JPS6283486A - ニツケル電鋳メツキ液組成 - Google Patents
ニツケル電鋳メツキ液組成Info
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- JPS6283486A JPS6283486A JP22507685A JP22507685A JPS6283486A JP S6283486 A JPS6283486 A JP S6283486A JP 22507685 A JP22507685 A JP 22507685A JP 22507685 A JP22507685 A JP 22507685A JP S6283486 A JPS6283486 A JP S6283486A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レコード盤およびＣＤ用スタンバ並びに精密
金型に係わる、ニッケル電鋳メッキ液組成に関する。
金型に係わる、ニッケル電鋳メッキ液組成に関する。
本発明は、レコード盤およびＣＤ用スタンバ並びに精密
金型に係わるニッケル電鋳メッキ液組成において、基本
組成が、スルファミン酸ニッケルの標章濃度６００ ｆ
Ａ、濃度範囲５８６グ／ｅ〜６８０ ’ｉ’／ｅと、塩
化ニッケルの標章濃度５ｇ／ｌ、濃観範囲４２／ｅ〜６
’ｉ／（ｌさらに、硼酸の標亀濃区３５ ？／ｌ 、
濃度範囲５０ Ｖ／ｅ〜４０ ｔ／ｌからナル高濃度浴
に、浴中のコＩ・ルト濃度ｓ、 ５ ｆｆ／ｅ 、 範
囲５、 ＋ ？／ｌ 、 ５．８ Ｖ／ｌとなルヨうに
、スルファミン酸コバルトを添加し、さらには、湿潤剤
として、２ブチｙｌ、４ジオールｓ ｏ 療１ 、範囲
２７ｗ１／Ｎ〜５４ Ｉ）Ｉｖ７１！、ビット防止剤と
してラウリル硫酸ナトリウムｆ ３５ ｄｙｎ ７ｃｍ
と範囲５０ ｄ７ｎ ／ ｃｍ 〜４０ｄｙｎ／ｃｒｎ
となるまで加え、さらに応力減少剤として、日本化学産
業発売のニッケライトＳ Ｏ，５ｃｒ、／ｌを範囲ｏ、
ａ ＣＣＡ〜０．８帆４添加せしめたことに二り、硬
度が非常に高く、かつ耐熱特性のある高品質の精密金型
を裏作しうる、ニッケルーコバルト合金を析出させるも
のである。
金型に係わるニッケル電鋳メッキ液組成において、基本
組成が、スルファミン酸ニッケルの標章濃度６００ ｆ
Ａ、濃度範囲５８６グ／ｅ〜６８０ ’ｉ’／ｅと、塩
化ニッケルの標章濃度５ｇ／ｌ、濃観範囲４２／ｅ〜６
’ｉ／（ｌさらに、硼酸の標亀濃区３５ ？／ｌ 、
濃度範囲５０ Ｖ／ｅ〜４０ ｔ／ｌからナル高濃度浴
に、浴中のコＩ・ルト濃度ｓ、 ５ ｆｆ／ｅ 、 範
囲５、 ＋ ？／ｌ 、 ５．８ Ｖ／ｌとなルヨうに
、スルファミン酸コバルトを添加し、さらには、湿潤剤
として、２ブチｙｌ、４ジオールｓ ｏ 療１ 、範囲
２７ｗ１／Ｎ〜５４ Ｉ）Ｉｖ７１！、ビット防止剤と
してラウリル硫酸ナトリウムｆ ３５ ｄｙｎ ７ｃｍ
と範囲５０ ｄ７ｎ ／ ｃｍ 〜４０ｄｙｎ／ｃｒｎ
となるまで加え、さらに応力減少剤として、日本化学産
業発売のニッケライトＳ Ｏ，５ｃｒ、／ｌを範囲ｏ、
ａ ＣＣＡ〜０．８帆４添加せしめたことに二り、硬
度が非常に高く、かつ耐熱特性のある高品質の精密金型
を裏作しうる、ニッケルーコバルト合金を析出させるも
のである。
従来のニッケル醒鋳メッキ液組成は、公却のごとく、普
通浴、高濃度浴の２種類、さらには、コバルト添加浴が
ある。これらの浴はそれぞれに特徴をもったものであり
、用途に供して、選択がされているものである。
