KR20010074691A - 허용오차증가 적은 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

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Abstract

본발명은 반도체 웨이퍼 디스크를 지지하여 처리장비와 인터패이싱 하는 작은 허용오차 증가 웨이퍼 캐리어 및 이의 조리방법에 관한 것이다. 압입 패스너가 복합 캐리어를 조립하는데 이용되어 장비 인터패이스 부분을 캐리어에 부착한다. 각각의 압입 패스너는 제 1 부재와 일체가된 제 1 부분과, 제 2 부재와 일체가된 제 2부분을 포함한다. 제 1 및 제 2 패스너 부분은 합께 프레스 될때, 간섭할수 있게 맞물림으로써 중요한 허용오차 증가없이 제 1 및 제 2 부재를 연결한다. 본발명의 또 다른 실시예는 안내판 또는 운동학적 커플링에 의해 처리장치로부터 캐리어 접점 부분을 수용하도록 위치한 인터패이스 접점부분을 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.인터패이스 접점부분은 캐리어을 일치시키는 역할을 하여 안내판의 휨에의한 허용오차 증가을 방지한다.

Description

허용오차증가 적은 웨이퍼 캐리어{A WAFER CARRIER HAVING A LOW TOLERANCE BUILD-UP}
집적회로 로의 웨이퍼 디스크의 변형은 디스크를 반복적으로 처리, 보관 및 이송하는 여러 단계와 관련이 된다. 디스크의 예민한 특성과 극값으로 인해, 이디스크가 상기 절차를 통해 오염으로부터 적절히 보호되는 것이 중요하다. 웨이퍼 캐리어의 목적은 이들 오염으로부터 보호하는 것이다.
웨이퍼 디스크의 처리가, 보통은 자동이기 때문에, 이용할 처리장치의 사양서에 의해 캐리어를 웨이퍼 디스크와 정확히 일치시키는 것이 중요하다. 캐리어에 이용할수 있는 허용오차는 처리장치와 웨이퍼 디스크사이의 적절한 상호작용의 경우에는 약 0.20인치로 매우 엄격하다. 웨이퍼 캐리어 제조 산업은 정확한 캐리어 장비 배열을 보다 양호하게 하기 위해, 향상된 허용오차의 캐리어를 설계하는데 꾸준히 노력했다.
여러부품이 모여 조립될때 허용오차 축적 또는 증가가 야기된다. 조립될때의 틈, 그립(grip) 및 간섭이 개별부품의 크기와 허용오차에 관계한다. 개별부품의 허용오차가 크면, 틈 또는 간섭이 야기될 가능성이 커져서, 이들 틈과 간섭의 허용오차의 축적과 증가을 최소화하기 위해 사용부품의 수를 최소로 해야 한다.
캐리어는 단일 몰드 설계이거나 여러 작은 개별적으로 몰드된 부분으로된 복합 설계일수 있다. 허용오차증가의 문제는 부품의 중복성으로 인해, 복합 캐리어에서 분명히 발생한다. 또한, 복합 캐리어는 매우 많은 부품을 설치하고, 허용오차 증가을 더 증가시키는 구성요소를 결합하기 위해, 패스너를 일반적으로 필요로 한다. 결론적으로, 허용오차증가을 야기하지 않는 복합 웨이퍼 캐리어를 조힙하는 패스너가 필요하게 된다.
일반적으로, 복합 웨이퍼 캐리어를 조립하는데 나사를 이용한다. 문제는 이들 패스너를 사용할경우, 발생한다. 먼저, 나사를 조이므로써, 캐리어의 비틀림이 야기되어 허용오차 증가가 커지게 된다.
둘째, 나사로 구성요소를 조이는 것은 시간이 낭비를 초래한다. 따라서, 비틀림을 야기하지 않으면서 캐리어 구성요소를 합께 신속하게 조일수 있는 패스너를 필요로 한다.
