JPS60173826A - 輸送用ウエハ−ケ−ス - Google Patents
輸送用ウエハ−ケ−スInfo
- Publication number
- JPS60173826A JPS60173826A JP3004984A JP3004984A JPS60173826A JP S60173826 A JPS60173826 A JP S60173826A JP 3004984 A JP3004984 A JP 3004984A JP 3004984 A JP3004984 A JP 3004984A JP S60173826 A JPS60173826 A JP S60173826A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- wafer
- lid
- cover
- elastic pieces
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ウェハーを損壊・汚染することなく安全
に輸送するためのウェハーケースに関する。
に輸送するためのウェハーケースに関する。
近年コンピューターを始め各種電子装置等において、集
積回路の利用が急増するに伴い半導体つ１バーの黒星が
著しく増大している。その結果ウェハーを大ＩＩ３に輸
送する必要が生じた。輸送にあたってはウェハーに対す
る十分な損壊・汚染防止策をたてることを要する。
積回路の利用が急増するに伴い半導体つ１バーの黒星が
著しく増大している。その結果ウェハーを大ＩＩ３に輸
送する必要が生じた。輸送にあたってはウェハーに対す
る十分な損壊・汚染防止策をたてることを要する。
従来のウェハーケースはこれらの防止策が不十分であっ
た。
た。
本発明の１４的は取扱いが簡単で輸送中のウェハーの損
壊・汚染等の危険が少ないウェハーケースを提供するこ
とである。本発明によるウェハ−ケースは輸送中の半導
体ウェハーを損壊・汚染から保護するウェハーケースで
あって、ウエハ−を４１１持する箱状の本体、該本体の
底部に嵌合してウェハーをＦ方より弾性的に支える支持
板および蓋を右し；該本体は」−縁に折返した補強リプ
をもち、後方の補強リプ面に少くとも左右′２個の蓋係
止用凹部を、前方の補強リブ面中央に少くとも１個の蓋
固定用四部を備え、側壁は上半部がそれぞれ直立し下半
部が内方にわん曲し、内側表面にウェハーを離隔させる
隔置リプを有し；該支持板は上面に側壁に平行する２条
のくし状弾性片を備え：該蓋は周囲に縁を有し、後方の
縁に該本体の係止用四部に係合する少くとも２個の突片
を、前方の縁に本体の固定用四部に嵌合する少くとも１
個のわ〈状突片をそれぞれ備え、蓋内面に本体側壁に１
１行する２条のくし状弾性片を有していることを特徴と
する輸送用ウェハーケースである。
壊・汚染等の危険が少ないウェハーケースを提供するこ
とである。本発明によるウェハ−ケースは輸送中の半導
体ウェハーを損壊・汚染から保護するウェハーケースで
あって、ウエハ−を４１１持する箱状の本体、該本体の
底部に嵌合してウェハーをＦ方より弾性的に支える支持
板および蓋を右し；該本体は」−縁に折返した補強リプ
をもち、後方の補強リプ面に少くとも左右′２個の蓋係
止用凹部を、前方の補強リブ面中央に少くとも１個の蓋
固定用四部を備え、側壁は上半部がそれぞれ直立し下半
部が内方にわん曲し、内側表面にウェハーを離隔させる
隔置リプを有し；該支持板は上面に側壁に平行する２条
のくし状弾性片を備え：該蓋は周囲に縁を有し、後方の
縁に該本体の係止用四部に係合する少くとも２個の突片
を、前方の縁に本体の固定用四部に嵌合する少くとも１
個のわ〈状突片をそれぞれ備え、蓋内面に本体側壁に１
１行する２条のくし状弾性片を有していることを特徴と
する輸送用ウェハーケースである。
以下図面に従って本発明のウェハーケースの構成を詳細
に説明する。まず第１図（ａ）および第２図を参照する
と、本体↓において左右の側壁４゜５は上」′一部が直
立し下半部が内方にわん曲し、さらに垂下して底板６に
結合する。側壁４の内側表面には離隔した内方へ突出す
る一連の隔置リブ４．１を具備し、該隔置リブは他方の
側壁５の内方へ突出する同じ隔置リブ５．１ と対応す
る。該隔置リブは相！Ｌに十分離隔し、一連のウェハー
をその間に挿入するのを可能にし、これによりウェハー
は前後方向に］！１持され相互に接触することはない。
に説明する。まず第１図（ａ）および第２図を参照する
と、本体↓において左右の側壁４゜５は上」′一部が直