通浴、高濃度浴の２種類、さらには、コバルト添加浴が
ある。これらの浴はそれぞれに特徴をもったものであり
、用途に供して、選択がされているものである。
普通浴においては、スルフアミンｄｉｍｅ ５００ｆ／
ｌ 、濃度範囲２５０ ｆ／１１〜ａｓｏｒ／６．塩化
ニッケル濃ｙ ＋ ＯＩ／／ｌ 、 ′ｔａＫ範囲５
？／ｌ 〜ｓ ｏ ｔ７０（Ｍ酸濃度ａ ｏ ｙ／ｌ、
温度範囲５０ ？／（１〜４０ ？／ｌ。
ｌ 、濃度範囲２５０ ｆ／１１〜ａｓｏｒ／６．塩化
ニッケル濃ｙ ＋ ＯＩ／／ｌ 、 ′ｔａＫ範囲５
？／ｌ 〜ｓ ｏ ｔ７０（Ｍ酸濃度ａ ｏ ｙ／ｌ、
温度範囲５０ ？／（１〜４０ ？／ｌ。
であり、操業条件としては、浴標草温度５０℃、温度範
囲４０℃〜６０℃、Ｐ Ｈ４，０範囲６．５〜４．５に
より、金属硬［２００Ｈｖ 〜５００ Ｈｖのニッケル
析出物を得ている。
囲４０℃〜６０℃、Ｐ Ｈ４，０範囲６．５〜４．５に
より、金属硬［２００Ｈｖ 〜５００ Ｈｖのニッケル
析出物を得ている。
また高濃度浴のそれは、スルフアミン酸ニッケル６００
ｔ／７！、範囲３５０ ｆ／７１〜６５０ ？／ｌ、塩
化ニッケに１０？／ｌ、範囲５ Ｖｌ 〜＋ ５ ？／
ｌ、硼酸ａ ｏ ｔ７Ｂ、範囲５０７／β〜４ Ｄ ？
／６、浴温度６０℃、範囲室温７０℃、Ｐ Ｈ４，０、
範囲３．５〜４．５において、金属硬［２００Ｈｖ 〜
５００ Ｈｖのニッケル析出物を得ている。そしてコバ
ルト添加浴においては、前記高濃度浴に、スルファミン
酸コバルトをｔｓ ７１０し、析出金属中のコバルト含
有量３５％に相当する、コバルト濃［６？／ｌをねらい
として、析出金属硬ｆｉ ５００ Ｈｖ附近の析出物を
得ている。
ｔ／７！、範囲３５０ ｆ／７１〜６５０ ？／ｌ、塩
化ニッケに１０？／ｌ、範囲５ Ｖｌ 〜＋ ５ ？／
ｌ、硼酸ａ ｏ ｔ７Ｂ、範囲５０７／β〜４ Ｄ ？
／６、浴温度６０℃、範囲室温７０℃、Ｐ Ｈ４，０、
範囲３．５〜４．５において、金属硬［２００Ｈｖ 〜
５００ Ｈｖのニッケル析出物を得ている。そしてコバ
ルト添加浴においては、前記高濃度浴に、スルファミン
酸コバルトをｔｓ ７１０し、析出金属中のコバルト含
有量３５％に相当する、コバルト濃［６？／ｌをねらい
として、析出金属硬ｆｉ ５００ Ｈｖ附近の析出物を
得ている。
また、コバルト共析金属は、硬度が高いだけではなく、
熱に対しての特性にも優れており脆くなることが少なく
、または、熱による硬度減少が非常に少ないために、耐
熱性を要求される金型には適しているものである。
熱に対しての特性にも優れており脆くなることが少なく
、または、熱による硬度減少が非常に少ないために、耐
熱性を要求される金型には適しているものである。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし前述
の従来技術では、コバルト添加浴においてさえもコバル
ト濃！ ６ ’ｉ’／ｌ附近で、析出金属の硬度が最大
値を示し、その値は、５００Ｈｖ〜５＋１０Ｈｖ程変の
ものであシ、析出物中のコバルト含有量は、３５％に相
当するものであるところから、高硬闇を有するニッケル
精密金型としては、強度不足から、汎用性に欠けるとい
う問題点さらには、スルファミン酸コバルトを添加した
浴では、金属の析出応力が高いうえに、マンドレル表面
全体への均一電着性に欠けるために、２ブチン１，４ジ
オールを添加しさらに、電流密度を下げて、５ Ａ／ｄ
ｎ／程度で畷業しなくてはならないという問題点を有す
る。
の従来技術では、コバルト添加浴においてさえもコバル
