフェース部４０を備
えている。装置インターフェース部４０は、圧力嵌めファスナー１４８とともに
前端部材８０に取り付けられる。なお、雄ファスナー部２００は、装置インター
フェース部４０に一体化され、雌ファスナー部１６６は、前端部材８０と一体化
されている。装置インターフェース部４０及び後端部材８２は、Ｈバー５２、ロ
ボットフランジ５０あるいは装置と連係するための他のマシンインターフェース
の形態としてもよい。 続けて図８を参照すると、側壁１０４は、ウェハーディスク１２を支持及び拘
束するための垂直方向に整列されたリブ１０６と、くぼんだロワ−部(lower po
rtion)１０８と、ほぼ垂直なアッパー部(upper portion)１１０を有している。
側壁１０４は、圧力嵌めファスナー１４８、リブ９０及び溝９２を用いてキャリ
アフレーム７８に取り付けられる。ロワ−部１０８に一体化された雄ファスナー
部２００及びアッパー部１１０に一体化されたリブ９０が示されている。これら
は、側壁１０４のキャリアフレーム７８への固定を容易とするため、対応する、
底部８６に一体化された雌ファスナー部１６６、トップ部材８８と一体化された
溝９２に挿入される。
【００１３】 図９を参照すると、圧力嵌めファスナー１４８が示されている。ファスナー１
４８は、ポリカーボネートあるいはＰＥＥＫ等の硬いプラスチックで製造するの
が適切である。各ファスナー１４８は、雌ファスナー部１６６及び雄ファスナー
部２００を有している。雌ファスナー部１６６は、ボデー部１６８、多角形に形
成された穴１７０、肩部１８６及びベース部１８２により構成されている。多角
形に形成された穴１７０は、最小穴直径Ｄ１及び最大穴直径Ｄ２を有している。
雄ファスナー部２００は、ベース部２１４、肩部２２０及び円柱２１０により構
成されている。円柱２１０は、表面２０６、直径Ｄ３及び柱端部２１２を有して
いる。 ベース部１８２及び２１４は、通常は、図１、図４及び図８に示されているよ
うに、取り付けられるそれぞれの要素に一体化される。図１０ａ〜図１０ｃに示
すように、柱２１０が穴２０６に圧入される時に干渉が発生する。柱の表面２０
６は、穴の表面１７２との相互作用から雌ファスナー部１６６内に固定するよう
ゆがめられる。結果的に、直径は、Ｄ２よりは小さいが、Ｄ１よりは大きいＤ３
となる。
【００１４】 図１０ａ〜図１０ｃに、完全な圧力嵌めファスナー接続の異なる実施例を示す
。図１０ａにおいて、肩部１８６、２２０及び端部１０８、２０８は、雄ファス
ナー部２００の挿入を停止させ、圧力嵌めファスナー１４８をシールオフするた
めに係合する。図１０ｂは、肩部１８６と２２０との間にシールを形成するため
のオーリング１６４を用いる圧力嵌めファスナー１４８を示す。 圧力嵌めファスナー１４８の他の実施例が、図１１に記載されている。ここで
、柱２１０は、多角形の表面２０６を有し、穴１７０は、円である。この実施例
は、図９に示したものと同じように動作する。更に、圧力嵌めファスナー１４８
の実施例が、図１２ａ〜図１２ｈに示されている。 図１２ａ〜図１２ｈには、固定の目的のために、円形に形成された柱２１０の
表面２０６と干渉的に相互に作用することができる穴１７０の種々の形状を記載
している。 本発明は、本発明の精神あるいは本質的な特質を逸脱することなく他の形態で
実施することができる。それゆえ、本発明の実施例は、説明として全ての観点に
おいて考慮し、限定して考慮すべきではなく、また、発明の特徴を示すための前
記した記載よりもクレームに対する参考文献を考慮すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 処理装置と係合するガイドプレートを有するウェハーキャリアの部分断面、分
解組立、正面図である。
【図２】 処理装置と係合するウェハーキャリアの透視図である。
【図３】 ガイドプレートのキャリア側の等視図である。
【図４】 キャリアのインターフェース側の底部正面図である。
【図５】 付随ガイドプレートを有するキャリアのインターフェース側の底部正面図であ
る。
【図６】 装置インターフェース部に係合して示されているキャリアインターフェース部
を有する、図５のＡ−Ａ線に沿った部分断面図である。
【図７ａ】 インターフェース接触部の好ましい実施例の部分断面図を示す。
【図７ｂ】 インターフェース接触部の好ましい実施例の部分断面図を示す。
【図７ｃ】 インターフェース接触部の好ましい実施例の部分断面図である。
【図８】 キャリア要素を取り付けるための圧力嵌めファスナーを用いる複合ウェハーキ
ャリアの分解組立図である。
【図９】 好ましい１実施例の圧力嵌めファスナーの分解組立図である。
【図１０ａ】 雌ファスナー部の最小の軸方向の穴の直径に沿った、本発明の１実施例の、完
全に係合された圧力嵌めファスナーの断面図を示す。
【図１０ｂ】 雌ファスナー部の最小の軸方向の穴の直径に沿った、本発明の１実施例の、完
全に係合された圧力嵌めファスナーの断面図を示す。
【図１０ｃ】 雌ファスナー部の最小の軸穴直径に沿った、本発明の１実施例の、完全に係合
された圧力嵌めファスナーの断面図を示す。
【図１１】 好ましい１実施例の圧力嵌めファスナーの分解組立等視図である。