立し下半部が内方にわん曲し、さらに垂下して底板６に
結合する。側壁４の内側表面には離隔した内方へ突出す
る一連の隔置リブ４．１を具備し、該隔置リブは他方の
側壁５の内方へ突出する同じ隔置リブ５．１ と対応す
る。該隔置リブは相！Ｌに十分離隔し、一連のウェハー
をその間に挿入するのを可能にし、これによりウェハー
は前後方向に］！１持され相互に接触することはない。
（Ｉｌｌ ！、Ｆ、のドｒ部は担持するウェハーとほぼ
等しい１′−径で内方にわん曲しウェハー７に接する。
等しい１′−径で内方にわん曲しウェハー７に接する。
その状ｆｎ；を第２図に示す。
本体↓の前壁８と後壁９は直立し、その下縁８．１，９
．１は少くとも底板の横幅より広いので、ウェハーケー
スの安定な自立に役立ち、本体↓の後方の補強リブｌＯ
の面には蓋係止用凹部１１を、前方の補強リブ１０の面
には蓋固定用四部１２をそれぞれ備えている。また本体
↓の」二面には少くとも一つの側１１ｊｌ、面、たとえ
ば側壁４の上面前後に凸起１３をもち、挿入されたウェ
ハーの移し替えのときのカイ；・となる。支持板２は第
１図（ｂ）に示すように長方形をなし、上面の左右縁近
くに本体側壁に・１ｉ行するくし状弾性片１４を備え、
本体底部に嵌合してウェハーを下から２点で弾性的に支
え、外力を分散してウェハーの損壊を防止する。その状
態を第２図に示す。くし状弾性片の頭部１４．１は第１
図（ｂ）に示すようにＶ形ないしＵ形であるため、ウェ
ハーはその底部に確実に支持される。各りを外片の縁１
４．２は肉厚で弾性片を補強している。
．１は少くとも底板の横幅より広いので、ウェハーケー
スの安定な自立に役立ち、本体↓の後方の補強リブｌＯ
の面には蓋係止用凹部１１を、前方の補強リブ１０の面
には蓋固定用四部１２をそれぞれ備えている。また本体
↓の」二面には少くとも一つの側１１ｊｌ、面、たとえ
ば側壁４の上面前後に凸起１３をもち、挿入されたウェ
ハーの移し替えのときのカイ；・となる。支持板２は第
１図（ｂ）に示すように長方形をなし、上面の左右縁近
くに本体側壁に・１ｉ行するくし状弾性片１４を備え、
本体底部に嵌合してウェハーを下から２点で弾性的に支
え、外力を分散してウェハーの損壊を防止する。その状
態を第２図に示す。くし状弾性片の頭部１４．１は第１
図（ｂ）に示すようにＶ形ないしＵ形であるため、ウェ
ハーはその底部に確実に支持される。各りを外片の縁１
４．２は肉厚で弾性片を補強している。
蓋３は、第１図（ｃ）に示すように本体ユに嵌合さ ゛
せ、かつ蓋を補強する縁１５を周囲にもち、蓋の内面に
は本体側壁に」１行する２条のくし状弾性片１６を４１
１１えている。該弾性片１６の頭部１６．１は支持板に
具備したものと同形であるが、基部は第３図に拡大して
示すように先端に向って薄肉となり、本体に１１１持し
たウェハーを保護する」二で十分な強度と弾力性を保有
し、これがウェハーを上から２点でおさえ外力を分散し
てその損壊をふせぐ。その状況を第２図に示す。また蓋
の後方の縁に蓋を本体に係止する突片１７を備え、本体
ユの四部１１に係合して蓋の開閉着脱を行う。すなわち
第４図（ａ）に拡大して示すように、四部１１に係止文
月１７が挿入される。凹部１１には受面１１．１があり
、これに鈎１７．１がひっかかり蓋の開閉および着脱を
きわめて容易に行うことができる。
せ、かつ蓋を補強する縁１５を周囲にもち、蓋の内面に
は本体側壁に」１行する２条のくし状弾性片１６を４１
１１えている。該弾性片１６の頭部１６．１は支持板に
具備したものと同形であるが、基部は第３図に拡大して
示すように先端に向って薄肉となり、本体に１１１持し
たウェハーを保護する」二で十分な強度と弾力性を保有
し、これがウェハーを上から２点でおさえ外力を分散し
てその損壊をふせぐ。その状況を第２図に示す。また蓋
の後方の縁に蓋を本体に係止する突片１７を備え、本体
ユの四部１１に係合して蓋の開閉着脱を行う。すなわち
第４図（ａ）に拡大して示すように、四部１１に係止文
月１７が挿入される。凹部１１には受面１１．１があり
、これに鈎１７．１がひっかかり蓋の開閉および着脱を
きわめて容易に行うことができる。
またＺｌの前方の縁には蓋を本体に固定するわく状文月
１８を備え、本体の四部１２に嵌合して蓋を固定する。
１８を備え、本体の四部１２に嵌合して蓋を固定する。
ずなわあち第４図（ｂ）に拡大して示すように、凹部１
２にわ〈状突片１８が挿入される。凹部１２には受面１
２．１がありこれに鈎１８．１がひっかかり蓋を本体に