ト濃！ ６ ’ｉ’／ｌ附近で、析出金属の硬度が最大
値を示し、その値は、５００Ｈｖ〜５＋１０Ｈｖ程変の
ものであシ、析出物中のコバルト含有量は、３５％に相
当するものであるところから、高硬闇を有するニッケル
精密金型としては、強度不足から、汎用性に欠けるとい
う問題点さらには、スルファミン酸コバルトを添加した
浴では、金属の析出応力が高いうえに、マンドレル表面
全体への均一電着性に欠けるために、２ブチン１，４ジ
オールを添加しさらに、電流密度を下げて、５ Ａ／ｄ
ｎ／程度で畷業しなくてはならないという問題点を有す
る。
そこで、本発明は、このような問題点を解決するもので
、その目的とするところは、析出金属の硬度６［］ＯＨ
ｖ、範囲５８０Ｈｖ 〜６２０Ｈｖの高い硬度を有する
、ニッケル、コバルト合金を、最高１０ Ａ／ｄｒｒ？
の高い電流’＆ｌＩで析出せしめ、効率の良い電鋳作業
に結びつけ、高硬嘘をイイするニッケル、コバルト合金
精密金型を提供するところにある。
、その目的とするところは、析出金属の硬度６［］ＯＨ
ｖ、範囲５８０Ｈｖ 〜６２０Ｈｖの高い硬度を有する
、ニッケル、コバルト合金を、最高１０ Ａ／ｄｒｒ？
の高い電流’＆ｌＩで析出せしめ、効率の良い電鋳作業
に結びつけ、高硬嘘をイイするニッケル、コバルト合金
精密金型を提供するところにある。
本発明のニッケル電鋳メッキ液組成は、基本組成が、ス
ルファミン酸ニンケルと、硼酸、塩化ニッケルからなる
高濃度浴に、浴中のコバルト濃度５、５ ？／ｌ 、範
囲ｓ、 １ｔ／ｌ 、 ５．８ ？１０となるようにス
ルファミン酸コバルトを添加し、さらには、湿潤剤とし
て、２ブチン１，４ジオール５ｏ ｍｙ／ｅ 。
ルファミン酸ニンケルと、硼酸、塩化ニッケルからなる
高濃度浴に、浴中のコバルト濃度５、５ ？／ｌ 、範
囲ｓ、 １ｔ／ｌ 、 ５．８ ？１０となるようにス
ルファミン酸コバルトを添加し、さらには、湿潤剤とし
て、２ブチン１，４ジオール５ｏ ｍｙ／ｅ 。
範囲２７■／ｌ〜５４ ’Ｍｌ／ｌ ｆ添加し、加えて
ビット防止剤としてラウリル硫酸ナトリウムを、表面張
力が３５ ｄｙｎ ／ ｃｍ 、範囲５０ ｄｙｎ ／
ｃｍ 〜４０ ｄｙｎ／ｍとなるまで加え、さらに、
応力減少剤として・ニッケライト５−ｉｏ、５νｌ、範
囲０． 、ｉ ｃｃＪ〜１８咀４を添力Ωせしめたこと
を、特徴とする。
ビット防止剤としてラウリル硫酸ナトリウムを、表面張
力が３５ ｄｙｎ ／ ｃｍ 、範囲５０ ｄｙｎ ／
ｃｍ 〜４０ ｄｙｎ／ｍとなるまで加え、さらに、
応力減少剤として・ニッケライト５−ｉｏ、５νｌ、範
囲０． 、ｉ ｃｃＪ〜１８咀４を添力Ωせしめたこと
を、特徴とする。
本発明の上記の構成によれば、コバルト濃度５、５ ？
／ｌ 、範囲５． ＋ ？／ｌ −５，８？／ｌにオイ
テ析出金属の硬度が、５００Ｈｖまで高くなる。さらに
２ブチン１．４ジオール、５０り／１１範囲２７ｗβ〜
５４ ’９／６ ｋ添加することによゆ、相乗効果とし
て、析出金属硬度は５８０ Ｈｖ 〜６００ Ｈｖまで
高くなる。２ブチン１．４ジオールの主作用は、ｍ鋳板
出物のコーナーの析出状況を改善し、コブの発生を防止
するために、高い電流密度が採用できる。さらにビット
防止剤の添加、及び分解生成物により最高ｉ［６２０Ｈ
ｖ才での硬度が得られる。また、ニッケライトＥ＋ ０
．５ ＣＱＡ、範囲０．４（ｆ、／ｌ〜ｏ、 ｓ ＯＣ
／ｌを添加することにより、析出応力を下げ、Ｉ Ａ
Ｎ／／、ｊ以下の引張り応力に低下させるものであり、