복합 캐리어가 단일 몰드 캐리어보다 허용오차 증가에 영향을 많이 받지만, 단일 몰드 캐리어는 문제를 여전히 가지고 있다. 단일 몰드 캐리어는 대형 몰드로인해, 복합 캐리어보다 더 비틀리기 쉽다. 단일 몰드 캐리어의 비틀림을 제어하고 이 비틀림이 최종 재품에 영양를 주는 정도를 예측하기 어렵기 때문에, 통상 예측하기 쉬운 복합 캐리어 설계를 이용하는 것이 바람직 하다.
일반적으로, 웨이퍼 캐리어는 캐리어를 처리장치에의해 제공된 캐리어 인터패이스부분에 대해 적절히 지향시키기 위해, 안내판 또는 운동학적 커플링과 같은 장비 인터패이스 부분을 포함한다. 안내판은 흔히, 단일 몰드 캐리어에 일체로되어 있다.
장비 인터패이스를 캐리어 설계의 부분과 분리함으로써, 몰드된 부분의 크기가 감소하여 비틀림의 잠재력을 감소시킨다. 따라서, 결론적으로, 허용오차 증가없이 단일 몰드 웨이퍼 캐리어에 부착할 수 있는 분리 장비 인터패이스 부분을 제공하여, 중요한 캐리어 사양서을 만족시키는 것을 더 쉽게 하는 것이 필요하다.
단일 몰드 캐리어 설계에서 비틀림이 증가하는것 외에, 운동학적 커플링과 같은 장비 인터패스는 캐리어의 무게를 운반할때 흼을 받게 된다. 이 비틀림에 의해, 허용오차 증가을 야기하는 캐리어의 위치로 바람직하지 않은 이동이 발생하게 되어 캐리어-장비 불일치의 잠재력을 증가 시킨다. 부착된 운동학적인 커플링의 휨에 영향을 받지 않는 처리 장비와 인터패이스할 수 있는 캐리어를 필요로 한다.
집적회로에 이용하기 위해 반도체 웨이퍼 디스크를 지지, 구속, 보관 및 정확히 위치시키도록 설계된 웨이퍼 캐리어 및 이를 조립하는 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 캐리어부품을 연결하는 압입 패스너을 활용하는 낮은 허용오차로 구성된 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
도 1은 처리장치와 맞물리는 부착된 안내판을 가지는 웨이퍼 캐리어의 부분확대 단면도.
도 2는 처리장치와 맞물린 웨이퍼 캐리어의 사시도.
도 3은 안내판의 캐리어측의 사시도.
도 4는 캐리어의 인터패이스측의 배면도.
도 5는 부착된 안내판을 가지는 캐리어의 인터패이스측의 저면도.
도6은 장비 인터패이스 부분과 맞물림을 도시한 캐리어 인터패이스 위치의 도 5의 A-A에서본 부분 단면도.
도 7a은 인터패이스 접점부분의 바람직한 실시예의 부부 단면도.
도 7b는 인터패이스 접점붑분의 바람직한 실시예의 부분 단면도.
도 7b는 인터패이스 접점부분의 바람지한 실시예의 부분 단면도.
도 8은 캐리어 부품을 부착하기위해 압입 패스너를 이용한 복합 캐리어의 확대 사시도.
도 9는 바람직한 실시예에 의한 복합 웨이퍼 캐리어의 확대 사시도.
도 10a은 암 패스너 부분의 최소 축방향 보어 직경을 택한 본발명의 일실시예에의한 완전히 맞물린 압입 패스너의 단면도.
도 10b는 암 패스너 부분의 최소 축방향 보어 직경을 택한 본발명의 일실실예에의한 완전히 맞물린 압입 패스너의 단면도.
도 10c는 암 패스너부분의 최소 축방향 보어 직경을 택한 본발명의 일실시예에의한 완전히 맞물린 압입 패스너의 단면도.
도 11은 일 실시예를 따른 압입 패스너의 확대 사시도.