固定し、蓋をはずす時はわく状突片１８の穴１８．２に
指をかけわずかに引いてもち上げると鈎１８．１が受面
１２．１よりはずれ、容易に蓋を開き本体より離脱させ
ることができる。また第１図（Ｃ）に示すようにＺｉの
内面の少くとも一つの本体側面たとえば側面４の上縁に
接する位置には突起１３と嵌合するへこみ１９をもつ。
２にわ〈状突片１８が挿入される。凹部１２には受面１
２．１がありこれに鈎１８．１がひっかかり蓋を本体に
固定し、蓋をはずす時はわく状突片１８の穴１８．２に
指をかけわずかに引いてもち上げると鈎１８．１が受面
１２．１よりはずれ、容易に蓋を開き本体より離脱させ
ることができる。また第１図（Ｃ）に示すようにＺｉの
内面の少くとも一つの本体側面たとえば側面４の上縁に
接する位置には突起１３と嵌合するへこみ１９をもつ。
このへこみのうち蓋の後側のものは楕円形をなし蓋を着
脱するにあたって本体」二面の突起１３と円滑に嵌合す
る。さらに蓋の中央ｆｒ、１１には透明または半透明の
窓２０を備え本体に収容したウェハーの担持状態の観察
を容易にする。さらに第１１Ｎ（ｃ）、第２図に示すよ
うに、蓋の外面・の前後にへこみ２１を有し、別のウェ
ハーケースを」−に積み重ねるとき、これが第２図に示
すそのケースの本体下面の補強リブ２２に嵌合し。
脱するにあたって本体」二面の突起１３と円滑に嵌合す
る。さらに蓋の中央ｆｒ、１１には透明または半透明の
窓２０を備え本体に収容したウェハーの担持状態の観察
を容易にする。さらに第１１Ｎ（ｃ）、第２図に示すよ
うに、蓋の外面・の前後にへこみ２１を有し、別のウェ
ハーケースを」−に積み重ねるとき、これが第２図に示
すそのケースの本体下面の補強リブ２２に嵌合し。
ケースの前壁・後壁の下縁８．１，９．１を利用して安
夏な積み重ねを行うことができる。
夏な積み重ねを行うことができる。
ウェハーケースの材質はプラスチフク、たとえば弗素樹
脂・ポリプロピレン・ポリエチレン笠のポリオレフィン
、あるいはエチレンと酢酸ビニールの共重合体、および
それら樹脂の混合物が用いられる。これらの材質のプラ
スチフクには特性改りのため、たとえば導電性を附与す
るよう特殊添加剤を加えたり、また収納したウエハ−の
汚染防１にのため表面処理すなわちいわゆるコニティン
グ技術を適用することかできる。
脂・ポリプロピレン・ポリエチレン笠のポリオレフィン
、あるいはエチレンと酢酸ビニールの共重合体、および
それら樹脂の混合物が用いられる。これらの材質のプラ
スチフクには特性改りのため、たとえば導電性を附与す
るよう特殊添加剤を加えたり、また収納したウエハ−の
汚染防１にのため表面処理すなわちいわゆるコニティン
グ技術を適用することかできる。
以」一連へたように本発明のウェハ−ケースは支持板と
蓋のくし状弾性片により、輸送中の振動と落ド等による
圧力に対しウニ／＼−を保護してその損壊なふせぎ、蓋
と本体によりウエハ−表面の７り染をさまたげ、高価な
ウエハ−を安全に輸送することをｒｊｆ能にするもので
、しかも構造簡単で取り扱いやすく経済的である等すぐ
れたものである。
蓋のくし状弾性片により、輸送中の振動と落ド等による
圧力に対しウニ／＼−を保護してその損壊なふせぎ、蓋
と本体によりウエハ−表面の７り染をさまたげ、高価な
ウエハ−を安全に輸送することをｒｊｆ能にするもので
、しかも構造簡単で取り扱いやすく経済的である等すぐ
れたものである。
第１図（ａ）は支持板を取り出したときの本体の斜視図
を、第１図（ｂ）は支持板の斜視図を、第１図（Ｃ）は
蓋の内面の斜視図をそれぞれ示す。第２図はウェハーケ
ースの中央における断面図であり、本体側１％ｅの隣り
あった隔置リブの間を通り側壁に直角に切断したもので
、後壁方向をみたときのものである。第３図は蓋の内面
のくし状弾性片の拡大４４視図を、第４図（ａ）は本体
と蓋の後方にあるＺ、係１に用凹部と突片の拡大斜視図
を、第４図（ｂ）は本体と蓋の前方にある蓋固定用四部
とわ〈状突ノ１の拡大！４視図をそれぞれ示す。 ユ・・・本体、 ２・・・支持板。 ３・・・２ｉ ＋ ４・・・側壁。 ４１ ・・争装置リブ、５・・・側壁。 ５．１ ・・拳隔誇リブ、６・拳・底板。 ７・・番ウェハー、 ８・−ｅ前壁。 ８．１ ・・・ド縁、９・・・側壁。 ９．１ ・・・ド縁、１０・・・補強リブ。 １１・・・蓋係止用凹部、１１．１・・・受面。 １２・・・蓋固定用四部、１２．１・・・受面。 １３・・ｅ凸起 １４−−拳くし状弾性片。 ノ １４．１・・拳頭部、１４．２−・・縁。 １５・・・、ｌ、 １６・・・くし状弾性片。 １６．１・・・頭部、１６．２参・１１縁。 １７・・・蓋係止用突片、１７．１・・・鈎。 １８・・・蓋固定用わ〈状突片。 １８．１・・・鈎、 １８．２・中争穴。 １９０１へこみ、 ２０・・・窓。 ２１・・・蓋の外面のへこみ。 ２２・ ・・補強リブ。 １２図。 第３図 ７−′ 第４図 （０）