ニッケライトＳはさらに、２ブチン１．４ジオールとの
相乗効果により、析出物のコーナーの析出状況の改善金
もはかる作用全もつものである。
／ｌ 、範囲５． ＋ ？／ｌ −５，８？／ｌにオイ
テ析出金属の硬度が、５００Ｈｖまで高くなる。さらに
２ブチン１．４ジオール、５０り／１１範囲２７ｗβ〜
５４ ’９／６ ｋ添加することによゆ、相乗効果とし
て、析出金属硬度は５８０ Ｈｖ 〜６００ Ｈｖまで
高くなる。２ブチン１．４ジオールの主作用は、ｍ鋳板
出物のコーナーの析出状況を改善し、コブの発生を防止
するために、高い電流密度が採用できる。さらにビット
防止剤の添加、及び分解生成物により最高ｉ［６２０Ｈ
ｖ才での硬度が得られる。また、ニッケライトＥ＋ ０
．５ ＣＱＡ、範囲０．４（ｆ、／ｌ〜ｏ、 ｓ ＯＣ
／ｌを添加することにより、析出応力を下げ、Ｉ Ａ
Ｎ／／、ｊ以下の引張り応力に低下させるものであり、
ニッケライトＳはさらに、２ブチン１．４ジオールとの
相乗効果により、析出物のコーナーの析出状況の改善金
もはかる作用全もつものである。
第１衣は、本発明の実施例におけるニッケル浴の組成と
、操業条件であって、スルフアミン酸ニッケルとして、
６００？／１．範囲５８０ ｒ／β〜６８０ Ｓ／／ｌ
、塩化ニッケルとして５４／ＣＤ囲４？／ｌ） 〜６
Ｖｌ、 硼酸３５ ？／ｌ、 範ＦＭ ５０ ｖ／ｌ
〜ａ ｏ ｔ／ｅ ｆ：溶解、調整された、スル７アミ
ノ酸ニッケル品濃区浴に、弱電解、活性炭濾過を実施し
り後、スル・フ了ミン＋ｔコバル） ５０．２ ｆ／ｅ
ｅ除７１Ｄした。次にビット防止剤としてラウリル硫
酸ナトリウムを、表面張力が３５４７ｎ ／ ｃｒｎに
なるまで添加した。さらに湿潤剤として２ブチン１，４
ジオールをｔｒｏｒｑ／ｌ添カロした。次に応力減少剤
として日本化学産業発売の、ニッケライトＳ １（１５
ｃｘ、／１を加え、充分に混合、調整した。
、操業条件であって、スルフアミン酸ニッケルとして、
６００？／１．範囲５８０ ｒ／β〜６８０ Ｓ／／ｌ
、塩化ニッケルとして５４／ＣＤ囲４？／ｌ） 〜６
Ｖｌ、 硼酸３５ ？／ｌ、 範ＦＭ ５０ ｖ／ｌ
〜ａ ｏ ｔ／ｅ ｆ：溶解、調整された、スル７アミ
ノ酸ニッケル品濃区浴に、弱電解、活性炭濾過を実施し
り後、スル・フ了ミン＋ｔコバル） ５０．２ ｆ／ｅ
ｅ除７１Ｄした。次にビット防止剤としてラウリル硫
酸ナトリウムを、表面張力が３５４７ｎ ／ ｃｒｎに
なるまで添加した。さらに湿潤剤として２ブチン１，４
ジオールをｔｒｏｒｑ／ｌ添カロした。次に応力減少剤
として日本化学産業発売の、ニッケライトＳ １（１５
ｃｘ、／１を加え、充分に混合、調整した。
前記メッキ液を使用し、デボライズドニッケル極板を陽
極とし、窒素ガスを攪拌要素としてメソーＦ操ｉＬ、、
ニッケル、コバルト合金の析出金属を得た。
極とし、窒素ガスを攪拌要素としてメソーＦ操ｉＬ、、
ニッケル、コバルト合金の析出金属を得た。
操業条件は、浴温度５０℃、Ｐ Ｈ４，１、電流密度＆
Ｏｋ／ｄｒｒ？において設定した。
Ｏｋ／ｄｒｒ？において設定した。
得られた合金析出物の硬度、マンドレルのそり量を、応
力の代替値として測定した結果を、第２表に示す。
力の代替値として測定した結果を、第２表に示す。
比較例として同じように、ニッケル浴の組成、濃度が、
前述の範囲外になるように調合したもの（比較例１〜４
〕について第５表に示し各組成、濃度、操業条件での結
果を第２表に示す。
前述の範囲外になるように調合したもの（比較例１〜４