도 12a는 삼각형상의 구멍을 갖는 암 패스너 부분을 도시한 도면.
도 12b는 사각 형상의 구멍을 갖는 압입 패스너부분을 도시한 도면.
도 12c는 오각 형상의 구멍을 갖는 암 패스너부분을 도시한 도면.
도 12d는 육각형상의 구멍을 갖는 암 패스너 부분을 도시한 도면.
도 12e는 팔각형상의 구멍을 갖는 암 패스너 부분을 도시한 도면.
도 12f는 구형의 구멍을 갖는 암 패스너 부분을 도시한 도면.
도 12g는 단면형상의 구멍을 갖는 암 패스너 부분을 도시한 도면.
도 12h는 둥근 사각 형상의 구멍을 갖는 암 패스너 부분을 도시한 도면.
본발명은 상술한 필요성을 만족하기 위한 웨이퍼 캐리어와 이를 조립하는 방법을 제공하는 것이다.
본발명의 목적은 캐리어와 관련된 구성요소를 압입 패스너에 연결시킴으로써 허용오차 증가를 감소하는 것이다.
본발명의 또 다른 목적은 더 정확한 캐리어-장비 일치를 위해 캐리어 인터패이스 부분과 직접 접촉하는 캐리어위에 인터패이스 접점부분을 제공하는 것이다.
본발명의 목적은 또한, 캐리어의 무게로 안내판의 비틀림과 관련된 불일치의 문제를 방지하도록 설계된 캐리어를 제공하는 것이다.
본발명의 목적은 허용오차 증가을 감소하기 위해 압입 패스너를 이용하여 안내판을 캐리어에 부착하는 것에 관한 것이다.
본발명의 목적은 조립비용이 적은 복합 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.
본발명의 목적은 또한, 복합 웨이퍼 캐리어를 압입 패스너와 조립하는 방법을 제공하는 것이다.
본발명의 목적은 캐리어 부품을 합께 신속하게 부착할수 있는 패스너를 제공하는 것이다.
웨이퍼 캐리어는 처리장비에 형성된 대응하는 협동 기기 인터패이스 부분과 대면하는 장비 인터패이스 부분에 의해 처리 장비 또는 이와 유사한 것과 인터패이스한다. 바람직한 실시예에서, 협동하는 기기 인터패이스 부분은 한쌍의 인터패이스측에 위치한 인터패이스 접점부분에 안내된다.
또다른 바람직한 실시예에서, 제 1 부재와 일체가된 제 1 부분과 제 2 부재와 일체가된 제 2 부분을 포함하는 패스너는 허용오차 증가없이, 제 1 부재와 제 2부재에 합께 부착하는데 이용된다. 이들 패스너는 복합 웨이퍼 캐리어를 조립하여 장비 인
터패이스를 캐리어에 부착하는데 이용된다.
참조범호(10)으로 표시된 처리장치와 맞물린 허용오차가 작은 웨이퍼 캐리어 또는 포드(pod)가 도 1 및 도 2에 도시되어 있다. 웨이퍼 캐리어 또는 포드(14)는 바닥부(26), 개구부(23)를 갖는 정면측부분(22) 및 개구부(23)에 대향하는 배면측부분(24)을 포함하는 쉘 또는 하우징부분(16)를 갖는다. 또한, 캐리어(14)는 웨이퍼 디스크(12)를 수평위치에 지지하는 한쌍의 측벽(104)을 가진다. 개구부(23)와 시일링 쉘(16)을 폐쇄하는 도어(20)가 디스크(12)의 오염을 방지하기 위해 마련되어 있다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 장비 인터패이스 부분(40)이 바닥부분(26)의 인터패이스쪽(18)과 일체가 되어 도시되어 있다. 인터패이스쪽(40)은 장비(64)와 마주하고 있다. 인터패이스 부분은(40)은 도 5에 도시되어 있듯이, 대응하는 안내판 또는 운동학적인 커플링(120)과 상호작용하기 위해 위치한 리브로써 도시된 한쌍의인터패이스 접점 부분(42)을 갖는다. 일반적으로, 인터패이스부분(42)은 정삼각형의 모퉁이에 위치해 있다. 암 패스너 부분(66)이 도 4에 도시되어 있다. 이 인텨패이스 부분은 안내판(120)으로부터 대응하는 숫패스너부분(200)을 수용하여, 도 1및 도 5에 도시되어 있듯이, 안내판(120)을 인터패이스면(18)에 고정시킨다.