を、第１図（ｂ）は支持板の斜視図を、第１図（Ｃ）は
蓋の内面の斜視図をそれぞれ示す。第２図はウェハーケ
ースの中央における断面図であり、本体側１％ｅの隣り
あった隔置リブの間を通り側壁に直角に切断したもので
、後壁方向をみたときのものである。第３図は蓋の内面
のくし状弾性片の拡大４４視図を、第４図（ａ）は本体
と蓋の後方にあるＺ、係１に用凹部と突片の拡大斜視図
を、第４図（ｂ）は本体と蓋の前方にある蓋固定用四部
とわ〈状突ノ１の拡大！４視図をそれぞれ示す。 ユ・・・本体、 ２・・・支持板。 ３・・・２ｉ ＋ ４・・・側壁。 ４１ ・・争装置リブ、５・・・側壁。 ５．１ ・・拳隔誇リブ、６・拳・底板。 ７・・番ウェハー、 ８・−ｅ前壁。 ８．１ ・・・ド縁、９・・・側壁。 ９．１ ・・・ド縁、１０・・・補強リブ。 １１・・・蓋係止用凹部、１１．１・・・受面。 １２・・・蓋固定用四部、１２．１・・・受面。 １３・・ｅ凸起 １４−−拳くし状弾性片。 ノ １４．１・・拳頭部、１４．２−・・縁。 １５・・・、ｌ、 １６・・・くし状弾性片。 １６．１・・・頭部、１６．２参・１１縁。 １７・・・蓋係止用突片、１７．１・・・鈎。 １８・・・蓋固定用わ〈状突片。 １８．１・・・鈎、 １８．２・中争穴。 １９０１へこみ、 ２０・・・窓。 ２１・・・蓋の外面のへこみ。 ２２・ ・・補強リブ。 １２図。 第３図 ７−′ 第４図 （０）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 輸送中の半導体ウェハーを損壊・汚染から保護するウェ
ハーケースであって、ウェハーを担持する箱状の本体、
該本体の底部に嵌合してウェハーをド方より弾性的に支
える支持板および蓋を有し；該本体は」二級に折返した
補強リブをもち、後方の補強リブ面に少くとも左右２個
の蓋係止用凹部を、前方の補強リブ面中央に少くとも１
個の蓋固定用四部を備え、側壁は上半部がそれぞれ直立
し下半部が内方にわん曲し、内側表面にウェハーを離隔
させる隔置リブを有し：該支持板は上面に側壁に１１行
する２条のくし状弾性片を備え。 該蓋は周囲に縁を有し、後方の縁に該本体の係Ｉｎ用四
部に係合する少くとも２個の突片を、前方の縁に該本体
の固定用四部に嵌合する少なくとも１個の友わく状突片
をそれぞれ備え、蓋内面に本体側壁に平行する２条のく
し状弾性片を有していることを特徴とする輸送用ウェハ
ーケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004984A JPS60173826A (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 輸送用ウエハ−ケ−ス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004984A JPS60173826A (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 輸送用ウエハ−ケ−ス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173826A true JPS60173826A (ja) | 1985-09-07 |
| JPH0460347B2 JPH0460347B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=12292964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004984A Granted JPS60173826A (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 輸送用ウエハ−ケ−ス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60173826A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996002069A1 (fr) * | 1994-07-08 | 1996-01-25 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Receptacle de stockage pour cristal semi-conducteur |