〕について第５表に示し各組成、濃度、操業条件での結
果を第２表に示す。
硬度の測定は、マイクロビッカース硬度計を用い、加重
２００ ｒ、加重時間２０秒をもって測定した。
２００ ｒ、加重時間２０秒をもって測定した。
七シ世については、マンドレルの形状が直径２０σ、厚
み６Ｉｌ！１１のガラス板に、無電゛解ニッケルメツき
１０００＾〜１２００＾を施こしたものに、５００μｍ
のニッケル合金を析出させ、ガラス板のそり量を測定し
た結果である。
み６Ｉｌ！１１のガラス板に、無電゛解ニッケルメツき
１０００＾〜１２００＾を施こしたものに、５００μｍ
のニッケル合金を析出させ、ガラス板のそり量を測定し
た結果である。
第 １衣
第２表
第Ｓ衣
第２表から明らかな如く、本発明によるメッキ液組成は
、ニッケルとコバルト合金として析出せしめることによ
り、硬変を上げることができる訳であるが限界があり、
この欠点を補うために、有機物を加え、硬度をさらに上
昇させ、しかも、応力ヲ限りなく、ゼロに近すばる作用
をも併せ、持っているものである。なお比較例１．５は
析出応力が高く、比較例２．４は硬度が低く、ともに実
用かつ汎用的でない。
、ニッケルとコバルト合金として析出せしめることによ
り、硬変を上げることができる訳であるが限界があり、
この欠点を補うために、有機物を加え、硬度をさらに上
昇させ、しかも、応力ヲ限りなく、ゼロに近すばる作用
をも併せ、持っているものである。なお比較例１．５は
析出応力が高く、比較例２．４は硬度が低く、ともに実
用かつ汎用的でない。
以上述べたように、発明によれば、スルファミン酸ニッ
ケル高ｆｉＥ浴にスルファミン酸コバルトｆ：５．５
ｔ／ｌ、範囲５．１ ？／ｌ 〜５．８９／ｌ及び２ブ
チ７１．４ジオ−ルｓ ［１ｈ’ｉ／ｅ ｓ範囲２７
”１ｖ／ｌ 〜Ｓ Ａ”ｉ／７ｉ、応力減少剤、ニッケ
ライトＳ ０．５ ＣＩＪ、範囲Ｑ、４ ｃｒ−Ａ 〜
０．８ ＣＣＡ、ビット防止剤を表面張力が３５ｄｙｎ
／ｚ、範囲５０ ｄｙｎ ／ ｃｍ 〜４０ ｄｙｎ、
ｚ２ｍになるまで各々の添加＊を添加することにより■
析出６カが少なく硬変が高いニッケル、コバルト合金
を得ることが出来る。
ケル高ｆｉＥ浴にスルファミン酸コバルトｆ：５．５
ｔ／ｌ、範囲５．１ ？／ｌ 〜５．８９／ｌ及び２ブ
チ７１．４ジオ−ルｓ ［１ｈ’ｉ／ｅ ｓ範囲２７
”１ｖ／ｌ 〜Ｓ Ａ”ｉ／７ｉ、応力減少剤、ニッケ
ライトＳ ０．５ ＣＩＪ、範囲Ｑ、４ ｃｒ−Ａ 〜
０．８ ＣＣＡ、ビット防止剤を表面張力が３５ｄｙｎ
／ｚ、範囲５０ ｄｙｎ ／ ｃｍ 〜４０ ｄｙｎ、
ｚ２ｍになるまで各々の添加＊を添加することにより■
析出６カが少なく硬変が高いニッケル、コバルト合金
を得ることが出来る。
（２） 耐蝕性が高くかつ耐熱性の高い精密電鋳金型
を製作することが出来る ■ 作業効率の良いしかも短時間で電制ができるという
効果を有する。
を製作することが出来る ■ 作業効率の良いしかも短時間で電制ができるという
効果を有する。
以 上
Claims (1)
- 基本組成が、スルファミン酸ニッケルと硼酸、塩化ニッ
ケルからなる高濃度浴に、浴中のコバルト濃度、５．５
ｇ／ｌ、濃度範囲５．１ｇ／ｌ〜５．８ｇ／ｌとなるよ
うに、スルファミン酸コバルトを添加し、さらに湿潤剤
として、２ブチン、１，４ジオール３０ｍｇ／ｌ、範囲
２７ｍｇ／ｌ〜３４ｍｇ／ｌを添加し、加えてビット防
止剤として、ラウリル硫酸ナトリウムを、３５ｄｙｎ／
ｃｍ、範囲３０ｄｙｎ／ｃｍ〜４０ｄｙｎ／ｃｍとなる
まで加え、さらに、応力減少剤として、ニッケライトＳ