【図１２ａ】 三角形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｂ】 正方形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｃ】 五角形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｄ】 六角形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｅ】 八角形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｆ】 球面に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｇ】 十字形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
【図１２ｈ】 丸い四角形に形成された穴を有する雌ファスナー部を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，Ｇ Ｈ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ， ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，Ｍ Ｗ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ， ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BB03 CA08 CB03 DA01 DA09 DA23 DB02 DC02 FA09 GA13

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 装置と連係し、装置に対して正確な位置にウェハーを支持す
    るウェハーキャリアであり、装置はキャリアインターフェース部を有しており、 キャリアは、 インターフェース側部と、 インターフェース側部と一体化されたインターフェース接触部の対と、インタ
    ーフェース接触部に隣接し、キャリアインターフェース部を対応するインターフ
    ェース接触部に係合させるように配置されたガイド部を有するガイドプレートと
    を備え、 キャリアインターフェース部と装置接触部との係合によって、キャリアが、ウ
    ェハーを適切に扱うために装置に対して正確な位置に整列される。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のキャリアであって、ガイドプレートのガイ
    ド部は、更に、開口部と、開口部に導くガイド面と、インターフェース接触部と
    を有する。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載のキャリアであって、更に、複数の圧力嵌め
    ファスナーを備え、各圧力嵌めファスナーは、インターフェース側部と一体化さ
    れた第１の部分と、ガイドプレートと一体化された第２の部分とを有し、第１及
    び第２の部分は、互いが押圧された時に互いに干渉的に係合し、それによって、
    ガイドプレートがハウジングのインターフェース側部に固定される。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載のキャリアであって、圧力嵌めファスナーの
    第１の部分は柱であり、第２の部分は柱受入部であり、各柱受入部は、対応する
    柱を干渉的に受け入れる穴を有する。
  5. 【請求項５】 請求項４に記載のキャリアであって、各柱及び柱受入部は互
    いにシール状態で係合し、それによって、対応する穴がシール状態で閉じる。
  6. 【請求項６】 請求項３に記載のキャリアであって、圧力嵌めファスナーの
    第１及び第２の部分は、更に、肩部、オーリングを有し、オーリングは、第１及
    び第２の部分が互いに押圧された時に肩部の間にシール状態で係合する。
  7. 【請求項７】 請求項１に記載のキャリアであって、キャリアはＨバーキャ
    リアである。
  8. 【請求項８】 請求項１に記載のキャリアであって、キャリアは、開口前部
    を有し、ウェハーを収納及び支持するボックスであり、ボックスは、更に、開口
    前部を閉じるドアを有する。
  9. 【請求項９】 請求項１に記載のキャリアであって、キャリアはポッドであ
    る。
  10. 【請求項１０】 請求項１に記載のキャリアであって、更に、ウェハーを支
    持し、インターフェース側部と一体化された側壁を有する。
  11. 【請求項１１】 装置と連係し、ウェハーを装置に対して正確な位置に支持
    するウェハーキャリアであって、装置はキャリアインターフェースを有し、 キャリアは、 インターフェース側部と、 キャリアインターフェースを係合させるための複数の圧力嵌めファスナーと共
    にインターフェース側部に取り付けられる装置インターフェース部とを備え、 各圧力嵌めファスナーは、インターフェース側部に一体化された第１の部分と
    、装置インターフェース部に一体化された第２の部分とを有し、第１及び第２の