| EP1148536A2 (en) * | 2000-04-17 | 2001-10-24 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Support device for a wafer shipping container |
| USRE41231E1 (en) | 1995-10-13 | 2010-04-20 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920628U (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-08 | アルゴ工業株式会社 | ウエハ収納容器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920628B2 (ja) * | 1981-11-09 | 1984-05-14 | 株式会社クボタ | 無機質板の製造方法 |
-
1984
- 1984-02-20 JP JP3004984A patent/JPS60173826A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920628U (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-08 | アルゴ工業株式会社 | ウエハ収納容器 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996002069A1 (fr) * | 1994-07-08 | 1996-01-25 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Receptacle de stockage pour cristal semi-conducteur |
| US5823351A (en) * | 1994-07-08 | 1998-10-20 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Semiconductor crystal packaging device |
| USRE41231E1 (en) | 1995-10-13 | 2010-04-20 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| USRE42402E1 (en) | 1995-10-13 | 2011-05-31 | Entegris, Inc. | 300 mm microenvironment pod with door on side |
| EP1148536A2 (en) * | 2000-04-17 | 2001-10-24 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Support device for a wafer shipping container |
| EP1148536A3 (en) * | 2000-04-17 | 2007-05-30 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Support device for a wafer shipping container |
| US7886910B2 (en) | 2001-11-27 | 2011-02-15 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
| US8276759B2 (en) | 2001-11-27 | 2012-10-02 | Entegris, Inc. | Front opening wafer carrier with path to ground effectuated by door |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0460347B2 (ja) | 1992-09-25 |
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