인터패이스할 장비에 따라 인터패이스부분(42)과 압입 패스너 부분(166)의 인터패이스의 또다른 구성이 가능하다. 이들의 또다른 구성은 다소의 인터패이스부분(42)과 압입 패스너 부분(166)을 포함한다. 또한, 숫 패스너 부분(200)과 암 패스너 부분(166)은 본발명의 모든 실시예에서 상호 교환할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 안내판(120)은 캐리어측(134), 장비측(136) , 캐리어 정면측(22)과 대응하는 정면측(138) 및 캐리어 배면측(24)과 대응하는 배면측(140)를 포함한다. 안내판(120)은 안내 암(126), 센서 패드(128), 압입 패스너부분(200), 안내부분(122)과 개구부(124)를 갖는 안내면(130)을 포함한다. 안내암(126)은 삼각형의 중심으로부터 인접된 암 사이가 120도로 벌어진 삼각점까지 연장되어 있다.
안내판 또는 운동학적 커플링(120)의 목적은 안내면(130)을 따라 캐리어 인터패이스 부분(66)을 안내하여 도 6에 도시되어 있듯이, 인터패이스 접점(44)에서 인터패이스 접점부분(42)과 맞물리는 역할을 한다. 캐리어 인터패이스 부분(66)이 처리장치(64)에 대해 고정되어 있기 때문에, 안내판(120)은 캐리어(14)를 처리장치(64)에 지향시켜 이에 적절히 일치시킨다.
인터패이스 부분(42)과 캐리어 인터패이스 부분(66)사이의 직접 접촉으로 인해, 안내암(126)의 비틀림이 허용오차 구조를 증가하지 않는다. 도 7a 내지 도 7c는 인터패이스 부분(42)의 또 다른 실시예를 도시한다. 도7a는 인터패이스 부분(42)으로 리브의 이용을 도시한다. 이 구성은 상대적으로 작은 크기가 큰 비틀림에 영향을 받지 않기 때문에, 바람직하다. 인터패이스부분(42)의 또다른 바람직한 실시예가 도 7b 및 도 7c에 도시되어 있다. 이러한 인터패이스 부분은 필요한 접점(44)을 형성하는데 험프(hump)를 이용한다.
도 8을 참조하면, 조립 웨이퍼 캐리어(15)가 도시되어 있다. 이 조립 웨이퍼 캐리어(15)는 정면단 부재(80), 배면단부재(82) 및 대향 측벽 지지부재(84)를 가지는 캐리어 프레임(78);, 측벽(104); 부착가능한 장비 인터패이스 부분(40)를 포함한다. 장비 인터패이스 부분(40)은 정면단부재(80)에 압입 패스너(148)에 의해 고정되며, 숫 패스너부분(200)은 장비 인터패이스 부분(40)과 일체가 되어 있으며, 암패스너 부분(166)은 정면단 부재(80)와 일체로 되어 있다. 장비 인터패이스 부분(40)과 후단부재(82)는 H-바(52), 로버트 플렌지(50) 또는 기타 기기 인터패이스의 형태로 장비와 인터패이스 한다.