を、０．５ｃｃ／ｌを範囲０．４ｃｃ／ｌ〜０．８ｃｃ
／ｌ添加せしめたことを、特徴とするニッケル電鋳メッ
キ液組成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22507685A JPS6283486A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ニツケル電鋳メツキ液組成 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22507685A JPS6283486A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ニツケル電鋳メツキ液組成 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283486A true JPS6283486A (ja) | 1987-04-16 |
Family
ID=16823643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22507685A Pending JPS6283486A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ニツケル電鋳メツキ液組成 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6283486A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001316862A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-16 | Citizen Watch Co Ltd | 立体電鋳品及びその製造方法ならびに立体電鋳品シート |
| KR100948915B1 (ko) * | 2002-12-24 | 2010-03-24 | 주식회사 포스코 | 연속 주형 코팅용 니켈 전기 도금 조성물 및 이 조성물을사용한 연속 주형 의 전기 도금 방법 |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP22507685A patent/JPS6283486A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| JP2001316862A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-16 | Citizen Watch Co Ltd | 立体電鋳品及びその製造方法ならびに立体電鋳品シート |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| US8276759B2 (en) | 2001-11-27 | 2012-10-02 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| KR100948915B1 (ko) * | 2002-12-24 | 2010-03-24 | 주식회사 포스코 | 연속 주형 코팅용 니켈 전기 도금 조성물 및 이 조성물을사용한 연속 주형 의 전기 도금 방법 |
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