    部分は、互いに押圧されると干渉的に係合し、それによって装置インターフェー
    スがキャリアのインターフェース側部に固定される。
  12. 【請求項１２】 請求項１１に記載のキャリアであって、キャリアはＨバー
    キャリアである。
  13. 【請求項１３】 請求項１１に記載のキャリアであって、装置インターフェ
    ース部は運動結合部である。
  14. 【請求項１４】 請求項１１に記載のキャリアであって、装置インターフェ
    ース部はロボットフランジである。
  15. 【請求項１５】 請求項１１に記載のキャリアであって、圧力嵌めファスナ
    ーの第１の部分は雌ファスナー部であり、圧力嵌めファスナーの第２の部分は雄
    ファスナー部であり、各雌ファスナー部は、表面を有する軸方向に沿った穴が設
    けられたボディー部を有し、各雄ファスナーは、雌ファスナー要素の穴に挿入さ
    れた時に、雌ファスナー部の穴の表面と連係するボディー部を有する。
  16. 【請求項１６】 請求項１１に記載のキャリアであって、更に、インターフ
    ェース側部と一体化され、ウェハーを支持する側壁を備える。
  17. 【請求項１７】 ウェハーディスクを支持及び拘束する複合ウェハーキャリ
    アであって、 キャリアは、 ウェハーディスクを支持する第１の要素と、 複数の圧力嵌めファスナーと共に第１の要素に取り付けられる第２の要素とを
    備え、 各圧力嵌めファスナーは、第１の要素と一体化された第１の部分と、第２の要
    素と一体化された第２の部分とを有し、第１及び第２のファスナー部は、互いに
    押圧されると干渉的に係合し、それによって、ウェハーキャリアを形成するため
    に第１の要素が第２の要素に固定される。
  18. 【請求項１８】 請求項１７に記載の複合ウェハーキャリアであって、圧力
    嵌めファスナーは、永久的に、第１の要素を第２の要素に接続する。
  19. 【請求項１９】 請求項１７に複合ウェハーキャリアであって、第２の要素
    は、キャリアを装置に送る装置インターフェース部であり、それによって、装置
    がキャリア及びウェハーディスクと連係可能である。
  20. 【請求項２０】 請求項１９に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェースはロボットフランジである。
  21. 【請求項２１】 請求項１９に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェースはＨバーである。
  22. 【請求項２２】 請求項１９に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェースは運動結合部である。
  23. 【請求項２３】 請求項１９に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェースはマシンインターフェースである。
  24. 【請求項２４】 請求項１７に記載の複合ウェハーキャリアであって、第１
    の要素は、更に、前端部材、後短部材、前端部材と後端部材との間に伸びる側壁
    支持部材及びウェハーディスクを支持する一対の側壁を有するキャリアフレーム
    を備え、各側壁は、複数の圧力嵌めファスナーと共に側壁支持部材の１つに取り
    付けられ、各圧力嵌めファスナーは、側壁の１つに一体化された第１の部分と、
    側壁支持部材の１つに一体化された第２の部分を有し、第１及び第２の部分は、
    互いに押圧された時に干渉的に係合し、それによって、側壁が、対応する側壁支
    持部材に固定される。
  25. 【請求項２５】 複合ウェハーキャリアを組み立てる方法であって、 ウェハーディスクを支持し、複数の第１の圧力嵌めファスナー部を有する第１
    のキャリア要素を提供するステップと、 取り付けのために、第１のファスナー部と干渉的に係合する複数の第２の圧力
    嵌めファスナー部を有する第２のキャリア要素を提供するステップと、 対応する第１及び第２の圧力嵌めファスナー部を整列させるステップと、 第１及び第２のファスナー部を互いに押圧し、第１及び第２のキャリア要素を
    互いに固定するステップと、 を備える。
  26. 【請求項２６】 請求項２５に記載の複合ウェハーキャリアを組み立てる方
    法であって、第２のキャリア要素は、キャリアを装置に送る装置インターフェー
    ス部であり、それによって、装置は、キャリア及びウェハーディスクと相互に作
    用可能である。
  27. 【請求項２７】 請求項２６に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェース部は運動結合部である。
  28. 【請求項２８】 請求項２６に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェース部はロボットフランジである。
  29. 【請求項２９】 請求項２６に記載の複合ウェハーキャリアであって、装置
    インターフェース部はＨバーである。
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