도 8를 다시 참조하면, 측벽(104)은 웨이퍼 디스크(12)를 지지하여 보관하는 수직으로 각이진 리브(106),오목한 하부분(108) 및 실질적으로 수직한 상부분(110)을 갖는다. 측벽(104)은 압입 패스너(148), 리브(90) 및 홈(92)를 사용하여 캐리어 프레임(78)에 부착되어 있다. 상부 부분(110)과 일체가된 하부분(108) 및 리브(90)와 일체가된 숫 패스너 부분(200)은 상부분(88)과 일체가된 바닥부분(86)과 홈(92)와 일체가된 대응하는 암 패스너 부분(166)에 끼워져서, 측벽(104)을 캐리어 프레임(78)에 패스닝하게 한다.
도 9를 참조하면, 압입 패스너(148)의 실시예가 도시되어 있다. 이 패스너(148)는 폴리카본네이트 또는 PEEK와 같은 보강 플라스틱으로 형성되는 것이 적절하다. 각각의 패스너(148)는 암 패스너 부분(166)과 숫패스너 부분(200)을 포함한다. 암패스너(166)은 몸체부분(166),다각 형상의 보어(170) 및 쇼울더부분(186) 및 베이스부분(182)을 포함한다. 다각형상의 보어(170)는 최소 보어직경(D1)과 최대 보어 직경(D2)을 포함한다. 숫패스너 부분(200)은 베이스부분(214), 쇼울더 부분(220), 면(206)과 직경(D3)를 갖는 원형 기둥(210)과 기둥단(212)를 갖는다.
베이스부분(182, 214)은 도 1, 4 및 8에 도시한바와 같이, 부착된 각각의 부품과 일체가 되어 있다. 도 10a내지 도 10c에 도시되어 있듯이, 기둥(210)이 보어(170)에 프레스되는 경우, 간섭이 발생한다. 기둥면(206)이 직경(D2)보다는 작지만, D1보다는 큰 직경(D3)로 인해, 기둥면(206)이 일그러져셔 보어면(172)과 상호작용에 의해 암 패스너부분(166)에 잠겨진다.
도 10a 내지 도 10c는 완성의 압입 고정 패스너 연결의 다른 실시예를 도시한다. 도 10a에서, 양 쇼울더(186, 220)와 단부분(108, 208)은 숫 패스너 부분(200)의 또다른 삽입을 방지하고 압입 패스너(148)밖을 시일하도록 맞물린다. 도 10b는 o-링을 이용한 압입 패스너(148)를 도시한 것으로, 쇼울더(186, 220)사이에 시일을 형성한다. 도 10c는 또 다른 실시예를 도시한 것으로, 배출구멍(184) 및 배출틈(188)에 이용된다.
도 11은 압입 패스너(148)의 또 다른 실시예를 도시한다. 기둥(210)은 다각형 형상의 면(206)을 갖고, 보어(170)는 원형이다.
압입 고정 패스너(148)의 또 다른 실시예가 도 12a-12h에 도시되어 있는데, 이 도면은 패스닝을 위해 원형 형상의 기둥(210)의 면(210)과 간섭하면서 상호작용할수 있는 보(170)의 여러 형상을 도시한다.
본발명은 본발명의 정신 및 기본 속성에서 벗어나지 않는한 기타의 특정형태로 구현될수 있고, 본실시예는 본발명의 범위를 나타내는 전문의 설명이 아니라 첨부한 청구범위의 예시적이지 제한적인 이지 않은 참조로 모든면에서 간주하는 것이 바람직 한다.
본발명은 본발명의 정신 및 기본 속성에서 분리되지 않는 한, 다른 특정 형태로 구현할수 있어서, 본실시예는 본발명의 범위를 나타내는 전문의 설명이 아니라 첨부한 청구범위를 을 에시적이지 제한 적이지 않는 것으로 모든면에서 고려되는 것이 바람직 하다.

Claims (29)

  1. 캐리어 인터패이스부분을 갖는 장비와 인터패이싱하여 이 장비에 대해 웨이퍼을 정확한 위치에 지지하는 웨이퍼 케리어에 있어서,
    인터패이스측과;
    안내판은 대응하는 인터패이스 접촉부분과의 캐리어 인터패이스부분의 맞물림을 촉진히기 위해 위치한 안내부분을 지니며,
    인터패이스측과 일체가된 쌍의 인터패이스 접촉부분과 이 인터패이스 접촉부분에 인접한 상기 안내판을 구비한 장비 인터패이스 부분을 구비함으로써,
    장비 접촉부분과 캐리어 인터패이스 부분의 맞물림은 웨이퍼의 적절한 처리를 위해 캐리어를 상기 장비와 정확한 위치에 일치시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  2. 제 1항에 있어서, 안내판의 안내부분은 개구부와, 이 개구부에 연결된 안내면이며, 인터해이스 접촉부분을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  3. 제 1항에 있어서, 다수의 압입 패스너를 더 포함하며, 각각의 압입 패스너는 제 1 및 제 2 부분을 갖으며, 상기 제 1 부분은 인터패이스측과 일체가 되어 있고, 상기 제 2 부분은 안내판과 일체가 되어 있어서,
    제 1 및 제 2 부분이 합께 프레스될때, 서로 간섭하게 맞물림으로써, 안내판을 하우징의 인터패이스측에 고정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  4. 제 3항에 있어서, 압입 패스너의 제 1 부분은 기둥이며, 제 2 부분은 기둥수용부분이며, 각각의 기둥 수용부분은 대응하는 기둥을 간섭할수 있게 수용하는 구멍을 지닌 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  5. 제 4항에 있어서, 각각의 기둥과 기둥 수용부분은 서로 밀봉적으로 맞물림으로써, 각각의 구멍를 밀봉적되게 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  6. 제 3항에 있어서, 압입 패스너의 제 1 및 제 2 부분은 쇼울더와 o-링을 포함함으로써, 제 1 및 제 2 부분이 합께 맞물리는 경우, o-링이 쇼율더사이에 밀봉 맞물림을 제공하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  7. 제 1항에 있어서, 캐리어는 h-바캐리어 인것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  8. 제 1항에 있어서, 캐리어는 전면 개구부을 가지는 웨이퍼를 포위하여 지지하는 박스를 포함하며, 상기 박스는, 또한 전면 개구부를 폐쇄하는 도어를 더 포함하는 것을 특징으로하는 웨이퍼 캐리어.
  9. 제 1항에 있어서, 캐리어는 포드(pdd)인 것을 특징으로하는 웨이퍼 캐리어.
  10. 제 1항에 있어서, 웨이퍼를 지지하는 측벽을 더 포함하며, 상기 측벽은 인터패이스측과 일체가 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  11. 캐리어 인터패이스를 지니는 장비와 인터패이스하여 웨이퍼를 이 장비에 대해 정확한 위치에 지지하는 웨이퍼 캐리어에 있어서,
    인터패이스측과;
    각각의 압입 패스너는 인터패이스측과일체가된 제 1 부분과, 장비 인터패이스부분과 일체가된 제 2 부분을 포함하며,
    인터패이스측을 상기 다수의 압입패스너에 부착하여 캐리어 인터패이스와 맞물리는 장비 인터패이스부분을 구비함으로써,
    제 1 및 제 2 부분이 서로 프레스되는 경우, 서로 간섭하게 맞물리어 장비 인터패이스를 캐리어의 인터패이스측에 고정하는 것을 특징으로하는 웨이퍼 캐리어.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 캐리어는 H바 캐리어인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  13. 제 11항에 있어서, 장비 인터패이스부분은 운동학적 커플링인 것을 특징으로하는 웨이퍼 캐리어.
  14. 제 11항에 있어서, 장비 인터패이스 부분은 로버식의 플렌지인 것을 특징으로하는 웨이퍼 캐리어.
  15. 제 11항에 있어서, 압입 패스너의 제 1 부분은 면을 지닌 축방향 보어가 형성된 본체부분을 각각 지니는 암 패스너 부분이며; 압입 패스너는 암 패스너 부분의 보어에 끼워질때, 암패스너 부분의 보어의 면과 간섭하도록된 본체부분을 각각 갖는 숫 패스너부분인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  16. 제 11항에 있어서, 인터패이스측과 일체가된 웨이퍼를 지지하는 측벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
  17. 웨이퍼 디스크를 지지하여 구속하는 복합 웨이퍼 캐리어에 있어서,
    웨이퍼 디스크를 지지하는 제 1 부재와;
    다수의 압입 패스너에 의해 제 1 부재에 부착된 제 2부재를 포함하며;
    상기 압입 패스너는 제 1 부재와 일체가된 제 1 부분과, 제 2부재와 일체가된 제 2 부분을 포함함으로써,
    상기 제 1 및 제 2 패스너 부분은 합께 프레스될때, 서로 간섭할수 있게 맞물려서, 제 1부재를 제 2 부재에 고정하여 웨이퍼 캐리어를 형성하는 것을 특징으로하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  18. 제 17항에 있어서, 압입 패스너는 제 1 부재를 제 2 부재에 영구적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  19. 제 17항에 있어서, 제 2부재는 캐리어를 장비에 제공하는 장비 인터패이스 부분으로, 장비가 캐리어와 웨이퍼 디스크와 상호 작용하는 것을 특징으로하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  20. 제 19항에 있어서, 장비 인터패이스는 로버식의 플렌지인 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  21. 제 19항에 있어서, 장비 인터패이스는 H-바인 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  22. 제 19항에 있어서, 장비 인터패이스는 운동학적 커플링인 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  23. 제 19항에 있어서, 장비 인터패이스는 기기 인터패이스인 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  24. 제 17항에 있어서, 제 1부재는 정면단부재, 배면 단 부재, 정면단부재와 배면단부재사이에 연장한 두개의 측벽지지 부재와, 웨이퍼 디스크를 지지하는 한쌍의 측벽을 더 포함하며, 각각의 측벽은 다수의 압입 패스너에 의해 측벽지지 부재중하나에 부착되어 있으며, 각각의 압입 패스너는 측벽중 하나와 일체가된 제 1 부분과 측벽지지부재 중 하나와 일체가된 제 2 부분을 포함함으로써, 제 1 및 제 2 부분이 서로 프레스될때, 서로 간섭할 수 있게 맞물려서 측벽을 대응 측벽 지지 부재에 고정하는 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어.
  25. 복합 웨이퍼 캐리어 조립 방법에 있어서,
    다수의 압입 패스너 부분을 가지는 웨이퍼 디스크를 지지하는 제 1 캐리어 부재를 제공하는 단계와;
    부착을 위해, 제 1 패스너부분과 간섭할수 있게 맞물리는 다수의 제 2 프레스 압입 부분을 가지는 제 2 캐리어 부분을 제공하는 단계와;
    대응 제 1 및 제 2 압입 패스너 부분을 일치하는 단계와;
    제 1 및 제 2 패스닝부분을 프레싱함으로써 제 1 및 제 2 캐리어부재를 합께 고정하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어 조립 방법.
  26. 제 25항에 있어서, 제 2 캐리어 부재는 캐리어를 장비에 제공하는 장비 인터패이스 부분으로, 장비가 캐리어 및 웨이퍼 디스크와 상호작용하는 것을 특징으로 하는 보합 웨이퍼 캐리어 조립 방법.
  27. 제 26항에 있어서, 장비 인터패이스 부분은 운동학적 커플링인 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어 조립 방법.
  28. 제 26항에 있어서, 장비 인터패이스 부분은 로버식의 플렌지인 것을 특징으로 하는 조합 웨이퍼 캐리어 조립 방법.
  29. 제 26항에 있어서, 장비 인터패이스 부분은 H-바인 것을 특징으로 하는 복합 웨이퍼 캐리어 조립 방법.
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